大型儀器設備購置論證報告

1、大型儀器設備購置論證報告儀器設備名稱交直流電源項目名稱物理學（一流學科）項目負責人高先龍?zhí)畋砣掌?017.09.26實驗室管理處制填表說明1單價 10 萬元及以上儀器設備的申購均需填寫此表，并與申購計劃一起上報有關部門。2所在學院（部門）組織 37 人單數技術專家進行論證，并通知項目經費管理、設備管理等部門參加論證。 申請單一來源采購的需 3 人以上單數非本校專家參加論證； 未列入全省統(tǒng)一論證進口產品范圍的進口產品需 5 人以上單數非本校專家參加論證。3論證會由專家組組長主持，主要程序為：申購人報告、現場考察、專家質詢與討論、專家組形成論證意見并簽名。4專家論證同意，經學院（部門） 、項目經費

2、管理部門簽字并蓋章后，報本科教學部（實驗室管理處）網上公示一周無異議后實施。5此表一式1 份（如設備為進口設備，請?zhí)峤? 份）。中文設備名稱英文規(guī)格型號交直流電源AC an dDC p owers ou r c e申購數量購置經費來源主要技術指標與功能人民幣39.5萬1現行單價美元物理學（一流學科）運行經費來源物理學（一流學科）設備主要技術指標系統(tǒng)總體要求：1.1 要求系統(tǒng)具備4 個 SMU單元；個 SMU單元為中功率單元，需保證單個中功率SMU能夠實現：最大提供和可測的電流為 100mA，電流測量精度優(yōu)于 100fA ，最大提供和可測電壓為 100V，電壓測量精度 100 V，電壓設定分辨率

3、 5 V；個 SMU單元為高功率單元，需保證單個高功率SMU能夠實現：最大提供和可測電流為 1A，電流測量分辨率均為 100fA ，最大提供和可測電壓為 200V，電壓測量分辨率 100 V，電壓設定分辨率 5 V，輸出功率 20w 以上；2.1 C-V 測試技術指標：掃頻頻率范圍至少包含：1KHz-5MHz；偏置電壓大于：±30V通過軟件實現AC 阻抗測量，包括電容- 電壓（ C-V）、電容 - 頻率（ C-f ）、電容 - 時間（ C-t ）等測試功能，并可自定義其他掃描測試模式。3. 其他指標測試和 CV測試能夠自動切換；系統(tǒng)擴展性：脈沖 I-V 的擴展能力；圖形化的測試軟件，

4、保證軟件的終身免費升級；地點面積輔助設施配備是否落實需改建情況用房情況管理和使用技術人員配備主要用途和適用學科范圍購置必要性本校是否有同類設備、數量及不能共享的理由姓 名職稱專管是否熟練是否或兼管使用過程度需培訓黃仕華教授專是熟練否方亮講師專是熟練否按照固態(tài)光電器件重點實驗室建設規(guī)劃，實驗室將重點研發(fā)高壓 LED 、硅基和鈣鈦礦太陽能以及以二維薄膜材料為基礎的薄膜晶體管等新型的半導體材料和器件。因此，為有效開展上述科研工作，用于半導體特性分析的高精度交直流電源系統(tǒng)是實現相關測量的重要設備，是對目前在研項目能夠順利開展必不可缺的一環(huán)。該設備的采購將有助于推動現有科研工作的開展，并為今后的發(fā)展奠定

5、了硬件基礎。交直流電源系統(tǒng)用于半導體器件和材料的電學測試（ IV 和 CV）和可靠性實驗（如 TDDB，電遷移， HCI 測試），適用物理、化學、材料工程等各個學科。1. 近年來國家非常重視半導體器件和材料的發(fā)展。交直流電源系統(tǒng)的購置將提升我校研究人員在半導體電學方面的測試水平，大大提高測試精度和測試范圍，降低測試的難度，這有助于深化我校在這一領域研究，提升研究層次，更好服務于一流學科和重點高校建設。2. 物理、材料科學與工程、 光信息科學與工程等專業(yè)建設過程中，需要進一步加強學生動手能力的培養(yǎng)，提高學生實驗操作技能，實驗課程體系和實驗室建設是重要內容。交直流電源系統(tǒng)購置將可以更好的開設半導體

6、器件、材料方向的實驗項目和內容，解決目前實踐教學薄弱的問題，服務于專業(yè)工程論證和專業(yè)建設。目前本校有幾臺功能比較單一的直流電源，但其存在如下問題：測試端只有兩端，不能實現 3 端以上復雜器件的測試功能；現有設備的測試精度較低， 如 2600 系列源表的電壓測試精度只有 250v；現有設備沒有 PC端的圖形化的測試界面，設定測試程序困難；暫無集成 IV/CV 測試功能的成套設備，急需建設，建成后共享性好。安 裝 場 地 滿 場地條件滿足需求，安全保護措施已落實，不涉及放射源和劇毒品足條件（水、 等危險性材料。該套系統(tǒng)對勞動保護沒有特殊要求，所有制度及措電、氣等是否 施按照目前國家法律、學校制度及

7、實驗室現有管理制度實施即可。齊全）、安全保護措施落實情況、是否涉及放射源物品和劇毒品等危險性材料國內外同類設備、品牌、規(guī)格、性能、技術指標、目前交直流電源半導體分析系統(tǒng)主要有吉時利（ Keithley ）儀器公司的4200系列，安捷倫電子的B1500 系列，兩個系列占據了國內半導體企業(yè)以及國內高校科研院所需求的絕大部分市場份額。國內產品這塊無論是交直流電源的精度、范圍和穩(wěn)定性上都有很大的差距，浙江省的統(tǒng)一論證也對該類產品的國內外產品的差距做了說明，因而對該類設備的調查主要針對國外相關品牌，其具體的比較如下：Agilent B1500AKeithley 4200-SCS電流測量分辨率0.1fA0

8、.1fA電流測量精度0.3%+30fA1%+10fA最大電流1A1A電壓測量分辨率0.5uV1uV特色、附件、價格、售后服務、應用電壓測量精度100uV100uV最大電壓210V200V支持等的比較設置分辨率100uV/50fA5uv/5pASMU 可擴充性最多支持11 個 SMU最多支持8個SMUC-V 頻率1KHz-5MHz1KHz-10MHzC-V 偏置電壓±25V±30V最小測量值1uf1uf測量精度0. 2%0. 38%圖形化軟件測試界面有有IV/CV 切換有有使用效益預測及風險分析開放共享實施方案和是否同意納入學校共享平臺專家論證意見專家組成員儀器可以全自動控制

9、，老師和學生經過簡單培訓后可以自如的上機操作，該設備的有效利用，對提升專業(yè)人員的科研水平以及提高學生培養(yǎng)質量方面的促進作用是毋庸質疑。同時可以為周邊企業(yè)半導體測量提供服務。根據教學與科學研究需要，為充分發(fā)揮設備價值，該設備將積極開展科學研究和人才培養(yǎng)工作，在設備正常運行的前提下，完全對校內、校外開放共享。開放共享實施方案：1、在滿足相關學科教學平臺（或科研團隊、實驗室、課題組等）師生使用需求之外，向學院內及學校內外開放有償使用。2、依據浙江師范大學大型儀器設備開放共享有關規(guī)定收取設備使用費。3、收費數額依據儀器設備折舊費、運行成本、管理服務費確定。項目負責人簽字：高先龍采購該設備主要用于微納材料和半導體器件電學性能的測試和可靠性實驗。專家組評定認為，該設備對于微納材料、半導體器件等的研究和教學具有采