
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文檔簡介
1、版圖的相關(guān)知識(二,余 華 重慶大學(xué)光電工程學(xué)院,2021/2/8,L-Edit的使用方法,L-Edit是Tanner Tools Pro工具軟件中的一個軟件包,可以在同一窗口中進(jìn)行版圖設(shè)計(jì)、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查、網(wǎng)表提取、標(biāo)準(zhǔn)單元自動布局與連線等工作。配合在S-Edit中建立的相應(yīng)電路,可以在Tanner Tools Pro提供的另一個工具LVS完成布局與電路的比對。在本章中將介紹L-Edit的使用與版圖設(shè)計(jì)及網(wǎng)表提取,2021/2/8,10.1 L-Edit的窗口介紹,圖3.1為L-Edit的窗口,包括標(biāo)題欄、工具欄、位置顯示區(qū)、鼠標(biāo)功能說明、狀態(tài)欄、繪圖區(qū)等項(xiàng)目。還有層的定義區(qū),用以定義現(xiàn)在要進(jìn)
2、行繪制和編輯的層,2021/2/8,2021/2/8,3.2 L-Edit的參數(shù)設(shè)置,在進(jìn)行版圖設(shè)計(jì)之前,首先要設(shè)定設(shè)計(jì)文件的數(shù)據(jù),如調(diào)色板、應(yīng)用、設(shè)計(jì)、圖層、特殊圖層、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查、標(biāo)準(zhǔn)單元庫自動布局與連線,2021/2/8,1調(diào)色板設(shè)置 執(zhí)行Setup Palette子命令彈出調(diào)色板設(shè)置框,如圖3.4所示。L-Edit的色盤共有16種顏色設(shè)定,每個顏色各有兩種屬性: (1)一個唯一的4位碼; (2)RGB三種顏色的組合量,2021/2/8,圖3.4 調(diào)色板,2021/2/8,2應(yīng)用參數(shù)設(shè)置 執(zhí)行Setup /Application子命令進(jìn)入應(yīng)用設(shè)置對話框,如圖3.5所示,包括熱鍵和鼠標(biāo)作用
3、的某些設(shè)定。 (1)配置文件設(shè)置欄 “Workgroup”填充框用來指定設(shè)計(jì)組應(yīng)用配置文件的路徑和名稱?!癠ser”填充框用來指定設(shè)計(jì)者應(yīng)用配置文件的路徑和名稱,2021/2/8,2)“General”標(biāo)簽頁:提供使用者針對以下事項(xiàng)進(jìn)行設(shè)定。 Editing Options(編輯選項(xiàng))欄:共有4個選項(xiàng),選中“Active-Push Rubberbanding”選項(xiàng)表示在畫圓形、方形時不必一直按著鼠標(biāo)的按鈕,只要定義端點(diǎn)即可。例如,若要畫一個方形,先用鼠標(biāo)左健定義方形的某一個角落,再移到鼠標(biāo)方形的對角位置,然后再單擊鼠標(biāo)左鍵,就可以完成方形的繪制,2021/2/8,Paste To Cursor
4、”選項(xiàng)表示將剪貼板上的圖形粘貼到鼠標(biāo)指針上,選中該選項(xiàng)后,在粘貼對象時,被復(fù)制的對象會跟隨光標(biāo)指針出現(xiàn)在繪圖區(qū),并隨光標(biāo)一起移動,點(diǎn)擊鼠標(biāo)的任何鍵時,被復(fù)制的對象固定到繪圖區(qū)。在粘貼到繪圖區(qū)之前,還可以對該對象進(jìn)行水平(H)、垂直(V)鏡像與旋轉(zhuǎn)(R)操作;“Auto-Panning”選項(xiàng)用于自動平移窗口,選中該選項(xiàng)后,在執(zhí)行Draw(繪圖)、Move(移動)或Edit(編輯)操作時,當(dāng)鼠標(biāo)指針碰到繪圖窗口邊緣時,L-Edit將自動平移窗口,2021/2/8,圖3.5 應(yīng)用設(shè)置對話框,2021/2/8,TDB設(shè)定文件路徑填充框:用于設(shè)置TDB設(shè)置文件的預(yù)定義路徑。 “Toolbars”選項(xiàng)欄:
5、選中“Use Large Button”選項(xiàng),工具按鈕將使用大圖標(biāo);“Layer Icon Size”項(xiàng)用于設(shè)置層定義區(qū)各圖標(biāo)的尺寸,在下拉框中選擇,單位是像素;“Drawing Mode”下拉選擇框用于設(shè)定繪圖模式,有3種模式:Orthogonal(90)、45 Degree(45)、All Angle(任意角)。 “Recently Used File List”填充框表示最近使用的文件列表,在框內(nèi)填寫不大于16的正整數(shù),用來規(guī)定File菜單下部列出的最近打開過的文件的最大數(shù)目,2021/2/8,2)“Keyboard”標(biāo)簽頁 用來設(shè)定鍵盤上的熱鍵,包括布局與文字編輯器。可以視使用者使用習(xí)
6、慣刪除或是增加熱鍵內(nèi)容。 (3)“Warnings”標(biāo)簽頁 是警告框的列表。選中某個警告框前的復(fù)選框?qū)⑹顾せ?,在編輯設(shè)計(jì)文件時發(fā)生違反規(guī)則的情況下該警告框會打開;若警告框不激活,將不會打開。 (4)“UPI”( 用戶編程界面)標(biāo)簽頁 設(shè)置L-Edit用來解釋宏的頭文件所在目錄,以及UPI寫宏錯誤的記錄文件的路徑。 (5)“Rendering”標(biāo)簽頁 用于建立基本的顯示行為,2021/2/8,3設(shè)計(jì)參數(shù)設(shè)置 在版圖設(shè)計(jì)之前必須對有關(guān)參數(shù)進(jìn)行設(shè)置。執(zhí)行Setup/ Design子命令,進(jìn)入設(shè)置參數(shù)對話框,如圖3.6所示,共有6個標(biāo)簽頁。 (1)“Technology(工藝參數(shù))”標(biāo)簽頁圖3.6
7、工藝參數(shù)設(shè)置標(biāo)簽頁 “Technology name”(工藝名稱)欄:填寫設(shè)計(jì)所用的工藝名稱。當(dāng)要從一個文件拷貝一個單元到另一個文件時,L-Edit將比較兩個文件所用的工藝是否相同。如果工藝不同,L-Edit將顯示警告信息,2021/2/8,圖3.6 工藝參數(shù)設(shè)置標(biāo)簽頁,2021/2/8,Technology units”欄:用于設(shè)置工藝單位,共有6種:Microns(微米)、Mils(密耳)、Millimeters(毫米)、Centimeters(厘米)、Inches(英吋)和Other(自定義單位)。如選用Other選項(xiàng),還需在其右邊的填充框內(nèi)輸入自定義工藝單位的名稱(通常是Lambda)
8、。 “Technology setup(工藝設(shè)置)”欄:用于定義工藝單位與內(nèi)部單位間的換算關(guān)系。 當(dāng)在“Technology units”欄內(nèi)選中“Other”選項(xiàng),并在右側(cè)填入Lambda,則該欄內(nèi)出現(xiàn)兩組填充框:“Lambda per Internal Unit”表示每內(nèi)部單位的Lambda,用分?jǐn)?shù)的形式定義內(nèi)部單位與Lambda的關(guān)系;“Lambda”填充框用分?jǐn)?shù)的形式定義Lambda與微米的關(guān)系。如自定義單位為foot,由于一英尺等于304800微米,則在該填充框內(nèi)應(yīng)填寫304800/1。圖中設(shè)置為1個內(nèi)部單位等于1/1000微米。 當(dāng)在“Technology units”欄內(nèi)選中“O
9、ther”以外的選項(xiàng),如選中“Mils”選項(xiàng),在“Technology setup”欄內(nèi)只出現(xiàn)“Mils per Internal”填充框,用分?jǐn)?shù)的形式定義內(nèi)部單位與Mils之間的關(guān)系,2021/2/8,2)“Grid(柵格設(shè)置)”標(biāo)簽頁 為方便繪圖、查看和編輯,L-Edit提供了三種獨(dú)立的柵格坐標(biāo):顯示柵格、鼠標(biāo)柵格和定位柵格,如圖3.7所示。 “Grid display”欄用于定義顯示柵格。其中“Displayed grid”填充框用于設(shè)定柵格的格點(diǎn)間距,單位是定位單位;“Suppress minor grid”填充框用于設(shè)定柵格格點(diǎn)顯示的最小像素,小于或等于該值時,格點(diǎn)將不顯示。 “Mo
10、use grid”欄用于設(shè)置鼠標(biāo)柵格。選中“Snaping”選項(xiàng)表示鼠標(biāo)指針只能在柵格上移動;選中“Smooth”選項(xiàng)表示鼠標(biāo)指針可在柵格間移動;“Mouse snap”填充框用于設(shè)定鼠標(biāo)每移動一步的距離,單位是定位單位,2021/2/8,圖3.7 柵格參數(shù)設(shè)置標(biāo)簽頁,2021/2/8,3)“Selection(選擇參數(shù))”標(biāo)簽頁 用于選擇對象時的有關(guān)設(shè)定,包括選擇區(qū)域、棄選區(qū)域、編輯范圍、選擇繪圖對象,如圖3.8所示。 “Selection range”欄用于設(shè)定選擇范圍,單位為定位單位。當(dāng)鼠標(biāo)指針在對象外面且距對象邊緣不超過框內(nèi)規(guī)定的值,該對象仍能選中。 “Deslection range
11、”欄用于設(shè)置棄選范圍。在進(jìn)行移動、編輯或復(fù)制操作時,當(dāng)鼠標(biāo)指針與選中的對象的距離大于該設(shè)定值時,單擊鼠標(biāo)的MOVE-EDIT鍵,選中的對象將去選。 “Edit range”欄用于決定編輯范圍,兩填充框的單位不同。當(dāng)鼠標(biāo)指針離對象的邊或頂點(diǎn)的距離在該范圍內(nèi)時,點(diǎn)擊MOVE-EDIT按鈕將執(zhí)行Edit操作,否則執(zhí)行Move操作。 選中“Select drawn objects”選項(xiàng)表示對象在創(chuàng)建后將自動被選中,這樣對該對象可立即進(jìn)行編輯操作,2021/2/8,圖3.8 選擇參數(shù)設(shè)置標(biāo)簽頁,2021/2/8,4)“Drawing”標(biāo)簽頁 用于繪圖參數(shù)的設(shè)置,設(shè)置窗口如圖3.9所示。 “Default
12、 port text size”欄用于設(shè)置端口默認(rèn)文字尺寸,單位是定位單位,2021/2/8,Nudge amount”欄用于設(shè)置命令Draw/Nudge中微移量。 “Default ruler settings”欄用于設(shè)置標(biāo)尺的文字大?。═ext)、顯示方式(Display)、端點(diǎn)形狀(End)、刻度線顯示方式(Show tick marks)。 “Create rules on”欄用于設(shè)置標(biāo)尺放置的位置。選中“Current layer”選項(xiàng)表示將標(biāo)尺放于當(dāng)前圖層上,也可通過圖層選擇框中的下拉列表,選取放置標(biāo)尺的圖層,2021/2/8,4圖層設(shè)置 圖層部分的設(shè)置包括有那些圖層、圖層的名稱、
13、對象的電阻電容值、GDS的代號、CIF的名稱、圖樣等數(shù)據(jù)。執(zhí)行Setup/ Layers子命令進(jìn)入圖層設(shè)置對話框,如圖3.10所示。對話框左邊的圖層列表框列出了當(dāng)前文件的圖層,與圖層定義區(qū)的次序是一致的。也可建立新的圖層(Add Layer)、刪除原有的圖層(Delete Layer)和重新命名圖層(Remane Layer),還可安排各圖層的先后順序(Move Layer)。在窗口的右邊可以用來定義或是更改圖層的名稱,與各圖層的電氣特性、布局方式、生成層的方式、圖樣等。若要修改某層的參數(shù)時,只要選中右邊列表框的某層,再修改右邊各標(biāo)簽頁的數(shù)據(jù)即可,2021/2/8,圖3.10 圖層設(shè)置對話框,
14、2021/2/8,3.3 文件與單元,在L-Edit中,設(shè)計(jì)是以TDB文件形式存在和保存。TDB文件可以是版圖文件,也可以是文本文件。TDB文件由至少一個單元或多個單元組成。對于版圖文件,這些單元是以等級構(gòu)造關(guān)系相互聯(lián)系在一起。有些單元只包含幾何圖形對象,稱為基本單元,它們是獨(dú)立的單元;另一些單元則既可以包括幾何圖形,還可以包含例化體。例化體是指在某個單元內(nèi)對其他單元的引用,就象調(diào)用子程序。這樣在版圖設(shè)計(jì)時就不必重復(fù)繪制相同的版圖結(jié)構(gòu),提高設(shè)計(jì)效率,同時還極大地減少了設(shè)計(jì)所占的存儲容量,2021/2/8,TDB版圖設(shè)計(jì)文件的格式是Tanner公司專有的,為了能與其他設(shè)計(jì)系統(tǒng)以及掩模制造商進(jìn)行交
15、流,還必須把TDB格式轉(zhuǎn)換成通用的CIF或GDSII格式,或把CIF和GDSII格式文件輸入,轉(zhuǎn)換為TDB格式,2021/2/8,3.3.1 文件 1. 建立新的設(shè)計(jì)文件 執(zhí)行File/ New子命令打開新建設(shè)計(jì)文件對話框,如圖3.14所示。 L-Edit允許建立版圖文件(Layout)或是文本文件(Text),并且可依據(jù)要建立的文件型式激活適當(dāng)?shù)木庉嬈鳌?(1)選擇新建版圖文件之后,從“Copy TDB setupfrom”欄內(nèi)復(fù)制其他設(shè)計(jì)文件的數(shù)據(jù)設(shè)置,或者在該欄下方的設(shè)置文件列表框中選擇。單擊OK按鈕,產(chǎn)生默認(rèn)名為LayoutN的新文件,N代表自L-Edit窗口打開后新建版圖的次數(shù),且該
16、名稱顯示在L-Edit窗口頂部的標(biāo)題欄中。在打開新文件的同時,默認(rèn)名為Cell0的新單元隨之產(chǎn)生,并顯示在單元窗口的標(biāo)題欄中(單元窗口不處在最大化),或在L-Edit窗口的標(biāo)題欄中(單元窗口處于最大化)。 對于新版圖文件,可用File/Save as命令進(jìn)行重新命名。對于單元,可用Cell/Close as命令進(jìn)行重新命名,2021/2/8,2)選擇新建版圖文件之后,如果沒有選擇任何設(shè)計(jì)文件(即選擇),將產(chǎn)生一個背景為灰色且只有一個New Layer圖層的版圖窗口,該窗口未經(jīng)任何參數(shù)設(shè)置,經(jīng)過設(shè)置也可達(dá)到滿足要求的窗口。推薦使用TDB文件新建版圖文件的方法。 建立新的設(shè)計(jì)文件之后,可以使用Fi
17、le/Info子命令設(shè)置作者、組織名稱、與文件數(shù)據(jù)等信息,2021/2/8,2. 打開設(shè)計(jì)文件 執(zhí)行File/Open子命令打開原有的文件??梢灾付ù蜷_的文件為只讀文件。 3. 關(guān)閉設(shè)計(jì)文件 執(zhí)行File/Close子命令關(guān)閉編輯中的文件。 4. 文件保存 執(zhí)行File / Save或是File / Save As子命令都可以保存設(shè)計(jì)文件,前者直接用現(xiàn)在的文件名保存,如果尚未給定文件名保存過,L-Edit會要求給定文件名稱;后者會要求給定一個新的文件名稱加以保存,2021/2/8,5. 文件輸入 L-Edit提供文件格式轉(zhuǎn)換的接口,可以在GDSCIF與TDB文件間互相轉(zhuǎn)換。要將GDSCIF文件
18、導(dǎo)入到L-Edit,執(zhí)行File / ImPort Mask Data子命令輸入掩模數(shù)據(jù)對話框,如圖3.15所示,2021/2/8,圖3.15 文件輸入,2021/2/8,首先在File/ImPort Mask Data子菜單中選擇GDS或CIF,然后再在“From File”欄內(nèi)給定輸入掩模文件的路徑和名稱。L-Edit文件包括了環(huán)境設(shè)定與制造相關(guān)數(shù)據(jù),而GDS與CIF格式的文件并不會包含這些數(shù)據(jù),所以需要給定相關(guān)的TDB文件,以作為轉(zhuǎn)入文件的設(shè)定數(shù)據(jù),因此需在“Use setup file”欄內(nèi)輸入TDB文件的路徑和名稱。最后按下Import按鈕即可將GDSCIF文件導(dǎo)入到Tanner的L
19、-Edit上。 在導(dǎo)入的過程中可能會出現(xiàn)GDS/CIF文件中有TDB設(shè)定文件中沒有定義的層次,這時可以指定L-Edit自動產(chǎn)生新的層次給這些未知的物質(zhì)層次。 6. 文件輸出 L-Edit提供GDS與CIF格式文件的輸出,執(zhí)行File / Export Mask Data子命令打開輸出掩模數(shù)據(jù)對話框,如圖3.16所示。圖3.16 文件輸出 文件輸出之前先確定輸出文件的格式GDSCIF,再指定文件的路徑和名稱,然后按Export按鈕,2021/2/8,圖3.16 文件輸出,2021/2/8,3.3.2 單元 單元是集成電路設(shè)計(jì)最基本的區(qū)塊,它包括基本的幾何對象(各種形狀的圖形)與例化體(Insta
20、nce)。 1. 建立新的單元 執(zhí)行Cell / New子命令彈出新建單元對話框,如圖3.17所示。依對話框要求輸入新單元的名稱、作者、機(jī)構(gòu)名稱與單元的相關(guān)信息。選中“Open in new window”選項(xiàng)表示新單元將在新窗口中打開,否則新單元在當(dāng)前窗口打開,窗口中已打開的窗口被關(guān)閉。然后點(diǎn)擊OK按鈕新單元被創(chuàng)建,2021/2/8,圖3.17 新建單元對話框,2021/2/8,2. 打開單元圖打開已經(jīng)存在的單元,執(zhí)行Cell/Open子命令彈出打開已有單元對話框,如圖3.18所示。先在“File”框的下拉列表中選擇要打開的單元所在的文件,再從下方的單元列表中選擇所要打開的單元,也可以從“C
21、ell”框中輸入所要打開的單元名稱,此時L-Edit會依據(jù)輸入的字符逐一比對符合要求的單元名稱,并且將它顯示在第一列。例如,輸入i時,所有單元名稱第一個字符為i的會依序顯示在單元列表中,再輸入n后,所有單元名稱前面兩個字符為in的會顯示在單元列表中。在單元列表中,單元名稱若是以粗體字表示者,表示該單元已經(jīng)被更改了,但是尚未保存。另外,若使打開單元顯示在新的窗口中,則需選中“Open In New Window”選項(xiàng);否則會顯示在之前的窗口,2021/2/8,圖3.18 打開已有單元對話框,2021/2/8,3. 單元的重新命名 正在編輯中的單元可以執(zhí)行Cell/Rename或是Cell/Clo
22、se As子命令進(jìn)行名稱更改。執(zhí)行Cell/Rename子命令彈出重新命名單元對話窗口,如圖3.19所示,只要給定新的單元名稱和相關(guān)信息,然后單擊OK按鈕即可,L-Edit會將當(dāng)前的單元以新的名稱取代,而該單元仍處于編輯的狀態(tài)。若是使用Cell/Close As子命令,L-Edit會將更改過的單元以新的名稱保存,并且關(guān)閉原先的單元而不做任何保存動作,最后L-Edit打開的窗口中是新名稱的單元,2021/2/8,圖3.19 單元重新命名對話框,2021/2/8,4. 單元信息的獲取 執(zhí)行Cell/Info子命令打開單元信息對話框,在對話框中,將顯示單元的名稱,可添加或修改作者、機(jī)構(gòu)和信息等內(nèi)容,
23、還可進(jìn)行版本號的修改、單元鎖定、屬性設(shè)置。 5. 制造單元的指定 在把TDB版圖數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)變?yōu)镃IF掩模數(shù)據(jù)時,需指定制造哪個單元的版圖。被指定的單元稱為制造單元。執(zhí)行Cell/Fabricate子命令打開Select Cell to Fabricate對話框。在File下拉列表中選取已打開的文件,在下方的列表中選取單元或在Cell欄中輸入要制造的單元名稱,然后單擊OK按鈕即可。被選為制造單元的單元名稱前用“f ”來標(biāo)識。 對于GDSII文件,將自動選用頂層單元作為制造版圖的單元,所以不需要指定制造單元。CIF文件不表明那個單元是頂層單元。如不指定制造單元,它會任意選一個單元作為制造單元,從而造成
24、錯誤,2021/2/8,6. 單元的復(fù)制 單元可以在同一個設(shè)計(jì)文件中或是不同的設(shè)計(jì)文件中進(jìn)行復(fù)制,如果要復(fù)制其他的設(shè)計(jì)文件中的單元,要先打開該設(shè)計(jì)文件。進(jìn)行復(fù)制時會將原來的單元全部復(fù)制到目的設(shè)計(jì)文件中,如果單元的源文件與目的文件中有相同名稱的單元,就會造成名稱沖突現(xiàn)象,這時L-Edit會要求使用者進(jìn)行更名或是停止復(fù)制操作。 執(zhí)行Cell/Copy子命令彈出單元復(fù)制對話框,如圖3.20所示。首先在“File”欄中選擇被復(fù)制的文件名稱,然后在下方的單元列表中選擇要復(fù)制的單元或從“Cell”欄中輸入要復(fù)制的單元名稱,再單擊OK按鈕,出現(xiàn)窗口之后再輸入單元名稱,如果單元來源是在不同的設(shè)計(jì)文件,要事先打
25、開該文件,然后選擇該設(shè)計(jì)文件中的單元,2021/2/8,圖3.20 單元復(fù)制對話框,2021/2/8,7. 單元的恢復(fù) 執(zhí)行Cell/Revert Cell子命令可取消上次存儲命令以來對當(dāng)前單元所作的一切修改。取消的修改不能用Undo命令來恢復(fù)。 8. 設(shè)計(jì)瀏覽器圖3.21 設(shè)計(jì)瀏覽器窗口 設(shè)計(jì)瀏覽器(Design Navigator)列出設(shè)計(jì)的等級構(gòu)造中的所有單元,包括例化體、交叉引用單元和制造單元的信息。執(zhí)行View/ Design Navigator子命令或單擊按鈕可打開設(shè)計(jì)瀏覽器窗口,如圖3.21所示,2021/2/8,圖3.21 設(shè)計(jì)瀏覽器窗口,2021/2/8,設(shè)計(jì)瀏覽器窗口中所顯
26、示的設(shè)計(jì)文件中單元的層次結(jié)構(gòu)是一個樹狀的結(jié)構(gòu),可以展開所有的分支關(guān)系,或收起所有的分支,也可以只顯示沒被調(diào)用使用的單元。 在設(shè)計(jì)瀏覽器窗口剛打開時,等級樹處在完全收縮狀態(tài),只顯示頂級單元,在名稱前有一帶“+”的小方塊,稱這些單元為基干單元。 當(dāng)?shù)燃墭涮幱谕耆归_狀態(tài)時,等級樹的每一枝干都代表一個被例化的單元,稱為枝干單元。如果某一單元包含例化體,被例化的單元名字將出現(xiàn)在下一級分支上。如果單元中有一個以上的同一單元的例化體,在等級樹枝干上的被理化的單元名字后面出現(xiàn)一個放在方括號內(nèi)的數(shù)字,表示例化體的數(shù)目。另外,單元的名稱若是用粗體字表示,表示該單元已經(jīng)經(jīng)過修改,但是尚未保存;單元名稱的前面若有個
27、鑰匙形狀,則表示該單元被鎖住不能編輯。 可以通過這個瀏覽窗口對單元進(jìn)行編輯操作。利用工具欄可以進(jìn)行收縮、展開,創(chuàng)建和刪除單元;利用顯示模式的下拉選框選擇等級樹的顯示模式;利用快捷菜單可以對單元編輯,2021/2/8,3.3.3 例化體和矩陣 例化體(Instance)和矩陣都是L-Edit中的繪圖對象。例化體是一個單元被其他單元所引用,引用時只記錄例化體的位置和方位。矩陣有許多同一單元的例化體在垂直和水平方向按指定的距離排列而成。單個例化體相當(dāng)于11矩陣。 例化體類似于計(jì)算機(jī)語言的子程序,允許其他單元使用。只要這個例化體被更動了,所有含有這個例化體的單元也會跟著更動。另外,含有例化體的設(shè)計(jì)比把
28、例化體“展平”的同樣設(shè)計(jì)占用較少的存儲容量?!罢蛊健痹O(shè)計(jì)是指把設(shè)計(jì)中把等級構(gòu)造逐級展開,把所有例化體都還原成只含原始體(繪圖對象)的圖形結(jié)構(gòu),從而使版圖的等級構(gòu)造由多級變?yōu)閱渭?。除此之外,引用例化體也會加快顯示的速度,2021/2/8,1. 例化體的創(chuàng)建 有兩種方法產(chǎn)生例化體的方法: (1)用設(shè)計(jì)瀏覽器創(chuàng)建例化體,把設(shè)計(jì)瀏覽器窗口中某單元拖放到同一文件另一單元的版圖窗口中,即產(chǎn)生該單元的一個例化體。注意:被例化的單元不能是包含例化體的源單元,也不能包含接受例化體的單元的例化體,因?yàn)椴荒苓f歸例化。 (2)執(zhí)行Cell/Instance子命令或單擊按鈕,打開單元例化對話框,如圖3.23所示,202
29、1/2/8,圖3.23 單元例化對話框,2021/2/8,在“File”框的下拉列表中選取已打開的文件,再在其下方的單元列表中選擇單元或在“Cell”欄中輸入單元名,然后單擊OK按鈕即可。在對話框中的單元列表中,名稱前加有紅色“”的單元不能被例化。用粗體字表示的單元名稱表明對該單元的修改還未保存,2021/2/8,有兩種情況演員不能被例化: (1)單元不能例化本身,也不能例化包含有該單元的例化體的其他單元。即不能遞歸例化。 (2)不允許例化不同工藝文件中單元,2021/2/8,2. 例化體的圖形編輯 例化體和矩陣與幾何圖形對象不同,不能改變例化體的大小和形狀,也不能切割和合并。作為一個整體例化
30、體可以進(jìn)行移動、旋轉(zhuǎn)操作。 (1)可以用鼠標(biāo)MOVE-EDIT鍵(鼠標(biāo)中鍵)來移動選中的例化體。 (2)用Draw/Rotate子命令和Draw/Flip子命令實(shí)現(xiàn)被選中的例化體的旋轉(zhuǎn)和翻轉(zhuǎn)操作,2021/2/8,3. 例化體的原地編輯 執(zhí)行原地編輯的步驟為: (1)選中要編輯的例化體; (2)執(zhí)行Edit/Edit In-Place/Push Into子命令或單擊按鈕或按PgDn熱鍵進(jìn)入例化體。進(jìn)入例化體后,就可像打開例化體所援引的單元一樣,對單元的內(nèi)容進(jìn)行編輯。當(dāng)編輯的對象是幾何圖形時,可按編輯普通幾何圖形的方法進(jìn)行編輯。如果編輯的對象是例化體或矩陣,則需進(jìn)入矩陣或例化體再進(jìn)行編輯。 (3
31、)編輯完成后,可用Edit/Edit In-Place/Pop Out命令或單擊按鈕或按PgUp熱鍵。而命令Edit/Edit In-Place/View Top Cell End子命令則使當(dāng)前單元的未知回到頂級單元。 注意:如果例化體做了非90的旋轉(zhuǎn)操作,就不能進(jìn)行原地編輯,2021/2/8,3.4 L-Edit中的對象繪制,版圖設(shè)計(jì)的基本任務(wù)是繪制對象,繪圖對象包括幾何圖形、例化體、端口和標(biāo)尺等。繪制的基本步驟是:選擇圖層、激活繪圖工具、進(jìn)行繪制。 1幾何圖形的繪制 L-Edit提供的幾何圖形繪圖工具包括:長方形(Box)、多邊形(Polygon)、線(Wire)、圓(Circle)、扇形
32、(Pie Wedge)和環(huán)扇(Torus)等。這里介紹前三種圖形繪制,也是VLSI版圖設(shè)計(jì)中的基本工具。 (1)長方形的繪制 在工具欄中選中按鈕,在繪圖區(qū)單擊鼠標(biāo)左健定義長方形的一個頂點(diǎn),再按住鼠標(biāo)拉到另外一個對角后放開,定義出對角的另一頂點(diǎn)。在繪圖的過程中,在狀態(tài)窗口會顯示出所繪制的方形的長寬與其面積,在繪圖工作區(qū)窗口中顯示所用的圖層與繪制的長方形,2021/2/8,2)多邊形的繪制 L-Edit提供的多邊形繪制可分為:正交、45角和任意角度三種。先選定多邊形繪圖工具按鈕,把鼠標(biāo)指針放到繪圖區(qū)后,此時鼠標(biāo)左鍵是DRAW鍵,中鍵是MOVE-EDIT鍵,右鍵是SELECT鍵。當(dāng)單擊DRAW鍵(左
33、鍵)后,鼠標(biāo)的左鍵變?yōu)?,中鍵變?yōu)锽ACKUP鍵,右鍵變?yōu)镋ND鍵。這三個鍵的意義分別為定義多邊形的頂點(diǎn)、取消上一次頂點(diǎn)的定義、與結(jié)束多邊形的繪制。繪制時,先點(diǎn)擊左鍵(DRAW鍵)產(chǎn)生第一個頂點(diǎn),移動鼠標(biāo)到另一處,單擊左鍵(VERTEX鍵)產(chǎn)生第二個頂點(diǎn),依次產(chǎn)生更多的頂點(diǎn),如產(chǎn)生了位置不對的頂點(diǎn),可用中鍵來刪除,點(diǎn)擊一次刪除上一步的頂點(diǎn)。點(diǎn)擊右鍵(END鍵)完成最后的頂點(diǎn)。在繪制的過程中,狀態(tài)窗口同樣會顯示多邊形所占區(qū)域的長寬與面積,2021/2/8,使用全90角的多邊形繪制工具時,所定義出來的多邊形只允許90角;使45角的多邊形繪制工具時,除了90角之外,還可以定義45角變化的多邊形;使用任
34、意角度的多邊形繪制工具時,就沒有上述角度的限制。 (3)連線的繪制 在L-Edit中,連線的繪制也提供了三種工具,繪制的方法與多邊形繪制方法一樣,在此就不再贅述,2021/2/8,圖3.26 端口設(shè)置 連線的寬度、端點(diǎn)和頂點(diǎn)外形由當(dāng)前圖層的默認(rèn)連線樣式?jīng)Q定。在圖層設(shè)置對話框的General標(biāo)簽頁中設(shè)定。圖3.27 端口設(shè)置對話框 線寬還可由繪圖工具的下拉框的Other項(xiàng)來設(shè)置,如圖3.26所示,2021/2/8,圖3.26 端口設(shè)置,2021/2/8,圖3.27 端口設(shè)置對話框,2021/2/8,2. 端口的繪制 端口有點(diǎn)、線和長方形端口。 繪制端口時,先在繪圖工具條上選擇端口繪制按鈕,對于點(diǎn)
35、端口只要單擊鼠標(biāo)左鍵然后會彈出編輯對象對話框的Port頁,如圖3.27所示。對于長方形端口先單擊鼠標(biāo)左鍵并按住左鍵拖動鼠標(biāo)到下一點(diǎn)后放開,也會彈出圖3.27的對話框。 在對話框中輸入端口的名稱和文字的尺寸,設(shè)定端口的尺寸、文字放置的位置和方向。單擊OK按鈕即可生成端口,2021/2/8,3. 標(biāo)尺的繪制 除了上述的基本對象之外,為了量測對象的尺寸方便,L-Edit提供了標(biāo)尺的功能,標(biāo)尺的繪制只是為了布局過程中進(jìn)行量測,實(shí)體的制造過程并不會使用。 繪制標(biāo)尺時,先在繪圖工具條上選擇標(biāo)尺繪制按鈕。標(biāo)尺也有正交、45、任意角度標(biāo)尺。先單擊鼠標(biāo)左鍵并按住左鍵拖動鼠標(biāo)到下一點(diǎn)后放開,標(biāo)尺畫成。 標(biāo)尺的設(shè)置
36、在執(zhí)行Setup/Design子命令后的繪圖參數(shù)頁中進(jìn)行。清除標(biāo)尺時,執(zhí)行Draw/Clear Ruler子命令,可以選擇將所有單元中的標(biāo)尺清除掉,或是清除現(xiàn)在這個單元中的標(biāo)尺,2021/2/8,3.5 對象的編輯,編輯對象就是對繪制的對象進(jìn)行修改。有兩種編輯對象的方法:圖形編輯和文本編輯。圖形編輯是用鼠標(biāo)來完成,文本編輯是通過對話框來實(shí)現(xiàn)的。 3.5.1 對象的選中和去選 在對對象編輯之前,首先要選中或去選某個對象,以保證編輯操作只作用于選中的對象。在默認(rèn)設(shè)置下,選中的對象被黑色的輪廓線包圍。L-Edit提供兩種選擇對象的方法:顯選(Explicit Selection)與隱選(Implic
37、it Select)。 涉及選擇與去選的操作有以下幾種: (1)顯選:指在進(jìn)行后繼操作前對于對象所作的選擇或去選操作。用SELECT鍵(鼠標(biāo)右鍵) (2)隱選:指在對于對象進(jìn)行操作的過程中自動選中對象。用MOVE-EDIT鍵(鼠標(biāo)中鍵)。 (3)添加:也叫擴(kuò)展選擇。指在一組選中的對象中添加一個對象。用EXTEND SEL鍵(按下Shift后鼠標(biāo)左/右鍵變成EXTEND SEL鍵)。 (4)去除:指在一組選中的對象中去選一個對象。用DESELECT鍵(按下Alt,鼠標(biāo)右鍵變成DESELECT鍵,2021/2/8,1顯選 包含下面幾個技巧:按、拉、增加及循環(huán)。 (1)按(Click Selecti
38、on):在某對象旁單擊鼠標(biāo)右鍵即可將該對象選中,原有選中的對象自動去選。如果按下選擇按鈕,單擊鼠標(biāo)左鍵也能完成這一功能。 (2)拉(Drag Selection):按下鼠標(biāo)右鍵不放,然后拖動鼠標(biāo)定義出矩形范圍,則矩形范圍的內(nèi),2021/2/8,的對象將會被選中。如果按下選擇按鈕,用鼠標(biāo)左鍵也能完成這一功能。 (3)加(Extend Selection):將選擇的對象加到一組已選擇對象中,這時需要按住Shift鍵,單擊鼠標(biāo)右鍵。 (4)循環(huán)(Cycle Selection);當(dāng)某個區(qū)域中的對象太多太靠近不容易區(qū)別所選的為何(非唯一選取),持續(xù)按著鼠標(biāo)的選擇鍵,L-Edit會按著某個次序來進(jìn)行對象
39、選擇,并且成一個循環(huán),也就是持續(xù)按著鼠標(biāo)的選擇健,L-Edit會一個一個地選擇鄰近的對象,并且一個一個地棄選選過的對象,當(dāng)已經(jīng)選擇到最后一個對象時,下一次的選擇就回到第一次選擇的對象上。L-Edit排序的方法是:光標(biāo)在對象內(nèi)的優(yōu)先,較靠近對象的優(yōu)先權(quán)較高,然后才是光標(biāo)在對象外并且靠近對象較近的較優(yōu)先,2021/2/8,2. 隱選 在沒有對象被選擇的情況下,可以按下MOVE-EDIT鍵(鼠標(biāo)中鍵)對光標(biāo)附近的對象進(jìn)行移動、編輯、復(fù)制操作。在對象進(jìn)行移動之后,該對象就自動棄選了,2021/2/8,3. 圖層選擇 執(zhí)行Draw/Pick Layer子命令或熱鍵A把當(dāng)前圖層轉(zhuǎn)換到選中的對象所在的圖層。
40、如果沒有選中的對象,當(dāng)前圖層將轉(zhuǎn)換到離鼠標(biāo)指針最近的對象所在的層。 4. 去選 要從選擇的對象組中移除某些對象,使用Alt加上棄選功能鍵(Alt+鼠標(biāo)右健),若是選擇不到對象(選擇點(diǎn)的附近沒有對象存在),就會自動將所有的對象棄選,要選擇或是棄選所有的對象,可以通過Edit/Select All(Ctrl+A)或是Edit/Deselect All(Alt+A)命令實(shí)現(xiàn),2021/2/8,3.5.2 對象的圖形編輯和文本編輯,對象的編輯有兩種方式:一個是文本編輯,另一種是圖形編輯。文本編輯事先要先選定編輯的對象是,再執(zhí)行Edit/Edit Object(s)子命令打開對話窗口,依對話窗口填入更改
41、的數(shù)據(jù)。圖形編輯是聯(lián)合鼠標(biāo)鍵和鍵來完成的,2021/2/8,1. 圖形編輯 在圖形編輯中,可以改變對象的大小和形狀;進(jìn)行擴(kuò)展編輯;在多邊形和連線中添加頂點(diǎn);以及對對象進(jìn)行切割、合并和掏空等操作。 (1)改變對象的大小和形狀 對長方形、端口和多邊形是通過移動頂點(diǎn)或邊來改變對象的大小和形狀。圓的大小可以改變半徑來實(shí)現(xiàn)。至于連線,只可以調(diào)整它的頂點(diǎn)與長度。線寬須用文本編輯改變。 在進(jìn)行圖形編輯之前,先要選中對象。當(dāng)鼠標(biāo)指針離對象的邊或頂點(diǎn)的距離等于或小于編輯范圍時,按下MOVE-EDIT鍵(鼠標(biāo)中鍵),拖動鼠標(biāo),將移動對象的邊或頂點(diǎn)。如鼠標(biāo)指針離對象的邊或頂點(diǎn)的距離大于編輯距離時,執(zhí)行的將是移動操作
42、。一次只能編輯一個對象,如有兩個以上的對象被選中,只執(zhí)行移動操作。 編輯范圍在設(shè)計(jì)參數(shù)對話框中設(shè)置,2021/2/8,2)擴(kuò)展 由選擇對象的邊界,可以一次對多個方形、多邊形、線、與端口更改大小與形狀。首先使用Select Edges(Ctrl +鼠標(biāo)左健)按健選擇對象邊界,再加選另外的邊界對象(使用Shift+ Ctrl +左鍵),剔除已經(jīng)選擇的邊界對象(使用Alt+ Ctrl+ 左鍵)。選定所要更改的邊界對象后,按下鼠標(biāo)的MOVE-EDIT鍵,拖曳到所要更改的地方,不過這樣的只能往同一個方向更改,2021/2/8,3)添加頂點(diǎn) 把鼠標(biāo)指針放在任意角多邊形的邊上,按下Ctrl和MOVE-EDI
43、T鍵,拖動鼠標(biāo),鼠標(biāo)指針?biāo)谶吷系狞c(diǎn)將變?yōu)橐粋€新的頂點(diǎn),并隨鼠標(biāo)指針移動。 (4)添加連線線段 選中連線后,執(zhí)行Draw/Add Wire Section子命令,進(jìn)入Add Section模式。這時只要點(diǎn)擊連線部分,連線上就會插入一段在相同圖層的連線線段,2021/2/8,5)切割 L-Edit允許對選擇的對象切成分開的對象,切割的方向包括水平與垂直兩種,其命令為Draw/Slice/Horizontal與Draw/Slice/Vertical。在執(zhí)行切割命令之后,在繪圖工作區(qū)中會出現(xiàn)水平或是垂直線(依剪切的命令)以標(biāo)示所要剪切的位置,選定之后,該對象即一切為二。圓和標(biāo)尺不能被切割。 (6)合
44、并 執(zhí)行Draw/Merge命令可以將多個被選中的、互相重疊的、在同一圖層的長方形、45與90的多邊形、45與90的連線合并成一個對象。如果這些己選擇的對象沒有交集,合并的命令就失效。如果選擇的對象包含了不同圖層,合并的動作只會針對相同圖層有作用,也就是會依照各種圖層進(jìn)行合并操作,2021/2/8,7)掏空 掏空是在已繪制的集合對象中切去一部分。這個操作不能用在圓形、端口、任意角度的多邊形、任意角度的線。 首先,先選中要掏空的對象,然后執(zhí)行Draw/Nibble子命令或單擊按鈕,再選擇繪圖工具按鈕繪制要掏空的圖形。完成操作后所繪圖形的區(qū)域被掏空。 2. 文本編輯 文本編輯時,先選中要編輯的對象
45、,執(zhí)行Edit/Edit Object(s)子命令啟動編輯對象對話框,在對話框中修改相應(yīng)的參數(shù),2021/2/8,3.5.3 對象的移動 對象的移動可以分為:圖形移動、遞增移動、數(shù)字移動與更改方向移動。這些移動可以是一個對象,也可以是一群對象的移動。 (1)圖形移動 先選擇所要移動的對象,使用鼠標(biāo)的中間鍵(Move-Edit)即可拖曳對象到新的位置,如果已經(jīng)有對象在選擇的狀態(tài)下,則該對象就可以被移動;若是尚未有對象在選擇的狀態(tài)下,則鼠標(biāo)附近的對象(隱選的方式)會被移動。 (2)遞增移動 使用表3.2中四個命令可以對己選擇的對象進(jìn)行搬移,所移動的量是在Setup/Design子命令設(shè)計(jì)參數(shù)對話框
46、中的Nudge amount填充框中設(shè)置,2021/2/8,表3.2 遞增移動命令熱鍵表,2021/2/8,3)數(shù)字移動 執(zhí)行Draw/Move By子命令會出現(xiàn)MoveBy對話框,在對話框中填入X和Y軸方向的移動量,單擊OK按鈕即可。 (4)更改方向 L-Edit提供三種更改方向的命令:旋轉(zhuǎn)(Draw/Rotate)、水平映像(Draw/Flip/Horizontal)、與垂直映像(Draw/Flip/Vertical)。這些對象方向的改變都是以對象幾何中心為轉(zhuǎn)軸,即使是多數(shù)個對象也是如此,2021/2/8,3.6 視圖的操作,每個窗口顯示一個單元版圖的一部分。顯示在窗口中的版圖的子集稱為視
47、圖??梢杂闷揭疲≒anning)當(dāng)前窗口的方法來顯示版圖中不同區(qū)域的視圖,也可以用縮放(Zooming)使在窗口中顯示版圖的較大或較小區(qū)域的視圖。在版圖繪制中,移動和編輯的任何 階段都可以做平移和縮放操作。 1. 窗口的平移 平移的命令共有9種,如表3.3所示,平移只移動窗口,而版圖是不動的。當(dāng)窗口向一個方向移動,視圖中的對象將向相反的方向移動,2021/2/8,2021/2/8,2. 窗口的縮放L-Edit提供4種縮放的功能,可以借著放大縮小的功能來改變視圖。其功能如表3.4所示,2021/2/8,畫版圖的步驟,1. 進(jìn)入L-Edit 2. 建立新文件 3. 環(huán)境設(shè)定 4. 編輯元件 5.
48、繪制多種圖層形狀 6.設(shè)計(jì)規(guī)則檢查(DRC) 7. 修改對象 8.設(shè)計(jì)規(guī)則檢查(DRC) 9.版圖提取,2021/2/8,用L-Edit畫PMOS版圖的步驟,1)打開L-Edit程序:L-Edit會自動將工作文件命名為Layout1.tdb并顯示在窗口的標(biāo)題欄上,如圖3.35所示。 (2)另存為新文件:選擇執(zhí)行File/Save As子命令,打開“另存為”對話框,在“保存在”下拉列表框中選擇存貯目錄,在“文件名”文本框中輸入新文件名稱,如Ex1,圖3.35 L-Edit 的標(biāo)題欄,2021/2/8,3)替換設(shè)置信息:用于將已有的設(shè)計(jì)文件的設(shè)定(如格點(diǎn)、圖層等) 應(yīng)用于當(dāng)前的文件中。選擇執(zhí)行Fi
49、le/Replace Setup子命令打開對話框,單擊“From File”欄填充框的右側(cè)的Browser按鈕,選擇X: TannerLedit100SamplesSPRexample1lights.tdb文件,如圖3.36所示,單擊OK就將lights.tdb文件中的格點(diǎn)、圖層等設(shè)定應(yīng)用在當(dāng)前文件中,2021/2/8,圖3.36 替換設(shè)置信息對話框,2021/2/8,圖3.36 替換設(shè)置信息對話框 (4)編輯單元:L-Edit編輯方式是以單元(Cell)為單位而不是以文件(File)為單位的,每一個文件可有多個Cell,而每一個Cell可表示一種電路的版圖或說明,每次打開新文件時自動打開一個
50、Cell并將之命名為Cell0,如圖3.37所示,其中編輯窗口中的十字為坐標(biāo)原點(diǎn)。 (5)設(shè)計(jì)環(huán)境設(shè)置:繪制版圖時必須要有確定的大小,因此在繪圖前首先要確定或設(shè)定坐標(biāo)與實(shí)際長度的關(guān)系。選擇執(zhí)行Setup/Design子命令,彈出Setup Design對話框,在Technology標(biāo)簽頁中可設(shè)置工藝的名稱、單位等,本例以Lambda為單位,而Lambda與內(nèi)部單位(Internal Unit)的關(guān)系可在Technology setup選項(xiàng)中進(jìn)行設(shè)置,如圖3.38所示,設(shè)定1個Lambda為1000個Internal Unit,即設(shè)定1個Lambda等于1個Micron,2021/2/8,圖3.
51、37 編輯單元Cell0,2021/2/8,圖3.38 工藝設(shè)定,2021/2/8,Grid標(biāo)簽頁用于顯示柵格、鼠標(biāo)柵格和定位柵格的設(shè)置,如圖3.39所示。在“Grid display”欄內(nèi)設(shè)定1個顯示柵格點(diǎn)(Displayed grid)等于1個坐標(biāo)單位(Locator unit),在“Suppress grid less than”框中設(shè)置8,表示當(dāng)柵格小于8個像素時不顯示;在“Mouse grid”欄中,設(shè)定鼠標(biāo)光標(biāo)顯示(Cursor type)為Smooth類型,在“Mouse snap grid”框中設(shè)定鼠標(biāo)鎖定的柵格為0.5個坐標(biāo)單位;在“Locator unit”欄中設(shè)定1個坐標(biāo)
52、為1000個內(nèi)部單位。 設(shè)定結(jié)果為1個柵格的距離等于1個坐標(biāo)單位也等于1個Micron,2021/2/8,圖3.39 柵格的設(shè)定,2021/2/8,6)圖層的設(shè)置:在Layers面板的下拉列表中選取圖層。PMOS版圖需要用到N Well、Active、N Select、P select、Ploy、Matal1、Matal2、Active Contact、Via等圖層。圖3.40 設(shè)置設(shè)計(jì)規(guī)則對話框 (7)繪制N Well:在P型襯底上制作PMOS管,首先要制作N Well。而N Well的最小寬度必須滿足所選工藝規(guī)則。本例使用由軟件提供的MOSIS/ORBIT 2.0U設(shè)計(jì)規(guī)則。查看N Wel
53、l繪制要遵守的設(shè)計(jì)規(guī)則可選擇Tools/DRC命令,打開Design Rule Check對話框,單擊其中Setup按鈕會出現(xiàn)Setup Design Rule對話框(或單擊圖標(biāo)),再從其中的Rules list列表框選擇1.1 Well,2021/2/8,圖3.40 設(shè)置設(shè)計(jì)規(guī)則對話框,2021/2/8,Minimum Width選項(xiàng),可知N Well的最小寬度有10個Lambda的要求,如圖3.40所示。 圖6 N Well設(shè)計(jì)規(guī)則 在Layers面板的下拉列表中選取N Well選項(xiàng),再從Drawing工具欄中選擇按鈕,在Cell0編輯窗口畫出橫向24格縱向15格的方形即為N Well,如
54、圖3.41所示,2021/2/8,圖3.41 繪制N Well,2021/2/8,8)截面觀察:L-Edit具有截面觀察功能,可以觀察該版圖設(shè)計(jì)流片后的斷面情況。選擇Tools/Cross-Section子命令(或單擊按鈕),打開Generate Cross-Section對話框,如圖3.42所示,圖3.42 截面產(chǎn)生設(shè)置,2021/2/8,單擊對話框中的Brower按鈕,在彈出的對話框中選擇C:TannerLEdit83amplesSPR example1lights.xst文件,再單擊Pick按鈕在編輯畫面中選擇要觀察的位置,然后單擊OK按鈕,結(jié)果如圖3.43所示。單擊截面圖中的關(guān)閉按鈕可
55、取消截面狀態(tài),恢復(fù)到畫圖狀態(tài)。狀態(tài)欄中的Well,2021/2/8,圖3.43 N Well截面圖,2021/2/8,X指N Well的意思,截面圖中N Well寬度與版圖中的N Well的寬度是一致的。圖3.44 Active設(shè)計(jì)規(guī)則 (9)繪制Active圖層:首先要了解設(shè)計(jì)規(guī)則對有源區(qū)的要求。選擇Tools/DRC命令,打開Design Rule Check對話框,單擊其中Setup按鈕會出現(xiàn)Setup Design Rule對話框(或單擊圖標(biāo)),再從其中的Rules list列表框選擇2.1 Active Minimum Width選項(xiàng),可知Active的最小寬度有3個Lambda的要
56、求,如圖3.44所示,2021/2/8,圖3.44 Active設(shè)計(jì)規(guī)則,2021/2/8,在Layers面板的下拉列表中選取Active選項(xiàng),再從Drawing工具欄中選擇按鈕,在Cell0編輯窗口的N Well中畫出橫向14格縱向5格的方形Active區(qū),如圖3.45所示,2021/2/8,圖3.45 繪制Active區(qū),2021/2/8,10)Active區(qū)截面觀察:選擇Tools/Cross-Section命令(或單擊按鈕),打開Generate Cross-Section對話框,單擊Pick按鈕,再在編輯畫面中選擇要觀察的位置,然后單擊OK按鈕,結(jié)果如圖3.46所示,2021/2/8
57、,圖3.46 Active截面圖,2021/2/8,11)設(shè)計(jì)規(guī)則檢查:選擇Tools/DRC命令,打開Design Rule Check對話框,選中Write errors to files復(fù)選框?qū)㈠e誤項(xiàng)目記錄到Cell0.drc文件或自行取文件名,若單擊“確定”按鈕,則進(jìn)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢查,結(jié)果如圖3.47所示。發(fā)現(xiàn)一個錯誤,單擊“確定”按鈕后,可執(zhí)行Tools/Clear Error Layer命令(或單擊按鈕)清除錯誤符號,2021/2/8,圖3.47 設(shè)計(jì)規(guī)則檢查,2021/2/8,執(zhí)行File/Open命令打開錯誤記錄文件Cell0.drc,其內(nèi)容如圖3.48所示,有一個錯誤,版圖設(shè)計(jì)
58、違反了設(shè)計(jì)規(guī)則4.6,并標(biāo)出發(fā)生錯誤的坐標(biāo)范圍,2021/2/8,圖3.48 設(shè)計(jì)規(guī)則檢查結(jié)果,2021/2/8,選擇執(zhí)行Tools/DRC命令,打開Design Rule Check對話框,單擊其中Setup按鈕會出現(xiàn)Setup Design Rule對話框(或單擊圖標(biāo)),再從其中的Rules list列表框選擇4.6 Not Existing選項(xiàng),可知觀察該設(shè)計(jì)規(guī)則的規(guī)定,如圖3.49所示,2021/2/8,圖3.49 設(shè)計(jì)規(guī)則,2021/2/8,4.6的規(guī)則說明Not Selected Active層不能存在,Not Selected Active層的定義可以選擇Setup/Layers
59、命令觀察其定義,如圖3.50所示。4.6規(guī)則是指Active圖層必須要與P Select圖層或N Select重疊,而不能單獨(dú)存在,否則設(shè)計(jì)規(guī)則檢查會出錯,2021/2/8,圖3.50 Not Selected Active層的定義,2021/2/8,12)繪制P Select圖層:在PMOS中有源區(qū)是P型雜質(zhì),P Select層是要定義P型雜質(zhì)的范圍,在工藝中要設(shè)計(jì)光刻掩膜板以限定P型雜質(zhì)的區(qū)域。但要注意P Select區(qū)域要包住Active區(qū),否則設(shè)計(jì)規(guī)則檢查會有錯誤。在MSOIS/ORBIT 2.0U設(shè)計(jì)規(guī)則中,規(guī)則4.2b/2.5規(guī)定了有源區(qū)的邊界與P Select的邊界至少要有2個L
60、ambda的距離,這是包圍(Surround)規(guī)則,如圖3.51所示,2021/2/8,圖3.51 P Select設(shè)計(jì)規(guī)則,2021/2/8,選取Layers面板中下拉列表中的P Select選項(xiàng),在N Well中繪制橫向18格,縱向9格的P Select區(qū),如圖3.52所示。圖中標(biāo)出了4.2b中環(huán)繞規(guī)則所規(guī)定的區(qū)域,2021/2/8,圖3.52 繪制P Select結(jié)果,2021/2/8,有源區(qū)(Active)與P選區(qū)(P Select)的交疊處稱為pdiff區(qū)。pdiff與N Well也要服從環(huán)繞規(guī)則,設(shè)計(jì)規(guī)則2.3a Source/Drain Active to Well Edge規(guī)定
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