AQ4201-2008電子工業(yè)防塵防毒技術規(guī)范

1、電子工業(yè)防塵防毒技術規(guī)范AQ 4201-2008Technology code of dust and poison control for electronic industry 目次、尸、 亠前言1 范圍2 規(guī)范性引用文件3 總則4 生產工藝基本要求5 生產廠房6 工程技術措施7 通風凈化系統設置8 個人防護9 管理10 事故應急處置措施11 績效監(jiān)測、/. 前言為了更好地保護電子工業(yè)企業(yè)作業(yè)人員的安全和健康，做好防塵防毒工 作，制訂本標準。本標準中： 3、4.1 、4.2 、4.3 、4.6 、5.1 、5.2.1 、5.2.3 、5.2.6 、5.3.1 、6.2.4 、 6.2.5

2、、6.3 、6.4.4 、7、8、9、10、11等為強制性條款。 本標準由國家安全生產監(jiān)督管理總局提出。本標準由全國安全生產標準化技術委員會防塵防毒分技術委員會歸口。本標準起草單位：北京市勞動保護科學研究所。本標準主要起草人：胡玢、汪彤、黃燕娣、王培怡、呂琳、吳芳谷、張 志航、顧為群本標準首次發(fā)布 電子工業(yè)防塵防毒技術規(guī)范1 范圍 本標準規(guī)定了電子工業(yè)企業(yè)防塵防毒的技術要求、措施和管理。 本標準適用于電子工業(yè)企業(yè)生產過程中粉塵、毒物危害的工程技術和管 理防范，也適用于安全生產和職業(yè)病危害監(jiān)督管理部門對電子工業(yè)企業(yè)生產 過程中粉塵、毒物危害的監(jiān)督。2 規(guī)范性引用文件下列標準所包含的條文，通過在本

3、標準中引用而構成為本標準的條文。 本標準出版時，所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各 方應探討使用下列標準最新版本的可能性。GB8958 缺氧危險作業(yè)安全規(guī)程GB11651 勞動防護用品選用規(guī)則GB11984 氯氣安全規(guī)程GB15603 常用化學危險品貯存通則GB/T16758 排風罩的分類及技術條件GB17916 毒害性商品儲藏養(yǎng)護技術條件GB50019 采暖通風與空氣調節(jié)設計規(guī)范GB50073 潔凈廠房設計規(guī)范GBZ1 工業(yè)企業(yè)設計衛(wèi)生標準GBZ 2.1 工業(yè)場所有害因素職業(yè)接觸限值 化學有害因素GBZ 158 工作場所職業(yè)病危害警示標識AQ/T9002 生產經營單位安全生

4、產事故應急預案編制導則SJ30002 電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設計規(guī)定3 總則3.1 為了有效地控制電子工業(yè)企業(yè)生產過程產生的粉塵、 毒物危害因素， 改善作業(yè)場所環(huán)境條件， 保障職工身體健康， 促進生產發(fā)展， 特制定本標準。3.2 電子工業(yè)生產過程防塵防毒應堅持預防為主、防治結合、源頭控制、 過程可控、綜合治理的原則，優(yōu)先選擇塵毒危害小的工藝和設備，積極采用 無毒或低毒原 （ 輔） 料，以無毒代替有毒、以低毒代替高毒，并對塵毒危害進 行綜合治理，使其危害控制符合 GBZ2.1 要求。3.3 電子工業(yè)生產過程防塵防毒工作應持續(xù)改進，不斷降低作業(yè)場所塵 毒物質濃度。3.4 電子工業(yè)企業(yè)建設項目中產生塵

5、毒危害的生產過程和設備應設置防 塵防毒設備設施， 且與主體工程同時設計、 同時施工、 同時投入生產和使用。4 生產工藝基本要求4.1 電子工業(yè)企業(yè)應對整個生產過程中的粉塵、毒物危害進行辨識和評 估，明確所有產生粉塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設備及原（ 輔） 料、中間產品、副產品，并建立職業(yè)衛(wèi)生檔案。4.2 產生粉塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設備設施在設計時應符合GBZ1中第5.1節(jié)以及SJ30002的要求。4.3防塵防毒設備設施應保證作業(yè)場所中有害物質濃度符合GBZ2.1的要求。在廠房氣象條件、潔凈度要求與防塵防毒措施有矛盾時，應采取其他措 施，保證作業(yè)人員健康。4.4 下列工藝過程可能產

6、生粉塵、毒物危害，應采取綜合治理措施：a）半導體器件（或集成電路）生產中的外延、氧化擴散、化學氣相沉積、 離子注入、腐蝕、清洗、刻蝕、濺射、塑封等工序。b）真空器件零件清洗、陰極熱絲制備、涂屏、充汞等。c）陶瓷料、玻璃料、 磁性材料、塑料等材料的破碎、配制、 加工工藝等。d）鑄造、熱處理、電火花加工、磨削加工、化學處理、電鍍、噴砂、油 漆、涂裝工藝等。e）鉛蓄電池等含鉛生產工藝。f）電阻、電容等元件生產及印刷電路板（PCB）生產。g）電子裝聯工藝中的焊接、三防、固封工序等。4.5 當作業(yè)場所空氣中的塵、毒在技術上較難控制時，宜采取以下措施：a）設 置 密 閉 操 作 室 ， 保 證 新 鮮 空

7、 氣 供 應 量 不 少 于 每 人 30m³/h。b）采用送風面具或崗位送風。c）送入空氣應符合相關標準的要求。4.6 在選擇生產工藝時，設計者和設備供應商應提供粉塵、毒物產生情 況說明及控制措施技術文件，原 （ 輔） 料供應者應提供原 （輔）料塵、毒危害技 術說明文件、執(zhí)行標準文件等。上述文件均應存檔。5 生產廠房5.1 選址 生產廠房應選擇在環(huán)境空氣質量、氣象條件符合職業(yè)安全衛(wèi)生要求、環(huán) 境較為清潔的地區(qū)。5.2 布局5.2.1 廠區(qū)應合理布局，減少粉狀物料的運輸距離及中轉次數，避免不 合理的交叉和重復運輸。5.2.2 產生塵毒危害的生產區(qū)宜

8、集中布置在廠區(qū)夏季最小頻率風向的上 風側，且地勢開闊、通風條件良好的地段。5.2.3 生產區(qū)內部布置應避免塵毒的交叉污染。5.2.4 產生塵毒危害的工序或工作區(qū) （ 間）若在同一建筑物內，宜集中在 靠近夏季最大頻率風向下風側的外墻布置，應與其他工序或工作區(qū)（間） 可靠地隔開。5.2.5 有毒物質、粉料輸送管道宜集中布置形成管廊，且管廊不宜設置 在人員集中區(qū)域周邊。有毒物質、粉料輸送管道不應穿越辦公室、休息室、 宿舍、人員密集廠房、餐廳、經常有人來往的通道 （ 含地道、通廊） 等建筑物。5.2.6 密閉廠房進氣口的位置不應設置在有毒、粉塵物質排放口污染影 響區(qū)域內，且應保證在最不利氣象條件下進氣

9、口不受到排放口有毒、粉塵物 質的影響。5.3 建（構） 筑物5.3.1 廠房結構應充分考慮防塵防毒的要求。內部結構應有足夠高度以 布置管道，且有利于清除積塵。粉塵污染嚴重的廠房，應留有真空清掃機具 行走的通道。5.3.2 使用、產生劇毒物質的作業(yè)場所，其墻壁、頂棚和地面等內部結 構和表面，應采用不吸收、不吸附毒物的材料，宜加設保護層以便清洗。車 間地面應平整、防滑、易于清掃。經常有積液的地面應做防水處理并設置坡 向排水系統。5.3.3 對于多層廠房，產生有害氣體的場所宜布置在建筑物的上層。如 必須布置在下層時，應采取安裝有效通風、防毒設備設施等措施，以防止對 上層作業(yè)環(huán)境造成不良影響。5.3.

10、4 潔凈廠房采用的室內裝修材料，其有害物質散發(fā)量應符合國家相 關規(guī)定，不宜使用對人身體有害的石棉類建筑材料。6 工程技術措施6.1 材料儲存與運輸6.1.1 采用自動化設備，實現物料的自動裝載、泄漏檢測、連鎖控制， 以避免或減少有害物質的散發(fā)。6.1.2 采用密閉性好的輸送裝置，如氣力輸送、斗式提升機、螺旋輸送 機、溜管、溜槽等。6.1.3 改進工藝，減少粉、粒料的中轉環(huán)節(jié)，縮短輸送距離。6.1.4 減少散裝粉、粒料轉運點的落差高度，并對落料點采取密閉、負 壓等措施。6.1.5 經常有人來往的通道 （ 含地道、通廊） ，應有自然通風或機械通風， 不應敷設有毒液體或有毒氣體管道。6.1.6 對塵

11、、毒物品的運輸、儲存、分配應采取下列防范措施：a）在工作區(qū)內裝卸散裝的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、黏土等粉、粒 料，不宜使用抓斗吊車、翻斗車及卡車。允許灑水降塵的裝卸區(qū)域，應設置 灑水設施，灑水設施應保證冬季的正常使用。b）有毒物品應儲存在專門的場所、庫房中，其貯存條件、貯存方式、貯 存限量應符合 GB15603 GB17916勺規(guī)定。c）儲存氣態(tài)有毒物質的場所應設置有效的氣體排放應急處理設施，以避 免發(fā)生毒氣泄漏事故時造成毒氣擴散。相互抵觸勺氣態(tài)物質儲存容器應分室 儲存，并有可靠措施避免泄漏時發(fā)生反應。d）儲存液態(tài)有毒物質的場所應設置圍堰或導流槽（溝），圍堰的容積應不 小于最大單罐地上部分儲

12、量。從圍堰或導流槽 （溝） 引出勺排水 （排污） 管（溝） 應匯集到專用的污水池。相互抵觸的液態(tài)物質儲存容器應分別設置圍堰或導 流槽（溝） 、排水（排污）管（溝） 、污水池，并有可靠措施避免同時發(fā)生泄漏時 散發(fā)出的氣態(tài)物質發(fā)生反應。e）存放粉粒狀或毒性材料的容器，應具有良好密閉性和耐蝕性。f）磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒特種氣體的儲 存間和配送管道廊內應設置在線氣體檢測報警裝置并與事故排風及廢氣處理 裝置連鎖。氦氣、六氟化硫等窒息性特種氣體儲存間和配送管道廊內應設置 在線氧氣檢測報警裝置并與新鮮空氣送風裝置連鎖。g）儲存和使用氰化物、砷化物等劇毒物品的庫房、工作間，其墻壁、

13、頂 棚和地面應采用不吸附毒物的材料，并便于清洗和收集。室內管線宜暗敷。 分發(fā)毒物處應設置洗滌池和通風柜。h）液氯罐儲存間應設置在線氯氣報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置 連鎖，排放系統吸氣口位置應靠近地面。儲存間內應設置起重設備及稀堿液池，其深度應能浸沒液氯罐，或配備氯氣捕消器，并符合GB11984的要求。i）危險化學品在潔凈廠房內的運輸、 儲存、分配，應符合國家相關規(guī)定。j）對上述條款中未包括的塵、毒物品的運輸、儲存、分配應參照有關規(guī) 范、條文要求，采取相應的防范措施。6.2 工藝與設備6.2.1 生產工藝與設備宜采取密閉 （ 整體密閉、局部密閉或小室密閉 ）或 負壓方式工作。不能密閉時，應

14、設置排風罩。6.2.2 在生產設備合理密閉和通風的基礎上宜采取隔離、遙控操作。6.2.3 生產線上的單臺通風系統工藝設備宜集合成密閉的工藝系統。6.2.4 對存在劇毒且難以消除其危害的工藝過程，應通過采取全自動化 生產或遙控操作等措施，實現人與危害現場的隔離。6.2.5 生產過程中產生的劇毒氣體應進行機旁無害化處理后再排人公共 排氣管道系統。6.3 操作6.3.1 密閉空間進行檢修時，應為檢修人員配備符合要求的個人防護用 品，并配備現場監(jiān)護人員。檢修人員進入前應進行塵毒吹掃、沖洗、收集、 檢測合格后，方可進行檢修作業(yè)。檢測氧氣濃度應符合GB8958要求。6.3.2 熒光粉生產中的硫化鋅制備反應

15、釜的加料和放料操作，應與反應 釜攪拌機連鎖，放料前關閉，加料后啟動。6.4 有毒廢物處置6.4.1 散發(fā)有毒氣體的生產廢水，應盡量縮短在室內穿過的距離，不應 采用明溝排水。在外排時應進行無毒化處理。6.4.2 從工作間 （區(qū)） 排出的含有塵、毒的廢氣、廢水、廢渣應進行相應 的無害化治理，使其符合相關的環(huán)保排放標準。6.4.3 生產過程中產生的相互抵觸物質應單獨無害化處理后再排入公共 排放管道，不應混合直排。6.4.4 生產過程中產生的危險固體廢物不應隨意放置在車間或廠區(qū)內， 應設置專用庫房，使用專用密閉容器儲存，交專業(yè)機構集中處置。7 通風凈化系統設置7.1 在生產過程中可能突然逸出大量有害氣

16、體或易造成急性中毒氣體的 作業(yè)場所，應設置事故通風裝置及與其連鎖的自動報警裝置。其通風換氣次 數應不小于每小時 12 次。7.2 有塵、揮發(fā)性溶劑逸出的設備等的開口部位應設排風裝置。7.3 篩選設備應根據具體情況在卸料點、篩上物落料處及其本體部分按 設備類型設罩并排風：a）振動篩宜在篩子上設密閉排風罩。b）滾筒篩應設整體密閉排風罩。c）多段篩宜在篩箱側面設窄縫側吸罩。 罩口風速控制在 5m/s 以內。篩箱 頂部應設可開啟蓋板。7.4 混料機應采用密閉排風圍罩，或在進、出料口分別設置排風罩。7.5 袋裝粉料的拆包、倒包應在有負壓的專門裝置中進行。7.6 印制線路板生產中的鋸床、數控鉆 （ 銑）

17、床、開槽機、倒角機、帖膜 機、蝕刻機、角磨機、顯影機、凹蝕設備、電鍍設備、曝光機、紫外光固化 機等散發(fā)粉塵、酸堿蒸汽或臭氧等的設備，均應采取排風措施。7.7 電鍍槽、酸洗槽、除油槽、腐蝕槽及其他化學槽等應設槽邊側吸罩 或吹吸式罩。蓄電池板板化成槽應設上部排風罩或側吸罩。7.8 鍍鉻槽排風管路上應設置鉻液回收裝置。風管連接應嚴密。7.9 批量生產的噴漆或噴涂作業(yè)，應在有排風的噴漆室、噴涂室或噴漆 柜、噴涂柜內進行。大件生產的就地噴漆工作區(qū)應有良好通風。烘干箱 （ 室） 應設置上送下排式排風系統。7.10 產生磨削粉塵的設備，如工具磨床、 砂輪機等應設局部排風除塵裝 置。7.11 使用磷烷、砷烷、

18、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒氣體進 行化學氣相淀積、外延、摻雜、擴散、離子注入、刻蝕等工藝的作業(yè)場所， 應設機械排風系統、事故排風系統和泄漏報警裝置。泄漏報警裝置應與事故 排風系統、工藝設備、操作閥等連鎖。工藝設備的尾氣排放口應設置可靠的 現場無害化處理裝置和局部排風裝置。7.12 半導體圓片粘片、硅片處理、熔蠟、熒光粉的配置和涂復、氣相清 洗、紅外熱熔、熱風平整等產生有機溶劑蒸氣的作業(yè)點，均應設排風裝置。7.13 濺射工藝過程和墊料散布過程中產生的爆炸性粉塵廢氣應進行單 獨排風，在排氣管道前端設置集塵裝置并使用惰性氣體保護，集塵裝置宜配 備惰性氣體抑爆裝置?？涛g工藝過程操作現場應單獨

19、設置局部排氣裝置7.14 在光刻過程中產生的有機廢氣、 堿性廢氣宜分別使用不同的排氣系 統，如不可行，其排氣系統不應與其他排氣系統連接，以避免發(fā)生連鎖反應 事故。7.15 裝聯工藝中的再流焊、波峰焊、 浸錫焊以及手工焊接等作業(yè)點， 應 設排風裝置或煙霧凈化裝置。7.16 電焊、氣焊等離子切割， 熔鉛鍋等產生金屬蒸氣的工作點，應設下 排風裝置。7.17 玻璃熱加工、芯柱壓制、 高鉛玻璃電真空器件的熱加工、 溶制鉛玻 璃池爐觀察孔等處，應設置強排風。7.18 使用滴汞電極的極譜儀時，應采用專用的極譜工作臺，工作間地坪 應為深色，工作臺附近地面應設收集汞的凹坑，地坪要有坡向凹坑的坡度。7.19 生產

20、熒光燈、 閘流管等產品所使用的充汞設備以及其他使用汞的工 作間，其室內環(huán)境溫度應盡可能低。并應設置全面通風和局部排風。工作間 內應設汞清洗收集槽。地坪、頂棚、墻面材料應便于沖洗。地坪應有坡度， 坡向汞清洗收集槽。7.20 微波功率器件的氧化鈹陶瓷配件、壓制、焙燒、研磨、金屬化等設 備均應設排風裝置。使用粉狀氧化鈹的工作間，室內管線應暗敷，室內裝修 材料應便于水沖洗。7.21 蓄電池生產的鉛、鎘、鎳等有毒粉塵工作區(qū)，應有給排水設施，使 地面經常保持濕潤，并能用水沖洗。其他粉塵工作區(qū)，在生產或實驗許可條 件下，地面亦宜保持濕潤和能用水沖洗。7.22 干電池生產中的熔化、和料，捏煉及磨切加工設備，均

21、應設置排風 罩。含汞粉料加工、成型設備應設密閉罩排風。7.23 熒光粉生產中的硫化氫儲罐室，應設置硫化氫氣體泄漏報警裝置， 并與事故排風系統連鎖。硫化氫控制室應保持微正壓。當設置的密閉性能和局部排風措施不能確保工作區(qū) （間） 空間的塵、 毒含量達到要求時，應加設全室排風措施，且室內空氣不能循環(huán)使用。7.24 生產過程中使用和產生易與空氣、 水及相互間發(fā)生劇烈反應的氣體 時，在進行通風系統設計時要防止相互抵觸氣體混合，易燃易爆氣體的排風 系統不應形成網狀結構，應設置阻火和泄爆裝置，管道內壁材料應為符合安 全要求的不發(fā)火材料，管道應進行可靠的防靜電接地，重要部位宜設置可燃 氣體檢測報警裝置和惰性氣

22、體抑爆裝置。7.25 有毒氣體排風系統應采取下列措施，確保其工作的可靠性：a) 排風系統應有備用排風機。b) 排風機應設有備用電源。c) 排風管道應根據排放介質的危害特征選用材質；排放管道上應設觀察 口、檢修口、清掃口并保持暢通；排風管道上不宜設防火閥。d) 易燃易爆場所塵、毒排風系統應采用防爆、隔爆設備。7.26 排風總管應設測試孔，高空測點應有相應的操作臺。7.29上列各條所涉及的排風系統的設計應符合 GB50019勺相關規(guī)定，排風罩應符合GB/T16758要求。7.30 上述條款中未包括的塵毒作業(yè)通風凈化系統的設置應參照有關規(guī) 范、條文執(zhí)行。8 個人防護8.1涉及塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應

23、按 GB11651要求為接觸塵毒作業(yè)人 員配備符合相關國家標準、行業(yè)標準要求的勞動防護用品。8.2 使用、儲存劇毒化學品場所應配備空氣呼吸器和化學防護服。8.3 接觸塵毒作業(yè)的作業(yè)人員應具有正確使用個人防護用品的能力，上 崗時應穿戴好個人防護用品。8.4 個人防護用品應按要求進行維護、保養(yǎng)，由企業(yè)集中清洗。個人防 護用品失效時應及時更換。8.5 不應在塵毒作業(yè)區(qū)飲水、進食、休息，應設置獨立的休息室。8.6 塵毒作業(yè)應按照相關規(guī)范設更衣室和淋浴設施。8.7 接觸塵毒作業(yè)崗位應在顯著位置設置警告標志、 標識，并符合 GBZ158要求。8.8 清洗、噴漆等易然危險品應禁止煙火。9 管理9.1 機構9

24、.1.1 電子工業(yè)企業(yè)最高管理者應做出遵守國家防塵防毒法律、法規(guī)和 標準的承諾，并負責組織制定和實施企業(yè)防塵防毒計劃。9.1.2 具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應嚴格防塵防毒工作的管理，應設 置專職的防塵毒工作管理崗位。9.1.3 特殊氣體庫、有毒化學品倉庫、有塵毒作業(yè)車間應配備專職或兼 職的防塵毒工作管理人員。9.1.4 具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)防塵毒工作管理人員總數應不少于 接觸塵毒人員總數的 1%。9.2 規(guī)程與制度9.2.1 具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應建立完善的防塵防毒規(guī)章制度。9.2.2 防塵防毒制度主要包括：崗位責任制、操作規(guī)程、職業(yè)衛(wèi)生管理 制度、定期體檢制度、運行記錄、個人防護

25、用品發(fā)放使用記錄、防塵毒設施 的維修保養(yǎng)和定期檢測檢驗制度、毒性物質存取制度等。9.2.3 根據國家相關規(guī)定，建立塵毒崗位作業(yè)補貼制度。9.3 教育與培訓9.3.1 電子工業(yè)企業(yè)應經常對全體職工進行防塵防毒針對性教育培訓。9.3.2 接觸塵毒作業(yè)的工作人員上崗、換崗以及長期停工后復崗前應經 過“三級安全教育”和防塵防毒知識技能培訓，經考核合格后方可上崗。9.3.3 接觸塵毒作業(yè)的工作人員上崗前應被明確告知所從事工作的職業(yè) 危害性，并在勞動合同、集體合同中體現告知內容。9.3.4 具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)每年應至少組織一次防塵防毒知識 技能再教育和考核。10 事故應急處置措施10.1 接觸塵毒作業(yè)崗位應在顯著位置設置說明有害物質危害性預防措 施和應急處理措施的指示牌。10.2 塵毒作業(yè)區(qū)域應按照相關規(guī)范設置緊急淋浴器和洗眼器、 急救藥品 和裝備。10.3 特氣庫、 有毒化學品倉庫及劇毒作業(yè)區(qū)出入口外， 應在易取放處設 置不少于 3 套有效的應急用空氣呼吸器和化學防護服， 并配備快速檢測儀器。 同時，應配備防止有毒化學品擴散的設備或措施。劇毒作業(yè)區(qū)配備的應急防 護設備數量應不少于作業(yè)區(qū)內人數。10.4 接觸粉塵、毒物的作業(yè)場所，應具備現場快速、