鍍膜機(jī)操作及鍍膜工藝指導(dǎo)書

1、 高理光學(xué)質(zhì)量體系文件鍍膜機(jī)操作及鍍膜工藝指導(dǎo)書受控狀態(tài)及編號文件編號gl/wi-rd-03-25頁碼page 1 of 30部門技術(shù)部發(fā)布日期2013年12月9日擬制徐 威審核批準(zhǔn)變更 履歷12007-05-28文件整合將老版文件改為新版的格式聶旭光22007-08-15內(nèi)容新增1、增加產(chǎn)品鍍膜前烘烤要求 page 15周霞2、增加表單 page 20周霞32007-10-09客戶審核要求1、增加變更履歷 page 1楊莎2、去掉產(chǎn)品鍍膜前烘烤要求 page 15周霞3、5#鍍膜機(jī)增加光柵增透 page 15聶旭光42008-04-29內(nèi)容新增新增鍍膜應(yīng)急情況處理辦法 page 7.8馮浩5

2、2008-09-09內(nèi)容新增 page 12馮浩62009-04-13內(nèi)容變更更新3#鍍膜機(jī)作業(yè)流程 page 9-14 何健72009-04-24內(nèi)容新增新增4#鍍膜機(jī)作業(yè)流程 page 19-21何健82009-05-18客戶審核要求新增鍍膜產(chǎn)品切換要求 page 21何健92009-08-05文件整合全部更新 全文馮浩102010-01-15內(nèi)容變更1.變更4#5#6#機(jī)臺清洗周期 2變更4#工藝參數(shù)馮浩112010-04-7內(nèi)容新增1.新增7.95um/10.8um光柵鍍膜工藝 page9-142.增加405nm增透工藝 page20徐威122010-7-28內(nèi)容變更1. 變更3#鍍膜

3、機(jī)保養(yǎng)規(guī)范 page 132.變更4#鍍膜機(jī)工藝參數(shù) page 18-223.變更5#鍍膜機(jī)工藝參數(shù) page 25-264. 變更6#鍍膜機(jī)工藝參數(shù) page 30徐威袁超132010-9-13內(nèi)容新增新增鍍膜工藝卡片 page 18，32葉小兵142010-9-20內(nèi)容新增新增3#，4#鍍膜機(jī)烘烤溫度點(diǎn)檢要求馮浩152011-4-18內(nèi)容新增新增鍍膜工藝卡片三洋bd414藍(lán)光偏小ar、正常ar、偏大ar徐威162011-11-21文件整合全部更新 全文靖澤兵172011-12-30內(nèi)容變更部分內(nèi)容調(diào)整 page 3.4.7靖澤兵182012-2-8內(nèi)容變更表單變更 page28靖澤兵192

4、012-3-12內(nèi)容變更表單變更 page28靖澤兵202012-5-21內(nèi)容新增1. 增加測溫時機(jī)，時機(jī)為停機(jī)大于等于24小時后測溫。2. 明確8.2.4中c條處理辦法靖澤兵212012-12-26內(nèi)容變更表單變更 page28靖澤兵222013-1-5內(nèi)容新增新增陽極筒更換注意事項(xiàng) page16徐威232013-1-14內(nèi)容新增1.新增清掃注意事項(xiàng)及膜料存放要求 page3、42.新增下傘條件 page 83.新增離子源存放要求 page 164.變更設(shè)備清洗流程 page 13、15、20、225.變更配件更換要求 page 14、21徐威242013-12-9應(yīng)客戶要求增加產(chǎn)品面別一覽

5、表 page 29-30楊莎252014-4-23內(nèi)容變更sio2加料變更 page 4徐威鍍膜機(jī)操作及鍍膜工藝指導(dǎo)書 page 0 一、目的為了規(guī)范鍍膜作業(yè)員鍍膜操作，特制定該文件。二、適用范圍本文件適用于參與鍍膜操作的全體人員。三、設(shè)備及輔助材料3.1 1#：昭和真空鍍膜機(jī)；3.2 2#：昭和真空鍍膜機(jī)；3.3 3#：萊寶真空鍍膜機(jī)；3.4 4#：韓一真空鍍膜機(jī)；3.5 5#：現(xiàn)代南光zzs1100真空鍍膜機(jī)；3.6 6#：現(xiàn)代南光zzs1100真空鍍膜機(jī)；3.7其它設(shè)備及輔助材料：鍍膜材料、吸塵器、銅刷、錘子、鑷子、丙酮、口罩、手套。 四、鍍膜機(jī)制作產(chǎn)品范圍編號名稱適用產(chǎn)品4.11#昭和

6、鍍膜機(jī)作業(yè)流程全反、增透膜等4.22#昭和鍍膜機(jī)作業(yè)流程全反、增透膜等4.33#萊寶鍍膜機(jī)作業(yè)流程光柵、濾光片、分光、全反、增透膜等4.44#韓一鍍膜機(jī)作業(yè)流程濾光片、分光、全反、增透膜等4.55#南光鍍膜機(jī)作業(yè)流程分光、增透膜等4.66#南光鍍膜機(jī)作業(yè)流程增透膜等4.7鍍膜產(chǎn)品切換要求生產(chǎn)中減少產(chǎn)品切換頻率鍍膜機(jī)操作及鍍膜工藝指導(dǎo)書 page 7 五、鍍膜作業(yè)內(nèi)容后留下一工序5.1鍍膜流程圖okng報(bào)廢產(chǎn)品性能檢查光控、晶控確認(rèn)添料清掃開機(jī)關(guān)機(jī)下傘進(jìn)氣鍍膜排氣（抽真空）上傘5.2鍍膜操作說明昭和萊寶韓一南光開機(jī)參考設(shè)備部文件參考設(shè)備部文件參考設(shè)備部文件參考設(shè)備部文件清掃清掃完畢清掃電子槍周邊

7、防護(hù)板清掃遮料板清掃潔坩堝周邊清掃支架清掃鍍膜機(jī)四周防護(hù)板蓋住坩堝1、 使用工具：銅刷和吸塵器2、清掃流程： 注意事項(xiàng)：整個清潔過程中操作人員必須戴口罩、手套；遮料板每罩清掃，每3罩反射鏡更換1次，并拆網(wǎng)噴砂處理。(3)用鋁紙包的護(hù)板每5罩反射鏡(35罩ar)須更換。添料1、添加sio2時，先將坩堝周圍衛(wèi)生清潔再將燒結(jié)成塊的sio2取出，然后加入新的sio2膜料。添加時，用添料勺一邊添加一邊壓緊，最終添加到膜料與坩堝上邊沿齊平即可。2、添加tio2時，需將前一次熔出的坑填平。 添加膜料注意相對應(yīng)坩堝序號，及所需添加的材料名稱； 膜料添加完畢后，需將坩堝周邊的多余膜料清除干凈。膜料的存放要求：1

8、、不使用的已熔膜料需放入干燥塔內(nèi)保存2、已開啟的膜料，0.5kg以內(nèi)的放1包干燥劑，0.5kg以上的放2包干燥劑。sio2 添加圖sio2 添加后圖：tio2 添加后圖：1、添加sio2時，先將燒結(jié)成塊的sio2取出，然后加入新的sio2膜料，添加時，用專用治具一邊添加一邊壓緊（見圖示），最終添加到膜料與坩堝上邊沿齊平即可。2、添加ti3o5時，將前一次熔出的坑填平即可。3、添加zro2時，只需將前次使用的膜料取出，更換成新膜料即可，膜料必須放置到坩堝中心位置。 添加膜料注意相對應(yīng)坩堝序號，及所需添加的材料名稱； 膜料添加完畢后，需將坩堝周邊的多余膜料清除干凈。膜料的存放要求：1、不使用的已熔

9、膜料需放入干燥塔內(nèi)保存2、已開啟的膜料，0.5kg以內(nèi)的放1包干燥劑，0.5kg以上的放2包干燥劑。sio2 添加圖sio2 添加后圖sio2 添加后圖：tio2 添加后圖：1、添加sio2時，先將坩堝周圍衛(wèi)生清潔再將燒結(jié)成塊的sio2取出，然后加入新的sio2膜料，添加時，用添料勺一邊添加一邊壓緊（見圖示），最終添加到膜料與坩堝上邊沿齊平即可。2、添加tio2時，將前一次熔出的坑填平即可。3、添加si時，添加的膜料需低于坩堝邊緣2mm3mm。 添加膜料注意相對應(yīng)坩堝序號，及所需添加的材料名稱； 膜料添加完畢后，需將坩堝周邊的多余膜料清除干凈。膜料的存放要求：1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔內(nèi)

10、保存2、已開啟的膜料，0.5kg以內(nèi)的放1包干燥劑，0.5kg以上的放2包干燥劑。sio2 添加圖sio2 添加后圖：tio2 添加后圖：1、添加sio2時，先將坩堝周圍衛(wèi)生清潔再將燒結(jié)成塊的sio2取出，然后加入新的sio2膜料，添加時，用專用治具一邊添加一邊壓緊（見圖示），最終添加到膜料與坩堝上邊沿齊平即可。2、添加tio2時，需將前一次熔出的坑填平即可。3、添加si時，添加的膜料需低于坩堝邊緣2mm3mm。 添加膜料注意相對應(yīng)坩堝序號，及所需添加的材料名稱； 膜料添加完畢后，需將坩堝周邊的多余膜料清除干凈。膜料的存放要求：1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔內(nèi)保存2、已開啟的膜料，0.5kg

11、以內(nèi)的放1包干燥劑，0.5kg以上的放2包干燥劑。sio2 添加圖sio2 添加后圖：tio2 添加后圖：光控、晶控確認(rèn)每罩均需更換光控片1、鍍fm時更換20個光控片；2、鍍ar時更換4個光控片。 更換過程中注意保持光控片表面潔凈。 更換后需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中做好更換記錄。使用光控時：每罩均需更換光控片，同時檢查晶振壽命值，壽命值10時必須更換晶振片；單獨(dú)使用晶控時，每罩檢查晶振壽命值：1、鍍gt產(chǎn)品時，晶振壽命值3時必須更換晶振片；每更換陽極筒時也必須更換晶振片2、鍍除gt以外其它產(chǎn)品時，晶振壽命值8時必須更換晶振片；3、晶振片更換好后，需檢查晶振頻率是否正常顯示，壽命值是否為0，若不是

12、，則需重新更換。 更換過程中注意保持光控/晶控片表面潔凈； 更換后需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中做好更換記錄。使用光控時：每罩鍍膜前需檢查光控片使用狀況，并根據(jù)下罩鍍膜產(chǎn)品決定是否需要更換光控片（例：光控共40個點(diǎn)，若已用28個點(diǎn)，而下一罩需要用16個點(diǎn)，則28+16=4440，故在鍍下一罩之前需更換光控片），同時檢查晶振壽命值，壽命值16時必須更換晶振片；單獨(dú)使用晶控時：檢查晶振壽命值，壽命值10時必須更換晶振片；晶振片更換好后，需檢查晶振頻率是否正常顯示，壽命值是否為0，若不是，則需重新更換。 更換過程中注意保持光控/晶控片表面潔凈； 更換后需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中做好更換記錄。1、檢查晶振片壽

13、命值，壽命值96%時，必須更換晶振片。2、晶振片更換好后，需檢查晶振頻率是否正常顯示，壽命值是否98%，若不是，則需重新更換。 更換過程中注意保持光控/晶控片表面潔凈； 更換后需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中做好更換記錄。上傘將裝好鏡片的傘架放置到鍍膜機(jī)工件架上，并確認(rèn)是否放置到位。 上傘時應(yīng)避免手或袖口等碰觸鏡片，造成鏡片臟污。將裝好鏡片的傘架放置到鍍膜機(jī)工件架上，并確認(rèn)是否放置到位。 上傘時應(yīng)避免手或袖口等碰觸鏡片，造成鏡片臟污。將裝好鏡片的傘架放置到鍍膜機(jī)工件架上，并確認(rèn)是否放置到位。 上傘時應(yīng)避免手或袖口等碰觸鏡片，造成鏡片臟污。參考鍍膜裝取片作業(yè)指導(dǎo)書gl/wi-rd-13-02排氣（抽真空

14、）1、用無塵布擦拭密封圈和門邊沿，以防臟污影響抽真空速度；2、關(guān)閉真空室門，點(diǎn)擊面版上的“排氣開始”鍵,進(jìn)入自動排氣、加熱狀態(tài)。 記錄開始排氣的時間點(diǎn)3、檢查鍍膜機(jī)自動運(yùn)行狀態(tài)：“power supply”是否保持“on”狀態(tài)。1、用無塵布擦拭密封圈和門邊沿，以防臟污影響抽真空速度；2、關(guān)真空室門，按vent鍵(關(guān)放氣閥)，設(shè)備即進(jìn)入抽真空狀態(tài)。 記錄開始排氣的時間點(diǎn)1、用無塵布擦拭密封圈和門邊沿，以防臟污影響抽真空速度；2、關(guān)閉真空室門，按一下“run”鍵，設(shè)備進(jìn)入自動排氣、加熱狀態(tài)。 記錄開始排氣的時間點(diǎn)3、檢查自動運(yùn)行的幾個auto開關(guān)狀態(tài)：rotation，pocket，shutter

15、，heater，apc（rvc300；充氧需要），電子槍、加熱是否均為ext模式。 熔si時需手動熔料1、用無塵布擦拭密封圈和門邊沿，以防臟污影響抽真空速度；2、關(guān)閉真空室門，同時開烘烤，進(jìn)入排氣狀態(tài)。 記錄開始排氣的時間點(diǎn) 在抽真空同時要如實(shí)記錄抽真空時間。3、預(yù)熔膜料 sio2膜料不需要預(yù)熔。鍍膜鍍膜制程文件選擇：鍍膜機(jī)電腦操作軟件界面中依次選擇：“成膜實(shí)行” “鍍膜條件名選擇”（根據(jù)產(chǎn)品制造單產(chǎn)品名稱選擇鍍膜制程文件，如：fm-23i81選擇制程文件“m-23i81” ）“成膜開始”，則設(shè)備進(jìn)入自動運(yùn)行狀態(tài)。 在整個自動過程中，注意調(diào)整電子束光斑的位置和大小。 鍍膜過程中需觀察光控曲線極

16、值點(diǎn)走勢是否正常，進(jìn)氧是否正常,真空度是否穩(wěn)定,若不正常則需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄異常狀況。1、按step鍵、再按8鍵，檢查程序編輯是否正確。2、按step鍵，再按7鍵，檢查所鍍膜系是否正確。3、按auto鍵、 start鍵，則設(shè)備進(jìn)入自動運(yùn)行狀態(tài)。 在整個自動過程中，注意調(diào)整電子束光斑的位置和大小。 鍍膜過程中需觀察監(jiān)控速率是否穩(wěn)定，束流是否正常，進(jìn)氧是否正常,真空度是否穩(wěn)定,若不穩(wěn)定則需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄異常狀況。檢查鍍膜程序調(diào)用是否正確，若確認(rèn)無誤，單擊hope程序界面中綠色start鍵，則設(shè)備進(jìn)入自動運(yùn)行狀態(tài)。 在整個自動過程中，注意調(diào)整電子束光斑的位置和大小。 鍍膜過程中

17、需觀察監(jiān)控速率是否穩(wěn)定，束流是否正常，進(jìn)氧是否正常,真空度是否穩(wěn)定,若不穩(wěn)定則需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄異常狀況。1、當(dāng)真空度達(dá)到3.0e-3pa且抽真空時間達(dá)到2小時時可進(jìn)行鍍膜；2、鍍膜前確認(rèn)所鍍產(chǎn)品型號，尋找該產(chǎn)品的鍍膜程序，并根據(jù)程序規(guī)定進(jìn)行鍍膜。3、鍍膜完成后關(guān)閉烘烤保持高真空5分鐘后關(guān)閉高閥。 鍍膜時同種膜料的光斑放置位置要一致，光斑掃描大小要一致。 電子槍電流調(diào)節(jié)不可忽大忽小，時常使用的電流調(diào)節(jié)位置做好標(biāo)記，以便下次使用時參考。 si膜料鍍完后要將坩堝中的膜料突起熔平才能旋轉(zhuǎn)坩堝，以免坩堝卡住。 當(dāng)鍍膜過程中發(fā)現(xiàn)膜料噴濺時，需及時關(guān)閉蒸發(fā)擋板，并記錄此時晶振所顯示的厚度值，待膜

18、料預(yù)溶至無噴濺現(xiàn)象時方可繼續(xù)鍍膜。 鍍膜過程中需觀察監(jiān)控速率是否穩(wěn)定，束流是否正常，進(jìn)氧是否正常,真空度是否穩(wěn)定,若不穩(wěn)定則需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄異常狀況進(jìn)氣1、鍍膜完成后，鍍膜機(jī)觸膜屏控制面板上“排氣系”界面自動進(jìn)入 “大氣”狀態(tài)。2、若需手動放氣，在鍍膜機(jī)觸膜屏控制面板上“排氣系”界面選擇“手動” 關(guān)閉“mv1mv2” （polycold開始除霜，35時除霜完成）點(diǎn)擊“wsw”（開始進(jìn)氣）。 開門時間點(diǎn)需記錄到鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中。1、鍍膜完成后等待腔體門自動打開；2、若需手動放氣，則按下vacuum select菜單中放氣閥vent鍵。 開門時間點(diǎn)需記錄到鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中。1、

19、 鍍膜完成后，鍍膜機(jī)將按以下順序動作：mv off（設(shè)定時間），heater off（設(shè)定時間），rotat10n off 冷卻結(jié)束（設(shè)定時間），lv開，充氣，開門。2、若需手動放氣，則待polycold除霜結(jié)束后按下白色vent鍵等待自動開門。 開門時間點(diǎn)需記錄到鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中。溫度降至220后打開放氣閥待真空室門自動打開。 開門時間點(diǎn)需記錄到鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中。下傘將傘架從鍍膜機(jī)工件架上取下，放置到凈化工作臺中。 下傘時需帶石棉網(wǎng)手套，避免燙傷； 下傘時應(yīng)避免手或袖口等碰觸鏡片，造成鏡片臟污。將傘架從鍍膜機(jī)工件架上取下，放置到凈化工作臺中。 下傘時需帶石棉網(wǎng)手套，避免燙傷； 下傘時

20、應(yīng)避免手或袖口等碰觸鏡片，造成鏡片臟污。將傘架從鍍膜機(jī)工件架上取下，放置到凈化工作臺中。 下傘時需帶石棉網(wǎng)手套，避免燙傷； 下傘時應(yīng)避免手或袖口等碰觸鏡片，造成鏡片臟污。參考鍍膜裝取片作業(yè)指導(dǎo)書gl/wi-rd-13-02 1.當(dāng)車間溫度低于22時，每罩產(chǎn)品鍍完膜后等溫度降至200以下開進(jìn)氣閥，開門后等溫度降至50以下取傘。2.當(dāng)車間溫度高于22時，按照原工藝進(jìn)行生產(chǎn)。機(jī)參考設(shè)備部文件參考設(shè)備部文件參考設(shè)備部文件參考設(shè)備部文件5.3鍍膜后自檢5.3.1光學(xué)性能檢查：a. 鏡片冷卻至常溫后，取1、3、5圈各一片，測試光學(xué)性能（見測試清單），并按鍍膜批號保存好鍍膜曲線；b. 光柵產(chǎn)品冷卻至常溫后，

21、每圈傘片邊緣各取一片，去膠并測試衍射比值；c. 若測試光學(xué)性能ok，則將測試片歸還到吸塑盒中原位置后，將測試曲線與對應(yīng)產(chǎn)品一同后流品質(zhì)抽檢；d. 若測試光學(xué)性能ng，則及時通知當(dāng)班組長，當(dāng)班組長若能自行調(diào)整則調(diào)整后再知會項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，若不能自行調(diào)整則第一時間通知產(chǎn)品負(fù)責(zé)人，待產(chǎn)品負(fù)責(zé)人制定調(diào)整方案后再做調(diào)整，調(diào)整狀況均需詳細(xì)記錄到鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中。5.3.2外觀檢查：a. 每罩取測試了光學(xué)性能的3片產(chǎn)品進(jìn)行外觀檢查；b. 檢查方式：置于強(qiáng)光燈下，目視檢查；c. 檢查項(xiàng)目：麻點(diǎn)、噴點(diǎn)、霧狀、手指印、水漬等；d. 處理方法：3片中只要發(fā)現(xiàn)有1片不良，及需上報(bào)當(dāng)班組長，由組長確認(rèn)是否可繼續(xù)生產(chǎn)，當(dāng)

22、組長不能判定時，需上報(bào)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，由項(xiàng)目負(fù)責(zé)人確定是否可繼續(xù)生產(chǎn)，同時項(xiàng)目負(fù)責(zé)人需制定改善方案。鍍膜機(jī)操作及鍍膜工藝指導(dǎo)書 page 11 六、膜料更換及使用6.1膜料更換膜料名稱sio2sitio2 ti3o5 ta2o5 nb2o5 al2o3 h4 m1常規(guī)更換周期每次洗設(shè)備后更換15天（15天為蒸著使用時間）15天（15天為蒸著使用時間）20天（(20天為蒸著使用時間)更換流程添加新膜料酒精擦拭清水沖洗坩堝噴砂將坩堝中的膜料敲出投入生產(chǎn)鍍膜過程中膜料污染達(dá)到規(guī)定使用天數(shù)熔料有雜質(zhì)或嚴(yán)重污染局部小面積污染將污染的膜料敲出添加新料 高折射率材料熔料遵循先大光點(diǎn)將膜料顆粒熔化,再中光點(diǎn)進(jìn)行小

23、范圍熔(光點(diǎn)控制成小圓圈路線),最后小光點(diǎn)大面積的掃描(整個坩堝內(nèi)全部掃描到,使藥品得到充分的溶化)的原則； 熔料次數(shù)2次，手動熔料電流控制見附件。 低折射率材料不需要進(jìn)行熔料。 更換膜料后需將更換信息記錄到鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中。備注 此藥品屬于使用量比較小的藥品,在平時使用過程中選擇小瓶盛裝拿起使用,原裝的大瓶膜料放入干燥箱中保管. 此藥品屬于使用量比較小的藥品,在平時使用過程中選擇小瓶盛裝拿起使用,原裝的大瓶膜料放入干燥箱中保管.6.2熔料6.2.1昭和、萊寶鍍膜機(jī)都是設(shè)備自動熔料；6.2.2 韓一鍍膜機(jī)熔料當(dāng)真空達(dá)到8.0e-5torr時進(jìn)行si材料預(yù)熔，預(yù)熔前先將電子槍2調(diào)到手動狀態(tài)并

24、開啟電子槍及高壓電源，將掃描x、y分別調(diào)整到6慢慢加大束流至100ma等待60s再慢慢加到200ma等待90s這時si已慢慢熔化，在降束流將至150ma并將掃描x、y調(diào)整到0等待60s，再慢慢加到250ma等待90s，再慢慢加到350ma等待90s，再慢慢加到450ma等待30s，將掃描x、y分別調(diào)整到10并慢慢降束流至200ma等待20s, 再慢慢降束流至100ma等待20s，再慢慢降束流至50ma等待20s，再將束流慢慢降到0掃描x、y分別調(diào)整為0，關(guān)閉電子槍將其調(diào)到自動狀態(tài)。熔料曲線：tio2/m1050100150200250300350400010020030040050060070

25、06.2.3 南光鍍膜機(jī)熔料：當(dāng)真空計(jì)顯示為5.0e-3時,方可預(yù)熔膜料。將工轉(zhuǎn)電壓調(diào)至100v,熔料，開電子槍燈絲, 調(diào)節(jié)遙控盒上束流使電流表2顯示為0.5a預(yù)熱5分鐘，（若用電子槍,則把電子槍選擇開關(guān)指向槍），開掃描電源, 開高壓, 慢慢加大束流,注意觀察真空室內(nèi)光斑的位置, 不斷調(diào)節(jié)x,y掃描移動光斑,在坩堝的位置,使膜料均勻預(yù)熔, 當(dāng)束流達(dá)到規(guī)定值,膜料預(yù)熔放氣,直到真空計(jì)顯示放氣量只降不升時,再把光斑放到坩堝中間燒1分鐘左右,關(guān)電子槍束流,關(guān)預(yù)置。 熔al2o3時將x掃描加一圈y掃描加半圈熔料曲線：鍍膜機(jī)操作及鍍膜工藝指導(dǎo)書 page 23 七、設(shè)備清洗7.1昭和鍍膜機(jī)清洗7.1.1

26、清洗周期a. 鍍fm時：3天/周期(15罩fm)；b. 鍍ar時：7天/周期(105罩ar)；c. fm+ar的混合生產(chǎn)時，先安排生產(chǎn)fm,后生產(chǎn)ar,更換周期不超過105罩ar(1罩fm=7罩ar).拆卸坩堝周圍蓋板7.1.2清洗流程圖放置到干燥柜中取出鍍膜機(jī)內(nèi)坩堝送噴砂房噴砂包鋁紙的護(hù)板需更換新的鋁紙清水沖洗干凈拆卸真空室內(nèi)的底板、左右護(hù)板、傘架、擋板、電子槍護(hù)板清潔加熱管邊緣，工件架邊緣，機(jī)內(nèi)側(cè)壁沉積膜料用銅刷或刮刀用酒精擦拭用吸塵器將粉塵吸除用鋁紙將電子槍蓋好清潔電子槍周邊吸除鍍膜機(jī)內(nèi)掉落的膜料及粉塵用酒精擦拭擦拭擴(kuò)散泵上方真空室、polycold管道及真空室內(nèi)壁用酒精浸泡并擦拭用10

27、00#砂紙打磨清潔電子槍體更換槍燈絲安裝電子槍、電子槍護(hù)板、真空室內(nèi)的底板、左右護(hù)板及擋板排氣測試護(hù)板清洗要求：拆卸人員與噴砂人員共同填寫昭和鍍膜機(jī)清洗交接表。排氣要求：溫度設(shè)定300，抽真空1小時，并試槍空鍍5-10分鐘。7.1.3配件更換a、電子槍燈絲更換l 1#電子槍燈絲更換周期：25天/周期(25天為鍍膜機(jī)工作時間)；l 2#電子槍燈絲更換周期：每次清洗機(jī)臺時更換。l 在生產(chǎn)周期內(nèi)出現(xiàn)電子槍燈絲打火或槍燈絲燒斷情況時可更換槍燈絲,。l 更換新的槍燈絲后要預(yù)熱10分鐘以上。l 更換下的槍燈絲須貼上小標(biāo)簽，并在小標(biāo)簽上注明更換時間、人及幾號電子槍.注：作業(yè)員更換槍燈絲時組長需監(jiān)督確認(rèn)，并在

28、鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄更換信息,以便在下次清洗設(shè)備時由組長判定是否再次更換槍燈絲.b、光控片更換l 1鍍fm時安裝全部的光控片(20個）；l 鍍ar時安裝4個光控片。注：1、 更換光控片時，需保持光控片表面清潔；2、 更換光控片后需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄更換信息；3、 更換后的光控片統(tǒng)一放置保管，積攢到一定數(shù)量后由采購部門統(tǒng)一外發(fā)返工拋光后再次利用。4.更換套銅時須對應(yīng)放置，換下的套銅放置于夾具中。4、c、光控?zé)襞莞鼡Ql 更換周期：7天/周期（7天為工作時間）l 更換周期內(nèi)如果發(fā)現(xiàn)光信號發(fā)生波動較大時或出現(xiàn)極值點(diǎn)偏差時，則當(dāng)即更換光控?zé)襞?。注：更換光控?zé)襞莺笮柙阱兡ぴ紨?shù)據(jù)記錄表中記錄更

29、換信息；7.2萊寶鍍膜機(jī)清洗7.2.1清洗周期a、整個清洗周期，只能鍍ar產(chǎn)品100罩，鍍其他產(chǎn)品需做折算：l 1罩光柵增透=1罩ar；l 1罩光柵=0.25罩ar；l 1罩g2k=3罩arb、若需鍍光柵，必須在設(shè)備清洗后優(yōu)先鍍，且只能鍍108罩，再鍍只能鍍光柵以外產(chǎn)品。7.2.2清洗流程圖護(hù)板清洗要求：拆卸人員與噴砂人員共同填寫萊寶鍍膜機(jī)清洗交接表。排氣要求：溫度設(shè)定280，排氣（抽真空）一小時，并試槍及離子源空鍍5-10分鐘將管道內(nèi)水排出蓋上離子源蓋板拆卸坩堝周圍蓋板取出鍍膜機(jī)內(nèi)坩堝拆卸真空室內(nèi)的底板、左右護(hù)板、傘架、擋板送噴砂房噴砂用酒精擦拭清潔烘烤盤邊緣，加熱管邊緣，工件架邊緣沉積膜料

30、用銅刷或刮刀吸除掉落的膜料及粉塵擦拭擴(kuò)散泵上方真空室、polycold管道及護(hù)板用酒精擦拭安裝4塊通水護(hù)板安裝其他護(hù)板清潔電子槍體用1000#砂紙打磨用酒精浸泡并擦拭更換槍燈絲排氣測試放置到干燥柜中清水沖洗干凈清潔電子槍周邊用吸塵器將粉塵吸除用鋁紙將電子槍蓋好通水測試（先通熱水后通冷水）7.2.3配件更換a、電子槍燈絲更換l 以gt計(jì)算，當(dāng)槍燈絲使用值為400時，需洗槍，換槍燈絲。l 在生產(chǎn)周期內(nèi)出現(xiàn)電子槍燈絲打火或槍燈絲燒斷情況時可更換槍燈絲,。注：1、當(dāng)鍍一罩gt時槍1使用值加1，槍2加0；2、當(dāng)鍍一罩ar時，槍1使用值加1，槍2加4；3、作業(yè)員更換槍燈絲時組長需監(jiān)督確認(rèn)，并在鍍膜原始數(shù)據(jù)

31、記錄表中記錄更換信息,以便在下次清洗設(shè)備時由組長判定是否再次更換槍燈絲.l 更換新的槍燈絲后要預(yù)熱10分鐘以上。b、晶振片更換l 鍍gt產(chǎn)品時，晶振壽命值3時必須更換晶振片；l 鍍除gt以外其它產(chǎn)品時，晶振壽命值8時必須更換晶振片；l 光控控制時，晶振壽命值10時必須更換晶振片；l 每更換陽極筒時也必須更換晶振片；l 當(dāng)發(fā)現(xiàn)鍍膜速率不穩(wěn)時及時更換晶振片；注：1、更換晶振片時，需保持晶振片表面清潔；2、 更換晶控片后需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄更換信息；l 裝好后，檢查晶振頻率是否正常顯示，壽命值是否為0。c、陽極筒更換l 以gt計(jì)算，鍍7罩gt后需要更換陽極筒；l 以ar計(jì)算，鍍15罩ar后需

32、要更換陽極筒；l 超過一個12小時未用時也應(yīng)該更換陽極筒；注：1、更陽極筒后需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄更換信息；2、 鍍光柵時要求離子源功率dp控制在5.00.1。（通過調(diào)整bv值控制）l 從其它產(chǎn)品轉(zhuǎn)鍍光柵產(chǎn)品時，需要更換陽極筒。d、離子源清潔及存放l 更換硼化鑭后，使用時間48小時時，每更換陽極筒時都需清潔一次離子源；使用時間48小時時，每更換2次陽極筒時清潔一次離子源。l 當(dāng)離子源陶瓷環(huán)若出現(xiàn)明顯破損，需更換。l 當(dāng)離子源不使用時須加蓋蓋好，使用時須將蓋取出。l 當(dāng)鍍膜機(jī)開門時間2小時則須將離子源取出放入干燥柜中存放。e、硼化鑭與加熱器更換l 使用時間250h時，需更換硼化鑭與加熱器；

33、l 更換后需計(jì)時歸零，同時將時間計(jì)時器設(shè)定為250h。f、石墨加熱器及硼化鑭的預(yù)使用及硼化鑭“消毒l 石墨加熱器的預(yù)熱當(dāng)更換新的石墨加熱器時，需對加熱器和硼化鑭進(jìn)行預(yù)熱除氣的操作，具體步驟如下：=按照操作指南安裝新部件=關(guān)上真空室門并在“idle”狀態(tài)下抽真空至3.0e-5mbar=通冷水，在aps控制面板menu 6菜單中設(shè)置以下參數(shù)： operating mode local heater current 30a heater power 0kw=按下“heater”按鈕，等待加熱器的預(yù)熱時間完成。=改變heater current(加熱器電流)到40a并等待預(yù)熱時間完成。=按照每次10a

34、逐漸增加heater currnet至100a，每一步都需等待預(yù)熱時間完成。=按照每次20a逐漸增加heater currnet至200a，每一步都需等待預(yù)熱時間完成。=將heater power（加熱器功率）設(shè)置為1.8kw并等待預(yù)熱時間完成。完成以上步驟后，加熱器的參數(shù)已設(shè)置為正常工作時的狀態(tài)。l 硼化鑭的預(yù)熱=將離子源設(shè)置為local模式=按下“heater”，等待加熱器加熱完畢。(在約500s)=在menu3菜單將32號離子源中設(shè)置為以下參數(shù)coil current 0.5aaps shutter delay time 0secdischarge pre-current 10adisc

35、harge pre-time 0secbias voltage 0vdischarge idle current 0agas 1 start flow 10sccmgas 1 trigger delay 0secgas 1 ramp time 0secgas 1 end flow 10sccm=按下“source”點(diǎn)火程序和適應(yīng)階段將在到達(dá)設(shè)定的參數(shù)之前自動運(yùn)行。在開始階段，discharge voltage將比bias voltage要高，（在menu1菜單中查看當(dāng)前值）=每次10a增加discharge current到30a。（在menu2菜單中更改）注：每一步都需等待幾分鐘直到離子源穩(wěn)

36、定（放電電壓緩慢減?。?減小gas 1 flow 到8sccm。=增加discharge current 到40a。 =增加coil current到1.00a注：現(xiàn)在discharge voltage 應(yīng)該比bias voltage要低。=將bias voltage設(shè)定為120v以啟動偏壓控制，此時discharge voltage應(yīng)該近似為90-100v。讓aps以此狀態(tài)運(yùn)行至少20-30分鐘 =依次按下source 和heater關(guān)閉離子源和加熱器。l 硼化鑭“消毒”當(dāng)硼化鑭表面被氧化時，稱為“中毒”，其外在表現(xiàn)為硼化鑭表面變?yōu)橥咙S色，此時需對其進(jìn)行“消毒”除氣操作。消毒原理是硼化鑭表

37、面在氬離子環(huán)境中再生。具體操作如下：1）清潔用萊寶專用工具將陽極桶取出并更換，將離子源加熱器、硼化鑭及其附件取出進(jìn)行清潔，后安裝到位。2）關(guān)上真空室門抽真空至2.0e-5mbar。3）按heater鍵，啟動離子源加熱器并自動等待300秒。4）按menu鍵、3鍵，進(jìn)入離子源參數(shù)設(shè)置，并設(shè)置set30，如下；coil current 0.5 adischarge pre current 10 adischarge pre time 10sdischarge current 10abias voltage 0.0 vdischarge idle current 10agas 1 gas 2gas s

38、tart flow /sccm 20 0gas end flow /sccm 20 05）按source鍵，啟動離子源=當(dāng)離子源第一次點(diǎn)火后discharge pre current（放電電流）可能小于10a并且離子束可能會閃爍。如果在離子源內(nèi)部產(chǎn)生電弧，則可能觸發(fā)低壓保護(hù)而關(guān)閉離子源，同時會出現(xiàn)f：discharge voltage的報(bào)警提示。=按下“ackn”鍵消除報(bào)警。=重新啟動離子源直到在此條件下有穩(wěn)定的放電電壓。=按照一定的增量逐漸增加參數(shù)的數(shù)值。如下表 6）7）8）9）coil current0.5a1.0a1.5a2.0adischarge pre cunrrent20a20a2

39、0a20adischarge cunrrent20a20a20a20agas flow gas 1(sccm)20202020注：當(dāng)離子束不再閃爍并且看起來穩(wěn)定時，進(jìn)入下一步。例如：離子源參數(shù)不再改變時，可進(jìn)入下一步 =將discharge pre time設(shè)置為60秒，并按以下步驟進(jìn)行。10）11）12）coil current2.0a2.0a2.0adischarge pre cunrrent20a20a20adischarge pre time60s60s60sdischarge cunrrent30a40a40agas flow gas 1(sccm)202015=完成以上步驟后，偏壓

40、控制啟動（偏壓設(shè)置大于0）13)14)15)16)17)discharge cunrrent40a40a40a40a50abias voltage80v100v120v120v120vgas flow gas 1(sccm)1515151212=按照最近的離子源參數(shù)運(yùn)行至少15分鐘，直到coil current（線圈電流）和bias voltage（偏壓）穩(wěn)定。檢查 =啟動鍍膜時候使用的離子源設(shè)置（不充氧氣）消毒完成后的離子源參數(shù)應(yīng)該接近“中毒”之前的狀態(tài)。=開門后取出硼化鑭觀察其顏色，如果是丁香藍(lán)（lab6的典型顏色），則消毒完成，可以正常工作。7.3韓一鍍膜機(jī)清洗7.3.1清洗周期a. 鍍

41、ir-cut、fm時：2天/周期；b. 鍍bs時：3天/周期，中間可穿插個別護(hù)板更換；注：組長確認(rèn)可以適當(dāng)延長清洗周期（延長時間不可超過12小時）7.3.2清洗流程圖護(hù)板清洗要求：拆卸人員與噴砂人員共同填寫韓一鍍膜機(jī)清洗交接表。排氣要求：溫度設(shè)定300，抽真空一小時，并試槍及離子源空鍍5-10分鐘用鋁紙蓋好離子源取出鍍膜機(jī)內(nèi)坩堝拆卸真空室內(nèi)的底板、左右護(hù)板、傘架、擋板等放置到干燥柜中送噴砂房噴砂清潔加熱管邊緣，工件架邊緣，機(jī)內(nèi)側(cè)壁沉積膜料用銅刷或刮刀清潔電子槍周邊吸除掉落的膜料及粉塵擦拭擴(kuò)散泵上方真空室、polycold管道及真空室內(nèi)壁清潔電子槍體安裝電子槍、真空室內(nèi)的底板、左右護(hù)板及擋板排氣

42、測試用1000#砂紙打磨用酒精浸泡并擦拭用酒精擦拭更換槍燈絲用酒精擦拭拆卸坩堝周圍蓋板用吸塵器將粉塵吸除用鋁紙將電子槍蓋好清水沖洗干凈每次清洗設(shè)備時需對鋁紙進(jìn)行更換7.3.3配件更換a、電子槍燈絲更換l 1#電子槍燈絲更換周期：25天/周期(25天為鍍膜機(jī)工作時間)；l 2#電子槍燈絲更換周期：每次清洗機(jī)臺時更換。l 在生產(chǎn)周期內(nèi)出現(xiàn)電子槍燈絲打火或槍燈絲燒斷情況時可更換槍燈絲,。l 更換新的槍燈絲后要預(yù)熱10分鐘以上。注：作業(yè)員更換槍燈絲時組長需監(jiān)督確認(rèn)，并在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄更換信息,以便在下次清洗設(shè)備時由組長判定是否再次更換槍燈絲.b、晶振片更換l 單獨(dú)晶振控制時：晶振壽命值10時

43、必須更換晶振片；l 光控控制時：晶振壽命值16時必須更換晶振片；l 當(dāng)發(fā)現(xiàn)鍍膜速率不穩(wěn)時及時更換晶振片；注：1、更換晶振片時，需保持晶振片表面清潔；2、更換晶控片后需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄更換信息。l 裝好后，檢查晶振頻率是否正常顯示，壽命值是否為0。c、光控?zé)襞莞鼡Ql 更換周期：7天/周期（7天為工作時間）l 更換周期內(nèi)如果發(fā)現(xiàn)光信號發(fā)生波動較大時或出現(xiàn)極值點(diǎn)偏差時，則當(dāng)即更換光控?zé)襞?。注：更換光控?zé)襞莺笮柙阱兡ぴ紨?shù)據(jù)記錄表中記錄更換信息；7.4南光鍍膜機(jī)清洗7.4.1清洗周期10天/周期 （以鍍ar計(jì)算60罩）7.4.2清洗流程圖拆卸坩堝周圍蓋板取出鍍膜機(jī)內(nèi)坩堝拆卸真空室內(nèi)的底板、左

44、右護(hù)板、傘架、擋板、電子槍護(hù)板放置到干燥柜中送噴砂房噴砂清潔加熱管邊緣，工件架邊緣，機(jī)內(nèi)側(cè)壁沉積膜料用銅刷或刮刀清潔電子槍周邊用吸塵器將粉塵吸除用鋁紙將電子槍蓋好吸除鍍膜機(jī)內(nèi)掉落的膜料及粉塵擦拭擴(kuò)散泵上方真空室、polycold管道及真空室內(nèi)壁清潔電子槍體安裝電子槍、電子槍護(hù)板、真空室內(nèi)的底板、左右護(hù)板及擋板排氣測試用1000#砂紙打磨用酒精浸泡并擦拭用酒精擦拭更換槍燈絲用酒精擦拭清水沖洗干凈護(hù)板清洗要求：拆卸人員與噴砂人員共同填寫南光鍍膜機(jī)清洗交接表。排氣要求：溫度設(shè)定280，抽真空2小時，并試槍空鍍5-10分鐘7.4.3配件更換a、電子槍燈絲更換l 2#電子槍燈絲更換周期：每次清洗機(jī)臺時更

45、換。l 在生產(chǎn)周期內(nèi)出現(xiàn)電子槍燈絲打火或槍燈絲燒斷情況時可更換槍燈絲。l 更換新的槍燈絲后要預(yù)熱10分鐘以上。注：作業(yè)員更換槍燈絲時組長需監(jiān)督確認(rèn)，并在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄更換信息,以便在下次清洗設(shè)備時由組長判定是否再次更換槍燈絲.b、晶振片更換l 檢查晶振片壽命值，壽命值96%時，必須更換晶振片。l 晶振片更換好后，需檢查晶振頻率是否正常顯示，壽命值是否98%，若不是，則需重新更換。注：1、更換晶振片時，需保持晶振片表面清潔；2、更換晶控片后需在鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表中記錄更換信息。7.5鍍膜機(jī)設(shè)備點(diǎn)檢7.5.1參照鍍膜機(jī)日常點(diǎn)檢表進(jìn)行每天的日常點(diǎn)檢并做好記錄.7.5.2點(diǎn)檢人員核對點(diǎn)檢數(shù)據(jù)

46、有無異常,若有異常須馬上上報(bào)到組長處.組長核實(shí)點(diǎn)檢數(shù)據(jù)及分析,若能自行解決，則處理后填好相關(guān)記錄,若不能自行解決，立刻上報(bào)設(shè)備部,請?jiān)O(shè)備部人員進(jìn)行修理。鍍膜機(jī)操作及鍍膜工藝指導(dǎo)書 page 30 八、鍍膜工藝8.1 變溫工藝：適應(yīng)于1#,2#機(jī)臺制作全部產(chǎn)品及其他機(jī)臺制作的反射鏡8.2 設(shè)備測溫8.2.1測溫時機(jī)：8.2.1.1.每次洗設(shè)備后烘設(shè)備時進(jìn)行測溫，測試數(shù)據(jù)記錄入到鍍膜機(jī)烘烤溫度記錄表中.8.2.1.2.機(jī)臺停機(jī)大于等于24小時后，開機(jī)使用時進(jìn)行測溫，測試數(shù)據(jù)記錄入到鍍膜機(jī)烘烤溫度記錄表中.8.2.2測溫要求：a. 傘架全部上滿蓋片，1,5圈測試b. 設(shè)定溫度規(guī)定：設(shè)備名稱設(shè)定溫度昭

47、和、韓一300萊寶、南光280注：設(shè)備進(jìn)行了比較大的變動時需特別提出注明（設(shè)備部件維護(hù)，更換等） 8.2.3測溫方法： 8.2.4測定結(jié)果分析a. 測定真實(shí)溫度與標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定值差異在|10度時可正常生產(chǎn).(平均)b. 測定真實(shí)溫度與標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定值差異在10|20度時, 將設(shè)定鍍膜溫度提高或者降低相對應(yīng)的溫差后，再進(jìn)行測溫（可與生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)同步進(jìn)行）,測試完成后再參照8.2.4的a、b、c條款做出對應(yīng)處理。 舉例說明：昭合設(shè)備測溫的標(biāo)準(zhǔn)溫度為：1圈：260度 5圈： 270度鍍膜傘圈數(shù)標(biāo)準(zhǔn)溫度（t1）洗設(shè)備后實(shí)測溫度(t2)|= |t1- t2|處理方法例11圈2602555由于|=510，故按方法a處理，即