真空物理技術(shù)

1、 真空技術(shù)在真空泵中的應(yīng)用 院系名稱 ： 理學(xué)院 專業(yè)班級(jí) ： 應(yīng)物1102班 學(xué)生姓名 ： 閆新政 學(xué) 號(hào) ： 201121020216 真空技術(shù)在真空泵中的應(yīng)用閆新政（河南工業(yè)大學(xué)理學(xué)院， 鄭州， 450001）摘要本文主要介紹了真空技術(shù)在真空泵中的一些應(yīng)用。以機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、分子泵、離子泵、低溫泵為例，分別介紹了它們的結(jié)構(gòu)、原理和一些具體的應(yīng)用等。文章最后對(duì)真空泵的應(yīng)用前景進(jìn)行了簡單的展望。關(guān)鍵詞：真空技術(shù)；機(jī)械泵；擴(kuò)散泵；分子泵；離子泵；低溫泵Abstract本文主要介紹了真空技術(shù)在真空泵中的一些應(yīng)用。以機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、分子泵、離子泵、低溫泵為例，分別介紹了它們的結(jié)構(gòu)、原理和一些具體的

2、應(yīng)用等。文章最后對(duì)真空泵的應(yīng)用前景進(jìn)行了簡單的展望。This paper mainly introduces some applications of vacuum technology in the vacuum pump. The mechanical pump, diffusion pumps, molecular pump, ion pump, cryogenic pump as an example, introduces their structure, principle and some concrete application. Finally, the applicatio

3、n prospect of the vacuum pump is a simple prospect.關(guān)鍵詞：真空技術(shù)；機(jī)械泵；擴(kuò)散泵；分子泵；離子泵；低溫泵Keywords: vacuum technology; mechanical pump; diffusion pumps, molecular pump, ion pump, cryogenic pump引言：隨著真空獲得技術(shù)的發(fā)展，真空泵的真空應(yīng)用日漸擴(kuò)大到工業(yè)和科學(xué)研究的各個(gè)方面；已經(jīng)在工業(yè)、食品、航空航天等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。近年來，伴隨著我國經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展

4、等因素的共同拉動(dòng)下，我國真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地發(fā)展。1機(jī)械泵1.1旋片泵的工作原理 旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。 圖1 旋片泵的結(jié)構(gòu)示意圖Fig. 1 Schematic diagram of the rotary vane pump定子腔內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)的偏心轉(zhuǎn)子，使進(jìn)氣腔容積周期性擴(kuò)大而吸氣，排氣腔的容積周期性縮小而壓縮氣體，并借助壓縮氣體的壓力推開排氣閥門，使待抽容器的氣

5、壓下降圖2 旋片旋轉(zhuǎn)時(shí)的幾個(gè)典型位置Fig. 2 rotary vane rotates several typical position兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個(gè)部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大，A空間的壓強(qiáng)不斷的降低，當(dāng)A空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng)，根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理，被抽的氣體不斷地被抽進(jìn)吸氣腔A，此時(shí)正處于吸氣過程。B腔的空間的容積正逐漸減小，壓力不斷地增大，此時(shí)正處于壓縮過程。而與排氣口相通的空間C的容積進(jìn)一步地減小，C空間的壓強(qiáng)進(jìn)一步的升高，當(dāng)氣體的壓強(qiáng)大于排氣壓強(qiáng)時(shí)，被壓縮的氣體推開排氣閥，被抽

6、的氣體不斷地穿過油箱內(nèi)的油層而排至大氣中，在泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，不斷地進(jìn)行著吸氣、壓縮、排氣過程，從而達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。 排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中，油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進(jìn)入泵腔，使泵腔內(nèi)所有運(yùn)動(dòng)的表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封，同時(shí)油還充滿了一切有害空間，以消除它們對(duì)極限真空的影響。1.2 氣鎮(zhèn)閥 油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外，起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。工作原理：由于大氣中都含有一定量的水蒸氣，所以泵工作

7、時(shí)所抽除的氣體多是某些可凝性氣體和永久性氣體的混合物。這種混合氣體在泵內(nèi)被壓縮排氣的過程中，如果可凝性氣體的分壓力超過了泵溫下的飽和蒸氣壓，那么它們就會(huì)凝結(jié)并與泵油混合，隨油一起循環(huán)。當(dāng)它們返回到高真空端時(shí)又重新蒸發(fā)變成蒸汽。隨著泵的運(yùn)轉(zhuǎn)，凝結(jié)物不斷增加，使泵的極限真空和抽速降低。當(dāng)抽除的氣體中濕度較大時(shí)，泵油的污染更加嚴(yán)重，使泵的密封、潤滑和冷卻性能變差，以至于經(jīng)常更換新油。氣鎮(zhèn)閥是防止蒸汽凝結(jié)從而避免油污染的有效方法。這種方法是將室溫干燥的空氣經(jīng)氣鎮(zhèn)孔進(jìn)入泵的壓縮腔中與被抽氣體相混合。當(dāng)把這種混合氣體壓縮到排氣壓力時(shí)，由于摻氣作用使得其中的蒸汽分壓能保持在泵溫狀態(tài)的飽和蒸氣壓以下，因而蒸汽

8、不會(huì)凝結(jié)而與其它氣體一起被排至泵外。被抽氣體中蒸汽的含量越多，摻入的干燥氣體量就需越多。1.3旋片泵的用途及使用范圍1.3.1 旋片泵是用來對(duì)密封容器抽除氣體的基本設(shè)備之一。它可單獨(dú)作用，也可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵等的前級(jí)泵，維持泵，鈦泵的預(yù)抽泵用?？捎糜陔娬婵掌骷圃臁⒈仄恐圃?、真空焊接、印刷、吸塑、制冷設(shè)備修理以及儀器儀表配套等。因?yàn)樗哂畜w積小、質(zhì)量輕、操聲低等優(yōu)點(diǎn)，所以更適宜于實(shí)驗(yàn)室里使用。1.3.2在環(huán)境溫度540范圍內(nèi)，進(jìn)氣口壓強(qiáng)小于1.3 × 103帕的條件下允許長期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，被抽氣體相對(duì)濕度大于90%時(shí)，應(yīng)開氣鎮(zhèn)閥。1.3.3進(jìn)氣口連續(xù)暢通大氣運(yùn)轉(zhuǎn)不得超過一分種

9、。1.3.4不適用于抽除對(duì)金屬有腐蝕的，對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高的，有爆炸性的，有毒的氣體。1.4旋片式機(jī)械真空泵特點(diǎn)1.4.1其工作壓強(qiáng)范圍為101325-1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。1.4.2它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵1.4.3結(jié)構(gòu)簡單，工作可靠1.4.4由于它以油作為密封物質(zhì)，因此它會(huì)造成油蒸氣的回流和對(duì)真空系統(tǒng)造成油的污染。2 擴(kuò)散泵2.1工作原理 泵油經(jīng)電加熱后，產(chǎn)生油蒸汽沿做蒸汽導(dǎo)流管上升到泵的上部，從傘型嘴向下噴出，形成高速運(yùn)動(dòng)的、具有優(yōu)越運(yùn)載氣體分子的能力射流，達(dá)到把氣體分子抽出的效果。2.2 優(yōu)

10、缺點(diǎn)2.2.1 優(yōu)點(diǎn)：穩(wěn)定、蒸汽壓低、汽化熱小、不分解、不吸收氣體、不與周圍物質(zhì)起反應(yīng)。2.2.2 缺點(diǎn)：油蒸汽對(duì)真空腔的污染。2.3 油擴(kuò)散泵2.3.1 工作原理：泵的底部是裝有真空泵油的蒸發(fā)器，真空泵油經(jīng)電爐加熱沸騰后，產(chǎn)生一定的油蒸汽，蒸汽沿著蒸汽導(dǎo)流管傳輸?shù)缴喜?，?jīng)由三級(jí)傘形噴口向下噴出。噴口外面的壓強(qiáng)較油蒸汽壓低，于是便形成一股向出口方向運(yùn)動(dòng)的高速蒸汽流，使之具有很好的運(yùn)載氣體分子的能力。油分子與氣體分子碰撞，由于油分子的分子量大，碰撞的結(jié)果是油分子把動(dòng)量交給氣體分子自己慢下來，而氣體分子獲得向下運(yùn)動(dòng)的動(dòng)量后便迅速往下飛去并且，在射流的界面內(nèi)氣體分子不可能長期滯留，因而界面內(nèi)氣體分子

11、濃度較小由于這個(gè)濃度差使被抽氣體分得以源源不斷地?cái)U(kuò)散進(jìn)入蒸汽流而被逐級(jí)帶至出口，并被前級(jí)泵走慢下來的蒸汽流在向下運(yùn)動(dòng)的過程中碰到水冷的泵壁，油分子就被冷凝下來，沿著泵壁流回蒸發(fā)器繼續(xù)循環(huán)使用冷阱的作用是減少油蒸汽分子進(jìn)入被抽容器。2.3.2 特點(diǎn)：擴(kuò)散泵必須和機(jī)械泵聯(lián)合工作，才能構(gòu)成高真空抽氣系統(tǒng)。單獨(dú)的擴(kuò)散泵時(shí)沒有抽氣作用的；理論上，擴(kuò)散泵的極限真空取決于泵油的蒸氣壓。而且泵油必須具備很高的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性；擴(kuò)散泵油在高溫下接觸一旦大氣非常容易變質(zhì)，即使時(shí)常溫下，長期接觸大氣也會(huì)因?yàn)槲账侄档托阅?。因此擴(kuò)散泵內(nèi)應(yīng)盡量保存良好的真空狀態(tài)；擴(kuò)散泵油易揮發(fā)，因此在進(jìn)氣口都有擋油的冷阱。圖3

12、 擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)示意圖Fig. 3 Schematic diagram of the diffusion pump3 分子泵3.1分子泵原理 分子泵是一種動(dòng)量型真空獲得設(shè)備，在分子流態(tài)下，氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動(dòng)量，從而使氣體分子得到逐級(jí)壓縮，最后被抽除。圖4動(dòng)葉片的工作示意圖Fig. 4 Schematic diagram of the blade work 在運(yùn)動(dòng)葉片兩側(cè)的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側(cè)(圖3a),當(dāng)氣體分子到達(dá)A點(diǎn)附近時(shí)，在角度1內(nèi)反射的氣體分子回到左側(cè)；在角度1內(nèi)反射的氣體分子一部分回到左側(cè)，另一部分穿過葉片到達(dá)右側(cè)；在角度1內(nèi)反射的氣體分子將直接穿

13、過葉片到達(dá)右側(cè)。同理，在葉輪右側(cè)(圖3b),當(dāng)氣體分子入射到B點(diǎn)附近時(shí)，在2角度內(nèi)反射的氣體分子將返回右側(cè)；在2角度內(nèi)反射的氣體分子一部分到達(dá)左側(cè)，另一部分返回右側(cè)；在2角度內(nèi)反射的氣體分子穿過葉片到達(dá)左側(cè)。傾斜葉片的運(yùn)動(dòng)使氣體分子從左側(cè)穿過葉片到達(dá)右側(cè)，比從右側(cè)穿過葉片到達(dá)左側(cè)的幾率大得多。葉輪連續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體分子便不斷地由左側(cè)流向右側(cè)從而產(chǎn)生抽氣作用。3.2渦輪分子泵3.2.1 工作原理：通過高速轉(zhuǎn)動(dòng)（24000-80000rpm）的葉片將動(dòng)量傳遞給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣，極限真空：5X10-11乇3.2.2渦輪分子泵的特點(diǎn)：渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖

14、擊，無氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。3.3分子泵輸送氣體應(yīng)滿足二個(gè)必要條件3.3.1渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。因?yàn)楫?dāng)將一定容積的容器中所含氣體的壓力降低時(shí)，其中氣體分子的平均自由程則隨之增加。在常壓下空氣分子的平均自由程只有 0.06 m ，即平均看一個(gè)氣體分子只要在空間運(yùn)動(dòng) 0.06 m ，就可能與第二個(gè)氣體分子相碰。而在 1.3Pa 時(shí)，分子間平均自由程可達(dá) 4.4mm 。若平均自由程增加到大于容器壁間的距離時(shí)，氣體分子與器壁的碰撞機(jī)會(huì)將大于氣體分子之間的碰撞機(jī)會(huì)。在分子流范圍內(nèi)，氣體分子的平均自由程長度遠(yuǎn)大于分子泵葉片之間的間距。當(dāng)器壁由不動(dòng)的

15、定子葉片與運(yùn)動(dòng)著的轉(zhuǎn)子葉片組成時(shí)，氣體分子就會(huì)較多地射向轉(zhuǎn)子和定子葉片，為形成氣體分子的定向運(yùn)動(dòng)打下基礎(chǔ)。3.3.2分子泵的轉(zhuǎn)子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度。具有這樣的高速度才能使氣體分子與動(dòng)葉片相碰撞后改變隨機(jī)散射的特性而作定向運(yùn)動(dòng)。 分子泵的轉(zhuǎn)速越高，對(duì)提高分子泵的抽速越有利。實(shí)踐表明，對(duì)不同分子量的氣體分子其速度越大，泵抽除越困難。例： H2 在空氣中含量甚微，但由于 H2 分子具有很大的運(yùn)動(dòng)速度 ( 最可幾速度為 1557m /s) ，所以分子泵對(duì) H2 的抽吸困難。通過對(duì)極限真空中殘余氣體的分析，可發(fā)現(xiàn)氫氣比重可達(dá) 85 ，而分子量較大，而運(yùn)動(dòng)速度慢的油分子所占的比重幾乎為

16、零。這就是分子泵對(duì)油蒸氣等高分子量的氣體的壓縮比很高，抽吸效果好的原因。3.4分子泵的應(yīng)用一般來講，分子泵用來獲得高，或超高真空。廣泛應(yīng)用于：工業(yè)工藝過程（裝飾、ITO、PVD、晶振、玻璃鍍膜，照明、真空 爐排氣）；儀器、設(shè)備；科研、軍工以及半導(dǎo)體等領(lǐng)域。4 離子泵4.1濺射離子泵4.1.1 工作原理：極板間加高壓 (5 kV)；電子螺旋運(yùn)動(dòng) (longer path-length). 氣體分子被電子離化，向陰極運(yùn)動(dòng)；離子注入陰極(Ti，Ta)，濺射陰極材料；濺射出的陰極材料與氣體反應(yīng)，沉積在角落中或陽極上；10-4 Torr to 10-11 Torr4.1.2濺射離子泵的組成：濺射離子泵主

17、要由陽極、陰極、永磁鐵和泵體四大部分組成。4.1.3濺射離子泵的工作過程：首先，電源啟動(dòng), 用磁控放電生成離子。其次用化學(xué)活性金屬（通常是鈦）制作的陰極在離子的轟擊下發(fā)生濺射。最后被濺射的金屬形成的薄膜對(duì)氣體進(jìn)行吸附，空間中的氣體和被濺射的陰極材料形成化合物從空間中除去。 4.1.4 濺射離子泵的優(yōu)缺點(diǎn) 優(yōu)點(diǎn)：是一種完全不用油的清潔泵。一旦封離，跟大氣空間的通道就全部截?cái)?，即使由于停電等原因而中斷能量的供給也無關(guān)緊要，如果再通電又會(huì)再啟動(dòng)。所需的只是電力,高真空時(shí)耗電量少。缺點(diǎn)：對(duì)排除反應(yīng)性氣體十分有效（如氧氣，氮?dú)猓?，但是?duì)排除惰性氣體的排除是有限的。特別是氬氣，在排氣過程中，壓強(qiáng)急劇變化，

18、很不穩(wěn)定。每隔2-3年清洗一次，費(fèi)用較高。4.2 鈦升華泵4.2.1 工作原理：加熱Ti絲使其蒸發(fā)到冷壁. Ti原子與氣體反應(yīng).4.2.2優(yōu)點(diǎn)及缺點(diǎn)：工作范圍 10-8-10-11 Torr；便宜，可靠，無噪音，無振動(dòng)，無斷電問題；需要再生，很難排除惰性氣體和甲烷。5 低溫泵圖5 低溫泵的結(jié)構(gòu)示意圖圖5 低溫泵的結(jié)構(gòu)示意圖Fig. 5 Schematic diagram of cryogenic pump5.1 低溫泵及其應(yīng)用：低溫真空泵 (又稱低溫泵、冷泵、冷凝泵)是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的容積式真空泵，是無油高真空環(huán)境獲得設(shè)備。低溫泵應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的制造工藝過

19、程，是集成電路專用設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備之一；低溫泵也用于各種其它鍍膜設(shè)備和真空應(yīng)用設(shè)備中。 5.2冷凝泵5.2.1工作機(jī)理 低溫冷凝。由于低溫泵冷板表面溫度很低，極容易將撞擊其表面之氣體分子粘住，使其溫度急速下降而被凍結(jié)，從而減低空間中的分子數(shù)低溫吸附。這是基于低溫泵的吸附材料與碰撞的氣體分子之間的束縛力而產(chǎn)生的對(duì)一些像H2和He等不易冷凝的氣體分子的相對(duì)固定，盡管它們的蒸汽壓力還相對(duì)較高。低溫捕集。兩種氣體同時(shí)被抽，但其中一種充當(dāng)吸附劑。如：如果Ar氣被冷凝成冰晶，它對(duì)其它氣體來說，又相當(dāng)于吸附劑及冷阱。 5.2.2低溫泵抽氣機(jī)理5.2.2.1 低溫冷凝：圖6平衡壓力和低溫沉積溫度之間的關(guān)系Fi

20、gure 6 Relationship between equilibrium pressure and temperature of the deposition temperature上圖表示低溫泵把真空室內(nèi)的壓力降到極低水平的能力。它表示了低溫沉積層上面平衡壓力和低溫沉積溫度之間的關(guān)系。例如：水在760Torr壓力下在373K沸騰。在273K的結(jié)冰溫度上蒸汽壓為4Torr。如果冰層被進(jìn)一步冷卻到150K，平衡蒸汽壓將為4×10-8Torr。如果在制冷機(jī)一級(jí)溫度上，壓力將低于10-10托數(shù)量級(jí)。從這個(gè)圖上我們也可看出，對(duì)N2來說，如果冷板溫度小于等于20K，壓力將小于10-10托

21、。5.2.2.2 低溫吸附：單用低溫冷凝是不夠的，Ne、H2、He等氣體在20K的平衡蒸汽壓力太高了，不能被低溫冷凝在光的表面上，因而，用活性炭來吸附這些氣體。用活性炭作吸附材料是因?yàn)樗写蟮谋砻婷娣e，也因?yàn)樵偕^程中它在室溫下氣體能很容易地脫附。吸附在活性炭上的氫的平衡壓力決定于活性炭溫度和已吸附的氫的量。隨著吸附的氫的增加，吸附就變?yōu)樵诨钚蕴勘砻娴睦淠５淠龑雍穸仍黾訒r(shí)壓力不變?；钚蕴砍闅淠芰艽?，如果制冷機(jī)把1克活性炭保持在15K，它可以在10-6托吸住280SCC的氫。低溫泵能夠吸住氣體的最大量(抽氣容量)是指對(duì)特定的氣體種類的抽吸能力，也就是低溫泵被再生前抽除的氣體的體積。5.3低

22、溫泵的抽氣速度(抽速)由于多數(shù)真空系統(tǒng)工作在室溫，設(shè)想理想速度基于室溫。這樣一種分子的速度僅僅由分子重量決定，較輕的氣體具有較大的速度，氫的分子重量是2，通過每平方厘米開口面積上的抽速為44.6L/S。水分子量為18，理想抽速為14.9L/Scm2，而氮為這組中最重的為28，它的理想抽速為11.98L/Scm2。如果所有碰到泵口迎面上的氣體分子都冷凍在百葉窗上的話，就實(shí)現(xiàn)了理想抽速。事實(shí)上，水就達(dá)到了這一點(diǎn)，幾乎所有碰到泵表面的水分子都粘在了百葉窗表面而不返彈回去。象N2這類氣體必須穿過百葉窗冷凍在內(nèi)部冷板上，一部分分子返彈回去，其余的部分穿過去冷凍在內(nèi)部冷板上，為了有效阻擋輻射熱到達(dá)內(nèi)部冷板

23、，低溫泵有入口百葉窗，它允許大約4025的空氣分子(O2和N2)流過它冰凍結(jié)在冷板上。這樣，對(duì)N2的凈抽速是理想抽速的2540或3.04.8L/Scm2，Ne、H2、He要走過更曲折的道路才能到達(dá)活性炭部位，結(jié)果只有約1220的到達(dá)泵口表面的H2分子被低溫吸附了，其余將彈回，所以H2的凈抽速約為理想抽速的1220或5.68.9L/Scm2。5.4 低溫泵的抽氣能力(抽氣容量)低溫泵能夠聚集大量的固態(tài)水、空氣、氬、氮和氧，然后再蒸發(fā)除霜。在這些霜層形成時(shí)，泵的抽速很少降低，制冷溫度變化也很少，隨著霜層增加到一定程度，抽速和溫度都會(huì)有明顯變化。水被聚集在障板上直到堵掉一半的障板面積(例如：一個(gè)200口徑的低溫泵可凝聚300克水蒸氣成冰)。固體氮和氬聚集在低溫板的外層達(dá)幾個(gè)厘米，通常這個(gè)厚度僅受到不能挨到輻射屏的限制。(例如：一個(gè)200口徑的泵在低溫板外凝聚1cm厚的空氣或氬，其量為1200標(biāo)準(zhǔn)升。該泵專門用于濺射臺(tái)，其低溫板較大。另一種同樣口徑的泵該值僅為350標(biāo)準(zhǔn)升)。能吸收氫的量為對(duì)氫抽速減少50時(shí)所聚集的氫平衡壓力(一段選l×10-6托)決定，當(dāng)抽除其它氣體使低溫板溫度升高時(shí)，能吸附氫的量就減少。6 總結(jié) 隨著科技的不斷進(jìn)展，真空泵已經(jīng)在食品、工業(yè)、航空航天等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)