Nikon光刻機(jī)stepper維修手冊(cè)

1、第一章 修理操作前的各項(xiàng)準(zhǔn)備工作1.1修理操作的先決條件1.2使用工具第二章 照明系統(tǒng)修理程序2.1超高壓汞燈電源異常2.2照明均勻性異常和曝光功率降低第三章 硅片傳輸系統(tǒng)的修理程序3.1硅片傳輸系統(tǒng)的真空異常3.2 OF檢測(cè)失靈3.3預(yù)對(duì)準(zhǔn)工作異常3.4上下片臂定位不良（以上全部維修程序請(qǐng)參考微高公司提供的維修手冊(cè)）第一章 修理操作前的各項(xiàng)準(zhǔn)備工作1.1修理操作的先決條件 能進(jìn)行操作和精讀檢驗(yàn) 能夠使用示波器 照度計(jì)等測(cè)量?jī)x器注意事件：抽出電路板時(shí)，請(qǐng)先關(guān)斷電源 拿起電路板時(shí)請(qǐng)勿用手指接觸鏈接點(diǎn) 打開或關(guān)斷控制單元電源時(shí)，先將控制計(jì)算機(jī)正確關(guān)閉 對(duì)光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行清潔處理時(shí)，請(qǐng)務(wù)必戴上潔凈手套1

2、.2使用工具使用工具一覽表工具備注硅片鑷子示波器需用具有兩路以上輸入，頻帶盡可能寬電路板調(diào)整用轉(zhuǎn)插板清潔處理用布潔凈手套或指套工業(yè)用顯微鏡水平儀分辨率達(dá)到2分注射器數(shù)字萬用表測(cè)試掩模版塑料棒卷繞清潔用紙，作為棉球棒使用柔光照明燈六角起子，調(diào)整起子，十字起子需符合操作對(duì)象的螺栓螺母尺寸電位器調(diào)整起子專用起子消耗品一覽表消耗品備注丙酮乙醇清潔用紙潤(rùn)滑脂PL-035潤(rùn)滑油Aero-shell Fluidl2異丙醇（IPA）使用各種工具時(shí)，請(qǐng)注意以下事項(xiàng)：要參照使用說明書對(duì)示波器及時(shí)進(jìn)行探測(cè)頭校準(zhǔn)，保持其精讀，尤其在更換探頭時(shí)，請(qǐng)務(wù)必加以校準(zhǔn)。松開或上緊螺栓 螺母之類機(jī)件時(shí)，請(qǐng)使用尺寸合適的工具，且施

3、力恰當(dāng)，以免損壞機(jī)器。調(diào)整電位器，請(qǐng)注意方向，本文中標(biāo)有CW時(shí)，按順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，標(biāo)CWW，按反時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。第二章 照明系統(tǒng)修理程序凡涉及機(jī)械 電氣 光學(xué) 壓力 流量 位置等調(diào)整時(shí)，請(qǐng)專業(yè)人士協(xié)助實(shí)施。否則后果自負(fù)。2.1超高壓汞燈電源異常程序1：超高壓汞燈電源操作面板的檢驗(yàn)對(duì)外圍室（凈化室）前面的操作面板進(jìn)行如下的檢測(cè)：電源開關(guān)是否打開？觸發(fā)開關(guān)是否打開？報(bào)警燈是否亮？程序2：超高壓汞燈控制箱的檢驗(yàn)。對(duì)外室上面的超高壓汞燈控制箱進(jìn)行如下檢驗(yàn)：打開電源開關(guān) 電源指示燈是否發(fā)亮 風(fēng)扇是否轉(zhuǎn)動(dòng)程序3：AC200V系統(tǒng)的檢驗(yàn)打開外圍室左側(cè)后部的電控箱門，檢驗(yàn)超高壓汞燈電源的短路器是否處于通路狀態(tài)。

4、程序4：恒溫器的更換方法工具：六角起子套件 十字起子套件關(guān)閉操作面板上的電源開關(guān)，然后再關(guān)閉汞燈控制裝置內(nèi)的電源開關(guān)。約等30分鐘，燈罩內(nèi)達(dá)到足夠冷凍狀態(tài)。松開右側(cè)1個(gè)十字螺釘 燈罩左側(cè)兩個(gè)十字螺釘，取下燈罩蓋。取下燈罩的蓋子，用六角形起子將位于黑色板子上部的恒溫器卸下。用十字起子卸開恒溫器的布線，更換恒溫器。將新的恒溫器安裝于黑色板上，裝上燈罩蓋注意： 安裝燈罩蓋時(shí)，請(qǐng)不要夾住恒溫器的接線。2.2照明均勻性異常和曝光功率降低程序1：照度的調(diào)整用A-9電路板的VR27(LAMP)調(diào)整程序2：超高壓汞燈的安裝位置調(diào)整安裝超高壓汞燈時(shí)，請(qǐng)交替上緊支撐機(jī)構(gòu)側(cè)面兩個(gè)安裝螺釘。單方上緊時(shí)，裝斜后的調(diào)整范

5、圍狹窄。程序3：超高壓汞燈的最佳位置調(diào)整調(diào)整超高壓汞燈位置時(shí)，要使超高壓汞燈的弧像投影到超高壓汞燈監(jiān)視器中心，但僅此還不能將其調(diào)到最佳位置。對(duì)超高壓汞燈監(jiān)視器始終要考慮開始調(diào)整的大致位置，上下左右調(diào)整，以探測(cè)最佳位置。探測(cè)照度功率的最大位置，在調(diào)整螺釘1的旋轉(zhuǎn)過程中尋找最佳位置。第三章 硅片傳輸系統(tǒng)的修理程序3.1硅片傳輸系統(tǒng)的真空異常故障編碼： 61-67 69 6A F8 F9故障多次發(fā)生時(shí)，請(qǐng)聯(lián)系專業(yè)人員，并告知一下事項(xiàng)：故障發(fā)生的頻度發(fā)生故障的硅片是否受限定故障發(fā)生時(shí)硅片的狀態(tài)故障發(fā)生之前，引起故障的工作臂在做什么樣的動(dòng)作程序1：供氣壓力檢查檢驗(yàn)供過給點(diǎn)真空壓力，然后加以調(diào)整。在壓力無

6、異常時(shí)，檢驗(yàn)內(nèi)是否有真空泄漏之處。壓縮氣壓（sup）真空壓力（vac）用凈化室前面的指示面板上的壓力表檢驗(yàn) 指標(biāo)：SUP：大于3kg/c VAC：大于460mmhg程序2：檢驗(yàn)硅片有無翹曲對(duì)發(fā)生故障的硅片做以下的檢驗(yàn)：在出現(xiàn)真空異常之處的硅片有無翹曲硅片背面有無污染，是否付著有灰塵。程序3：硅片交換位置的調(diào)整工具：調(diào)正螺絲刀檢驗(yàn)真空出現(xiàn)異常之處的硅片是否處于該處工作臂的中心位置，若明顯偏離中心，即做調(diào)整。硅片交接位置不適當(dāng)時(shí)，檢驗(yàn)在何處發(fā)生位置偏差。1）以下表示各個(gè)工作臂在發(fā)生真空異常（detail code：65 66 68）上片時(shí)， 檢驗(yàn)取片臂的插入位置，取片臂從片架抽取硅片時(shí)，檢驗(yàn)臂的真

7、空面是否在硅片中心位置附近吸附硅片。當(dāng)吸附不再中心位置附近時(shí)，調(diào)整內(nèi)部傳感器的位置。下片時(shí)， 與橫向滑動(dòng)臂交接硅片時(shí)，檢驗(yàn)取片臂的真空面是否在硅片的中心位置附近吸附硅片。若不在中心位置附近吸附，則調(diào)整外邊的傳感器。2）橫向滑動(dòng)臂真空異常（detail code：6A）檢驗(yàn)在各個(gè)臂交接硅片時(shí)，橫向滑動(dòng)臂是否在各個(gè)臂移動(dòng)到其中心位置時(shí)停止。若各個(gè)臂不位于中心位置附近，則應(yīng)調(diào)整相應(yīng)臂位置上的位置檢測(cè)傳感器。另外，由聯(lián)機(jī)部分接收硅片時(shí)，有必要對(duì)聯(lián)機(jī)部分的位置檢測(cè)傳感器進(jìn)行調(diào)整。3）of上/下臂的真空異常（detail code：6E）檢驗(yàn)橫向滑動(dòng)臂的OF上下臂位置停止時(shí)，OF上下臂是否位于橫向滑動(dòng)臂的

8、中心位置附近。在不位于中心位置附近，則調(diào)整滑動(dòng)臂在OF臺(tái)處的橫向位置檢測(cè)傳感器。3.2 OF檢測(cè)失靈程序1：OF檢測(cè)工具：六角形起子 示波器 數(shù)字萬用表檢驗(yàn)WLOFS電路板上的VR1（OFSPD）能否順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)此時(shí)，要了解在旋轉(zhuǎn)臺(tái)無硅片狀態(tài)下TP5（OFSPD）的輸出是多少V若能轉(zhuǎn)動(dòng)，順時(shí)針調(diào)整。程序2：OF機(jī)構(gòu)部分X方向間隙檢查工具：六角形起子 示波器 數(shù)字萬用表OF機(jī)構(gòu)部分由4個(gè)小螺釘固定檢驗(yàn)OF機(jī)構(gòu)部分在x方向上有無間隙，若有，則在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上無硅片狀態(tài)下用示波器監(jiān)視TP5（OFSPD）和TP12（OFSPD），按輸出最大條件下無間隙存在來上緊螺絲。3.3預(yù)對(duì)準(zhǔn)工作異常程序1：承片臺(tái)真空傳感器的檢查將外圍室背面左側(cè)的門打開，STGVAC電路板在最上部，D5在該電路板內(nèi)。承片臺(tái)本身電路板上的LED是否發(fā)亮程序2：預(yù)對(duì)準(zhǔn)2的工作速度檢查只要打開/關(guān)斷A-40電路板的WASET的嵌入式開關(guān)，預(yù)對(duì)準(zhǔn)2即將運(yùn)轉(zhuǎn)。 當(dāng)其運(yùn)轉(zhuǎn)異常時(shí)，調(diào)整WASET的速度控制器。注意：操作結(jié)束后，請(qǐng)勿必將嵌入式開關(guān)拔向OPEN方3.4上下片臂定位不良故障碼：-1229（cc，cd）程序1： 中間位置傳感器的檢查檢查上下