防靜電檢測規(guī)范

1、防靜電檢測規(guī)范目錄1、目的：42、適用范圍：43、定義44、職責(zé)45、程序46、相關(guān)文件和記錄147、附錄145、程序5.1測試方法：5.1.1測試環(huán)境：環(huán)境溫度235，相對濕度40%70%。5.1.2測試儀器使用方法5.1.2.1靜電場測試儀（TREK520）靜電場測試儀是感應(yīng)式的，該儀器表面有2個按鍵：“POWER”、“RANGE/ZERO”、“HOLD”,按“POWER” 鍵開機/關(guān)機。該儀器有兩個量程：02KV、020KV,可通過按“RANGE/ZERO”鍵進行切換。當(dāng)顯示3位小數(shù)時，量程范圍為02KV；當(dāng)顯示2位小數(shù)時，量程范圍為020KV。每次測試時都應(yīng)進行讀數(shù)清零工作，方法為：將

2、sensor對準(zhǔn)一個已知的電壓為0V的導(dǎo)體上，按“RANGE/ZERO”鍵至少3秒鐘。為保證測試值的準(zhǔn)確性，測試時人體必須戴靜電環(huán)或穿防靜電鞋。測試前，先將待測物放置在絕緣的物體上（如干燥的硬紙板），手持干燥并干凈的棉布以每分鐘120次的速度，施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ?4千克力），單向摩擦待測物表面20次，然后用儀器測量電壓（senor距離被測物表面的距離為2.54CM及兩個紅燈重合在一起），將顯示的讀數(shù)乘以1000即得實際的電壓值，例如讀數(shù)為“.018”，則實際電壓為18V。5.1.2.2 表面電阻測試儀（ACL-385） ACL-385為簡易表面電阻測試儀，該儀器兩個測試電極間距根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)不變，測試

3、時將被測物放于絕緣的平面上，表面電阻測試儀平置在材料表面上，手指施加適當(dāng)壓力（24KG）于測試按鈕上，使測試電極與材料表面接觸良好，指示燈發(fā)亮檔即為讀數(shù)。如果被測材料為軟性材料，可施加46kg的壓力進行測試。5.1.2.3 接地電阻測試儀（EMI-20780）EMI-20780 可以測試點對點電阻(RTT), 接地電阻(RTG)、體積電阻,和表面電阻率, 配套兩點測試電極可測量微小物體表面電阻.測試范圍為: 1x 103 - 1012；測試電壓為: 10V或100V+/-5%；測試精度為: +/-10%;測試時間為 15秒；測試時：把2條連接線分別插入測試表上端的“A”插口, 注意白色連接線和

4、黑色連接線的插頭不同, 不要插錯. 然后連接線另一端分別插入點對點重錘電極；按下“D”測試按鍵15秒, 這時LCD屏幕按順序顯示如下:l l 華氏溫度l l 攝氏溫度l l 相對濕度l l 電阻值l l 所采用的測試電壓電阻測試結(jié)果由“B”顯示屏和“C”冥數(shù)LED 指示燈共同顯示, 例如電阻值為175，000，000, 顯示如下:1.75顯示在“B”顯示屏上, 同時“C” LED指示燈的8會亮,表示測試結(jié)果為: 1.75 x 108。如果LCD顯示屏顯示“1_”, 說明超過該儀器測試范圍。測試電壓為10V或100V, 按下“F”鍵, 采用10V電壓測試, 如果不按下“F”鍵, 儀器會根據(jù)不同測

5、試材料自動選擇測試電壓. 阻值在105以下時采用10V測試電壓, 阻值在106以上時采用100V測試電壓5.1.2.4人體綜合電阻測試（腕帶測試、鞋測試）測試步驟：1. 員工進入車間前應(yīng)首先確認(rèn)靜電手腕佩戴正確，靜電鞋鞋底干凈，穿戴正確。左右兩腳分別踏上靜電測試儀的左右兩個金屬腳踏板，然后將防靜電手腕插入靜電測試儀面板的手環(huán)插口。2. 掃描工卡后，電腦會顯示你的身份資料，同時儀器的LCD面板提示“請您按下測試鍵”。手指按下測試鍵，（確保手指與按鈕金屬鍵的完全接觸）開始測試，3 秒后儀器將測試完畢。3. 如果受測對象合格，儀器“嘟”長響一聲，同時儀器的LCD面板顯示“通過”，如果測試不合格，儀器

6、“嘟嘟嘟嘟”短響8聲，同時儀器的LCD 面板顯示“不通過”。不通過時可連續(xù)測試4次，若還是不合格，員工立即到IPQA處更換。4. IPQA應(yīng)維持測試秩序并監(jiān)督每位員工的測試過程。5.1.2.5接地樁電阻測試儀（ZC29B型號）1.沿被測接地極E使電位探棒P和電流探棒C依直線彼此相距20米，且電位探棒P系在E和C之間。2.E端鈕接5m導(dǎo)線，P端鈕接20m導(dǎo)線，C端鈕接40m導(dǎo)線。3.將儀表放置水平后檢查檢流計是否指零，否則可將零位調(diào)正器調(diào)節(jié)零位。4.將“位率標(biāo)度”置于最大倍率慢慢轉(zhuǎn)動發(fā)動的搖把，同時旋動電位器刻度盤，使檢流計指針指“0”。5.當(dāng)檢流計的指針接近平衡時，加快發(fā)電機搖柄轉(zhuǎn)速，使其達到

7、每分鐘150轉(zhuǎn)。再轉(zhuǎn)支電位器刻度盤，使檢流計平衡，此時刻度盤的讀數(shù)乘以倍率檔即為被測接地電阻數(shù)值。6.當(dāng)刻度盤讀數(shù)小于1時應(yīng)將倍率開關(guān)置于較小倍率，重新調(diào)整刻度盤以得正確讀數(shù)。7.當(dāng)測量小于1歐的接地電阻時，應(yīng)將2個E端的聯(lián)結(jié)片打開，分別用導(dǎo)線聯(lián)接到被測接地體上，以消除測量時聯(lián)接導(dǎo)線電阻的附加誤差，操作步驟同上。8.當(dāng)檢流計的靈敏度過高時，可將二根探棒插入土壤中淺一些，當(dāng)檢流計靈敏度過低時，可沿探棒注水使其濕潤。5.1.2.6 離子風(fēng)機測試儀（3M-718 /3M-718A）1、 打開測試儀（718）電源，將測試儀（718）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A）金屬端相連接，同時按下靜電產(chǎn)生儀“+

8、”按鈕和測試儀“HOLD”鍵，測試儀顯靜電值應(yīng)大于“+1000V”。2、 在離子風(fēng)機下不超過30cm處水平移動靜電測試儀3秒鐘(金屬板向上)，再看測試儀顯示值應(yīng)大于-40V小于+40V。3、 打開測試儀（718）電源，將測試儀（718）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A）金屬端相連接，同時按下靜電產(chǎn)生儀“-”按鈕和測試儀“HOLD”鍵，測試儀顯靜電值應(yīng)小于“-1000V”。4、 離子風(fēng)機下不超過30cm處水平移動靜電測試儀3秒鐘(金屬板向上)，再看測試儀顯示值應(yīng)大于-40V小于+40V。5、 在檢測表中記錄顯示值，注明檢測日期，調(diào)節(jié)后的值。注意：要求平衡電壓為-40平衡電壓40V5.1.2.7

9、手腕監(jiān)視器電容測試儀（SAML1800）：測試時，開關(guān)旋轉(zhuǎn)至“1801 FALL”檔， SALM1801S-I的LED變成紅色，蜂鳴器發(fā)出報警聲響；旋轉(zhuǎn)開關(guān)至“1801 PASS”檔，SALM1801S-I的LED變成綠燈，蜂鳴器停止發(fā)出報警聲響。此為合格。5.2 測試項目5.2.1靜電接地極電阻測試每半年使用ZC29B進行一次測試，要求靜電接地極對地電阻小于1,將測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。5.2.2設(shè)備、儀器接地電阻測試每月由ESD專員或指定人員用萬用表測試設(shè)備儀器接地電阻一次（新建工位或工位調(diào)整后要立即測試）測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。1. 設(shè)備儀器接地電阻：設(shè)備儀器外殼

10、與靜電接地線之間的阻抗要小于10。測試頻率：每月。2. 電烙鐵：對使用中的電烙鐵進行接地電阻測試，要求烙鐵頭與靜電接地線之間的阻抗要小于10。測試頻率：每天。 5.2.3 靜電接地線接地電阻：每半年由廠務(wù)或指定人員對靜電接地線的接地電阻進行檢測。要求每條線都要測。測試方法：在每條靜電接地線上任意找一個點，將萬用表的一端連在這個點上，另一端插在電源地線孔里。要求電阻值小于10。測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。 5.2.4防靜電工服PE工程師或指定人員，每季度對員工的工衣用EMI-20780測試儀進行測試，要求表面電阻1105RS 1109 （上衣做點對點、袖對袖、片對片測試，褲子做褲腳對褲腳

11、、點對點測試），“每次全檢，測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。如檢測到不合格的情況，在此防靜電服的胸口處蓋上“此防靜電服不合格”章，并郵件通知該員工經(jīng)理讓其當(dāng)天之內(nèi)到庫房更換。IPQA監(jiān)督有無不合格靜電服流入產(chǎn)線。 5.2.5防靜電工作臺 PE工程師或指定人員負責(zé)每月使用EMI-20780測試儀測試一次，要求表面電阻在11051109歐姆和接地電阻在11061109歐姆。每塊工作臺面測試3個點，將測試結(jié)果平均值記錄在ESD點檢記錄表格中。 5.2.6地板由ESD專員負責(zé)每季度使用EMI-20780測試儀測試表面電阻一次，要求地板的表面電阻在1*1051*109之間。每100平米地面測5個點（

12、對于面積小于100平方米的獨立區(qū)域如：IQC、RD實驗室、來料倉，每個區(qū)域要測5個點）。測試時兩個電極距離為0.6米1米，測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。同時由廠務(wù)或指定人員每半年測試地板的接地電阻一次，接地電阻在1*105-1*109之間。測試方法：將EMI-20780的一個電極放在地板上，另一端插入電源地線插孔里。每100平米測試1個點。測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。 5.2.7物流器具（如：周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)車、貨架）5.2.7.1由ESD專員負責(zé)每半年使用TREK520和EMI-20780測試儀測試一次，要求摩擦電壓小于100V，周轉(zhuǎn)箱表面電阻：1103- 1109，每次每種器具抽

13、檢，每1條線抽檢10Pcs，如果有1Pcs不合格則全檢。測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。 5.2.7.2 由ESD專員負責(zé)每季度使用EMI-20780測試儀測試一次，要求周轉(zhuǎn)車，貨架表面電阻小于1109，接地電阻在1103- 1109之間。測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。5.2.8腕帶、工鞋性能檢測操作類員工每日進入車間前要進行手環(huán)、工鞋測試，測試結(jié)果由電腦自動保存，產(chǎn)線專門人員進行存檔管理；在車間辦公的職員，每日上班進入車間前要進行工鞋測試，對于有可能接觸產(chǎn)品的職員（如生產(chǎn)主管、工藝、設(shè)備、質(zhì)控人員）每日上班也必須使用人體綜合電阻測試儀，測試記錄由電腦自動保存。如有測試不合格者需立即

14、到IPQA處更換。測試合格后方能進入產(chǎn)線。腕帶系統(tǒng)電阻：800K10M；工鞋系統(tǒng)電阻：100K-35M。5.2.9靜電場檢測由ESD專員負責(zé)每季度使用靜電場測試儀（TREK520）對車間各工位的靜電場強進行一次測試，并將測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。測試要求：距工作臺30CM范圍內(nèi)，靜電值要小于+/- 100 V5.2.10 離子風(fēng)機測試由ESD專員負責(zé)每季度使用3M-718與3M-718A對車間的離子風(fēng)機性能進行測試，測試內(nèi)容包括“平衡電壓”、“消電時間”，并將結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中測試要求：測試儀器距離離子風(fēng)扇正前方30厘米；合格標(biāo)準(zhǔn):1000V降到100V的消電時間小于3秒

15、，平衡電壓絕對值小于40V。注：CPM要分別在正、負兩種充電狀態(tài)下測試5.2.11防靜電工作椅子由ESD專員負責(zé)每月使用EMI-20780測試儀測試一次，要求表面電阻和接地電阻都在1105-1109歐姆之間，。將測試結(jié)果平均值記錄在ESD點檢記錄表格中。5.2.12傳送帶測試由ESD專員負責(zé)每季度使用表面阻抗測試儀測試一次，要求表面電阻在1105-1109歐姆之間。每條傳送帶測試3個點，將測試結(jié)果平均值記錄在ESD點檢記錄表格中。5.2.13 手腕監(jiān)視器測試由ESD專員負責(zé)每半年使用SAML1800校正儀對手腕監(jiān)視器的電容進行一次。測試不合格立即更換。5.3 防靜電包裝材料的測試 5.3.1認(rèn)

16、證測試：首先要求供應(yīng)商送樣給PE確認(rèn)，同時附上產(chǎn)品的相關(guān)參數(shù)說明書或產(chǎn)品相關(guān)性能指標(biāo)認(rèn)定書，經(jīng)PE驗證合格后方可采購。防靜電性能測試環(huán)境要求：溫度235,濕度155測試項目材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測試ESD標(biāo)志PE袋吸塑盒、物料盒汽珠袋、泡棉有機保護屏緩沖材料屏蔽袋防靜電膠帶防靜電防塵布打“”為必測項目高溫測試：在溫度為60，濕度為15的干燥箱內(nèi)烘烤12天或在溫度為70，濕度為15的干燥箱內(nèi)烘烤8天，然后放于室溫存放24小時再進行表面電阻、摩擦電壓測試5.3.2 接收測試PE部門對所有無物料代碼的ESD輔料進行來料檢驗。不定期全檢。檢驗要求如下：防靜電性能測試環(huán)境要求：溫度

17、235,濕度4070測試項目材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測試ESD標(biāo)志PE袋吸塑盒、物料盒汽珠袋、泡棉有機保護屏。緩沖材料。防靜電膠帶屏蔽袋防靜電防塵布 5.3.3 點檢測試由ESD小組人員每個月使用表面阻抗測試儀對各條線的防靜電袋、自制容器、防靜電膠、有機玻璃屏進行抽檢。要求表面電阻在1104-11011歐姆之間，摩擦電壓小于100V。每條線測試5Pcs，若有3Pcs不合格則整條線全檢并更換相應(yīng)物料。以上這些物料必須有防靜電標(biāo)識才可投入產(chǎn)線使用，一經(jīng)IPQA發(fā)現(xiàn)將沒收，找替代品或者做防靜電加工。 5.4 各類防靜電物品、設(shè)施檢測指標(biāo)測試項目摩擦電壓表面電阻系統(tǒng)電阻防靜電工服、

18、工帽1105RS 1109工鞋1105Rs11090.1106R3.5107腕帶內(nèi)面1105 外面11070.8106R3.5107防靜電地板0.1106RS 11090.1106R 1109工作臺1106RS 11090.75106R 1109周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)盒、托盤、料盒、防靜電刷子、防靜電鑷子、防靜電推車100V1103RS 1109傳送帶1106RS 1109防靜電工作椅1105 RS11091106 R1109PE袋100V1104RS 11011吸塑盒100V1104RS 11011汽珠袋、泡棉100V1104RS 11011緩沖材料100V1104RS11011屏蔽型防靜電袋100V1104RS 110