線路板蝕刻液再生利用項(xiàng)目調(diào)查報(bào)告

1、線路板氯化銅蝕刻廢液現(xiàn)場(chǎng)再生利用項(xiàng)目調(diào)查評(píng)估報(bào)告編制單位：*市環(huán)境工程咨詢服務(wù)中心2007年03月12日責(zé) 任 表項(xiàng)目名稱(chēng)：線路板氯化銅蝕刻廢液現(xiàn)場(chǎng)再生利用項(xiàng)目調(diào)查評(píng)估報(bào)告委托單位：*處理站*環(huán)保股份有限公司承擔(dān)單位：*市環(huán)境工程咨詢服務(wù)中心法人代表：* 注冊(cè)咨詢工程師項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：* 注冊(cè)咨詢工程師參加人員：姓名咨詢工程師注冊(cè)號(hào)環(huán)評(píng)上崗證號(hào)分工簽字*咨詢2400*環(huán)評(píng)B28*項(xiàng)目設(shè)計(jì)報(bào)告執(zhí)筆*環(huán)評(píng)B28*風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)*咨詢2400*環(huán)評(píng)B28* 審定目 錄一、任務(wù)由來(lái)線路板被稱(chēng)為電子產(chǎn)品母板，所有的IC、集成電路、電阻、電容的組裝均離不開(kāi)線路板，是為信息產(chǎn)業(yè)服務(wù)的必不可少的上游供應(yīng)鏈，由于深圳市政

2、府高度重視通訊、信息、數(shù)碼產(chǎn)業(yè)發(fā)展，在信息產(chǎn)業(yè)得到高速發(fā)展的同時(shí)，作為基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的線路板行業(yè)也得到長(zhǎng)足發(fā)展。深圳市目前已成為我國(guó)最重要的線路板生產(chǎn)基地之一，現(xiàn)有線路板生產(chǎn)企業(yè)約450家，年總產(chǎn)值達(dá)199.9億元，占全國(guó)PCB總產(chǎn)值850億元的23.5%，從業(yè)人員總數(shù)超過(guò)20萬(wàn)人。目前線路板生產(chǎn)企業(yè)所采用的線路板覆銅板蝕刻工藝，主要有“鹽酸+氧化劑蝕刻”和“氨水+氯化銨蝕刻”兩種。前一種生產(chǎn)工藝所產(chǎn)生的蝕刻廢液主要含氯化銅和鹽酸，呈強(qiáng)酸性，稱(chēng)為酸性氯化銅蝕刻廢液；后一種生產(chǎn)工藝所產(chǎn)生的蝕刻廢液主要含氯化銅氨絡(luò)合物和氯化銨，廢液呈偏堿性，稱(chēng)為堿性氯化銅蝕刻廢液。兩種廢液中銅含量約為5%15%，均屬危

3、險(xiǎn)廢物，潛在價(jià)值均很高。對(duì)于蝕刻廢液的處理，線路板行業(yè)一貫延續(xù)的處理方式是將廢液交由具有危險(xiǎn)廢物處理資質(zhì)的專(zhuān)業(yè)公司資源化綜合利用，主要是以其為原料生產(chǎn)硫酸銅產(chǎn)品，對(duì)于線路板生產(chǎn)企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益相對(duì)較低。*處理站為我國(guó)含銅蝕刻廢液綜合利用技術(shù)研究的先行者，歷經(jīng)10年研究開(kāi)發(fā)成功并首先在該站應(yīng)用，還經(jīng)過(guò)多次技術(shù)改造日趨成熟完備，取得了非常良好的經(jīng)濟(jì)效益和環(huán)境、社會(huì)效益，為保障深圳經(jīng)濟(jì)與環(huán)境的協(xié)調(diào)持續(xù)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。該技術(shù)的基本原理是將印制線路板堿性蝕刻廢液與酸性氯化銅蝕刻廢液進(jìn)行中和沉淀，生成的堿式氯化銅沉淀用于生產(chǎn)工業(yè)級(jí)硫酸銅；沉淀壓濾母液用于生產(chǎn)堿性蝕刻液；其余廢水經(jīng)金屬鋁屑置換去除銅離子，進(jìn)行蒸發(fā)

4、濃縮生產(chǎn)混合銨鹽。另將三氯化鐵蝕刻廢液投鐵提銅后通入氯氣并蒸發(fā)濃縮，生成三氯化鐵回用于線路板蝕刻。目前己開(kāi)發(fā)出硫酸銅、堿式碳酸銅、飼料級(jí)堿式氯化銅、氫氧化銅等多種銅鹽產(chǎn)品。*處理站的“綜合利用電子線路板行業(yè)含銅蝕刻廢液生產(chǎn)工業(yè)級(jí)硫酸銅”列入國(guó)家科技成果重點(diǎn)推廣計(jì)劃，獲國(guó)家環(huán)?？偩挚萍歼M(jìn)步二等獎(jiǎng)；“印制線路板行業(yè)氨蝕板廢液經(jīng)酸性氯化銅蝕板廢液中和沉淀后的再生利用”獲廣東省最佳實(shí)用技術(shù)、深圳市科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)。隨著線路板行業(yè)清潔生產(chǎn)的推廣，目前部分線路板企業(yè)采取蝕刻液萃取電積（ET-SX-EW）再生閉路循環(huán)工藝，該工藝處理失效蝕刻液時(shí)，可隨意調(diào)節(jié)，在被萃取液中能萃取一定量的銅或全部萃取銅，萃取出來(lái)的

5、銅，可以用電解法生產(chǎn)紫銅板或用生產(chǎn)硫酸銅；部分線路板企業(yè)采用長(zhǎng)沙綠銥環(huán)保科技有限公司的蝕刻液再生機(jī)回收銅，對(duì)失效蝕刻液再生處理，循環(huán)使用。鑒于印制線路板生產(chǎn)廠家自行回收利用蝕刻液將對(duì)我市實(shí)行的危險(xiǎn)廢物集中處理模式構(gòu)成一定的沖擊，對(duì)危險(xiǎn)廢物集中處理處置單位的經(jīng)營(yíng)造成一定的影響，受*處理站、*環(huán)保股份有限公司的委托，*環(huán)境工程咨詢服務(wù)中心承擔(dān)對(duì)相關(guān)廠家采用的氯化銅蝕刻廢液現(xiàn)場(chǎng)再生利用項(xiàng)目的現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查任務(wù)，并通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查所取得的技術(shù)資料和管理現(xiàn)狀，向*處理站、*環(huán)保股份有限公司提供氯化銅蝕刻廢液現(xiàn)場(chǎng)再生利用項(xiàng)目調(diào)查評(píng)估報(bào)告。二、企業(yè)自主回收利用蝕刻液的合法性分析1、中華人民共和國(guó)固體廢物污染環(huán)境防治法

6、的相關(guān)規(guī)定修訂后的中華人民共和國(guó)固體廢物污染環(huán)境防治法自2005年4月1日起施行，該法律中的部分條款簡(jiǎn)單摘要說(shuō)明如下：第三條 國(guó)家對(duì)固體廢物污染環(huán)境的防治，實(shí)行減少固體廢物的產(chǎn)生量和危害性、充分合理利用固體廢物和無(wú)害化處置固體廢物的原則，促進(jìn)清潔生產(chǎn)和循環(huán)經(jīng)濟(jì)發(fā)展。 第五條 國(guó)家對(duì)固體廢物污染環(huán)境防治實(shí)行污染者依法負(fù)責(zé)的原則。第三十二條 國(guó)家實(shí)行工業(yè)固體廢物申報(bào)登記制度。產(chǎn)生工業(yè)固體廢物的單位必須按照國(guó)務(wù)院環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)的規(guī)定，向所在地縣級(jí)以上地方人民政府環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)提供工業(yè)固體廢物的種類(lèi)、產(chǎn)生量、流向、貯存、處置等有關(guān)資料。第三十三條 企業(yè)事業(yè)單位應(yīng)當(dāng)根據(jù)經(jīng)濟(jì)、技術(shù)條件對(duì)其產(chǎn)生

7、的工業(yè)固體廢物加以利用；對(duì)暫時(shí)不利用或者不能利用的，必須按照國(guó)務(wù)院環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)的規(guī)定建設(shè)貯存設(shè)施、場(chǎng)所，安全分類(lèi)存放，或者采取無(wú)害化處置措施。第五十三條 產(chǎn)生危險(xiǎn)廢物的單位，必須按照國(guó)家有關(guān)規(guī)定制定危險(xiǎn)廢物管理計(jì)劃，并向所在地縣級(jí)以上地方人民政府環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)申報(bào)危險(xiǎn)廢物的種類(lèi)、產(chǎn)生量、流向、貯存、處置等有關(guān)資料。第五十五條 產(chǎn)生危險(xiǎn)廢物的單位，必須按照國(guó)家有關(guān)規(guī)定處置危險(xiǎn)廢物，不得擅自傾倒、堆放；不處置的，由所在地縣級(jí)以上地方人民政府環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)責(zé)令限期改正；逾期不處置或者處置不符合國(guó)家有關(guān)規(guī)定的，由所在地縣級(jí)以上地方人民政府環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)指定單位按照國(guó)家有關(guān)規(guī)定

8、代為處置，處置費(fèi)用由產(chǎn)生危險(xiǎn)廢物的單位承擔(dān)。禁止無(wú)經(jīng)營(yíng)許可證或者不按照經(jīng)營(yíng)許可證規(guī)定從事危險(xiǎn)廢物收集、貯存、利用、處置的經(jīng)營(yíng)活動(dòng)。 禁止將危險(xiǎn)廢物提供或者委托給無(wú)經(jīng)營(yíng)許可證的單位從事收集、貯存、利用、處置的經(jīng)營(yíng)活動(dòng)。以上條款說(shuō)明，產(chǎn)生危險(xiǎn)廢物的單位，必須按照國(guó)家有關(guān)規(guī)定處置危險(xiǎn)廢物，并向所在地縣級(jí)以上地方人民政府環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)申報(bào)危險(xiǎn)廢物的種類(lèi)、產(chǎn)生量、流向、貯存、處置等有關(guān)資料，并應(yīng)當(dāng)根據(jù)經(jīng)濟(jì)、技術(shù)條件對(duì)其產(chǎn)生的工業(yè)固體廢物加以利用。2、中華人民共和國(guó)清潔生產(chǎn)促進(jìn)法的相關(guān)規(guī)定2002年6月29日通過(guò)2003年1月1日起施行的中華人民共和國(guó)清潔生產(chǎn)促進(jìn)法第二十六條規(guī)定“企業(yè)應(yīng)當(dāng)在經(jīng)濟(jì)技術(shù)

9、可行的條件下對(duì)生產(chǎn)和服務(wù)過(guò)程中產(chǎn)生的廢物、余熱等自行回收利用或者轉(zhuǎn)讓給有條件的其他企業(yè)和個(gè)人”。中華人民共和國(guó)清潔生產(chǎn)促進(jìn)法鼓勵(lì)企業(yè)在經(jīng)濟(jì)技術(shù)可行的條件下對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢物自行回收利用或者轉(zhuǎn)讓給有條件的其他企業(yè)和個(gè)人。中華人民共和國(guó)清潔生產(chǎn)促進(jìn)法見(jiàn)附件1。3、國(guó)務(wù)院關(guān)于加快發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟(jì)的若干意見(jiàn)國(guó)發(fā)200522號(hào)的相關(guān)內(nèi)容國(guó)務(wù)院關(guān)于加快發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟(jì)的若干意見(jiàn)中明確的“發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟(jì)的重點(diǎn)工作和重點(diǎn)環(huán)節(jié)”分別是：l 重點(diǎn)工作。一是大力推進(jìn)節(jié)約降耗，在生產(chǎn)、建設(shè)、流通和消費(fèi)各領(lǐng)域節(jié)約資源，減少自然資源的消耗。二是全面推行清潔生產(chǎn)，從源頭減少?gòu)U物的產(chǎn)生，實(shí)現(xiàn)由末端治理向污染預(yù)防和生產(chǎn)全過(guò)程控制轉(zhuǎn)變

10、。三是大力開(kāi)展資源綜合利用，最大程度實(shí)現(xiàn)廢物資源化和再生資源回收利用。四是大力發(fā)展環(huán)保產(chǎn)業(yè)，注重開(kāi)發(fā)減量化、再利用和資源化技術(shù)與裝備，為資源高效利用、循環(huán)利用和減少?gòu)U物排放提供技術(shù)保障。l 重點(diǎn)環(huán)節(jié)。一是資源開(kāi)采環(huán)節(jié)要統(tǒng)籌規(guī)劃礦產(chǎn)資源開(kāi)發(fā)，推廣先進(jìn)適用的開(kāi)采技術(shù)、工藝和設(shè)備，提高采礦回采率、選礦和冶煉回收率，大力推進(jìn)尾礦、廢石綜合利用，大力提高資源綜合回收利用率。二是資源消耗環(huán)節(jié)要加強(qiáng)對(duì)冶金、有色、電力、煤炭、石化、化工、建材（筑）、輕工、紡織、農(nóng)業(yè)等重點(diǎn)行業(yè)能源、原材料、水等資源消耗管理，努力降低消耗，提高資源利用率。三是廢物產(chǎn)生環(huán)節(jié)要強(qiáng)化污染預(yù)防和全過(guò)程控制，推動(dòng)不同行業(yè)合理延長(zhǎng)產(chǎn)業(yè)鏈，加

11、強(qiáng)對(duì)各類(lèi)廢物的循環(huán)利用，推進(jìn)企業(yè)廢物“零排放”；加快再生水利用設(shè)施建設(shè)以及城市垃圾、污泥減量化和資源化利用，降低廢物最終處置量。四是再生資源產(chǎn)生環(huán)節(jié)要大力回收和循環(huán)利用各種廢舊資源，支持廢舊機(jī)電產(chǎn)品再制造；建立垃圾分類(lèi)收集和分選系統(tǒng)，不斷完善再生資源回收利用體系。五是消費(fèi)環(huán)節(jié)要大力倡導(dǎo)有利于節(jié)約資源和保護(hù)環(huán)境的消費(fèi)方式，鼓勵(lì)使用能效標(biāo)識(shí)產(chǎn)品、節(jié)能節(jié)水認(rèn)證產(chǎn)品和環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品、綠色標(biāo)志食品和有機(jī)標(biāo)志食品，減少過(guò)度包裝和一次性用品的使用。政府機(jī)構(gòu)要實(shí)行綠色采購(gòu)。國(guó)務(wù)院關(guān)于加快發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟(jì)的若干意見(jiàn)將廢物資源化、各類(lèi)廢物的循環(huán)利用，推進(jìn)企業(yè)廢物“零排放”作為發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟(jì)的重點(diǎn)工作和重點(diǎn)環(huán)節(jié)。國(guó)務(wù)院關(guān)于

12、加快發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟(jì)的若干意見(jiàn)見(jiàn)附件2。4環(huán)函2005203號(hào)的相關(guān)解釋說(shuō)明關(guān)于企業(yè)回收利用自身產(chǎn)生的危險(xiǎn)廢物是否屬于危險(xiǎn)廢物經(jīng)營(yíng)活動(dòng)的問(wèn)題，國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局2005年05月31日函復(fù)吉林省環(huán)境保護(hù)局的環(huán)函2005203號(hào)關(guān)于企業(yè)回收利用自身產(chǎn)生的危險(xiǎn)廢物是否屬于危險(xiǎn)廢物經(jīng)營(yíng)活動(dòng)的復(fù)函明確，回收利用企業(yè)內(nèi)部產(chǎn)生的危險(xiǎn)廢物，不屬于利用危險(xiǎn)廢物的經(jīng)營(yíng)活動(dòng)。因此，對(duì)于回收利用內(nèi)部產(chǎn)生的危險(xiǎn)廢物的企業(yè)，不要求領(lǐng)取危險(xiǎn)廢物經(jīng)營(yíng)許可證,但必須遵照危險(xiǎn)廢物申報(bào)登記、轉(zhuǎn)移聯(lián)單制度，將危險(xiǎn)廢物的產(chǎn)生、轉(zhuǎn)移、利用及處置情況向環(huán)保主管部門(mén)進(jìn)行申報(bào)和登記，并保證危險(xiǎn)廢物回收利用符合相應(yīng)的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，得到妥善無(wú)害化處置。國(guó)家

13、環(huán)境保護(hù)總局環(huán)函2005203號(hào)詳見(jiàn)附件3。5、相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策為適應(yīng)高新技術(shù)及產(chǎn)品快速發(fā)展的需要，在中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)品目錄2000的基礎(chǔ)上，科技部、財(cái)政部、國(guó)家稅務(wù)總局共同組織開(kāi)展了中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)品目錄的修訂工作。經(jīng)過(guò)公開(kāi)征集、專(zhuān)家評(píng)審，并對(duì)照國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020年）中的重點(diǎn)領(lǐng)域、優(yōu)先主題和前沿技術(shù)等，形成了中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)品目錄2006，2006年9月8日科技部、財(cái)政部、國(guó)家稅務(wù)總局以國(guó)科發(fā)計(jì)字2006370號(hào)予以正式發(fā)布。蝕刻液資源回收裝置被列入中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)品目錄2006中，產(chǎn)品編碼為，屬于環(huán)境保護(hù)領(lǐng)域，產(chǎn)品界定條件包括蝕刻廢液處理量2500l/d、洗板廢水處理

14、量1000l/d、金屬銅回收350kg/d、銅回收率99%、蝕刻液封閉循環(huán)，用于電子工業(yè)廢液的回收和再生，產(chǎn)品等級(jí)分類(lèi)屬于*，技術(shù)水平屬于最高檔。中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)品目錄2006詳見(jiàn)附件4。6、相關(guān)技術(shù)政策國(guó)家環(huán)保最佳實(shí)用技術(shù)評(píng)選和推廣工作從1992年開(kāi)始開(kāi)展，目前該項(xiàng)工作由中國(guó)環(huán)境保護(hù)產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)負(fù)責(zé)，一九九九年六月二十一日國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局第4號(hào)令發(fā)布施行了國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)推廣管理辦法，該辦法規(guī)定“國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)是指在一定時(shí)期內(nèi)同國(guó)家經(jīng)濟(jì)發(fā)展水平相適應(yīng)的、先進(jìn)實(shí)用的污染防治技術(shù)、資源綜合利用技術(shù)、生態(tài)保護(hù)技和清潔生產(chǎn)技術(shù)。國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局負(fù)責(zé)國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)推廣工作的統(tǒng)籌規(guī)

15、劃、組織協(xié)調(diào)和監(jiān)督管理?！?，同時(shí)該辦法第十條要求“各級(jí)環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)在環(huán)境影響評(píng)價(jià)、建設(shè)項(xiàng)目“三同時(shí)”、污染源及重點(diǎn)流域限期治理、城市環(huán)境綜合整治定量考核、生態(tài)保護(hù)等環(huán)境管理中，應(yīng)鼓勵(lì)優(yōu)先選用國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)?！?、第十一條要求“各級(jí)環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)應(yīng)設(shè)立國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)推廣專(zhuān)項(xiàng)資金，用于支持國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)的推廣?！?、第十二條要求“污染源治理專(zhuān)項(xiàng)基金和環(huán)保補(bǔ)助資金，應(yīng)優(yōu)先用于采用國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)的建設(shè)項(xiàng)目?！眑 長(zhǎng)沙綠銥環(huán)?？萍加邢薰荆洪L(zhǎng)沙綠銥環(huán)?？萍加邢薰鹃_(kāi)發(fā)的“蝕刻液再生循環(huán)新技術(shù)”于二六年獲評(píng)為國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)項(xiàng)目B類(lèi)，項(xiàng)目編號(hào)為20

16、06-B-037，具體情況見(jiàn)附件5。l 深圳拓鑫環(huán)保設(shè)備公司、恩達(dá)電路（深圳）有限公司：中環(huán)協(xié)200710號(hào)關(guān)于發(fā)布二七年國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)推廣項(xiàng)目的通知中將深圳拓鑫環(huán)保設(shè)備公司開(kāi)發(fā)的“印制板蝕刻液再生及銅回收技術(shù)與設(shè)備”列為國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)A類(lèi)，序號(hào)為2007-A-010，具體情況見(jiàn)附件6。7、小結(jié)通過(guò)以上列出的相關(guān)法律法規(guī)的規(guī)定、國(guó)家環(huán)?？偩值慕忉尯蛧?guó)家的技術(shù)產(chǎn)業(yè)政策，可以得出國(guó)家支持企業(yè)回收利用自身產(chǎn)生的廢蝕刻液，對(duì)已獲得國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)推廣項(xiàng)目的技術(shù)，各級(jí)環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)在環(huán)境影響評(píng)價(jià)、建設(shè)項(xiàng)目“三同時(shí)”、污染源及重點(diǎn)流域限期治理、城市環(huán)境綜合整治定量考核、生

17、態(tài)保護(hù)等環(huán)境管理中，應(yīng)鼓勵(lì)優(yōu)先選用，但必須遵照危險(xiǎn)廢物申報(bào)登記、轉(zhuǎn)移聯(lián)單制度，將危險(xiǎn)廢物的產(chǎn)生、轉(zhuǎn)移、利用及處置情況向環(huán)保主管部門(mén)進(jìn)行申報(bào)和登記，并保證危險(xiǎn)廢物回收利用符合相應(yīng)的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，危險(xiǎn)廢物得到妥善無(wú)害化處置。三、調(diào)查對(duì)象的確定及調(diào)查方法3.1、調(diào)查對(duì)象的確定1）調(diào)查對(duì)象選取原則已經(jīng)建成并投入使用的處理裝置和運(yùn)行周期較長(zhǎng)但目前暫停運(yùn)行或拆除的處理裝置作為重點(diǎn)調(diào)查對(duì)象，同時(shí)兼顧目前仍處于調(diào)試階段的處理裝置和正在申請(qǐng)要求安裝處理裝置的線路板生產(chǎn)企業(yè)。2）最終確定的調(diào)查對(duì)象根據(jù)運(yùn)行情況、處理規(guī)模、工藝類(lèi)型和企業(yè)性質(zhì)確定的重點(diǎn)調(diào)查對(duì)象見(jiàn)表1、一般調(diào)查對(duì)象見(jiàn)表2。表1 重點(diǎn)調(diào)查對(duì)象一覽表序號(hào)企業(yè)名

18、稱(chēng)運(yùn)行狀況企業(yè)性質(zhì)廢物經(jīng)營(yíng)單位1恩達(dá)電路（深圳）有限公司運(yùn)行中市管TMMD環(huán)保2深圳市龍崗區(qū)坪山碧嶺生利電子制品廠運(yùn)行中市管TMMD環(huán)保3深圳市龍崗區(qū)布吉世紀(jì)電路板廠運(yùn)行中龍崗區(qū)管TMMD環(huán)保4寶安區(qū)沙井沙頭柏拉圖電子廠運(yùn)行中寶安區(qū)管TMMD環(huán)保5深圳順昌線路板廠運(yùn)行中市管處理站6至卓飛高線路板（深圳）有限公司燒毀停運(yùn)市管處理站7深圳市景旺電子有限公司暫停運(yùn)行市管處理站8深圳市寶安區(qū)民主勤基電路版廠已拆除市管處理站表2 一般調(diào)查對(duì)象一覽表序號(hào)企業(yè)名稱(chēng)運(yùn)行狀況企業(yè)性質(zhì)廢物經(jīng)營(yíng)單位1深圳市博敏興電子有限公司暫停運(yùn)行市管處理站2運(yùn)豐電路版廠暫停運(yùn)行寶安區(qū)管處理站3文明達(dá)電子（深圳）有限公司暫停運(yùn)行寶

19、安區(qū)管TMMD環(huán)保4深圳市華東鑫電子有限公司已拆除市管處理站5沙井卓華電子線路板廠已拆除區(qū)管TMMD環(huán)保3.2、調(diào)查方法l 市管企業(yè)：分兩步進(jìn)行，首先發(fā)放蝕刻液再生回用系統(tǒng)調(diào)查表，調(diào)查表見(jiàn)附件8，待企業(yè)填好調(diào)查表后，現(xiàn)場(chǎng)核實(shí)企業(yè)填報(bào)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，所采取的手段包括現(xiàn)場(chǎng)檢查設(shè)備（包括提升泵、攪拌機(jī)、直流電源）的運(yùn)行情況、調(diào)閱運(yùn)行記錄和詢問(wèn)相關(guān)情況、檢查生產(chǎn)線的配置情況、調(diào)閱原材料采購(gòu)情況、檢查蝕刻機(jī)的配置情況等。l 區(qū)管企業(yè)：因區(qū)管企業(yè)現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查難度較大，故采用電話調(diào)查方式。四、現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查結(jié)果匯總4.1、現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查情況的簡(jiǎn)單說(shuō)明 各廠的蝕刻液回用系統(tǒng)分別見(jiàn)圖1圖11，各廠處理裝置情況簡(jiǎn)單說(shuō)明如下：1）恩

20、達(dá)電路（深圳）有限公司恩達(dá)電路（深圳）有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)高頻特性板，蝕刻工序產(chǎn)生的堿性和酸性蝕刻液全部現(xiàn)場(chǎng)再生回用，堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)2005年03月投入試生產(chǎn)，同年9月穩(wěn)定運(yùn)行；酸性蝕刻液再生回用系統(tǒng)2006年07月投入試生產(chǎn)，同年12月基本實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行，目前正在進(jìn)一步優(yōu)化工藝控制參數(shù)。恩達(dá)電路（深圳）有限公司的堿性和酸性蝕刻液再生回用技術(shù)由深圳拓鑫環(huán)保設(shè)備公司和恩達(dá)電路聯(lián)合研究開(kāi)發(fā)。2）深圳市龍崗區(qū)坪山碧嶺生利電子制品廠深圳市龍崗區(qū)坪山碧嶺生利電子制品廠2005年擴(kuò)建，產(chǎn)品種類(lèi)由單一的單面板擴(kuò)展至單面板、雙面板和多層板（46層），產(chǎn)品產(chǎn)量增加，目前產(chǎn)量尚未達(dá)到設(shè)計(jì)規(guī)模。深圳市龍崗區(qū)坪山碧

21、嶺生利電子制品廠危險(xiǎn)廢物由TMMD環(huán)保負(fù)責(zé)收運(yùn)處理，其蝕刻液再生系統(tǒng)將堿性蝕刻液提銅后蝕刻液調(diào)質(zhì)處理再生使用，設(shè)計(jì)處理能力為處理蝕刻液1200L/d，目前實(shí)際處理量為1000L/d。處理裝置由富源科技發(fā)展公司提供，富源科技發(fā)展公司負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、安裝、調(diào)試和前期運(yùn)行，處理裝置正式投入正常運(yùn)行的時(shí)間是2004年，根據(jù)協(xié)議要求，目前該套裝置已移交給深圳市龍崗區(qū)坪山碧嶺生利電子制品廠自己運(yùn)行。3）深圳市龍崗區(qū)布吉世紀(jì)電路板廠深圳市龍崗區(qū)布吉世紀(jì)電路板廠為龍崗區(qū)所管企業(yè)，其堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)已投入正常運(yùn)行，該系統(tǒng)2005年由深圳市豐河環(huán)境工程技術(shù)有限公司設(shè)計(jì)（引進(jìn)關(guān)鍵技術(shù)），2005年10月2006年3

22、月系統(tǒng)由豐河環(huán)境工程技術(shù)有限公司、世紀(jì)電路板廠聯(lián)合施工安裝，2006年7月開(kāi)始試運(yùn)行，目前已實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行。4）寶安區(qū)沙井沙頭柏拉圖電子廠寶安區(qū)沙井沙頭柏拉圖電子廠為寶安區(qū)所管企業(yè)，已建設(shè)一套堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)，部分失效堿性蝕刻液進(jìn)入處理系統(tǒng)，處理蝕刻液規(guī)模2400L/d，待條件成熟，擬擴(kuò)建堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)。柏拉圖電子廠堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)由深圳市天綠環(huán)?？萍加邢薰矩?fù)責(zé)設(shè)計(jì)、施工和營(yíng)運(yùn)，系統(tǒng)型號(hào)為CES-12D，2006年8月開(kāi)始安裝，目前基本實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行。5）深圳順昌線路板廠該廠專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)單面板，所產(chǎn)生的堿性蝕刻液全部再生回用，其回用系統(tǒng)最初由長(zhǎng)沙綠銥環(huán)?？萍加邢薰咎峁?，設(shè)備型號(hào)

23、為CPR-1000，2006年年底長(zhǎng)沙綠銥環(huán)?？萍加邢薰就顺?，而后該廠選用萃取-電沉積堿性蝕刻液再生回用裝置。6）至卓飛高線路板（深圳）有限公司該廠的堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)由香港錦衛(wèi)有限公司于2004年10月開(kāi)始建設(shè)，年底投入使用，在使用初期其堿性蝕刻液循環(huán)周期接近一年，隨后循環(huán)周期初步下降至半年、三個(gè)月，主要原因是側(cè)蝕現(xiàn)象比較嚴(yán)重。2006年12月4日至卓飛高線路板（深圳）有限公司噴錫車(chē)間發(fā)生火災(zāi)，大火引發(fā)公司工廠銅回收系統(tǒng)車(chē)間儲(chǔ)罐及設(shè)備起火，救火過(guò)程中，數(shù)噸含銅濃廢液隨消防滅火用水直接流向市政污水和雨水管網(wǎng)，部分含銅廢液流入南山區(qū)蛇口漁港。本次堿性蝕刻液污染事故是深圳市第一件因火災(zāi)引發(fā)的

24、堿性蝕刻液污染事故，本次事故中，堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)的設(shè)備和儲(chǔ)罐全部燒毀，堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)燒毀后至卓飛高未新建回用裝置。7）深圳市景旺電子有限公司景旺電子有限公司的堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)由香港錦衛(wèi)有限公司負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)營(yíng)，2005年8月開(kāi)始投入運(yùn)行，2006年7月按照市環(huán)保局要求停運(yùn)，總運(yùn)行時(shí)間接近一年。8）深圳市寶安區(qū)民主勤基電路版廠民主勤基電路版廠已拆除的堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)由富源科技發(fā)展公司負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)營(yíng)，目前民主勤基電路版廠正在向市環(huán)保局監(jiān)督處申請(qǐng)將堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)恢復(fù)使用，同時(shí)該廠申請(qǐng)安裝酸性蝕刻液再生回用系統(tǒng)，酸性蝕刻液回用系統(tǒng)處理能力為6噸/天，擬由廣州

25、思達(dá)工程貿(mào)易有限公司負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)，目前設(shè)計(jì)工作已完成，廣州柏宇電子科技產(chǎn)品有限公司負(fù)責(zé)施工和營(yíng)運(yùn)，截止2007年2月底該項(xiàng)目無(wú)實(shí)質(zhì)性進(jìn)展。9）深圳市華東鑫電子有限公司華東鑫電子有限公司已拆除的堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)由香港錦衛(wèi)有限公司負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)營(yíng)，該設(shè)施拆除前尚未投入正式運(yùn)行，設(shè)施拆除后槽、罐存放在華東鑫電子有限公司，主體設(shè)備香港錦衛(wèi)有限公司拆走。10）深圳市博敏興電子有限公司博敏興電子有限公司已停運(yùn)的堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)由長(zhǎng)沙綠銥環(huán)?？萍加邢薰矩?fù)責(zé)設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)營(yíng)，2006年4月投產(chǎn)，運(yùn)行過(guò)程中車(chē)間內(nèi)氨氣和氯氣污染較嚴(yán)重，后將設(shè)備搬遷至廠房屋頂。處理蝕刻液設(shè)計(jì)規(guī)模2400L/d。11）

26、運(yùn)豐電路版廠運(yùn)豐電路版廠為寶安區(qū)所管企業(yè)，已停運(yùn)的堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)由富源科技發(fā)展公司負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)營(yíng)，處理蝕刻液規(guī)模1600L/d。12）文明達(dá)電子（深圳）有限公司文明達(dá)電子為寶安區(qū)所管企業(yè)，已停運(yùn)的堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)由富源科技發(fā)展公司負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)營(yíng)，處理蝕刻液規(guī)模1200L/d。13）沙井卓華電子線路板廠卓華電子為寶安區(qū)所管企業(yè)，已拆除的堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)由富源科技發(fā)展公司負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)營(yíng)，處理蝕刻液規(guī)模1200L/d。4.2、現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查情況匯總重點(diǎn)調(diào)查對(duì)象蝕刻液循環(huán)利用設(shè)施基本情況見(jiàn)表3，一般調(diào)查對(duì)象蝕刻液循環(huán)利用設(shè)施基本情況見(jiàn)表4。4.3、調(diào)查統(tǒng)計(jì)結(jié)果1、全市使

27、用過(guò)和正在使用的蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)回用裝置的企業(yè)共13家，裝置總套數(shù)17套，目前共有5個(gè)企業(yè)的蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)回用裝置處在正常運(yùn)行中，其中市管企業(yè)3家，龍崗區(qū)和寶安區(qū)區(qū)管企業(yè)各1家；暫停運(yùn)行的4家，其中市管企業(yè)2家，區(qū)管企業(yè)2家（全部為寶安區(qū)區(qū)管企業(yè)）；已拆除的3家，其中市管企業(yè)2家，區(qū)管企業(yè)1家；裝置燒毀的1家。2、全市采用萃取-電解法現(xiàn)場(chǎng)再生回用堿性蝕刻液的裝置（包括運(yùn)行中、停運(yùn)和拆除的）總套數(shù)15套，采用隔膜電解法的裝置（包括運(yùn)行中、停運(yùn)和拆除的）總套數(shù)2套，萃取-電解法裝置占總數(shù)88%，隔膜電解法裝置占12%。3、調(diào)查結(jié)果表明，采用萃取-電解法的堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用裝置總體運(yùn)行比較穩(wěn)定，蝕刻液回用

28、率達(dá)到95%，銅回收率超過(guò)99%。市管正在運(yùn)行裝置均有比較完善的二次污染防治措施，工藝廢氣均得到有效處理。但所調(diào)查企業(yè)普遍缺乏應(yīng)急預(yù)防措施，處理裝置和生產(chǎn)車(chē)間連接管道存在較大的事故風(fēng)險(xiǎn)；部分企業(yè)的裝置安裝在簡(jiǎn)易雨棚下，未進(jìn)行有效防護(hù)，存在較大的環(huán)境和安全風(fēng)險(xiǎn)；部分企業(yè)未配套設(shè)置有效的工藝廢氣凈化裝置。圖1恩達(dá)電路堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng) 圖2恩達(dá)電路酸性蝕刻液再生回用系統(tǒng)圖3恩達(dá)電路蝕刻液再生回用系統(tǒng)電解槽 圖4恩達(dá)蝕刻液再生系統(tǒng)廢氣凈化塔圖5生利電子堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng) 圖6生利電子蝕刻液再生系統(tǒng)電沉積圖7世紀(jì)電路堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng) 圖8世紀(jì)電路蝕刻液再生系統(tǒng)電沉積圖7順昌堿性蝕刻液再生

29、回用原有系統(tǒng) 圖8順昌堿性蝕刻液再生回用新建系統(tǒng)圖9至卓飛高線路板（深圳）有限公司堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)現(xiàn)場(chǎng)圖10景旺電子堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)圖11景旺電子堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)表3 重點(diǎn)調(diào)查對(duì)象蝕刻液循環(huán)利用設(shè)施基本情況一覽表序號(hào)企業(yè)名稱(chēng)產(chǎn)品種類(lèi)生產(chǎn)規(guī)模（m2/年）處理蝕刻液種類(lèi)回用裝置設(shè)計(jì)規(guī)模實(shí)際處理能力實(shí)際處理量運(yùn)行時(shí)間設(shè)計(jì)施工單位營(yíng)運(yùn)單位1恩達(dá)電路（深圳）有限公司雙面板35.6堿性200l/h200l/h200l/h24h/d深圳拓鑫環(huán)保設(shè)備公司恩達(dá)電路深圳拓鑫環(huán)保設(shè)備公司恩達(dá)電路多層板32.0酸性200l/h200l/h200l/h10h/d2深圳市龍崗區(qū)坪山碧嶺生利電子制品廠單面

30、板堿性67l/h67l/h50l/h20h/d富源科技發(fā)展公司富源科技發(fā)展公司生利電子制品廠雙面板25000多層板4層50006層20003龍崗區(qū)布吉世紀(jì)電路板廠單面板堿性200l/h200l/h125l/h20h/d深圳市豐河環(huán)境工程技術(shù)有限公司世紀(jì)電路板廠深圳市豐河環(huán)境工程技術(shù)有限公司世紀(jì)電路板廠雙面、多層4寶安區(qū)沙井柏拉圖電子廠雙面、多層堿性120l/h120l/h120l/h20h/d深圳市天綠環(huán)保科技有限公司深圳市天綠環(huán)?？萍加邢薰?深圳順昌線路板廠單面板堿性50l/h50l/h50l/h20h/d長(zhǎng)沙綠銥環(huán)保科技有限公司長(zhǎng)沙綠銥環(huán)保順昌線路板廠6至卓飛高線路板（深圳）有限公司單面

31、板1200堿性150l/h2150l/h2設(shè)施已燒毀24h/d錦衛(wèi)有限公司至卓飛高雙面板73000多層板7深圳市景旺電子有限公司單面、雙面、多層堿性100l/h100l/h100l/h20h/d錦衛(wèi)有限公司錦衛(wèi)有限公司景旺電子8深圳市寶安區(qū)民主勤基電路版廠單面板堿性67l/h67l/h56l/h20h/d富源科技發(fā)展公司廣州思達(dá)工程貿(mào)易公司柏宇電子科技產(chǎn)品公司廣州柏宇電子科技產(chǎn)品有限公司雙面板95000多層板13000表4 一般調(diào)查對(duì)象蝕刻液循環(huán)利用設(shè)施基本情況一覽表序號(hào)企業(yè)名稱(chēng)產(chǎn)品種類(lèi)生產(chǎn)規(guī)模（m2/年）處理蝕刻液種類(lèi)回用裝置設(shè)計(jì)規(guī)模實(shí)際處理能力實(shí)際處理量運(yùn)行時(shí)間設(shè)計(jì)施工單位營(yíng)運(yùn)單位1深圳市

32、博敏興電子有限公司雙面、多層板堿性120l/h120l/h80l/h20h/d長(zhǎng)沙綠銥環(huán)保科技有限公司長(zhǎng)沙綠銥環(huán)?？萍加邢薰?運(yùn)豐電路版廠單面、雙面、多層板堿性80l/h80l/h80l/h20h/d富源科技發(fā)展公司富源科技發(fā)展公司3文明達(dá)電子（深圳）有限公司雙面、多層板堿性60l/h60l/h60l/h20h/d富源科技發(fā)展公司富源科技發(fā)展公司4深圳市華東鑫電子有限公司單面板75000堿性67l/h67l/h56l/h20h/d錦衛(wèi)有限公司未正式運(yùn)營(yíng)雙面板30000多層板5000五、失效蝕刻液來(lái)源5.1、實(shí)效蝕刻液來(lái)源線路板圖形部位電鍍金屬體系抗蝕合金鍍層或者涂敷有機(jī)化合物體系的抗蝕劑后，

33、用氯化銅溶液將露出的銅溶解，然后去除抗蝕層。線路板生產(chǎn)中蝕刻工序一般實(shí)行自動(dòng)化控制，對(duì)蝕刻液蝕刻速度要求比較嚴(yán)格，一般要求蝕刻速度最少達(dá)到5um/min。隨著蝕刻過(guò)程的進(jìn)行，溶銅量不斷增加，蝕刻液含銅量逐漸接近其最大容量，蝕刻速度大幅下降，溶液變得極不穩(wěn)定，易形成泥狀沉淀，最后不能滿足蝕刻工序要求需更換外排。5.2、堿性蝕刻原理及失效蝕刻液主要成份5.2.1、堿性蝕刻原理及失效蝕刻液主要成份堿性蝕刻一般適用于多層印制板的外層電路圖形的制作及純錫印制板的蝕刻，主要抗蝕劑為圖形電鍍之金屬抗蝕層，如鍍覆金、鎳、鉛錫合金等，堿性蝕刻液一般由氯化銅、氯化銨、以及過(guò)量氨水配置而成，其中Cu2+與氨生成深藍(lán)

34、色銅氨絡(luò)合物，該絡(luò)合物可與金屬銅反應(yīng)生成一價(jià)銅氨絡(luò)合物，主要反應(yīng)包括：Cu2+4NH3=Cu（NH3）42+ Cu（NH3）42+Cu=2Cu（NH3）4+4Cu（NH3）2Cl +4NH3+4NH4Cl+O2=4 Cu（NH3）4Cl2+ 2H2OCu+ Cu2+=2Cu+4Cu+4NH4+O2=4Cu2+ 2H2O+4NH35.2.2、失效堿性蝕刻液主要成份失效堿性蝕刻液主要成份見(jiàn)表5。表5 失效堿性蝕刻液主要成份一覽表序號(hào)指標(biāo)濃度范圍序號(hào)指標(biāo)濃度范圍1Cu2+4060g/l7V0.51.5g/l2Cu+7090g/l8添加劑510g/l3pH8.08.69Mo0.51.5g/l4CL-2

35、00300 g/l10S0.51.5g/l5NH4+5080g/l11CN（有機(jī)氰）0.51.5g/l6NH3130150g/l12總磷1.52.5g/l5.3、酸性蝕刻原理酸性蝕刻一般適用于多層印制板的內(nèi)層電路圖形的制作及微波印制板陰極法直接蝕刻圖形制作，酸性蝕刻液一般由氯化銅、鹽酸、以及雙氧水配置而成，主要抗蝕劑包括干膜、液態(tài)光致抗蝕劑等，酸性蝕刻主要反應(yīng)包括：蝕銅反應(yīng)：Cu+ CuCl2=2CuCl 再生反應(yīng)：2CuCl +2HCl+ H2O2 =2CuCl2+2H2O5.4、堿性與酸性蝕刻液特性比較堿性蝕刻液與酸性蝕刻液特性比較見(jiàn)表6。表6 堿性蝕刻液與酸性蝕刻液特性比較一覽表序號(hào)項(xiàng)目

36、堿性蝕刻液酸性蝕刻液1銅含量140170g/l130180 g/l2溫度505550553毒性低高4蝕刻速度約1mil/min約0.5mil/min5化性條件Baume=211ORP=450150mVBaume=2216水洗水處理因有絡(luò)合物，較不易處理較易處理7自動(dòng)控制成本低高8主要特點(diǎn)蝕刻速度快，側(cè)蝕小；溶銅能力強(qiáng)，蝕刻液容易控制。蝕刻速度易控制，蝕刻液在穩(wěn)定狀態(tài)下能達(dá)到高的蝕刻質(zhì)量；溶銅量大。六、失效蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用技術(shù)類(lèi)型6.1、國(guó)內(nèi)蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用技術(shù)概況失效堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用技術(shù)國(guó)內(nèi)主要分為2類(lèi)，分別是萃取-電解法和隔膜電解法，應(yīng)用成功的失效酸性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用技術(shù)國(guó)內(nèi)采用

37、萃取-電解法，即萃取-電解法應(yīng)用領(lǐng)域由最初的堿性蝕刻液擴(kuò)展至堿性蝕刻液和酸性蝕刻液，隔膜電解法目前只能處理堿性蝕刻液，萃取-電解法在深圳已安裝蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)的線路板企業(yè)得到廣泛使用，而隔膜電解法的蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)僅個(gè)別線路板企業(yè)選用。6.2、堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用技術(shù)6.2.1、萃取電解法6.2.1.1、萃取電解法的發(fā)展概況最初真正實(shí)現(xiàn)線路板行業(yè)堿性蝕刻液工業(yè)規(guī)模的現(xiàn)場(chǎng)再生回收應(yīng)用是加拿大的Canadian RECYCLE LTD.，該公司開(kāi)發(fā)出的循環(huán)蝕刻再生系統(tǒng)成套技術(shù)和設(shè)備，最初由香港錦衛(wèi)有限公司（CONCORD SINO LIMITED）負(fù)責(zé)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的代理銷(xiāo)售，2000年在

38、廣州第一套設(shè)備安裝使用，隨后分別派生出多家公司經(jīng)營(yíng)Canadian RECYCLE LTD.的產(chǎn)品，并逐漸在全套引進(jìn)的基礎(chǔ)上，通過(guò)不斷的消化、吸收和改進(jìn)，目前已基本實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。在廣東省經(jīng)營(yíng)萃取電解法回收利用堿性蝕刻液的公司主要有錦衛(wèi)有限公司、富源科技發(fā)展公司、深圳市天綠環(huán)保科技有限公司、廣州思達(dá)工程貿(mào)易有限公司和廣州柏宇電子科技產(chǎn)品有限公司，以上公司提供的設(shè)備外形、工藝控制參數(shù)、運(yùn)行模式基本相同。錦衛(wèi)有限公司、富源科技發(fā)展公司、深圳市天綠環(huán)?？萍加邢薰?、廣州思達(dá)工程貿(mào)易有限公司和廣州柏宇電子科技產(chǎn)品有限公司均未取得環(huán)保工程設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)營(yíng)資質(zhì)，所提供的產(chǎn)品尚未得到相關(guān)部門(mén)的鑒定。深圳拓鑫環(huán)保

39、設(shè)備公司和恩達(dá)電路在Canadian RECYCLE LTD.的產(chǎn)品基礎(chǔ)上，通過(guò)消化、吸收和工程實(shí)踐，調(diào)整了設(shè)備工藝參數(shù)和萃取劑，開(kāi)發(fā)堿性蝕刻液再生回用裝置，但工藝原理與Canadian RECYCLE LTD.產(chǎn)品基本相同。深圳拓鑫環(huán)保設(shè)備公司開(kāi)發(fā)的“印制板蝕刻液再生及銅回收技術(shù)與設(shè)備”已被列為國(guó)家重點(diǎn)環(huán)境保護(hù)實(shí)用技術(shù)A類(lèi)，之前該套蝕刻廢液銅回收技術(shù)和設(shè)備通過(guò)了國(guó)家信息產(chǎn)業(yè)部的技術(shù)鑒定，技術(shù)鑒定意見(jiàn)認(rèn)為，該回收設(shè)備的銅回收率99.5%、廢液回用率99.5%，達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。6.2.1.2、萃取電解法的工藝流程目前在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)銷(xiāo)售的采用萃取電解方法回收利用堿性蝕刻液的成套設(shè)備均采用萃銅劑萃銅、

40、硫酸反萃、電解回收銅工藝組合，存在的工藝控制參數(shù)差異屬于商業(yè)機(jī)密。1、工藝原理簡(jiǎn)介：失效蝕刻液經(jīng)過(guò)濾去除雜物后，直接進(jìn)入萃取系統(tǒng)用有機(jī)萃取劑萃取提銅（銅與蝕刻液分離，進(jìn)入有機(jī)層），分離后的萃取液經(jīng)硫酸反萃處理后，提取反萃取液中的銅（反萃液送到電解槽中用連續(xù)電解沉積工藝生產(chǎn)紫銅板，也可通過(guò)結(jié)晶生產(chǎn)硫酸銅晶體，目前已全部生產(chǎn)紫銅板）。萃取后的殘液（蝕刻液）經(jīng)調(diào)整pH及添加少量蝕刻鹽后再生成新的蝕刻溶液，返回蝕刻槽中循環(huán)使用。萃取劑、反萃劑在萃取系統(tǒng)中同樣可以循環(huán)使用，但損耗需定期添加。萃銅劑配方為技術(shù)擁有方的商業(yè)機(jī)密，但主要成份含乙醇和丙醇，萃銅劑可循環(huán)使用23年。l 萃取原理：相當(dāng)于液體離子交換

41、（樹(shù)脂）銅進(jìn)入有機(jī)溶液中，大約每萃取100公斤銅增加60升水。Cu2+2HR2H+CuR2H+OH-H2Ol 反萃取原理（用高酸200g/L、H2SO4）：銅從有機(jī)溶液中被反萃進(jìn)入水相，有機(jī)相HR與硫酸銅分離又可返回萃取機(jī)中。CuR2+H2SO4CuSO4+2HR。由于萃取過(guò)程放出H+（酸）而中和了蝕刻液的堿（OH-）變成水，使蝕刻液體積增大、堿度降低，因此再生蝕刻液時(shí)須補(bǔ)加NH4Cl及氨水，即萃取出銅的蝕刻液經(jīng)補(bǔ)充蝕板鹽、穩(wěn)定劑和氨水后，再生為新鮮蝕刻液，回用于蝕刻工序。2、工藝流程簡(jiǎn)介：l 恩達(dá)電路：恩達(dá)電路已建成完善的失效蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)和含銅廢液銅回收系統(tǒng)，失效蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用

42、系統(tǒng)所產(chǎn)生的清洗水和蝕刻液增量通過(guò)含銅回收系統(tǒng)和低銅回收系統(tǒng)進(jìn)一步深度處理。對(duì)蝕刻后氨洗水工序產(chǎn)生的清洗水，恩達(dá)電路將其排入含銅廢水處理系統(tǒng)。恩達(dá)電路堿性蝕刻液再生及回用處理總工藝流程方框圖見(jiàn)圖12，堿性蝕刻液再生再生處理工藝流程方框圖見(jiàn)圖13。l 其它企業(yè)：除恩達(dá)電路外，其它安裝蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)的線路板企業(yè)均僅設(shè)堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)，未設(shè)含銅和低銅回收系統(tǒng)，堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用所產(chǎn)生的清洗水直接排入生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)，蝕刻液增量作為危險(xiǎn)廢物委托處理，但部分企業(yè)直接排入生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)。對(duì)蝕刻后氨洗水工序產(chǎn)生的清洗水，其它企業(yè)均將其納入堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)。其它企業(yè)萃取電解法

43、回收利用堿性蝕刻廢液和銅的工藝流程圖見(jiàn)圖14。l 恩達(dá)電路與其它企業(yè)堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)的特性比較：恩達(dá)電路與其它企業(yè)堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)的特性比較見(jiàn)表7。表7 恩達(dá)電路與其它企業(yè)堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)的特性比較一覽表序號(hào)項(xiàng)目堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)恩達(dá)電路其它企業(yè)1設(shè)備供應(yīng)商自行研制開(kāi)發(fā)購(gòu)買(mǎi)成套設(shè)備2設(shè)備外形比較粗、笨比較精、巧3占地面積相對(duì)較大相對(duì)較小4電解槽配置數(shù)量相對(duì)較多數(shù)量相對(duì)較少5蝕刻液增量處置方法進(jìn)含銅廢液回收系統(tǒng)作為危險(xiǎn)廢物委托處置或排入廢水處理站6蝕刻后氨水洗水處理進(jìn)含銅廢液回收系統(tǒng)并入再生回用系統(tǒng)7水洗水處理進(jìn)含銅廢液回收系統(tǒng)直接排入廢水處理站8萃取劑萃取

44、劑存在差異9萃取溫度變化萃取后溫度有一定程度升高萃取后溫度基本沒(méi)有變化，溫升不明顯10反萃溫度變化均不明顯6.2.1.3、主要生產(chǎn)設(shè)備萃取電解方法回收利用系統(tǒng)實(shí)際由2個(gè)處理單元組成，第一個(gè)處理單元為萃取、反萃單元，生產(chǎn)設(shè)備包括萃銅反應(yīng)器、有機(jī)分離器；第二個(gè)處理單元為電解陰極沉銅單元，生產(chǎn)設(shè)備包括電解槽、再生母板器、取銅機(jī)。配套儲(chǔ)罐：包括儲(chǔ)罐、中轉(zhuǎn)罐、蝕刻液調(diào)配罐等。配套廢氣凈化塔：一般配套酸性廢氣噴淋凈化塔。車(chē)間儲(chǔ)槽（780噸/年）堿性蝕刻線廢水處理系統(tǒng)含銅回收系統(tǒng)車(chē)間儲(chǔ)槽提升泵水洗槽氨水洗槽蝕刻槽含銅回收系統(tǒng)氨水、氯化銨、穩(wěn)定劑蝕刻液增量（2噸/月）提升泵提升泵提升泵提升泵堿性蝕刻液再生系統(tǒng)

45、噴淋凈化塔調(diào)配槽中間槽儲(chǔ)槽萃余液儲(chǔ)槽 電解槽分離槽 反萃 反應(yīng)槽 分離槽 水洗 反應(yīng)槽分離槽 萃取 反應(yīng)槽提升泵反萃劑循環(huán)槽萃取劑循環(huán)槽水洗水循環(huán)槽圖12 恩達(dá)電路堿性蝕刻液再生及回用處理總工藝流程方框圖萃取液失效蝕刻液儲(chǔ)槽 分離槽 分離槽 水洗 反應(yīng)槽 萃取 反應(yīng)槽提升泵0.8噸/月提升泵萃取劑16.7公斤/月萃取劑循環(huán)槽含銅回收系統(tǒng)提升泵水洗水循環(huán)槽氨水（4L/月）自來(lái)水再生萃取劑廢氣凈化塔 分離槽 反萃 反應(yīng)槽電解槽富銅液反萃劑（硫酸167公斤/月）99.95%銅提升泵反萃劑循環(huán)槽回收銅后電解液圖13 恩達(dá)電路堿性蝕刻液再生處理工藝流程方框圖萃取液失效蝕刻液儲(chǔ)槽 分離槽 分離槽 水洗 反

46、應(yīng)槽 萃取 反應(yīng)槽提升泵提升泵廢水處理站提升泵蝕刻液調(diào)配系統(tǒng)萃取劑萃取劑循環(huán)槽水洗水循環(huán)槽氨水（4L/月）自來(lái)水再生萃取劑廢氣凈化塔99.95%銅 分離槽 反萃 反應(yīng)槽電解槽富銅液回收銅后電解液提升泵反萃劑循環(huán)槽萃取反應(yīng)、分離槽氨水洗水儲(chǔ)槽反萃劑.清洗水回水洗槽含銅有機(jī)層圖14 一般線路板企業(yè)堿性蝕刻液再生處理工藝流程方框圖6.2.1.4、主要生產(chǎn)原、輔材料廢蝕刻液、蝕板鹽、氨水、添加劑、萃取劑、硫酸。6.2.1.5、主要工藝控制參數(shù)l 恩達(dá)電路：恩達(dá)電路失效堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)主要工藝控制參見(jiàn)表8。l 其它企業(yè)：其它企業(yè)以生利電子為典型代表，生利電子失效堿性蝕刻液現(xiàn)場(chǎng)再生回用系統(tǒng)主要工

47、藝控制參見(jiàn)表9。表8 恩達(dá)電路堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)主要工藝控制參數(shù)一覽表流量控制流體種類(lèi)失效蝕刻液稀氨水萃取劑反萃劑流量200升/小時(shí)200升/小時(shí)400升/小時(shí)600升/小時(shí)濃度控制液體種類(lèi)失效蝕刻液再生蝕刻液（調(diào)配前）工作蝕刻液電解槽液控制指標(biāo)Cu2+、Cu+135160g/l60100g/l60100g/l2538g/lpH8.08.69.09.39.310.0CL-200300 g/l200300g/l200300g/l200mg/lH2SO4190210g/lNH4+5080g/lNH3130150g/l400730ml/l電流強(qiáng)度控制電解液中銅含量40g/l硫酸濃度190210g

48、/l190210g/l190210g/l190210g/l電解電流500A8001000A10001800A2000 A萃取劑吸銅量：1520g/l表9 生利電子堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)主要工藝控制參數(shù)一覽表流量控制流體種類(lèi)失效蝕刻液清洗水萃取劑反萃劑流量20010升/小時(shí)20010升/小時(shí)40010升/小時(shí)60050升/小時(shí)濃度控制液體種類(lèi)失效蝕刻液再生蝕刻液（調(diào)配前）工作蝕刻液電解槽液控制指標(biāo)Cu2+、Cu+135160g/l60100g/l135160g/l2538g/lpH8.08.69.09.38.08.6CL-170190 g/l185g/l170190g/l200mg/lH2SO4

49、190210g/lNH4+5080g/lNH3130150g/l400730ml/l電流強(qiáng)度控制電解液中銅含量40g/l硫酸濃度190210g/l190210g/l190210g/l190210g/l電解電流500A8001000A10001800A2000 A萃取劑吸銅量：1520g/l6.2.2、隔膜電解法6.2.2.1、隔膜電解法的發(fā)展情況由長(zhǎng)沙綠銥環(huán)保科技有限公司2004年研發(fā)成功的堿性蝕刻液循環(huán)再生機(jī)采用隔膜電解法，最初使用的單位是湖南株洲電力機(jī)車(chē)研究所印制電路板廠，深圳使用的單位共2家，分別是深圳市博敏興電子有限公司和深圳順昌線路板廠，深圳市博敏興電子有限公司的設(shè)備已按環(huán)保主管部門(mén)

50、要求停運(yùn)，順昌線路板廠年前將長(zhǎng)沙綠銥環(huán)?？萍加邢薰镜漠a(chǎn)品更換為萃取-電解法蝕刻液再生回收設(shè)備。6.2.2.2、隔膜電解法的工藝流程目前國(guó)內(nèi)提供隔膜電解法堿性蝕刻液循環(huán)再生機(jī)設(shè)備的僅有長(zhǎng)沙綠銥環(huán)?？萍加邢薰?。1、工藝原理簡(jiǎn)介：本技術(shù)將膜分離技術(shù)和電沉積工藝相結(jié)合，將待處理廢蝕刻液置于一個(gè)受膜保護(hù)的區(qū)域內(nèi)，保護(hù)廢蝕刻液中的化學(xué)物質(zhì)不被破壞，同時(shí)其中的銅離子以金屬銅的形態(tài)方便回收，因而實(shí)現(xiàn)銅和其它化學(xué)物質(zhì)的選擇性無(wú)損分離；這種選擇性無(wú)損分離技術(shù)IEM-EC在實(shí)現(xiàn)銅選擇性分離回收的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)對(duì)蝕刻有用的組份的回用。 2、工藝流程簡(jiǎn)介：隔膜電解法回收利用堿性蝕刻廢液和銅的工藝流程圖見(jiàn)圖15。圖15

51、隔膜電解法回收利用堿性蝕刻廢液和銅的工藝流程圖6.2.2.3、主要生產(chǎn)設(shè)備主體設(shè)備：蝕刻液循環(huán)再生機(jī)、整流器配套儲(chǔ)罐：包括儲(chǔ)罐、中轉(zhuǎn)罐、蝕刻液調(diào)配罐等。配套廢氣凈化塔：一般配套酸性廢氣噴淋凈化塔。6.2.2.4、主要生產(chǎn)原、輔材料廢蝕刻液、蝕板鹽、氨水、添加劑。6.2.2.5、主要工藝控制參數(shù)隔膜電解法主要工藝控制參數(shù)見(jiàn)表10。表10 隔膜電解法堿性蝕刻液再生回用系統(tǒng)主要工藝控制參數(shù)一覽表液體種類(lèi)失效蝕刻液再生蝕刻液（調(diào)配前）控制指標(biāo)Cu2+5560g/l7080g/lCu+7580g/l1520g/lpH8.28.37.87.9CL-235240g/l230235g/lNH4+8084g/l7680g/l電解槽陰極區(qū)銅含量3435g/l電解槽電壓2.5V電解電流密度150250A/m2隔膜電解生產(chǎn)過(guò)程中蝕刻液中總銅含量顯著下降，其中二價(jià)銅離子含量增加，一價(jià)銅離子含量顯著降低，pH、CL-、NH4+含量略有下降，pH、CL-、NH4+含量下降主要受副反應(yīng)的發(fā)生。6.2.2.6、再生蝕刻液主要工藝控制參數(shù)和使用特點(diǎn)隔膜電