TFT-LCD面板玻璃減薄工藝流程及不良簡介參考幻燈片

1、TFT-LCD面板玻璃減薄工藝流程及不良簡介,Contents,2,減薄的作用,1.減少占有的空間 2.使Glass達(dá)到一定的柔性,3,減薄工藝簡介,4,封膠,一般在這之前還會進(jìn)行檢查。,涂膠后靜置1min。,清除多的UV膠。,UV固化后檢查,5,封膠,UV固化,UV燈,涂膠后檢查,涂膠,加蓋遮光墊,6,原理及方式,單片直立噴灑,瀑布流,多片直立浸泡,原理,1,2,3,4,減薄原理及方式,6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O,液體+固體（玻璃）-液體,7,單片直立噴灑,瀑布流,優(yōu)點(diǎn)： 1.可以滿足兩面不同蝕刻要求。多片缺點(diǎn)： 1.蝕刻表面易產(chǎn)生凹點(diǎn)。,優(yōu)點(diǎn)： 1.表面最光滑，甚至可以不用拋

2、光,三種方式優(yōu)缺點(diǎn),8,Text in here,蝕刻,清洗,減薄,減薄流程,9,10,減薄設(shè)備,其余組件： 供酸裝置 HF酸濃度計 溫度控制器 洗氣裝置,11,減薄工藝參數(shù),1.反應(yīng)時間與玻璃質(zhì)量損失的關(guān)系,圖1.反應(yīng)時間與玻璃質(zhì)量損失之間的關(guān)系,12,減薄工藝參數(shù),2.反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度的關(guān)系,圖2.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度之間的關(guān)系,13,減薄工藝參數(shù),3.反應(yīng)速率與HF酸濃度的關(guān)系,圖3.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與HF酸濃度之間的關(guān)系,說明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因?yàn)橐詺滏I形式存在的HF鍵比HF分子中的HF鍵更脆弱，與SiO2反應(yīng)時更容易斷裂。,14,減薄清

3、洗單元（后）,清洗,外觀檢查,Polishing,外觀檢查,Reject,研磨,15,16,減薄工藝自身不良,17,減薄工藝自身不良,玻璃本身含有雜質(zhì).,1. 除膠未干凈，有殘留 2. PT等未清洗干凈,1. 設(shè)備故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蝕刻方式） 3.Nozzle堵塞（噴淋式蝕刻方式）,玻璃被蝕刻時局部蝕刻不一致,工藝設(shè)備,玻璃表面,玻璃本身,18,Slimming后劃傷,19,Slimming后劃傷,Lift Pin 凹點(diǎn),20,Slimming后劃傷,2.Robot吸盤凹點(diǎn),21,Slimming后劃傷,3.輪印,22,造成B-ITO不良,現(xiàn)象： ADS產(chǎn)品做完B-ITO后，產(chǎn)品與BOX接觸的位置ITO被嚴(yán)重腐蝕 ，類似產(chǎn)品表面水干燥后殘留的印記。 原因： BOX在Slimming車間長期周轉(zhuǎn)，slimming車間內(nèi)酸氣長期在BOX表面附著，從而使BOX表面呈現(xiàn)酸性,1.水漬酸印,23,其它不良,