外層DF工序操作指引WI ME 5 1新

1、文件更改申請(qǐng)單文件名稱外層D/F工序操作指引文件編號(hào)WI-ME-5-1版本05修訂號(hào)5申請(qǐng)部門ME申請(qǐng)日期08 FEB2007更改類型?COP?WI?增加？刪除其它：更改詳細(xì)情況更改刖內(nèi)容：有火山灰噴砂機(jī)的相關(guān)內(nèi)容更改后內(nèi)容：取消火山灰噴砂機(jī)的相關(guān)內(nèi)容更改理由完善WI需審批/確認(rèn)部門申 請(qǐng)人： 鄭劍日期：08 Feb 2007?ADM? Em?matl?mE?Q a?vPe?PRod?ppc?TQM? MKT?PIE APQP?IPQC? R&D TRAINING?總經(jīng)理審批是否直接影響品質(zhì)否口是口如是在說明：備注：1. 更改刖填與此表便于審批2. 申請(qǐng)人、申請(qǐng)日期用打印3. 表中有“ ?的部

2、門由申 件后在文件中簽名；4. 表中有“ ”的部門不 需修訂相關(guān)CP/PFMEA5. 對(duì)程序更改由APQP負(fù)；部門評(píng)審相關(guān)更改原因及更改內(nèi)容，以提高審批速度；1方式;I請(qǐng)人在文件更改內(nèi)容里涉及的部門處打“2”，審批部門同意更改則在審批文需在文件中審批，只是在更改刖知悉有關(guān)更改（ APQP負(fù)責(zé)審核相關(guān)更改是否,培訓(xùn)組監(jiān)控有關(guān)更改后 WI培訓(xùn)）；責(zé)評(píng)審有關(guān)更改對(duì)對(duì)品質(zhì)的影響。管制編號(hào)：DCC-015-G文件狀態(tài)東莞 億立線 路板有 限公司DONGGUAN YILI CIRCUIT PLATE CO., LTD.AWHOLLY OWNED SUBSIDIARY OF EXCEL INT L HOLD

3、INGS LTD .正本印章副本印章收件識(shí)別印章文件名稱：外層D/F工序操作指引文件編號(hào)：WI-ME-5-1版本：05文件更改覆歷性質(zhì)及項(xiàng)號(hào)審批部門第05 版修訂5分發(fā)部門ADMGM:丫MATLMEVMEEMVEMMKTPEVPEPRODI VPRODPPCQA:VQAIPQCI VIPQCTQMVTQM同一版本可修訂 5次，超過5次則應(yīng)更換版本文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第1頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055目 錄一:工序概序2二:設(shè)備操作指引 3-19三:黃菲林復(fù)、使用及檢查操作指引 20-21四:設(shè)備保養(yǎng)22-23五:一般問題處理 24六:凈化房規(guī)定及環(huán)境要求25七

4、:特別工藝26-28文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第2頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055.工藝流程及原理1.1工藝流程工作片準(zhǔn)備 20min1.2流程原理磨板：均勻粗化板表面及清除板表面雜物，提高干膜與銅面之結(jié)合力貼膜：在一定溫度壓力下將干膜貼附在經(jīng)過清潔粗化后的板面上對(duì)位：通過工作底片與板面相對(duì)應(yīng)孔拍合，為完成線路圖形之轉(zhuǎn)移作準(zhǔn)備曝光：利用一定UV紫外光能量對(duì)干膜進(jìn)行感光聚合，將工作底片上的圖形轉(zhuǎn)移到貼好干膜的 板面上顯影:利用一定濃度的NNCO3(K2CO3)溶液將未感光部分干膜除去，得到所需要的線路圖形 1.3干膜使用規(guī)定：干膜型號(hào)供應(yīng)商適用范圍使用規(guī)定YQ-40PT

5、旭化成1、金厚w 10 U的電Ni/Au板；2、電 Cu/Sn 板；3、電 Ni;4、銅厚w 1 OZ直蝕板。1、硬金板第二次干膜使用PM115;2、堿性直蝕，蝕 CU w 1 OZ可 用于任何一種干膜；蝕1 OZ w CU w 3 OZ 用 FX540 干膜 所有蝕CU 3 OZ的板不能 用干膜直接抗蝕。PM-115DUPONTFX-5040DUPONT堿性直蝕板AF-5040旭化成1、電厚10 U的電Ni/Au板；2、硬金板的第一次干膜使用。W250DUPONT二次干膜后沉Ni/Au板.設(shè)備操作指引(一)前處理操作指引1.1工藝流程：針轆磨板機(jī)工藝流程入板一酸洗一循環(huán)水洗三一磨板一二級(jí)循環(huán)

6、水洗及清水洗一吸干一強(qiáng)風(fēng)吹干一烘干一出板 1.2操作方法1.2.1針轆磨板操作方法1.2.1.1操作前檢查工作文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第3頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-10551輸送是否平衡，行轆有無竄動(dòng)現(xiàn)象；2 2各壓力表顯示的壓力是否在正常范圍內(nèi)；3檢查噴嘴及過濾網(wǎng)有無堵塞現(xiàn)象；4各液缸中液位高度是否適宜；5磨轆空轉(zhuǎn)時(shí)，電流是否正常；6磨轆搖擺是否正常。121.2開機(jī)步驟外接電源入水總掣電源總掣控制電源啟動(dòng)加熱開關(guān)依次開控制 面板上開關(guān)1.2.1.3關(guān)機(jī)步驟關(guān)機(jī)與開機(jī)順序相反1.3操作注意事項(xiàng)1.3.1針轆磨板僅能磨板厚0.2mm之板，戴尼龍手套或手指套 拿板邊放板，

7、防止板面氧化與手 指印。1.3.2磨板時(shí)雙手執(zhí)板邊左右交叉放板，以避免擦花板面和磨刷磨損不均勻。1.3.3吸水棉轆清潔、針轆磨刷段過濾網(wǎng)紗清洗與噴淋水更換頻率：2次/班（中途與下班前各1次）。1.3.4接板人員雙手執(zhí)板放入邊插板車（板厚0.4mm之板），而且須戴口罩。1.3.5針轆磨刷更換頻率：當(dāng)刷毛的有效長(zhǎng)度w8mm或產(chǎn)量達(dá)到150000ft2時(shí)，需更換磨刷。1.3.6處理好的板一架滿后，在凈化房外停留時(shí)間不能超過5min。1.3.7新?lián)Q針轆磨刷要求用整刷板打磨，打磨時(shí)須關(guān)閉輸送按鈕，打磨時(shí)間為10min，以保證其刷毛平整。1.3.8正常生產(chǎn)情況下針轆磨板機(jī)酸洗換缸頻率：1次/班,酸洗缸每班

8、中途一次性添加 500-800ml 濃硫酸。1.4工藝參數(shù)工序項(xiàng)目工藝參數(shù)范圍控制點(diǎn)檢測(cè)頻率針轆磨板酸洗濃度3-5%(V/V) H 2SO44%(V/V)1次/班循環(huán)水洗壓力 15psi每P/N速度1.52.8m/min2.2m/min磨痕寬度12-18mm15mm2次/班（開工后與中途各1 次，換做不同板厚之 P/N則調(diào)整磨板電流）烘干溫度90 10C90 C每P/N水膜測(cè)試12sec1 次 /4H磨板電流2-4A僅供參考1.5工藝參數(shù)維護(hù)1.5.1磨痕測(cè)量方法不開磨刷和搖擺的狀況下，將一塊雙面覆銅板置于所需測(cè)試的磨刷下，開動(dòng)磨刷5-10SEC，文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第4頁(yè)正本印章副本

9、印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055關(guān)掉刷，并以相同方法測(cè)出所需測(cè)試的磨刷，用尺測(cè)量其磨痕寬度（兩端0.5 不予以計(jì)算）。1.5.2水膜測(cè)量方法：將一塊已磨好的板放在水籠頭下進(jìn)行全面噴淋，然后將板以45 -90角度拿起，觀察水膜滯留板面的情況。1.5.3各藥水缸的配制藥缸名稱缸體積藥品名稱添加量備注針轆磨板機(jī)酸洗缸120LH2SO44-6L不需化驗(yàn)1.6保養(yǎng)記錄磨板機(jī)保養(yǎng)記錄表（管制編號(hào)：M-117）磨板（三）手動(dòng)貼膜操作指引3.1工藝流程JOK操作前的檢查和清潔f開機(jī)f調(diào)試壓膜機(jī)f上干膜f試壓膜f檢查壓膜效果f批量生產(chǎn)八八f卸干膜放回存放區(qū)f關(guān)機(jī)車壓膜不良 3.2操作方法3.2.1操作

10、前的檢查及清潔3.2.1.1用酒精和膠刮或無塵紙（布）清潔上下壓轆,做到壓轆上無菲林碎，無灰塵及雜物3.2.1.2檢查上、下壓轆有無變形，有無缺口和裂痕，如有則及時(shí)知會(huì)主管。3.2.2調(diào)試壓膜機(jī)3.2.2.1 開機(jī) “ LC-2400”、“ MODEL300 ”貼膜機(jī)開機(jī)墻上電源開關(guān)f機(jī)電源開關(guān)f抽氣開關(guān)f控制電源開關(guān)f熱轆加溫開關(guān)f降下壓轆操縱手柄f速度按紐 “ CSL-M25 ”機(jī)開機(jī) 墻上電源開關(guān)f機(jī)電源開關(guān)f加壓開關(guān)f啟動(dòng)f板合粘塵轆手柄f輸送f速度調(diào)整3.2.2.2貼膜機(jī)調(diào)試 “ LC-2400”、“ M0DEL300” 貼膜機(jī)調(diào)試I轉(zhuǎn)動(dòng)上壓轆高度操縱手柄，降下上壓轆；II抽上機(jī)身氣

11、閥門（AIR SMITCH ），旋動(dòng)氣壓調(diào)節(jié)旋鈕，達(dá)到所需氣壓；III按下AIRSMITCH按鈕，轉(zhuǎn)動(dòng)上壓轆操作縱手柄，提升上壓轆；IV按下速度按鈕（DRIVE ），旋動(dòng)速度調(diào)節(jié)旋鈕，選擇好速度；V用溫度測(cè)量?jī)x檢測(cè)動(dòng)轉(zhuǎn)中熱轆實(shí)際溫度，若不能在此范圍內(nèi)，需調(diào)設(shè)溫度達(dá)到 要求范圍內(nèi)；W按下DRIVE鍵，讓運(yùn)轉(zhuǎn)中傳轆停止轉(zhuǎn)動(dòng)；VD仔細(xì)觀察以上各動(dòng)作有無異?；蚴ъ`。 “ CSL-M25 ”貼膜機(jī)調(diào)試文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第5頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055I氣壓調(diào)整方法：向上拉起氣壓調(diào)節(jié)器的按鈕，解除其鎖定，然后進(jìn)行氣壓調(diào)整，順時(shí)針旋轉(zhuǎn)調(diào)整其壓力上升， 逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)調(diào)整其壓

12、力下降，調(diào)整后按下調(diào)整按鈕加以鎖定。U速度調(diào)整：調(diào)整壓膜之運(yùn)轉(zhuǎn)速度，順時(shí)針加快，反之逆時(shí)針減慢； 川溫度調(diào)整：按設(shè)定值減少鍵，設(shè)定值之工作溫度減少，按設(shè)定值增加鍵，則設(shè)定值之工 作溫度增加。W上、下干膜中心調(diào)整：當(dāng)上下膜錯(cuò)位時(shí)可調(diào)右上方干膜中心調(diào)整鈕，順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)一 周，干膜中心入右移1.5mm,逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)一周干膜中心往左移1.5mm。322.3上干膜 根據(jù)板尺寸，選擇好所用干膜之尺寸，看干膜有否過期； 取下并清潔吸塵毛刷； 套上下兩卷干膜，并將兩卷干膜對(duì)齊固定好位，再旋緊干膜兩邊固定螺絲； 用膠紙分開上層Mylar，并卷在收菲林保護(hù)膜的卷筒上。備注：“ CSL-M25 ”貼膜機(jī)上干膜前

13、需取下進(jìn)板臺(tái)和粘塵轆架，待上好干膜后再裝回。3.2.2.4 貼膜 帶手套上板，按下輸送開關(guān)； 放板入經(jīng)調(diào)整好的固定桿之間推進(jìn)入轆； 接板員用介刀趁熱割掉板邊多余的干膜，同時(shí)檢查板面是否有無起皺、氣泡邊、上下干膜 錯(cuò)位等現(xiàn)象，若不合格則須重新調(diào)試。 貼好膜的板插架冷卻（板厚w 0.2mm板可疊板）。3.2.2.5關(guān)機(jī)與開機(jī)步驟相反程序3.3操作注意事項(xiàng)3.3.1送板貼膜時(shí)，操作員應(yīng)時(shí)刻留意板面是否有氧化變色、板面雜物等異?，F(xiàn)象，否則需退 回磨板工序重新磨板。Pb/Sn板磨進(jìn)凈化房后停放不能超過30min，直蝕板磨進(jìn)凈化房后停 放不能超過60min,否則作翻磨處理。3.3.2接板割邊人員要小心割邊

14、，板邊不可有多余干膜，特別留意刀尖不要碰到板面，同時(shí)要 檢查板面是否清潔，貼好膜的板應(yīng)無起泡、起皺，Mylar完整，然后插架散熱，不可水平方向疊板（薄板除外）。不能將2pnls板插在同一槽內(nèi)，避免刮花干膜。3.3.3 LC-2400機(jī)的壓轆驅(qū)動(dòng)（DRIVE）,手動(dòng)速度方向開關(guān)（FORWORD、REVERSE）不能同時(shí) 按下，否則會(huì)燒壞線路。3.3.4壓膜速度在機(jī)上無顯示，操作時(shí)按變速盤上標(biāo)示的范圍控制。3.3.5手或身體其它部位不得觸摸或接觸高溫?zé)徂A，以免燒傷。3.3.6 CSL-M25機(jī)壓轆前的吸塵紙轆的方向一定與干膜方向一致，不能裝反，否則粘塵轆會(huì)卷 上熱壓轆。3.3.7 CSL-M25機(jī)

15、不建議貼單面板（指兩塊板合貼的單面膜）；MODEL-3OO機(jī)不建議貼電Ni/Au 板。3.3.8放板員戴手套，并加戴手指套，雙手拿板邊放板，禁止手觸摸到板中間，而且須戴口罩作 業(yè)。文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第6頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055339更換干膜時(shí)用無塵布（或無塵紙）蘸上酒精清潔熱壓轆與前后傳動(dòng)輪，熱壓轆清潔禁止用 刀片或手指甲等堅(jiān)硬物去刮，防止擦傷壓轆；3.3.10貼完膜之板，對(duì)位前需用皺紋膠粘去板邊菲林碎；此皺紋膠紙更換頻率：300p nls次3.3.11清潔機(jī)粘塵紙更換頻率：每生產(chǎn) 2H時(shí)，需切除上、下臟的粘塵紙一次。3.3.12手動(dòng)壓膜機(jī)熱壓轆包膠后

16、生產(chǎn)8-10萬ft2板需重新包膠。3.4工藝參數(shù)工序項(xiàng)目工藝參數(shù)范圍控制點(diǎn)檢測(cè)頻率貼 膜貼膜壓力負(fù)片 直蝕55-65psi （v 0.8mm 板材）60psi每P/N40-55psi （ 0.8mm 板材）50psi正片 電鍍金板55-65psi （ 1.0mm 板材）60psi45-55psi （ 1.0mm 板材）50psi錫板50-60psi （v 0.8mm 板材）55psi40-60psi （ 0.8mm 板材）50psi貼膜速度0.8-1.4m/min1.1m/min每P/N貼膜溫度100-130C120C每P/N出板溫度50-60E（ 0.6mm 板材）55 r每P/N60-70

17、C（v 0.6mm 板材）65 C靜止時(shí)間20mi nW T 48H在操作檢查事項(xiàng) 卡上注明時(shí)間3.5保養(yǎng)記錄3.5.1貼膜機(jī)保養(yǎng)記錄表（管制編號(hào)：M-024）3.5.2自動(dòng)清潔機(jī)保養(yǎng)記錄表（管制編號(hào)： M-246）（四）自動(dòng)貼膜機(jī)操作指引4.1工藝流程磨板開機(jī)f操作前的檢查與清潔f上干膜f試壓膜f檢查壓膜效果f批量生產(chǎn)f卸干膜f關(guān)機(jī)調(diào)試壓膜機(jī)壓膜不良4.2操作方法4.2.1暫存機(jī)操作方法4.2.1.1操作前的檢查與清潔4.2.1.1.1檢查輸送是否正常，行轆有無竄動(dòng)現(xiàn)象；4.2.1.1.2用無塵紙（或無塵布）蘸上酒精清潔行轆與支撐桿，做到無灰塵與雜物。4.2.1.2開機(jī)步驟4.2.1.2.1

18、確定電控箱內(nèi)之 Breaker為ON文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第7頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-105542122按下控制面板之Power鍵。42123按START鍵，看輸送滾輪能否正常運(yùn)轉(zhuǎn)。42124按STOP鍵，停止?jié)L輪輸送。4.2.1.2.4按UP鍵，看支撐桿能否正常上升。42125按DOWN鍵，看支撐桿能否正常下降。42126按下START鍵，則可開始自動(dòng)操作。4.2.1.3關(guān)機(jī)步驟4.2.1.3.1確定輸送滾輪上無板件。4.2.1.3.2按下停止鍵。4.2.1.3.3 按下 POWER 鍵。4.2.1.3.4將電控箱內(nèi)之Breaker為OFF,即完成關(guān)機(jī)程序。4.

19、2.1.4操作注意事項(xiàng)4.2.1.4.1調(diào)整輸送速度應(yīng)與后段（預(yù)熱）保持相當(dāng)，保證不疊板。4.2.1.4.2當(dāng)后段出現(xiàn)故障時(shí)，板件至擋板處停止，入料Sensor感應(yīng)，支撐桿上升將板件升起暫存；待故障排除后，支撐桿下降，將所暫存之板依序放出。4.2.1.4.3暫存機(jī)僅可暫存20pnls板。4.2.1.4.4所暫存之板兩片放出間隔時(shí)間可設(shè)定（一般設(shè)定6-8sec）。4.2.1.4.5所有拿放板動(dòng)作務(wù)必戴棉織手套加手指套完成。4.2.2預(yù)熱機(jī)操作方法4.2.2.1開機(jī)步驟4.2.2.1.1將電源開關(guān)開啟，停止開關(guān)指示燈亮。4.2.2.1.2按啟動(dòng)開關(guān)。4.2.2.1.3開啟輸送機(jī)開關(guān)，輸送機(jī)開始運(yùn)轉(zhuǎn)

20、，并按要求調(diào)節(jié)輸送速度。4.2.2.1.4按要求在溫度控制器上設(shè)定溫度。4.2.2.1.5開啟電熱開關(guān)。4.2.2.1.6溫度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，即可批量生產(chǎn)。422.2關(guān)機(jī)步驟與開機(jī)順序相反程序關(guān)機(jī)。4.2.2.3操作注意事項(xiàng)4.2.2.3.1預(yù)熱機(jī)頂蓋上請(qǐng)勿放置任何物品，以免影響本機(jī)之性能。4.2.2.3.2預(yù)熱輸送速度不可超過后段（壓膜）運(yùn)行速度，以防疊板。4.2.2.3.3超溫時(shí)，指示燈亮紅燈，蜂鳴器響，可先按蜂鳴停止開關(guān)，再排除故障；故障排除后， 按異常復(fù)歸鍵，方可繼續(xù)操作。4.2.2.3.4操作過程中，若遇緊急狀況，可按異常緊急開關(guān)，即可停止一切作業(yè)。文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第8頁(yè)正

21、本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-10554.224工藝參數(shù)流程項(xiàng)目工藝參數(shù)范圍控制點(diǎn)檢測(cè)頻率備注預(yù)熱輸送速度1.9-2.5m/min2.2m/min每P/N預(yù)熱溫度140-180E（ 0.60mm 板材）160C每P/N100-140C（ 45T（ 0.60mm板材）每P/N參考項(xiàng)目 50C（0.60mm 板材）每P/N參考項(xiàng)目靜止時(shí)間20mi nW T 48H在操作檢查 事項(xiàng)卡上注明時(shí)間文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第10頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055424翻板機(jī)操作方法424.1操作前的檢查與清潔424.1.1檢查輸送是否正常，傳動(dòng)Roller有無竄動(dòng)現(xiàn)

22、象。4.2.4.1.2用無塵紙（或無塵布）蘸上酒精清潔行轆與傳動(dòng)Roller，做到無灰塵與雜物。424.2開機(jī)步驟4.2.4.2.1確定電控箱內(nèi)之Breaker為ON。4.2.4.2.2按下控制面板Power。4.242.3按下START鍵，輸送Roller開始傳動(dòng)，由入料Sensor感應(yīng)后，由葉片進(jìn)行翻板。4.2.4.3關(guān)機(jī)步驟4.2.4.3.1確定傳動(dòng)Roller上無板件。4.2.4.3.2 按下 STOP鍵。4.2.4.3.3 按下 Power鍵。4.2.4.3.4將電控箱內(nèi)Breaker為OFF,即完成關(guān)機(jī)動(dòng)作。4.2.4.4操作注意事項(xiàng)4.2.4.4.1操作員應(yīng)在傳動(dòng)輪處收板，切勿在

23、傳動(dòng)Roller內(nèi)收板，以免刮傷干膜，同時(shí)保證板件冷卻徹底。4.2.4.4.2若出現(xiàn)卡板，需手動(dòng)排除故障，再啟動(dòng)即可繼續(xù)生產(chǎn)；故障排除方法如下：4.2.4.4.2.1將入料段的板件取出。4.2.442.2將選擇鈕轉(zhuǎn)至S,翻板機(jī)會(huì)反方向翻轉(zhuǎn)，即可取出卡板。4.2.4.4.2.3將旋轉(zhuǎn)鈕轉(zhuǎn)至B，即可重新啟動(dòng)。4.2.4.4.3 傳動(dòng)氣壓需維持在 0.25-0.40 Kg/cm2。4.2.5保養(yǎng)記錄4.2.5.1自動(dòng)壓膜線保養(yǎng)記錄表（管制編號(hào)：M-123）（五）曝光機(jī)操作指引5.1工藝流程開機(jī)f清潔曝光盤及 Mylar f測(cè)曝光尺f試曝光f批量生產(chǎn)f關(guān)機(jī)t-NO-5.2操作方法重調(diào)能量指數(shù)5.2.1

24、 HTE-102X曝光機(jī)操作方法及調(diào)試5.2.1.1 開機(jī)外接總電源f機(jī)電源（POWER） f電路開關(guān)按鈕（CIRCUIT） f接上下盤運(yùn)作開（UPPER/AMP）5.2.1.2 HTE-102X曝光機(jī)調(diào)試a. 清潔曝光架后，調(diào)試真空狀態(tài)，按下抽真空鈕（UACUM）,氣壓表（UACUMGAUGE）顯示真 空氣壓。b. 選擇曝光機(jī)架的驅(qū)動(dòng)（FRAME ）為自動(dòng)（AUTO ）c. 選擇曝光方式（LAMP ）為自動(dòng)（AUTO ）d. 旋動(dòng)紫外光燈（YELLOW LAMP ）為ON狀態(tài)文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第11頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055e. 選擇燈的輸出功率(LA

25、MP CHANGE )為5KW。f. 選擇好能量檔位(WELECHOR )和能量計(jì)算方式MjX1或MjXIO ,設(shè)置好所用的能量 參數(shù)g. 不放板、抽真空、按驅(qū)動(dòng)鈕(FRAME FORNORD)曝光一次，仔細(xì)觀察各顯示屏、批示 燈有無異常。5.2.2 AP-30曝光機(jī)操作方法及調(diào)試5.221 AP-30曝光燈開機(jī)外接總電源一冰水機(jī)水源一機(jī)電源(ROWER)5.2.2.2 AP-30曝光機(jī)調(diào)試a. 輸出功率調(diào)試按“INTENSITY ”，選擇曝光燈輸出功率5KW，曝光機(jī)當(dāng)顯示燈全亮?xí)r為5KW,亮一 格為1KW,亮二格為2.5KW,8KW 曝光機(jī)顯示燈全亮?xí)r為 8kw亮一格為3KW,亮二格 為5K

26、W,直接按INTESITY可以調(diào)節(jié)至所需的燈輸出功率，一般使用 5KW。b. 曝光能量設(shè)置按MEMORY鍵，為燈更改窗口為“ VACUUM ”下燈更改窗口為“ EXPOSURE，按 “VACUUM ”鍵，此時(shí)MEMORY窗口 EXPOSURE窗原顯示數(shù)字消失，輸入需設(shè)置 的能量數(shù)碼,重按VACUUM鍵,完成上燈能量設(shè)置；下燈能量設(shè)置與上燈類似,即按 EXPOSURE鍵輸入能量數(shù)碼重按 EXPOSURE鍵。5.2.2.3關(guān)機(jī)：與開機(jī)順序相反程序關(guān)機(jī)5.2.3 UVE-M720曝光機(jī)操作方法及調(diào)試5.2.3.1 開機(jī)外接總電源一機(jī)電源-冷水機(jī)進(jìn)出水閥一開關(guān)按鈕(START)5.2.3.2 調(diào)試5.

27、2.3.2.1按系統(tǒng)啟動(dòng)；5.2.3.2.2按手動(dòng)畫面，設(shè)置打開上、下燈；5.2.3.2.3按曝光畫面，設(shè)置上下燈能量，設(shè)定上下曝光燈功率為5KW;5.2.3.2.4清潔曝光架玻璃及Mylar;5.2.3.2.5選擇好曝光組能量，將待曝光之板放入框架內(nèi)，按VACUUM，再按FRAMEFORWARD送入曝光，燈滅后再按 FRAME FORWARD出架。5.2.3.3關(guān)機(jī)：按系統(tǒng)關(guān)機(jī)后關(guān)機(jī)器電源。5.3操作注意事項(xiàng)5.3.1曝光前后，要隨時(shí)注意清潔玻璃及 MYLAR上的雜物。5.3.2每次抽真空至穩(wěn)定后，擦拭 MYLAR以趕走殘留的空氣。5.3.3操作小心，輕拿輕放，防止擦花工作片及曝光玻璃。5.

28、3.4對(duì)位時(shí)，板厚小于0.8mm之板，要求翻轉(zhuǎn)波珠臺(tái)進(jìn)行拍板，以免拍板偏位。5.3.5清潔時(shí)只能用指定菲林清潔劑或吸塵轆，粘塵紙臟即更換。5.3.6曝光玻璃及Mylar之清潔頻率：每曝光1-3次用吸塵轆清潔一次，每曝光 1小時(shí)用無塵 紙蘸菲林水清洗一次；工作片清潔頻率：最小線寬 /最小線隙小于6mil /6mil的細(xì)密集線路 型號(hào)每曝光1次用吸塵轆清潔一次，最小線寬/最小線隙大于或等于6mil /6mil之型號(hào)每曝 光2-3次用吸塵轆清潔一次。5.3.7曝光尺黃片每一月更換一次，黑片每三月更換一次文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第12頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí)WI-ME-5-1055另U印章5.3.

29、8所有干膜板，曝光前必須有擋光邊，以保證沖板時(shí)板邊無殘留菲林碎。539若在生產(chǎn)中出現(xiàn)爆燈管，要及時(shí)更換。5.3.10 Mylay更換：生產(chǎn)不超過 400H或破損、起皺。5.3.11 UVE-M720曝光機(jī)不建議做最小線寬/最小線隙小于6mil /6mil的細(xì)密集線路型號(hào)。5.4工藝參數(shù)工序項(xiàng) 目工藝參數(shù)范圍控制點(diǎn)檢測(cè)頻率曝光曝光能量12-18格蓋膜（25級(jí)尺）15格蓋膜每2小時(shí)或更換干膜型號(hào)時(shí)測(cè)一次曝光燈使用壽命 25inHg(AP30 機(jī))每Cycle檢杳一次 65cmHg(HTE-102X 機(jī)) 65cmHg(UVE-M720 機(jī))抽真空時(shí)間 10 sec靜置時(shí)間20min T 10.4/

30、每更換缸測(cè)一次藥水溫度30 2 C30C每次顯影前藥水壓力 及水洗壓力18-26psi22psi2H/次，對(duì)有4.0以上圭寸孔的板顯影后水洗 壓力調(diào)至下限。顯影速度2.0-4.2m/min （永輝機(jī)）/每次顯影前1.7-2.7m/min （宇宙機(jī)）/顯影點(diǎn)YQ-40PT、PM115、FX540、W250干膜顯影點(diǎn)：50-60%55%每2H或更換沖不同 干膜型號(hào)一次AF5040干膜顯影點(diǎn)：45-55%50%顯影后 停留 時(shí)間薄金板、鉛錫 板、直蝕板T 48H/厚金板、硬金板T 24H/6.5工藝參數(shù)維護(hù)6.5.1顯影點(diǎn)測(cè)量方法放置一塊已貼干膜待曝光板，開啟顯影機(jī)待板走到顯影缸中間時(shí)，關(guān)掉顯影泵及

31、傳動(dòng)，記 下板在顯影缸中的位置，開啟水洗泵及傳動(dòng)將板走出，根據(jù)板面情況，估算出露銅點(diǎn)位置, 顯影點(diǎn)為露銅點(diǎn)至顯影起始的距離，占整個(gè)顯影缸長(zhǎng)度的百分比。6.5.2顯影缸的藥水配制藥缸名稱缸體積藥品名稱添加量備注1#顯影缸800LNa2C37.5Kg依化驗(yàn)單進(jìn)行調(diào)整2#顯影缸800LNa2C37.5Kg1#顯影缸800L消泡劑20-25ml添加前需先用1： 5或以上 的水稀釋后加入顯影槽中2#顯影缸800L消泡劑20-25ml6.6保養(yǎng)記錄6.6.1 D/F永輝顯影機(jī)保養(yǎng)記錄表6.6.2宇宙顯影機(jī)保養(yǎng)記錄表6.6.3 D/F工序顯影點(diǎn)測(cè)試記錄表文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第15頁(yè)正本印章副本印章收

32、件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055（七）重氮片顯影機(jī)操作指引7.1 HELA重氮片顯影機(jī)操作方法7.1.1打開外接電源，開啟機(jī)體左邊綠色機(jī)電源鍵。7.1.2此時(shí)顯影機(jī)開始運(yùn)轉(zhuǎn)及自動(dòng)加熱，加熱需 10-15mi n。7.1.3打開白色OUT氨泵鍵，旋轉(zhuǎn)Ammonmia pumped鍵調(diào)節(jié)氨水的流量，為每秒泵出一滴氨 水為正常（以綠色小燈的一熄一亮來計(jì)），待兩分鐘以后即開始顯影。7.1.4黑色的Retour鍵為前后轉(zhuǎn)鍵7.2關(guān)機(jī)方法先關(guān)白色OUT氨泵鍵，約2分鐘以后，再關(guān)綠色機(jī)電源鍵，最后關(guān)外接電源。7.3操作注意事項(xiàng)7.3.1在顯影前，首先放一張白紙吸干機(jī)內(nèi)遺留的氨水水跡。7.3.2使用的氨水

33、應(yīng)為25%-28%含量的（A.R）分析純或（C.P）化學(xué)純的濃氨水。7.3.3氨水瓶上的小孔切勿阻塞，同時(shí)要保持瓶?jī)?nèi)有足夠的氨水供應(yīng)。7.3.4氨水瓶的放置一定要比機(jī)體稍高，以便廢液的流回。7.3.5顯影機(jī)的放置右邊應(yīng)比左邊高2-3mm,同時(shí)此機(jī)應(yīng)由專人負(fù)責(zé)使用，用后并作妥善的掩 蓋保持。7.4工藝參數(shù)工序項(xiàng)目工藝參數(shù)范圍控制點(diǎn)檢測(cè)頻率氨水顯影速度刻度：100-250刻度：180每次顯影前過機(jī)次數(shù)4-8次4次7.5保養(yǎng)記錄7.5.1重氮片顯影機(jī)保養(yǎng)記錄表（管制編號(hào)：M-048）文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第16頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055（八）X-Rite-369光

34、密度計(jì)操作指引8.1光密度計(jì)操作方法8.1.1開機(jī)步驟先接通電源，然后打開該機(jī)右上角的“ ROWER ”“ 0”至“T8.1.2關(guān)機(jī)程序與開機(jī)順序相反8.2操作注意事項(xiàng)8.2.1該機(jī)為精密儀器，測(cè)量不能用力過猛。8.2.2兩周校正一次，平時(shí)若非測(cè)黃片，請(qǐng)別亂動(dòng)按鍵。8.2.3用后無塵布（紙）蓋上，以免測(cè)量孔上灰，影響精度。8.3操作方法8.3.1測(cè)量方法把應(yīng)測(cè)黃片的區(qū)域?qū)?zhǔn)測(cè)量孔，用適當(dāng)?shù)牧ο蛳掳礈y(cè)量孔上鍵直到測(cè)量盤中燈光增 亮，讀出該顯示屏上的讀數(shù)即可。8.3.2校正方法8.3.2.1同時(shí)按下“ FUNCTION ”和“ COLOR”鍵直到液晶提示為“ N Cal Y”。8.3.2.2 按“

35、ZERO”鍵，提示出“ N QCAL Y ”。8.3.2.3 按“FUNCTIN ”鍵，提出示“ SET HI” 再為“ V#、#H”若提示為“ V-2.82H” , 則按繼續(xù)“ E”步。8.3.2.4輸入正確的V標(biāo)準(zhǔn)值，按住“ ZERO”鍵，再按“ FUNCTION ”向下調(diào)整或按“COLOR”向上調(diào)整直到調(diào)整為“ V2.82H”放開按住的兩鍵。8.3.2.5按“ COLOR ”鍵選擇U （紫外線）標(biāo)準(zhǔn)值，若此時(shí)提示出現(xiàn)“ U2、82H”則轉(zhuǎn) 去“G”步。8.3.2.6輸入正確U標(biāo)準(zhǔn)值同“ D”步。8.3.2.7 按“COLOR”提示出現(xiàn)“ READ AIR ”。8.3.2.8移走檢查孔上的

36、菲林，然后對(duì)空測(cè)一次。8.3.2.9 提示為“ READING ”“ U0.00L” “ READ HI”。8.3.2.10把檢查尺之“ CAL ”部分對(duì)檢查孔，測(cè)量此部的密度，若提示為“U2、82”后自動(dòng)恢復(fù)為“ DEN”則標(biāo)準(zhǔn)值檢查完成。文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第17頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055三、黃菲林制作使用指引1.1工藝流程：檢查黑菲林一黑菲林上放Film （重氮片）曝光一顯影一檢修一與印制板對(duì)板2.1制作方法：2.1.1檢查黑菲林2.1.1.1核對(duì)編號(hào):工作號(hào)、層數(shù)號(hào)、底片號(hào)等存在的生產(chǎn)輔助標(biāo)識(shí)，不允許進(jìn)入外形邊框內(nèi)2.1.1.2工程修改通知單.2.

37、1.1.3制造標(biāo)志:公司商標(biāo)、UL標(biāo)志和制造年周.2.1.1.4修補(bǔ)母片上的缺口、針孔、連線、突點(diǎn).2.1.2曝光2.121取一張重氮片，切至合適尺寸,要求尺寸至少大于黑菲林.2.1.2.2將黑菲林與重氮片藥膜面對(duì)藥膜面放置在曝光盤中墊的隔光層上.2.1.2.3然后根據(jù)曝光尺選擇曝光能量曝光，21級(jí)曝光尺為2-3級(jí)蓋膜.2.1.3顯影2.1.3.1然后將曝光后的重氮片過氨水機(jī)顯影，注意：為保證生產(chǎn)過程中尺寸穩(wěn)定和光密 度的合適，必須交叉顯影，交叉過機(jī)各三次，然后用光密度計(jì)進(jìn)行測(cè)試。3.1操作注意事項(xiàng)3.1.1未曝光的黃片與曝光后未顯影的黃片，應(yīng)用黑色膠袋或盒子裝好，防止黃片曝光。3.1.2工作

38、時(shí)小心操作，不要刮傷菲林.3.1.3制作黃片前應(yīng)把黃片拆散包裝放入干菲林凈化間24小時(shí)以上，讓其穩(wěn)定尺寸.3.1.4所有復(fù)制好的黃菲林應(yīng)在溫度為 20 3 C相對(duì)濕度60 10%RH的環(huán)境下存放，以防菲 林變形.4.1黃菲林檢查指示4.1.1檢查黃菲林由生產(chǎn)部受過專業(yè)培訓(xùn)工負(fù)責(zé).4.1.2檢查黃菲林藥膜面是否正確，可用手部觸摸、目視，用小刀刮等方法辨認(rèn).（黃菲林的藥 膜面與黑菲林剛好相反）4.1.3用百倍鏡檢查黃菲林的線寬，間距與環(huán)寬等圖形是否與黑菲林一致，如不一致，貝吐匕黃 菲林不能使用并要通知有關(guān)人員查找原因.4.1.4檢查黃菲林有無存在線路開路以及刮傷，砂眼、紅點(diǎn)等缺陷，如有上述缺陷應(yīng)檢

39、查黑菲林 上有無相同缺陷，如黑菲林上有相同缺陷，黑菲林應(yīng)退回PE修理,如黑菲林無相同缺陷， 則應(yīng)檢查曬黃菲林條件后重曬黃菲林或?qū)S菲林作修理。凡是線隙5mil的黃菲林，在5mil的線隙中出現(xiàn)短路，均不能動(dòng)刀修理，給予報(bào)廢。4.1.5檢查黃菲林上的有關(guān)公司標(biāo)記,UL標(biāo)記及周期是否正確.4.1.6檢查黃菲林上的輔助性標(biāo)記（如:板型號(hào)，元件面標(biāo)記，焊接面標(biāo)記）以及菲林貼邊是否準(zhǔn) 確,并且不允許進(jìn)入外形邊框內(nèi).4.1.7檢查合格的黃菲林要做合格標(biāo)記，并編號(hào)登記，以及在生產(chǎn)中記錄使用次數(shù).文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第18頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-10555.1工藝參數(shù)工序項(xiàng)目工藝

40、參數(shù)范圍控制點(diǎn)檢測(cè)頻率工作 片黃片使用壽命350-400 次 /套 （線寬 / 線隙 6mil）350次每對(duì)位25次進(jìn)行檢查清潔500-550次/套（線寬/線隙6mil）500次每對(duì)位25次進(jìn)行檢查清潔黑片使用壽命外層W 500次500次每對(duì)位25次進(jìn)行檢修清潔黃片光密度透光區(qū)W 0.15每復(fù)制新片遮光區(qū)4.06.1菲林檢查程序菲林檢查程序文件編號(hào)：版本修訂號(hào)共24頁(yè)第19頁(yè)正本印章副本印章收件識(shí) 別印章WI-ME-5-1055四、設(shè)備保養(yǎng)1.1針轆磨板機(jī)大保養(yǎng)的方法1.1.1頻率：1次/周1.1.2方法：1.1.2.1排走所有缸（酸缸、水缸）的廢液后加滿清水。1.1.2.2各缸均加入5kg

41、NaOH（NaOH必須事先溶解好）1.1.2.3取出各段噴管上的保護(hù)膠蓋后，開啟各缸噴1小時(shí)。1.1.2.4用NaOH噴淋的同時(shí)，將吸水棉轆取出浸泡在50-60E的熱水中，浸泡30min再用少量洗滌劑清洗，最后用清水洗凈殘余的洗滌劑。1.1.2.5排走各缸的NaOH廢液后加滿清水。1.1.2.6 各缸加入 5LH2SO4，噴淋 15min。1.1.2.7噴淋的同時(shí),清理風(fēng)干段（風(fēng)刀及濾氣網(wǎng)，輸送輪）和烘干段（輸送輪）。1.1.2.8排走酸液后加滿清水。1.1.2.9開機(jī)噴10min左右后排走。1.1.2.10清理各缸噴嘴，保護(hù)膠蓋等。1.1.2.11裝回吸水棉轆、過濾網(wǎng)及運(yùn)輸輪。1.1.2.12 試機(jī)。1.1.3吸水棉轆更換