半導(dǎo)體工藝工程師崗位職責(zé)

1、半導(dǎo)體工藝工程師崗位職責(zé) 3.大學(xué)英語(yǔ)四級(jí),能與外方簡(jiǎn)潔溝通 3.collegeenglishtestbrand4,basiccommunicationwithforeigners 4.能夠接受出差 4.mustbeabletogotobusinesstrips 篇3：半導(dǎo)體廠設(shè)備工程師人員安全留意事項(xiàng) ; > 摘要 半導(dǎo)體業(yè)對(duì)x省整體市場(chǎng)影響力特別大,集成電路制造過(guò)程使用特別多化學(xué) 品及有害氣體,主要設(shè)備單位包括diff、thin-film、cmp、vacuum、dryetch、 wetetch、photo。為了讓工安人員、設(shè)備人員能夠充分的了解在fab內(nèi)所處之 工作環(huán)境及在工作時(shí)需特

2、殊留意之安全事項(xiàng),茲將設(shè)備人員所負(fù)責(zé)之機(jī)臺(tái)及該注 意之安全事項(xiàng),加以匯整說(shuō)明,以的確加強(qiáng)改善半導(dǎo)體廠設(shè)備工程師人員之安 全,避免人員意外事件發(fā)生。 一、工作安全之基本觀念 一般工作現(xiàn)場(chǎng)中主要安全基本觀念包括以下數(shù)點(diǎn): (一)安全是工作的一部份,我們有義務(wù)要把安全做好。 (二)依據(jù)國(guó)際安全評(píng)分系統(tǒng)(isrs)所統(tǒng)計(jì)之意外事故比率: 每600件虛驚事故,就會(huì)伴隨30件財(cái)物損失之事故,并產(chǎn)生10件輕 微傷害事故,最終可能產(chǎn)生1件嚴(yán)重傷害事故。 (三)任何意外事故發(fā)生,均是由日常工作中擔(dān)心全的行為或擔(dān)心全的環(huán)境所造 成。 (四)落實(shí)安全管理是主管的必修課程,不是在事后補(bǔ)救;預(yù)防勝于治療。 (五)只要是

3、涉及安全,你唯一能相信的是你自己,你必需有百分之百的把握, 你所做的任何行為或動(dòng)作沒(méi)有任何安全顧慮。全部工作人員,都必需有預(yù) 知危急之危機(jī)意識(shí)。 (六)從事任何工作,你首先要考慮的是你自己本身的安全,再來(lái)是周遭的人身 安全,其次才是機(jī)臺(tái)與產(chǎn)品的安全。 (七)擔(dān)當(dāng)修理及保養(yǎng)工作時(shí),若你發(fā)覺(jué)你不夠清晰,請(qǐng)馬上停止進(jìn)行中的工作。 (八)凡事務(wù)必遵守標(biāo)準(zhǔn)程序(sop、pmprocedure、troubleshootingguide)。 從事特定修理工作,請(qǐng)的確根據(jù)規(guī)定穿著標(biāo)準(zhǔn)防護(hù)用具。 二、設(shè)備人員修理/保養(yǎng)工作通則 半導(dǎo)體廠中設(shè)備人員修理、保養(yǎng)時(shí)易造成人員安全疑慮,因此凡于無(wú)塵室內(nèi) 從事pm及修理工

4、作時(shí),均應(yīng)遵守下列規(guī)定事項(xiàng),以確保安全且整齊之高質(zhì)量工 作環(huán)境。 (一)安全事項(xiàng): 1、任何操作均以安全為第一考慮。 2、設(shè)備修理時(shí),必需掛上修理中警示牌,以防止他人誤動(dòng)作。 3、pm修理中,如需占用走道或掀開(kāi)高架地板,工作人員必需將施工區(qū)域用圍 欄區(qū)隔,以防止危急發(fā)生;掀開(kāi)高架地板作業(yè)完畢,地板蓋回后,必需確認(rèn) 地板間是否平整,以維持無(wú)塵室內(nèi)作業(yè)安全。 4、pm修理時(shí),若有接觸化學(xué)品或有害氣體之虞時(shí),必需依照標(biāo)準(zhǔn)procedure 做好安全防護(hù)措施,以保護(hù)本身及他人之安全。 5、pm修理中如需要使用附屬設(shè)備,如工作臺(tái)車、housevacuum時(shí)必需擺放適 當(dāng)之安全位置,以防止人員絆倒產(chǎn)生危急

5、。 6、使用ipa、h2o2、diw須用小瓶罐裝,人員離開(kāi)時(shí)須放回鋼瓶座內(nèi)。 7、執(zhí)行修理保養(yǎng)工作時(shí),務(wù)必特殊留意機(jī)臺(tái)零件及工具銳角對(duì)人身可能造成之 傷害。 (二)操作整齊留意事項(xiàng): 1、任何操作均應(yīng)隨時(shí)保持高質(zhì)量之工作環(huán)境。 2、pm修理拆下之零件,不可放置機(jī)臺(tái)或地面上,必需放置修理臺(tái)車上或指定 收納置物箱內(nèi),螺絲須放入螺絲盒內(nèi),如parts體積浩大須暫放地面,應(yīng)放 置安全,不得阻礙他人之作業(yè)安全。 3、pm修理使用之工具須擺放整齊,人員離開(kāi)時(shí)必需放在工作臺(tái)車上或放回工 具箱內(nèi)。 4、pm修理使用完之無(wú)塵布、棉花棒等,必需馬上丟入垃圾筒及垃圾袋內(nèi),以 保持工作環(huán)境之干凈。 5、搬運(yùn)物品時(shí)必需

6、輕提輕放,不可用拖拉方式移動(dòng)物品。 6、pm修理時(shí),禁止使用貨架臺(tái)車暫放零件或運(yùn)送零件,以維護(hù)貨架臺(tái)車之清 潔,pm工作臺(tái)車使用完畢,必需保持潔凈清潔,放置于規(guī)定地方。 7、housevacuum使用完畢后,須checkhouseoutlet之銅蓋是否蓋上及密合, 使用電源插座完畢后,須check電源座是否推回地板面,蓋子是否蓋上。 8、工作中或臨時(shí)休息,皆不可坐于桌面及地板或腳踏板上。 9、工作完成后,請(qǐng)檢視周遭環(huán)境確保整齊清潔。 三、設(shè)備人員單位簡(jiǎn)介及安全概述 半導(dǎo)體廠設(shè)備單位一般包括diff、thin-film、cmp、vacuum、dryetch、 wetetch、photo,各單位之

7、主要性質(zhì)介紹如下: (一)diff擴(kuò)散設(shè)備單位(包括ke、tel、dns、applied等) 主要用到有毒、無(wú)毒之processgas、water、高電壓、高電流、廢氣,clean 機(jī)臺(tái)則使用強(qiáng)酸堿化學(xué)液、而有廢酸液之生成。 (二)thin-film薄膜設(shè)備單位(包括applied、novellus等) 主要用到有毒、無(wú)毒之processgas、water、高電壓、高電流、高頻、廢 氣。 (三)cmp研磨設(shè)備單位(包括applied、dns等) 主要用到強(qiáng)堿slurry化學(xué)液、water、而有廢堿液之生成。 (四)vacuum真空設(shè)備單位(包括applied、ag、varian等) 主要用到有

8、毒、無(wú)毒之processgas、water、高電壓、高電流、高頻、廢 氣;噴砂機(jī)臺(tái)作為修理之用。 (五)etch干蝕刻設(shè)備單位(包括lam、tel、applied、psc、mattson機(jī)臺(tái)) 干蝕刻機(jī)臺(tái)之制程主要用到有毒特別氣體(cl2,hbr,氟化物)、無(wú)毒之氣體 (n2,ar.)、water(冷卻循環(huán)水,去離子水.)、高電壓、高頻、高電流在真 空中反應(yīng),且在生產(chǎn)過(guò)程會(huì)有廢氣、輻射、廢水之生成物。 (六)etch濕蝕刻設(shè)備單位(包括kaijo機(jī)臺(tái)) 濕蝕刻機(jī)臺(tái)之制程主要用化學(xué)藥品,如強(qiáng)酸 (hf,boe,h3po4,h2so4,hno3),強(qiáng)堿(act-690)及diw,cooling w

9、ater等,在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)有廢酸液、廢水及反應(yīng)生成物之產(chǎn)生。 (七)photo黃光設(shè)備單位(包括asmstepper、teltrack、agv及其他相關(guān)量 測(cè)或檢視機(jī)臺(tái)) 主要用到紫外線光源hmds、thinner、光阻等有機(jī)溶劑,且有高電流、高 電壓、紫外線之應(yīng)用,生產(chǎn)過(guò)程會(huì)有廢氣、廢液之生成。 綜合一般無(wú)塵室內(nèi)常見(jiàn)之工業(yè)安全傷害,可分為化學(xué)性、物理性之傷害, 而傷害也分布身體之各部位。以下就將各單位較易發(fā)生及機(jī)臺(tái)修理之安全事項(xiàng)說(shuō) 明如下: (一)diff擴(kuò)散設(shè)備單位 1、furnacetoolsandcvdtools (1)機(jī)械方面:robot之夾傷、撞傷、chamber毒氣外泄、plas

10、ma輻射傷害、gate door之夾傷,高溫燙傷。 (2)電力方面:高壓電流觸及。 (3)修理方面:身體之撞傷、擦傷、夾傷、燙傷、wafer之割傷。 (4)保養(yǎng)方面:高溫爐管之燙傷、parts之割傷、化學(xué)溶劑吸入性及噴濺之傷害。 2、wetbench安全留意事項(xiàng) (1)機(jī)械方面:robot之夾傷、撞傷、挫傷。 (2)化學(xué)藥劑方面:強(qiáng)酸/強(qiáng)堿之灼燙傷、化學(xué)品之觸及、吸入性傷害。 (3)電力方面:漏電觸及。 (4)修理方面:撞傷、wafer割傷、強(qiáng)酸/強(qiáng)堿之波及。 3、inter-baytransfersystem (1)機(jī)械方面:r/m之夾傷、撞傷、挫傷。 (2)修理方面:高架作業(yè)之安全。 (二

11、)thin-film薄膜設(shè)備單位 (1)機(jī)械方面:避免撞傷、高溫燙傷、廢液桶壓傷、robot夾傷、slitvalve夾傷、 肌肉拉傷。 (2)電力方面:避免高壓電流觸及身體。 (3)修理保養(yǎng)方面:高溫燙傷、粉塵吸入、重物壓傷、強(qiáng)酸/強(qiáng)堿之灼傷、身 體之擦傷、撞傷、夾傷、挫傷、parts割傷、powder避免吸入體內(nèi)。 (4)化學(xué)溶劑方面:強(qiáng)酸/強(qiáng)堿之波及和吸入。 (5)特別氣體方面:防止毒氣外泄之吸入。 (三)cmp研磨設(shè)備單位 (1)機(jī)械方面:motorgear轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)夾傷、dnsgatedoor夾傷。 (2)電力方面:高壓電流觸及。 (3)修理方面: a.mirracross轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)須先確定無(wú)

12、人。 b.robot移動(dòng)時(shí),須把door關(guān)起來(lái),避免撞人員。 c.wafer破片之割傷。 (4)保養(yǎng)方面:換pad時(shí)須使用適當(dāng)工具,避免拔pad時(shí)工具撞到臉部。 (5)化學(xué)藥劑方面: a.修理或養(yǎng)dnstbcchamber時(shí)要先f(wàn)lush,并帶口罩及防酸手套,防止 hf腐蝕。 b.處理wslueey時(shí),須帶手套。 (四)vacuum真空設(shè)備單位 (1)機(jī)械方面:robot之夾傷、撞傷、chamber毒氣外泄、plasma輻射傷害、slit valve之夾傷,肌肉拉傷,高溫燙傷。 (2)電力方面:高壓電流觸及、xray輻射、強(qiáng)磁場(chǎng)。 (3)修理方面:身體之撞傷、擦傷、夾傷、燙傷、wafer之割傷

13、。 (4)保養(yǎng)方面:高溫燙傷、parts之割傷、化學(xué)溶劑吸入性及噴濺之傷害。 (5)特別氣體方面:防止毒氣外泄之吸入。 (五)etch干蝕刻設(shè)備單位 (1)機(jī)械方面:機(jī)械手臂之夾傷、撞傷、chamber毒氣外泄吸入性之傷害、plasma 輻射污染傷害、gatedoor之夾傷,高溫燙傷。 (2)電力方面:高電壓、高電流之電擊傷害。 (3)修理方面:身體之撞傷、擦傷、夾傷、燙傷、wafer之割傷。 (4)保養(yǎng)方面:parts之割傷、化學(xué)溶劑吸入性之傷害。 (六)濕蝕刻設(shè)備單位 (1)機(jī)械方面:機(jī)械手臂之夾傷、撞傷、挫傷。 (2)化學(xué)藥劑方面:強(qiáng)酸/強(qiáng)堿之灼燙傷、化學(xué)品之觸及、吸入性傷害。 (3)電力方面:高電壓、電流之電擊傷害。 (4)修理方面:撞傷、wafer割傷、強(qiáng)酸/強(qiáng)堿之波及。 (七)photo黃光設(shè)備單位 (1)機(jī)械方面:robot、mailarm、agv之撞傷,krf、化學(xué)品外泄、indexer之 夾傷,高溫燙傷。 (2)電力方面: