特種氣體系統(tǒng)工程技術規(guī)范

1、特種氣體系統(tǒng)工程技術規(guī)范2011-04-07 08:31:54|分類：默認分類 |標簽：氣體特種管道氣瓶閥門 |字號訂閱1總則1.0.1為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設計和施工中正確貫徹國家法律、法規(guī)，確保安全可靠，保護環(huán)境，滿足電子產品生產要求，保護人身和財產安 全，做到安全適用、技術先進，經濟合理。制定本規(guī)范。1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴建和改建的電子工廠的特種氣體輸送系統(tǒng)工程的設計和施工。1.0.31.0.4本規(guī)范不適用特種氣體的制取、提純、灌裝系統(tǒng)的設計和施工。特種氣體系統(tǒng)的設計和施工除應符合本規(guī)范的規(guī)定外，應符合國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。2術語2.0.1特種氣體 specialily

2、 gas用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、 刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣 體、毒性氣體、惰性氣體等。2.0.2特種氣體系統(tǒng) speciality gas system特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場的特種氣體的儲存、輸送與分配全過程的設 備、管道和部件的總稱。2.0.3特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格 等氣體設備，并通過管道向用氣設備輸送特種氣體的房間。2.0.4硅烷站 silane station是指放置硅烷儲存設備（氣瓶、氣瓶集裝格、y

3、鋼瓶、長管拖車或 iso 標準 儲罐）、硅烷氣化裝置及尾氣處理裝置、電氣裝置等，并通過管道向用氣生產廠房 供應硅烷氣體的獨立建構筑物或區(qū)域。2.0.5明火地點 open flame site室內外有外露的火焰或赤熱表面的固定地點。2.0.6散發(fā)火花地點 sparking site散發(fā)火花的煙囪或室外電焊、砂輪、氣焊等固定地點。2.0.7空瓶 empty cylinder留有殘余壓力的氣體鋼瓶。2.0.8實瓶 full cylinder存有氣體的氣瓶中保存有氣體壓力的氣瓶，特種氣體氣瓶一般水容積為 40l、47、48l 等各種容積。2.0.9氣瓶集裝格 the bundle of gas cyl

4、inders用專用金屬框架固定，采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶 組單元。氣瓶的個數(shù)分別為 9 個、12 個、16 個不等，單個氣瓶的水容積通常為 4050l。2.0.10氣瓶柜 gas cabinet (gc)特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、真空發(fā) 生器、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所 必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。2.0.11氣瓶架 gas rack (gr)特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、吹掃裝 置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測及報警等安全設施

5、。氣瓶架有手動、 半自動、全自動三類。2.0.12閥門箱 valve manifold box (vmb)特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配部件，vmb 在氣體入口配置氣 動閥、手動閥，各支管可配置手動閥、壓力表、過濾器等組件，除 sih2cl2、wf6 等低蒸汽壓力氣體外，vmb 各支管可根據需要設置調壓閥。vmb 需設置泄漏氣體排 氣管接口和風壓事故報警。2.0.13閥門盤 valve manifold panel (vmp)特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配部件，vmp 在氣體入口配置氣 動閥、手動閥，各支管應配置手動閥、壓力表、過濾器等組件，vmp 各支管可根據 需要設置調

6、壓閥。2.0.14低蒸汽壓力氣體 low vapor pressure gas在室溫下的飽和蒸氣壓小于 0.2mpa 的氣體。2.0.15尾氣處理裝置 local scrubber用于處理易燃、易爆、有毒、有腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的裝置，處 理后的尾氣達到規(guī)定排放濃度，并排入用氣車間的排氣管道。2.0.16氣體探測系統(tǒng) gas detector system(gds)設置在特種氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤、及其它特種氣體輸送設備與 管道所覆蓋區(qū)域，通過檢測本質氣體或關聯(lián)氣體在空氣中的含量來判斷本質氣體的 泄漏，從而發(fā)出聲光報警信號、提供應急處理數(shù)據的系統(tǒng)。2.0.17氣體管理系統(tǒng) ga

7、s management system(gms)包含特種氣體探測系統(tǒng)、應急處理系統(tǒng)、工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據輸 送與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)的統(tǒng)稱。2.0.18最高允許濃度值 threshold limit value(tlv)工作環(huán)境空氣中有害物質的最高允許濃度值。2.0.19爆炸濃度下限值 low explosion limit(lel)可燃氣體在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值。2.0.20臥式氣瓶 y-cylinder/t-cylinder用于儲存較多特種氣體的氣瓶。一般水容積為 500l，1000l。2.0.21自燃氣體 pyrophoric gas在空氣中會發(fā)生自動燃燒

8、的氣體。2.0.22可燃氣體 flammable gas指與空氣（或氧氣）能夠形成一定濃度的混合氣態(tài)，并遇到火源會發(fā)生燃燒 或爆炸的氣體。2.0.23毒性氣體 toxic gaslc50 超過 200ppm 但不超過 2000ppm 的氣體。2.0.24腐蝕性氣體 corrosive gas是指在一定條件下，對材料或人體組織接觸產生化學反應引起可見破壞或不 可逆反應的氣體。2.0.25氧化性氣體 oxygenize gas是指在一定條件下，與材料接觸會產生較為劇烈的失去電子的化學反應的氣體。2.0.26惰性氣體 inert gas在一般情況下與其它物質不會產生化學反應的氣體。2.0.27限流孔

9、板 restrict flow orifice(rfo)限定系統(tǒng)最大流量的一種裝置。2.0.28過流開關 excess flow switch(efs)流量超出設定值時，給出開關信號。2.0.29 ap 管 annealed and pickled pipe經過酸洗或鈍化、去除表面殘存顆粒的鈍化無縫不銹鋼管。2.0.30 ba 管 bright annealing pipe經加氫或真空狀態(tài)高溫熱處理，消除內部應力并在管道表面形成一層鈍化膜 的光亮無縫不銹鋼管。2.0.31 ep 管 electro-polished pipe經電化學拋光，使表層實際面積得到最大程度的減少,表面產生一層較厚的封

10、閉的氧化鉻膜的電化學拋光無縫不銹鋼管。2.0.32吹掃 purge用氮氣和氬氣對特種氣體系統(tǒng)內的其它氣體進行置換的過程。2.0.33排氣 vent特種氣體設備與系統(tǒng)中排出的本質氣體。2.0.34數(shù)據采集與監(jiān)視控制系統(tǒng) supervisory control and dataacquisition（scada）是以計算機為基礎的生產過程控制與調度自動化系統(tǒng)。它可以對現(xiàn)場的運行 設備進行監(jiān)視和控制，以實現(xiàn)數(shù)據采集、設備控制、測量、參數(shù)調節(jié)以及各類信號 報警等各項功能。2.0.35工廠設備管理控制系統(tǒng) facility management controlsystem（fmcs）用于管理工廠動力設備

11、的管理控制系統(tǒng)，一般只具有監(jiān)視功能，不具有控制 功能。2.0.36大宗硅烷系統(tǒng) bulk silane system是指容器水容積超過 250l 的硅烷系統(tǒng)，包括鋼瓶集裝格、y 鋼瓶、長管拖車 (t/t)、iso 標準儲罐，以及數(shù)量超過 7 個的獨立小鋼瓶系統(tǒng)。2.0.37氣體面板 gas panel集成切斷閥門、調壓閥、過濾器、壓力計等零部件并安裝在氣瓶柜內的專用 設施。2.0.38開敞式建筑 open area立柱和墻面遮擋部分小于周長的 25%的建筑。2.0.39內向檢漏 inboard he leak test又稱噴氦法測試. 采用內部抽真空，外部噴氦氣的方法，測試管路系統(tǒng)的泄 漏率。

12、2.0.40閥座檢漏 cross seat he leak test采用閥門上游充氦氣，下游抽真空，檢測泄漏率的方法。2.0.41外向檢漏 outboard he leak test又稱吸槍法測試，采用管路內部充氦氣或氦氮混合氣，外部用吸槍檢查漏點 泄漏率的方法。2.0.42不相容性 incompatible不同氣體混合后即發(fā)生化學反應，釋放出能量并對環(huán)境產生危害作用的特性。2.0.43 iso 標準儲罐 iso module按國際標準組織（iso）要求，允許安裝在架子上的多個水容積不超過 1218l 的儲罐或長管氣瓶的總稱。2.0.44大宗特氣輸送系統(tǒng)應用：1）集束鋼瓶（容積小于 50l 鋼

13、瓶數(shù)量超過 12 個以上）；2）y 型鋼 瓶；3）t 型鋼瓶；4）長管拖車；5）iso 槽罐等進行特種氣體儲存和送氣作業(yè)的系 統(tǒng)。3 特種氣體站房3.1一般規(guī)定3.1.1特種氣體站房包括布置在單獨建構筑物或區(qū)域內的特種氣體站和布置在生產廠房內的特種氣體間。3.1.2布置在生產廠房內的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格向生產線供應特種氣體。3.1.3在生產廠房內的特種氣體間內的最大允許儲存量見表 3.1.5，當生產廠房內的氣體儲量超過規(guī)定數(shù)量時，應設計獨立的特種氣體站。表 3.1.3生產廠房內最大允許儲存量序號12345氣體種類可燃氣體毒性氣體劇毒性氣體自燃氣體氧化性氣體氣體

14、總量1立方米 56921. 12. 81706腐蝕性氣體 92說明: 1 標準狀態(tài)下的氣體體積量.3.1.4集合工藝設備的布置情況，生產廠房內的特種氣體間應集中布置在生產廠房一樓靠外墻的區(qū)域。3.1.53.1.6低蒸汽壓力特種氣體供應設施應盡可能靠近工藝設備。布置在單獨建構筑物或區(qū)域內的特種氣體站，可采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、槽車、長管拖車向生產線供應特種氣體。3.2氣體站房分類3.2.1特種氣體依其物性及安全特性，將其分為可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性氣體。3.2.2布置在生產廠房內的特種氣體間根據氣體性質宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間。3.2.3獨立布置的特種

15、氣體站有硅烷站、氨氣站等。3.3特種氣體設備的布置3.3.1不相容的特種氣體的氣瓶架應布置在不同房間里，如果布置在同一房間，氣瓶柜架之間的距離應大于 6 米。3.3.23.3.3同時具有可燃性和毒性氣體應放在可燃性氣體間特種氣體房間內的氣瓶柜、氣瓶架、就地尾氣處理裝置、氣瓶集裝格宜靠墻布置，具有相同或相近氣體性質的設備應布置在一起。3.3.4特種氣體間的中間通道寬度不得小于 2 米，特氣柜與墻體之間的距離宜大于 0.1m，特氣柜之間的距離宜大于 0.1m,氣瓶集裝格宜靠墻布置。布置應考 慮維修與運轉空間。3.4.53.4.6硅烷站內長鋼瓶拖車宜放置在硅烷站的室外空曠地坪。特種氣體系統(tǒng)的電氣控制

16、盤、儀表控制盤的布置，應符合下列規(guī)定：1應布置在與特種氣體供應設備室相鄰的控制室內，隔墻上可以設置防爆密閉觀查窗。2控制室應以耐火極限不小于 2h 的隔墻和不低于 1.5h 的樓板與特種設備間隔開，穿越隔墻的管道應以防火材料填堵。4特種氣體工藝系統(tǒng)4.1一般規(guī)定4.1.1電子工廠的特種氣體工藝系統(tǒng)應設置下列裝置：1. 儲存與送氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格；2. 氣體輸送與分配用閥門箱或閥門盤；3. 輔助氮氣吹掃系統(tǒng)；4. 尾氣排放處置系統(tǒng)。4.1.2特種氣體工藝系統(tǒng)的設計應滿足電子產品生產工藝對特種氣體使用的安全操作、工藝參數(shù)、污染控制的要求。4.1.34.1.4不相容的特種氣體的排氣管道不應接

17、入同一排氣系統(tǒng)。不相容的特種氣體的排風管道不應接入同一排風系統(tǒng)。4.2特種氣體輸送系統(tǒng)4.2.1特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜與氣瓶架的設置應符合下列規(guī)定123自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的氣瓶柜用氣瓶容積不得大于 50l；氧化性和惰性氣體的氣瓶架用氣瓶容積不得大于 50l；氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氮氣（源）瓶（單瓶式）、雙工藝氣瓶外置吹掃氮氣（源）瓶（雙瓶式）、雙工藝氣瓶內置吹掃氮氣（源）瓶 （三瓶式）等多種結構配置；45不相容氣體瓶嚴禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；氣瓶柜與氣瓶架應設有分配、作業(yè)用氣體面板，氣體面板的要求詳見4.2.2 條；67系統(tǒng)的供應能力必須經過相應的熱力學和流體力學

18、計算核實；氣瓶柜閉門時應保持不低于 100pa 負壓，其排風換氣次數(shù)不得低于 300次/小時；89自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應在排風出口設置氣體泄漏探測器；氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應小于 2.5mm，并有防腐蝕涂層。10111213氣瓶柜門應具備自動關閉功能，并配備防爆玻璃觀察窗；氣瓶柜、氣瓶架應設置清晰明確的安全標示牌；氣瓶柜地腳螺栓的設計要滿足當?shù)氐卣鹆叶鹊囊?。當氣瓶柜放置在有爆炸和火災危險環(huán)境時，其設計應符合現(xiàn)行國家標準爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范gb50058 的規(guī)定。4.2.2特種氣體氣瓶柜與氣瓶架的氣體面板設置應符合下列規(guī)定：1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應設有緊急

19、關斷閥門，并應為常閉氣動閥門，位置盡量靠近氣瓶端；2開關；34氣瓶壓力大于 0.1mpa 的自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應設有過流自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應設有惰性氣體吹掃系統(tǒng)；自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應設有輔助抽真空裝置，該管路必須設置止回閥；5各種特種氣體面板均應設置工藝氣體排氣口；4.2.3可燃特種氣體氣瓶柜的設置應符合下列要求1. 硅烷氣瓶柜的排風換氣次數(shù)不得低于 1200 次小時。氣瓶柜的負壓應持 續(xù)監(jiān)控；2. 自燃性氣瓶柜應設置紫外紅外火焰探測器；3. 可燃與自燃性氣瓶柜應設置水噴淋系統(tǒng)，但是 clf3 氣瓶柜不應設置水噴 淋系統(tǒng)；4. 自燃性氣體氣瓶柜應在氣瓶

20、之間設置隔離鋼板。4.2.4大宗特種氣體輸送系統(tǒng)應設置下列裝置1獨立設置的氣（液）瓶、儲罐或長管拖車及其壓力指示或鋼瓶稱重裝置、連接回型管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮氣單元、電氣控制柜；23算核實；4大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的其它功能配備應符合第 4.2.1 條的規(guī)定；大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的供應能力必須經過相應的熱力學和流體力學計大宗特種氣體輸送系統(tǒng)宜單獨建站，或置于單獨的氣體房，并考慮消防間距和物流通道等；56液化氣體瓶的大宗特種氣體系統(tǒng)應設計合適的鋼瓶加熱與保溫裝置。大宗特種氣體應考慮在減壓前對氣體進行預熱。4.2.5液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)1液態(tài)特種氣體系統(tǒng)包括獨立放置的液體槽罐、液體輸送柜、連

21、接回型管、推動氣體單元、載氣單元、吹掃氮氣單元、電氣控制柜與溫度控制裝置。2液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)利用推動氣體的靜壓力或者采用泵，將液體化學品從大包裝槽罐里輸送至液體輸送柜里的小包裝液罐，或者將小包裝液罐里的液體 直接推動輸送至用液點。用液點設置鼓泡器或蒸發(fā)器，將液體化學品鼓泡或直接蒸 發(fā)，以汽化形式輸送至工藝反應設備。3液態(tài)特種氣體輸送柜必需的其他功能配備應符合第 4.2.1 條的規(guī)定。4.2.6特種氣體系統(tǒng)的閥門箱和閥門盤的設置應符合下列規(guī)定1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體系統(tǒng)的閥門箱應設有：1） 進氣管路隔離閥門及壓力指示單元；2） 各分支路獨立的壓力控制調節(jié)、過濾器、過流開關單元；3） 各

22、分支路獨立的進出口隔離閥門；4） 各分支路獨立的吹掃氮氣或惰性氣體單元；5） 各分支路獨立的輔助抽真空單元等2惰性及氧化性氣體系統(tǒng)的閥門盤應設有：1） 進氣管路隔離閥及壓力指示單元；2） 各分支路獨立的壓力控制調節(jié)閥、過濾器；3） 各分支路獨立進出口隔離閥門。4.3吹掃和排氣系統(tǒng)4.3.1特種氣體系統(tǒng)吹掃氮氣的設置，應符合下列要求：1自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣應與獨立的氮氣源連接，不得與公用氮氣或工藝氮氣系統(tǒng)相連；2不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源；3吹掃氮氣管線必須設置止回閥。4.3.2吹掃氮氣的氣體面板設置包括下列部件：1） 壓力調節(jié)閥；2） 排氣管；3

23、） 高低壓截止閥；4） 高低壓壓力指示；5） 安全閥4.3.3特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空設置應符合下列要求：12真空發(fā)生器宜采用氮氣實現(xiàn)抽真空功能；抽真空用氮氣可由公用普通氮氣提供；4.3.4工藝排氣與廢氣處理1 特種氣體系統(tǒng)的排氣管應設置氮氣稀釋與連續(xù)吹掃，防止空氣倒流造成污 染和腐蝕。2 不相容性氣體的排氣不得連接進入同一排氣主管。3 自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的排氣濃度超過燃燒下限 20%或最大允許 濃度 10%時，必須經過尾氣處理裝置處理后排入廠房排氣系統(tǒng)。4 合適的廢氣處理裝置包括但不限于：1）干式處理；2）水洗式處理；3）加 熱分解處理；4）燃燒處理；5）等離子分解處理；6）稀釋處

24、理；以及以上幾種處 理方式的結合。5硅烷站5.1硅烷工藝系統(tǒng)5.1.1硅烷站工藝系統(tǒng)應根據下列因素確定1234硅烷的危險性質硅烷站的規(guī)模用戶對硅烷純度及壓力要求用戶對硅烷負荷變化情況的要求5.1.2硅烷站應根據工藝要求、當?shù)貧夂驙顩r、硅烷設備狀況選擇采用封閉式、開敞式或露天形式進行布置。5.1.3 連接管道。5.1.4能。5.1.5吹掃。5.1.65.1.7硅烷輸送工藝系統(tǒng)應包括硅烷容器、氣體面板、閥門箱以及相應的典型的硅烷氣體面板應包括減壓過濾、吹掃/排氣、安全控制等功硅烷應采用獨立的惰性氣體鋼瓶進行吹掃，不得采用公用管道氮氣閥門箱應配置惰性氣體吹掃系統(tǒng)、泄漏偵測和火焰?zhèn)蓽y。硅烷的放空不得排

25、入局部排風系統(tǒng)，應直接排到大氣，或燃燒式尾氣處理器。放空管道應使用氮氣連續(xù)吹掃。放空管道吹掃氮氣流速不應低于 0.3m/s。5.1.8鋼瓶出口應設置常閉式緊急切斷閥。硅烷站的各安全出口應設置手動緊急切斷按鈕，至少有一個手動緊急切斷按鈕與輸送系統(tǒng)的距離應大于 4.6 米。5.1.9硅烷輸送系統(tǒng)應采用金屬膜片的波紋管閥、隔膜閥、調壓閥。氣源應配置直徑小于 3.175mm 的限流孔板。輸送系統(tǒng)應配置過流開關。5.2硅烷站的布置5.2.1硅烷站的布置，應按下列要求綜合比較確定：1的地點；23應布置在工廠常年最小頻率風向的上風側，并應遠離有明火或散發(fā)火花不應布置在人員密集地段和主要交通要道鄰近處；硅烷站

26、應采用單層鋼筋混凝土或鋼框架、排架結構。鋼框架、排架結構應采用防火保護措施。45硅烷站應設置不燃燒體的圍墻，其高度不應小于 2.5m；大宗硅烷站必須布置為獨立的開敞式建筑物或空曠區(qū)域，不得有地下室。當采用開敞式建筑結構形式時，硅烷站墻面遮擋部分面積不大于建筑外圍面積 的 25%。如果有障礙物，距離應保證大于障礙物高度的 2 倍。6硅烷站的選址應方便運輸和消防車輛的進出。5.2.2硅烷站與工廠建筑物、構筑物的防火間距，不應小于表 5.2.2 的規(guī)定。表 5.2.2硅烷站與其他建筑物、構筑物、道路的防火間距（m）名稱硅烷站儲量重要公共建筑甲類倉庫民用建筑、明火或散發(fā)火花地點（t）550203054

27、0其他建筑一、二級耐火建筑3 級耐火建筑4 級耐火建筑152025202530電力系統(tǒng)電壓為 35 500kv 且每臺變壓器容量在 10mva 以上的室 外變、配電站工業(yè)企業(yè)的變壓器總油量大于 5t 的室外降壓變電站 廠外鐵路線中心線廠內鐵路線中心線廠外道路路邊3040302040廠內道路路邊主要次要105注：1 防火間距應按相鄰建筑物、構筑物的外墻、凸出部分外緣、氣瓶集裝 格外緣的最近距離計算。2固定容積的硅烷氣罐，總容積按其水容量（m3）和工作壓力（絕對壓力）的乘積計算。3 與高層廠房的防火間距，應按本表相應增加 3m。5.2.3硅烷站的建筑設計應符合現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī)范gb500

28、16 的規(guī)定。5.2.4硅烷站可采用有坡度的屋頂，屋頂最低點宜大于 4.5 米。硅烷站的面積大于 19m2 時，必須有兩個安全出口。5.2.55.2.6站內任何地點到最近安全出口的距離不得大于 23m。硅烷站應采用快開式推桿鎖，不得采用其它形式的鎖具，疏散門應采用平開門，朝向為疏散方向。5.2.7露天布置的硅烷站內大宗容器之間以及容器與工藝面板之間應距離9 米，當距離不到 9 米時，應采用 2 小時防火隔斷。防火隔斷的設置不應影響自然 通風。5.3安全技術措施5.3.1硅烷站的電氣控制室應設置在單獨的房間內，并用無門窗洞口的防爆墻與硅烷氣瓶庫隔開。供硅烷站專用的 10kv 及以下變配電所，不應

29、設置在硅烷 站廠房內或貼鄰建造。5.3.25.3.3硅烷大宗鋼瓶應進行防靜電接地。對于抽風管道的泄漏探測器，設定值不應小于 0.34%（v/v）(25%lel)，報警并自動關閉輸送系統(tǒng)。環(huán)境監(jiān)測點設定值不應小于 5ppm，報警但不需 要切斷輸送系統(tǒng)。5.3.4開放式輸送系統(tǒng)大宗鋼瓶區(qū)域必須設置紫外/紅外火焰探測器。封閉式輸送系統(tǒng)應采用高溫探測器。火焰或感溫探測器應與報警系統(tǒng)和緊急切斷系統(tǒng)聯(lián) 動。5.4采暖通風與空氣調節(jié)5.4.1采用開放式布置的硅烷站，應采取有效的措施，保證自然通風，防止硅烷氣體積聚。若不能滿足開放式的條件時，應設置強制通風系統(tǒng)。5.4.25.4.3封閉式硅烷站嚴禁采用循環(huán)空氣

30、調節(jié)系統(tǒng)。封閉式的硅烷站室內溫度、濕度設計參數(shù)應滿足氣柜的要求。當氣柜無具體要求時，室內設計參數(shù)宜滿足 253。5.4.45.4.5封閉的硅烷站應設置獨立的連續(xù)排風系統(tǒng)。氣柜排風量應按照硅烷的最大儲存壓力下限流孔板（rfo）的硅烷連續(xù)流量計算氣柜內的硅烷濃度，應保證氣柜內的硅烷體積濃度小于 0.4%，并保證 流經氣瓶頸部和管道機械連接處的氣流速度不小于 1m/s 來確定。5.4.6氣瓶組直接安裝在封閉的硅烷站內，房間排風量應按照硅烷的最大儲存壓力下限流孔板（rfo）的硅烷連續(xù)流量計算房間內的硅烷濃度，應保證氣柜 內的硅烷體積濃度小于 0.4%來確定。5.4.7硅烷閥門箱的排風量應按照硅烷的最大

31、儲存壓力下限流孔板（rfo）的硅烷連續(xù)流量計算氣柜內的硅烷濃度，應保證氣柜內的硅烷體積濃度小于 0.4% 來確定。5.4.8封閉的硅烷站應設置事故通風，事故通風量根據事故泄漏量計算確定，但換氣次數(shù)不應小于每小時 12 次。硅烷站外應設置緊急按鈕。5.4.95.4.10硅烷站排風系統(tǒng)應設置備用機組。硅烷站空調系統(tǒng)應采用適當措施保證在空調機組維護或故障時，硅烷站能取得足夠的補風。5.4.11硅烷站排風系統(tǒng)、空調系統(tǒng)電源應設置應急電源。5.4.12空調系統(tǒng)、排風系統(tǒng)風管應采用不燃材料制作。排風風管應采用剛性風管，不得使用柔性風管。空調系統(tǒng)風管保溫應采用不燃或難燃保溫材料。5.4.13火閥。5.4.1

32、4排風管路嚴禁穿越防火分區(qū)防火墻。排風管路上不應設置溶片式防排風系統(tǒng)不應與火災報警系統(tǒng)連動控制，嚴禁關閉排風系統(tǒng)。5.5消防系統(tǒng)5.5.1 硅烷站的消防應符合下列規(guī)定1 在發(fā)生硅烷火災時，在沒有關閉泄漏鋼瓶之前，嚴禁撲滅硅烷火焰。2 在發(fā)生火災時，硅烷鋼瓶和使用到硅烷的相關的設備，應有冷卻措施。3 硅烷站嚴禁使用“哈龍”滅火器。4 硅烷站的消火栓系統(tǒng)設計應符合建筑設計防火規(guī)范gb50016-2006 中 的有關規(guī)定。5.5.2 室外硅烷站的消防應符合下列規(guī)定1 設置在室外的硅烷站，應設置雨淋系統(tǒng)來冷卻硅烷的輸送系統(tǒng)。保護部位 包括硅烷鋼瓶、大宗硅烷儲罐及相關的工藝氣柜。2 雨淋系統(tǒng)的設計噴水強

33、度不小于 12l/min.m2，火災持續(xù)時間不小于 2 小 時。3 消防系統(tǒng)的管道應采用金屬管材，接口采用絲扣、焊接管件。在站內 15m 范圍內的管道不應采用以橡膠為密封材料的溝槽式連接方式。4 雨淋系統(tǒng)啟動時，應同時切斷硅烷的供應。5 當室外硅烷站設有屋頂?shù)确烙甏胧r，在此處可以設置濕式自動噴水滅火 系統(tǒng)。設計噴水強度按照嚴重危險系 ii 級考慮。設計噴水強度 16l/min.m2，保護 面積 260m2。6 室外硅烷站的附近應設置室外消火栓，室外消火栓應設置在距大宗鋼瓶 30m 之外且 46m 之內。5.5.3 室內硅烷房間的消防應符合下列規(guī)定1 存儲和使用硅烷的房間應設置自動噴水滅火系統(tǒng)

34、。設計噴水強度不低于嚴 重危險級 i 級，設計噴水強度 12l/min.m2，保護面積 260m2。2 硅烷氣柜應自帶冷卻用的自動噴水滅火噴頭，該噴頭為快速反應噴頭。6特種氣體管道輸送系統(tǒng)6.1一般規(guī)定6.1.1特種氣體輸送系統(tǒng)包括特氣管道系統(tǒng)、閥門分配系統(tǒng)、工藝設備和尾氣處理系統(tǒng)的管道、管件、閥門、過濾器、減壓裝置、卸壓裝置、壓力表（傳感 器）等所有部件。6.1.2生產廠房內特種氣體管道的干管，應敷設在技術夾層或技術夾道內，當與水電管線共架時，當相對密度小于或等于 0.75 的氣體管道宜設在水、電 管線下部；相對密度大于 0.75 的特氣管道宜設在水、電管線上部。6.1.3生產車間內的可燃和

35、有毒特氣體管道應明敷，穿過生產區(qū)墻壁與樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采用密封措 施?？扇?、毒性、腐蝕性氣體管道的機械連接處，應置于抽風罩內。6.1.4可燃特氣體與毒性特氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間，當必須穿過時應設套管或雙層管。特氣管道嚴禁穿過生活間、辦公室。6.1.56.1.66.1.7特氣管道不得出現(xiàn)不易吹除的盲管等死區(qū)，避免 u 型彎。易燃性特氣體與氧化性特氣管道，應設置導出靜電的接地設施。室外布置的特種氣體管道應架空布置。6.2材料選型6.2.1工藝和吹掃氣體的管道和管件應采用奧氏體不銹鋼無縫鋼管，內表面應進行潔凈和鈍化處理。6.2.2腐蝕性氣

36、體管道，宜采用二次真空電弧熔煉的奧氏體不銹鋼或鎳基合金材料的無縫鋼管。內表面應進行潔凈和鈍化處理。6.2.3用于接觸工藝氣體的閥門的密封座，應盡量減少塑料材質的使用量和表面接觸面積，且材質應與氣體性質匹配。6.2.46.2.56.2.6 行脫脂處理。雙層管的外層管道宜選擇經過退火處理和酸洗處理的不銹鋼管道。排氣和尾氣真空管道宜采用不銹鋼管道，并經過嚴格的脫脂處理。氧化性氣體應采用專用禁油閥門、附件和管材，所有管件按規(guī)定進6.3管道設計6.3.1管道的壓力等級應根據工藝氣體的輸送壓力確定。管道設計應符合現(xiàn)行國家標準工業(yè)金屬管道設計規(guī)范gb50316 的要求。6.3.2管道設計應充分考慮用氣設備對

37、流量和壓力的要求。應參照現(xiàn)行國家標準工藝系統(tǒng)工程設計技術規(guī)定hg/t20570.7 進行計算。6.3.3管材的壁厚應符合現(xiàn)行國家標準流體輸送用不銹鋼無縫鋼管gb/t14976 的規(guī)定，小尺寸管道管壁厚度應滿足下述要求:表 6.3.3小尺寸軌道壁厚要求管道外徑6mm(1/4)-10mm(3/8)15mm (1/2)20mm(3/4)25mm (1”)壁厚要求0.89mm(0.035)1.24mm（0.049）1.65mm（0.065）6.3.4液態(tài)特氣水平管道應有不小于 0.3%的坡度，坡向供液設備或收集器。6.3.5對于強腐蝕性、自燃性和劇毒性危險性氣體，宜采用雙套管設計，內管走工藝氣體。套管

38、間可采用封閉或開放形式。6.3.6對于輸送低蒸汽壓氣體，需要對管道設置伴熱和保溫措施。加熱溫度不宜超過 50。6.3.7特氣管道應采用全自動軌道焊接。閥件或管件處應采用面密封連接，不應采用螺紋或法蘭連接。6.3.8門。6.3.9須相容。特氣閥門應采用隔膜閥或波紋管閥，不應采用球閥、旋塞閥等閥特氣管道連接用密封墊片宜選用不銹鋼墊片，墊片與特氣的性質必6.3.106.3.11產生顆粒的閥件下游宜安裝過濾器。特氣管道系統(tǒng)安裝完成后，應根據工藝的要求進行壓力測試、密封性測試和不純物測試。詳見特種氣體系統(tǒng)驗收章節(jié)。6.4管道標簽6.4.1特種氣體管道必須進行管道標示，標示方法應按本節(jié)規(guī)定或企業(yè)內部管道標

39、示執(zhí)行。6.4.2特種氣體管路標識應包括氣體名稱、主要危險特性和流向箭頭，并通過各種顏色來表示管道內介質的危險特性。表 6.4.1特種氣體管路標示顏色字 箭底 意 物質色 義 特性物質種類舉例體 頭顏 顏色 色紅 危 極易燃易爆、 色 險 強毒性黃 警 腐蝕性，對人 色 告 體有危害藍 安 危害性較小或 色 全 無危害氣、液體等氣、液體等惰性氣體、無 毒性物質ash3，sih4, ch2f2，ph3，wf6， clf3， co，ccl4 等hbr，hcl，hf 等sf6，kr/ne，xe 等白 白色 色黑 黑色 色白 白色 色注：1 紅色危險色，表示內容物易燃易爆、且有強毒性。2 黃色警告色，

40、表示內容物有腐蝕性、毒性，或對人體有危害性。3 藍色/綠色安全色，表示內容物危險性很小，或根本沒有危險。6.4.3標示應有該物質名稱描述，順序可根據實際情況進行調整。文字描述不僅包括管內物質名稱（化學物質包含分子式），還應包括特性（判定順序：易 燃性、腐蝕性、毒性等其他性質，其中特性的描述以最主要的性質為依據）。中、 英文及數(shù)字式樣如下所示：中文（黑體粗體字形）英文分子式和數(shù)字（arial 粗體字形）圖 6.4.2 管道標示sih4 硅烷易燃易爆氣體箭頭記號表示管內物質的流動方向，顏色和字體顏色相同，尺寸與標示大小 相匹配。6.4.4標示的尺寸依管徑內徑變化。如管路名稱比較長，可根據實際情況增

41、加標簽的長度。表 6.6.3標示參數(shù)與管徑的對照管徑標示長度標示高度箭頭長度字體高度6mm(1/4”)10mm(3/8)15mm(1/2)20mm(3/4)150mm（6） 15mm（1/2） 30mm（1.2） 8mm（1/4）150mm（6） 15mm（1/2） 30mm（1.2） 8mm（1/4）150mm（6） 15mm（1/2） 30mm（1.2） 8mm（1/4）200mm（8） 20mm（3/4） 40mm（1.6） 15mm（1/2）25mm(1)-50mm(2) 200mm（8） 25mm（1）40mm（1.6） 20mm（3/4）50mm(2)以上 300mm（12） 40

42、mm（1.5） 60mm（2.4） 30mm（1.25）6.4.5管路上粘貼標簽應符合下列規(guī)定：1水平直管部分：管路直徑 100mm(4)（含）以下，每隔 3m 粘貼一張，其中以主要走道上方為基準方位；管路直徑 100mm(4)（不含）以上，每隔 6m 粘貼 一張，其中以主要走道上方為基準方位。2垂直直管部分：管路內徑 100mm(4)（含）以下，每隔 2m 粘貼一張，并以地面向上 150cm 處為基準位置粘貼一張；管路內徑 100mm(4)（不含）以上，每 隔 4m 粘貼一張，并以地面向上 150cm 處為基準位置粘貼一張。3管路的連接處（如閥件、彎頭），機臺與管路的接管處，和穿墻兩側部分都

43、必須粘貼一張。標示的粘貼要遵循整齊的原則垂直管路上的標示上邊緣對齊。 標示粘貼的角度要易于識別，使操作人員在操作或緊急突發(fā)情況下能迅速辨識。-箭頭標示如下：圖 6.6.4 粘貼標示2/15l箭頭長度 1/5l標簽長度 l1/3h1/6h7建筑結構7.0.1布置于生產廠房的特種氣體間的耐火等級不應低于二級。其結構構件的耐火極限應該符合現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī)范gb50016 的規(guī)定。7.0.2有爆炸危險的特種氣體間的承重結構宜采用鋼筋混凝土或鋼框架、排架結構，房間應沿建筑外墻布置。7.0.3有爆炸危險的特種氣體應符合現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī)范gb50016 的規(guī)定設置泄壓設施。7.0.4有爆

44、炸危險的特種氣體間的安全出口不應少于 2 個，且宜分散布置，相鄰 2 個安全出口最近邊緣之間的水平距離不應小于 5m，其中 1 個應直通室 外，通向疏散走道的門需要滿足防火及防爆要求。當爆炸危險房間的面積小于等于 100m2，且同一時間的生產人數(shù)不超過 5 人時，可設置一個直接通往室外的出口。7.0.5惰性氣體間的安全出口不應少于 2 個，且宜分散布置，相鄰 2 個安全出口最近邊緣之間的水平距離不應小于 5m，其中 1 個應直通室外，通向疏散走 道的門應為乙級防火門。當惰性氣體房間的面積小于等于 150m2，且同一時間的生 產人數(shù)不超過 5 人時，可設置一個直接通往室外的出口。7.0.6有爆炸

45、危險的特種氣體間與無爆炸危險房間之間，應采用耐火極限不低于 4h 的不燃燒體防爆墻隔開，防爆墻上不應開設門窗洞口，當設置雙門斗相 通時，門應錯位布置，門的耐火極限不應低于 1.2h。7.0.7有爆炸危險的特種氣體間的控制室應與該氣體房間及相鄰其他房間應采用耐火極限不低于 3.00h 的不燃燒體墻體分隔開。7.0.8特種氣體房間的門應向疏散方向開啟，有爆炸危險房間的門窗應采用撞擊時不產生火花的材料制作。7.0.9當相對密度小于或等于 0.75 時，散發(fā)較空氣輕的可燃性特種氣體間，頂棚應平整、避免死角，特種氣體間上部應通風良好。7.0.10當相對密度大于 0.75 時，散發(fā)較空氣重的可燃特種氣體間

46、，應采用不發(fā)火花的地面，并應平整、耐磨、防滑。采用絕緣材料作整體面層時，應采取 防靜電措施。頂棚表面應平整，避免死角，特種氣體房間不應設計地溝，必須設置 時，其蓋板應嚴密，防止特種氣體的積聚。7.0.11特氣間的高度應滿足工藝設備與管道布置的要求，并結合生產廠房的高度統(tǒng)一考慮，不宜低于 4.5 米。7.0.12特種氣體房間內的裝修材料應符合現(xiàn)行國家標準建筑內部裝修設計防火規(guī)范gb50222 的規(guī)定。8電氣與防雷8.1配電與照明8.1.1特種氣體站和特種氣體間的電力負荷分級不宜低于二級負荷；可燃、自燃、毒性與腐蝕性氣體設備應為一級負荷；氣體管理與氣體泄漏探測系統(tǒng)為 一級負荷中特別重要的負荷，必須配置不間斷電源。8.1.2有爆炸危險特種氣體站和特種氣體間的爆炸性氣體環(huán)境內的電力裝置