S-4800日立掃描電子顯微鏡(SEM)簡易操作指南(維護(hù)版)59

1、日立掃描電子顯微鏡（SEM）維護(hù)手冊S-48001、 每一個(gè)月檢查冷卻循環(huán)水，及時(shí)記錄水面是否下降并補(bǔ)充。換水以及清洗過濾網(wǎng)（頻率：1年1次以上）2、 空氣壓縮機(jī)的維護(hù)（頻率：半個(gè)月一次，1個(gè)月1次以上）壓縮機(jī)內(nèi)部排水3、 機(jī)械泵、干泵的維護(hù)（頻率：半年1次以上（機(jī)械泵），1年1次（油泵） 機(jī)械泵：半年1次以上，當(dāng)油霧收集器附著油液或有油煙時(shí)立即更換。當(dāng)油的顏色變?yōu)椴枭珪r(shí)或換油過了6個(gè)月時(shí)：停機(jī)交換油開機(jī)油泵：1年1次，委托服務(wù)人員維護(hù)保養(yǎng)。4、 烘烤與機(jī)械對(duì)中（頻率：1年1次以上）烘烤1. 關(guān)閉電腦，前面板Display，和循環(huán)水。2. 擰開X軸向的兩個(gè)小螺絲，取下最上端的電磁罩3. 松開電

2、子槍的螺紋蓋，取下電子槍套入左側(cè)兩個(gè)圓環(huán)處。注意手不要碰到電子槍內(nèi)殼4. 松開Y軸向兩個(gè)螺絲，注意用手掩護(hù)防止螺絲往里掉。取下鏡筒罩。5. 拿烘烤裝置圍在鏡筒上，并用專用帽子蓋上，擰緊螺絲。6. 把兩根內(nèi)加熱線插入電子槍桶的兩個(gè)X軸向的小凸起上，并整理好內(nèi)外電線，使其不接觸到加熱部位，防止燒壞，并引到右側(cè)后臺(tái)的接線蓋處。7. 松開右側(cè)后臺(tái)的接線蓋，分別插入內(nèi)外線插槽，用螺絲擰緊接線蓋。8. 設(shè)置前面板，通常烘烤必須保證冷卻6 Hour,加熱時(shí)間可變，常用8小時(shí),且外烘烤先啟動(dòng)，兩個(gè)小時(shí)后內(nèi)烘烤才啟動(dòng)。故可設(shè)Mode/Bake 閃動(dòng)時(shí)按下select 0u 8( =out 8hour) In 6

3、。此時(shí)轉(zhuǎn)到后面板調(diào)整開關(guān)為Bake 開，Display 關(guān)，其他勿動(dòng)。再回到前面板按下start。若無意外，烘烤設(shè)置成功，倒計(jì)時(shí)幾秒后即開始。判斷烘烤是否成功開始標(biāo)志：a) 按下start 后 無報(bào)警現(xiàn)象b) 烘烤鏡筒部位發(fā)熱c) IP1-3真空度下降，由E-7到E-6簡單版烘烤流程拆下最上端電磁罩拆下電子槍取下鏡筒罩裝上Outer加熱器裝上Inner導(dǎo)線把兩隊(duì)導(dǎo)線連接到后面板放置高溫牌提醒前面板定時(shí)開后面板總開關(guān)開始烘機(jī)械對(duì)中1. 軟件設(shè)置1KV，flash 記下電流值2. 電子束光闌由1逆時(shí)針調(diào)到0，物鏡可動(dòng)光闌由3調(diào)到03. 軟件菜單欄setup/column 下 聚光鏡cond len

4、1、 cond len2前面的勾去掉。（對(duì)話框勿關(guān)）4. 放入15mm空樣品臺(tái)，size 選15mm ，height選+1 ，z=8mm。加高壓HV5. 選軟件Align/Beam Align可看到光斑，調(diào)節(jié)桌面操作版上的對(duì)比度（大一點(diǎn)）和亮度（小點(diǎn)），使光斑輪廓較清晰。6. 機(jī)械操作a) 用大螺絲刀（調(diào)節(jié)燈絲合軸）使光斑居中，東北西南兩螺絲是X方向，西北東南是Y軸方向，通常一軸調(diào)節(jié)時(shí)先松螺絲，再同時(shí)擰緊螺絲。b) 把電子束光闌順時(shí)針調(diào)到1號(hào)，調(diào)節(jié)光闌壁上的兩個(gè)旋鈕c) 物鏡可動(dòng)光闌順時(shí)針調(diào)到3號(hào)，調(diào)節(jié)光闌壁上的兩個(gè)旋鈕d) 勾上軟件對(duì)話框len1,再調(diào)節(jié)4個(gè)小螺絲刀，最后擰緊e) 再勾上le

5、n2，degauss（消磁）關(guān)閉對(duì)話框。f) ABC一下，選頻率2K，focus一下，先找到樣品臺(tái)上明顯白色物質(zhì)，調(diào)最小邊兩個(gè)小螺絲，使畫面不晃動(dòng)，通常緊些較好。g) 機(jī)械對(duì)中完畢，可進(jìn)行實(shí)物測量。緊急停電關(guān)機(jī)處理緊急關(guān)機(jī)在緊急情況下，按下紅色EMERGENCY OFF按鈕順時(shí)針旋轉(zhuǎn)到底，系統(tǒng)關(guān)機(jī)后，將各開關(guān)按鈕撥至正常停機(jī)位置。短時(shí)間關(guān)機(jī)：退出PC_SEM程序退出Windows XP系統(tǒng)關(guān)閉DISPLAY關(guān)閉EVAC等待約35分鐘后Multi Indicator區(qū)域顯示“POFF”關(guān)閉MAIN SWITCH關(guān)閉電源總開關(guān)。S-4800長時(shí)間停機(jī)程序1.先關(guān)閉HV和PC，然后關(guān) 閉D

6、ISPLAY，關(guān)閉STAGE；2.將EVAC POWER 撥到O（OFF），等待30分鐘（目 的：冷卻物鏡可動(dòng)光欄）和5分鐘（TMP關(guān)閉）， 真空系統(tǒng)（離子泵停下來后分子泵會(huì)停）停止。面板上顯示有P0FF字樣；3.將IP1，IP2，IP3都撥到OFF檔；4.將關(guān)閉IP，EVAC，DISPLAY與OUTER BAKAE，然后關(guān) 掉MAIN breaker; 5停止循環(huán) 水機(jī)工作。S-4800開機(jī)程序1. 在操作臺(tái)后面，先將MAIN breaker開關(guān)處于ON，（沖擊電流會(huì)較大，可能跳閘，只需按住小白色凸起在上撥開關(guān)）同時(shí)，一邊手按住RESET；2. 開IP，EVAC，DISPLAY；3.將真空操作面板的IP1，IP2，IP3都撥到ON檔；(若撥上開關(guān)后，上方對(duì)應(yīng)的指示燈沒亮，則打開左手側(cè)側(cè)面 板，擰開4個(gè)螺絲，把里邊的IP對(duì)應(yīng)保護(hù)開關(guān)撥到on，可試幾次直至前面 板IP燈亮)4. 將EVAC POWER 撥到ON，注：從抽真空到