絲桿螺母的內(nèi)螺旋滾道的加工方法與相關(guān)技術(shù)_第1頁
絲桿螺母的內(nèi)螺旋滾道的加工方法與相關(guān)技術(shù)_第2頁
絲桿螺母的內(nèi)螺旋滾道的加工方法與相關(guān)技術(shù)_第3頁
絲桿螺母的內(nèi)螺旋滾道的加工方法與相關(guān)技術(shù)_第4頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、本技術(shù)涉及汽車剎車系統(tǒng)用絲桿螺母的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法,包括以下步驟:根據(jù)內(nèi)螺旋滾道的幾何尺寸和形貌修整砂輪輪廓和調(diào)整進(jìn)刀的軌跡,對(duì)工件進(jìn)行磨削,得到具有內(nèi)螺旋滾道幾何形貌 的絲桿螺母;再對(duì)制得 的絲桿螺母進(jìn)行清洗,以去除殘留 的磨屑和拋光液;最 后采用具有振動(dòng)機(jī)構(gòu)和磨料流進(jìn)出通道的裝置連接清洗干凈 的絲桿螺母,使磨料流流經(jīng)螺旋滾道,磨料流流經(jīng)螺旋滾道 的同時(shí)振動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)裝置施加振動(dòng)。本方法不僅避免了只采用磨 削的加工工藝易造成對(duì)表面燒傷 的問題,還將絲桿螺母內(nèi) 的螺旋滾道的加工分為兩個(gè)相對(duì)獨(dú) 立的步驟,彼此銜接配合,加工效率高。權(quán)利要求書1. 一種絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法,包括以下

2、步驟:步驟1、根據(jù)內(nèi)螺旋滾道 的幾何尺寸和形貌修整砂輪輪廓和調(diào)整進(jìn)刀的軌跡,對(duì)工件進(jìn)行磨削,得到具有內(nèi)螺旋滾道幾何形貌 的絲桿螺母;步驟2、對(duì)制得的絲桿螺母進(jìn)行清洗,以去除殘留 的磨屑和拋光液;步驟3、采用具有振動(dòng)機(jī)構(gòu)和磨料流進(jìn)出通道的裝置連接清洗干凈 的絲桿螺母,使磨料流流經(jīng)螺旋滾道,磨料流流經(jīng)螺旋滾道 的同時(shí)振動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)裝置施加振動(dòng),從而提升磨料流的 去除效率。2. 根據(jù)權(quán)利要求 1所述 的絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法,其特征在于:所述步驟 1中的砂 輪為超硬砂輪。3. 根據(jù)權(quán)利要求 1所述 的絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法,其特征在于:所述步驟 1中的砂 輪主軸為超高速電主軸。4

3、. 根據(jù)權(quán)利要求 1所述 的絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法,其特征在于:所述步驟 2中的清 洗方式為超聲清洗。5. 根據(jù)權(quán)利要求 1所述 的絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法,其特征在于:所述步驟 3中的磨 料流施加方式為高壓、雙向流動(dòng)。6. 根據(jù)權(quán)利要求 1所述 的絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法,其特征在于:所述步驟 3中的磨 料流可選擇為磁流體,通過施加外界磁場(chǎng)來改變?nèi)コ省?. 根據(jù)權(quán)利要求 6所述 的絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法,其特征在于:所述磁流體還添 加化學(xué)試劑,還通過化學(xué)反應(yīng)來提升去除效率和去除質(zhì)量。8. 根據(jù)權(quán)利要求 7所述 的絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方

4、法,其特征在于:所述磁流體添 加的化學(xué)試劑為電解拋光液,通過電化學(xué)反應(yīng)來提升去除效率和去除質(zhì)量。9. 根據(jù)權(quán)利要求 1所述 的絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法,其特征在于:所述步驟 3中的振 動(dòng)機(jī)構(gòu)為超聲振動(dòng)裝置。10. 據(jù)權(quán)利要求 1所述 的絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法,其特征在于:所述步驟 3中通過 調(diào)整振動(dòng)頻率和幅值來改變拋光效率和拋光質(zhì)量。技術(shù)說明書一種絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾道 的加工方法技術(shù)領(lǐng)域本技術(shù)屬于高效磨削和超精密拋光加工領(lǐng)域,尤其是涉及一種絲桿螺母的內(nèi)螺旋滾道的加工方法。背景技術(shù)隨著我們產(chǎn)業(yè)發(fā)展,各種具有內(nèi)腔結(jié)構(gòu)的零件在航空、航天、武器、醫(yī)療等行業(yè)中得到越來越廣泛的應(yīng)用

5、。對(duì)于具有尺寸精度和形狀精度要求的內(nèi)腔結(jié)構(gòu),由于加工空間等 的限制,在保證產(chǎn)生加工質(zhì)量穩(wěn)定性 的前提下,很難實(shí)現(xiàn)高效、超精密 的加工。比如絲桿螺母內(nèi)表 面的螺旋式滾道為了保證裝配后 的運(yùn)動(dòng)精度和使用壽命,其形狀尺寸精度要求非常高,而且 對(duì)滾道表面 的粗糙度也有很高 的要求。磨削加工是實(shí)現(xiàn)高精度光滑表面 的常用加工方法。通過選用不同粒度 的砂輪可以達(dá)到不 同的表面粗糙度要求。通過將砂輪修整成一定的形狀,可以實(shí)現(xiàn)成形磨削加工。通過采用超硬砂輪,比如金剛石砂輪或立方氮化硼(CBN)砂輪,可以對(duì)超硬難加工材料進(jìn)行加工。高速、超高速磨削加工技術(shù)是一種高效加工技術(shù),其通過提高砂輪轉(zhuǎn)速和砂輪直徑,使磨削 區(qū)

6、的線速度達(dá)到上百米每秒。高 的砂輪線速度意味著單顆磨粒 的等效去除深度降低,磨削熱 隨切屑快速去除,而且對(duì)于硬脆材料來說,高的變形速率會(huì)引起材料 的脆塑轉(zhuǎn)變,從而實(shí)現(xiàn)難加工材料的高效低損傷加工。拋光加工是指利用機(jī)械、化學(xué)或電化學(xué)的作用,使工件表面粗糙度降低,以獲得光亮、平整表面的加工方法。是利用拋光工具和磨料顆粒或其他拋光介質(zhì)對(duì)工件表面進(jìn)行的精密加工。但是由于拋光加工時(shí)的材料去除率非常低,所以加工效率非常低。磨料流加工技術(shù)是以磨料介質(zhì) (摻有磨粒 的 一種可流動(dòng) 的混合物 )在壓力下流過工件所需加 工的表面,進(jìn)行去毛刺、除飛邊、磨圓角,以減少工件表面 的波紋度和粗糙度 的 一種加工方 法。其加

7、工過程 的材料去除速率取決于以下因素:磨料介質(zhì) 的流速、磨料 的 粘度、磨料顆粒 尺寸、磨料濃度、磨料顆粒硬度和工件硬度等因素相關(guān)。由于絲桿螺母類型 的 高精度半開放式螺旋滾道 的空間限制,所以現(xiàn)有 的 通過提高砂輪直徑來 提升磨削區(qū)線速度 的 高速、超高速磨削加工技術(shù)難以應(yīng)用于此。目前對(duì)于絲桿螺母類型的高精度半開放式螺旋滾道 的加工方法是采用小尺寸成形砂輪進(jìn)行磨削加工。而且為了保證磨削 加工后 的 表面粗糙度達(dá)到要求,砂輪粒度號(hào)選擇較小,在避免磨削燒傷的情況下,磨削去除量非常小,所以加工效率非常低。該絲桿螺母尤其應(yīng)用于汽車 的剎車系統(tǒng)中,市場(chǎng)需求大。技術(shù)內(nèi)容本技術(shù) 的目的是提供一種絲桿螺母

8、的內(nèi)螺旋滾道 的 加工方法,尤其是一種小尺寸高精度內(nèi)螺 旋滾道 的 加工方法。本技術(shù) 的 技術(shù)方案如下:一種內(nèi)螺旋滾道 的 高效加工方法,包括以下步驟:步驟 1、根據(jù)內(nèi)螺旋滾道 的幾何尺寸和形貌修整砂輪輪廓和調(diào)整進(jìn)刀 的軌跡,對(duì)工件進(jìn)行磨 削,在保證磨削表面不燒傷 的 前提下,盡可能 的提高材料 的去除率,得到具有內(nèi)螺旋滾道幾 何形貌 的 絲桿螺母;步驟2、對(duì)制得 的絲桿螺母進(jìn)行清洗,以去除殘留 的磨屑和拋光液;步驟 3、采用具有振動(dòng)機(jī)構(gòu)和磨料流進(jìn)出通道 的裝置連接清洗干凈 的絲桿螺母,使磨料流流 經(jīng)螺旋滾道,磨料流流經(jīng)螺旋滾道 的同時(shí)振動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)裝置施加振動(dòng),從而提升磨料流 的 去除 效率。進(jìn)

9、一步 的,所述步驟 1所采用 的砂輪為超硬砂輪。進(jìn)一步 的,所述步驟 1所采用 的砂輪主軸為超高速電主軸。進(jìn)一步 的,所述步驟 2所采用 的 清洗方式為超聲清洗。進(jìn)一步 的,所述步驟 3所采用 的 磨料流施加方式為高壓、雙向流動(dòng)。進(jìn)一步 的,所述步驟 3所采用 的磨料流為磁流體,通過施加外界磁場(chǎng)來改變?nèi)コ?。進(jìn)一步 的,所述步驟 3所采用 的磨料流根據(jù)加工材料來添加一定 的化學(xué)試劑,通過加強(qiáng)化學(xué) 反應(yīng)來提升去除效率和去除質(zhì)量。進(jìn)一步 的 ,所述磁流體還添加化學(xué)試劑,通過化學(xué)反應(yīng)來提升去除效率和去除質(zhì)量。進(jìn)一步 的 ,所述磁流體添加化學(xué)試劑為電解拋光液,通過電化學(xué)反應(yīng)來提升去除效率和去除質(zhì)量。

10、進(jìn)一步 的,所述步驟 3所施加 的振動(dòng)為超聲振動(dòng)。進(jìn)一步 的 ,所述步驟 3中通過調(diào)整振動(dòng)頻率和幅值來改變拋光效率和拋光質(zhì)量。本技術(shù)具有如下有益效果:1. 采用粗磨,不僅減少了磨削加工 的 工藝步驟,同時(shí)提升了材料去除率。尤其是通過采用超 硬砂輪可以有效減少砂輪 的 更換次數(shù)、對(duì)刀次數(shù)等,節(jié)約了加工輔助時(shí)間。2. 采用磨料流與超聲相結(jié)合 的拋光方法,不僅可以保證加工質(zhì)量 的一致性、長(zhǎng)期加工 的 穩(wěn)定 性,還可以實(shí)現(xiàn)單工位多工件同時(shí)裝夾,從而有效減小了單個(gè)工件的 加工時(shí)間。3. 與單獨(dú) 的 精密磨削加工工藝分相比,本技術(shù)申請(qǐng)更有效發(fā)揮了磨床的 加工潛力,提升了設(shè)備的運(yùn)用效率。4. 采用磨料流與超

11、聲相結(jié)合 的拋光方法,可以有效去除磨削引起 的 表面燒傷、表面粘附、表 面殘余應(yīng)力或亞表面損傷 的缺席,從而可以提升產(chǎn)品使用壽命。附圖說明下面結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù) 的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì) 的 說明,其中:圖1是實(shí)施例一步驟一中具有初步內(nèi)螺旋滾道形貌的 絲桿螺母 的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是實(shí)施例一中針對(duì)單個(gè)絲桿螺母進(jìn)行內(nèi)螺旋滾道拋光的裝置 的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖 3是實(shí)施例一中部分構(gòu)件 的結(jié)構(gòu)示意圖及中心桿與絲桿螺母配合形成打磨管道 的結(jié)構(gòu)示意 圖;的裝置 的拆解 的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4是實(shí)施例二中針對(duì)多個(gè)絲桿螺母進(jìn)行內(nèi)螺旋滾道拋光 圖5是圖3中頂蓋 的結(jié)構(gòu)示意圖;圖6是圖3中底座 的結(jié)構(gòu)示意圖;圖7是圖 2

12、中中心桿及中心桿與絲桿螺母配合形成打磨管道的結(jié)構(gòu)示意圖;的裝置 的 結(jié)構(gòu)示意圖;圖8是實(shí)施例二中針對(duì)多個(gè)絲桿螺母進(jìn)行內(nèi)螺旋滾道拋光圖9是實(shí)施例二中F夾子的結(jié)構(gòu)示意圖,該F夾子設(shè)有夾緊結(jié)構(gòu),該 F夾子可直接夾持頂蓋和 底座,中心桿、絲桿螺母、頂蓋和底座在所述F夾子夾持下配合連接形成一整體結(jié)構(gòu)。具體實(shí)施方式 本技術(shù)公開了先通過采用較大粒度和大氣孔 的 砂輪進(jìn)行成形磨削,達(dá)到尺寸精度和形狀精度 要求后;采用磨料流和超聲結(jié)合進(jìn)行內(nèi)螺旋滾道 的 拋光。本技術(shù)磨削過程磨削去除量大,磨 料流和超聲結(jié)合對(duì)磨削表面進(jìn)行精細(xì)處理,不僅避免了只采用磨削 的加工工藝易造成對(duì)表面 燒傷 的問題,還將絲桿螺母 的內(nèi)螺旋滾

13、道 的加工分為兩個(gè)相對(duì)獨(dú)立 的步驟,彼此銜接配合, 加工效率高。下面結(jié)合實(shí)施例一至四,對(duì)本技術(shù)做進(jìn)一步地說明:【實(shí)施例一】步驟 1、根據(jù)內(nèi)螺旋滾道 的幾何尺寸和形貌修整砂輪輪廓和調(diào)整進(jìn)刀的軌跡,對(duì)工件進(jìn)行磨削,得到具有內(nèi)螺旋滾道幾何形貌 的絲桿螺母,所述具有初步內(nèi)螺旋滾道形貌的 絲桿螺母結(jié)構(gòu)如圖 1所示。步驟2、對(duì)制得 的絲桿螺母進(jìn)行清洗,以去除殘留 的磨屑和拋光液。步驟 3、采用對(duì)單個(gè)絲桿螺母進(jìn)行內(nèi)螺旋滾道拋光的裝置,對(duì)絲桿螺母進(jìn)行連接后,使磨料流流經(jīng)螺旋滾道,磨料流流經(jīng)螺旋滾道 的 同時(shí)振動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)裝置施加振動(dòng)。該拋光 的裝置如圖 2和圖 3所示,包括:一個(gè)圓柱形中心桿 2,所述中心桿 2外

14、徑與絲桿螺母 1的內(nèi)徑一致,所述 中心桿 2的 軸向長(zhǎng)度大于所述絲桿螺母 1的軸向長(zhǎng)度;所述中心桿 2設(shè)置于所述絲桿螺母 1的內(nèi) 孔之中,從而所述中心桿 2的部分外表面與所述螺旋滾道形成一僅兩端開口的打磨管道;底座3,對(duì)應(yīng)所述打磨管道端頭 的 位置,設(shè)有供磨料進(jìn)出 的第二磨料進(jìn)出口;頂蓋 4,對(duì)應(yīng)所述 打磨管道端頭 的 位置,設(shè)有供磨料進(jìn)出 的 第一磨料進(jìn)出口;連接機(jī)構(gòu),將所述中心桿2、所述絲桿螺母 1、所述底座 3和所述頂蓋 4連接固定,以至于將所述第二磨料進(jìn)出口、所述第一 磨料進(jìn)出口分別與所述打磨管道兩端開口連通;振動(dòng)機(jī)構(gòu)9,與所述底座 3連接,帶動(dòng)所述底座 3、所述中心桿 2和所述頂蓋

15、4及所述絲桿螺母 1高頻振動(dòng),從而使磨料流流經(jīng)所述打磨管道 時(shí),所述磨料流與所述絲桿螺母內(nèi)螺旋滾道進(jìn)行充分摩擦,本實(shí)施例中,所述第二磨料進(jìn)出 口為一與外界管道連通 的圓形凹槽;所述第一磨料進(jìn)出口為一與外界管道連通的 圓形凹槽,圓形凹槽 的形貌保證了只要按照上述位置安裝,所述第二磨料進(jìn)出口和所述第一磨料進(jìn)出口 就可以連通所述打磨管道;采用激振器作為振動(dòng)機(jī)構(gòu)9。所述連接機(jī)構(gòu)包括:在所述中心桿 2軸向一端 的第一連接體,在所述中心桿 2軸向另一端 的 第二連接體;所述底座 3上與所述第一 連接體相配合 的 第一連接配合體;所述第一連接體和所述第一連接配合體相配合將所述中心 桿2與所述底座 3連接;與

16、所述第二連接體相配合 的 第二連接配合體;所述第二連接體和所述第二連接配合體進(jìn)一步配合使所述頂蓋4和所述底座 3夾緊所述絲桿螺母 1具體 的,所述第一連接體為所述中心桿 2軸向一端凸起 的 第一螺栓;所述第二連接體為所述中心桿 2軸向另一端凸起 的 第二螺栓;所述第一連接配合體為所述底座 3上的 螺孔;所述第二連接配合體為螺母;所述頂蓋 4設(shè)有供所述第二螺栓穿出 的 孔;所述螺母位于所述頂蓋 4外部,通過所述螺母和所 述第二螺栓 的 配合使所述頂蓋 4與所述底座 3夾緊所述絲桿螺母 1;本實(shí)施例中,設(shè)置一橡膠墊圈振動(dòng)機(jī)構(gòu)于所述中心桿2與所述頂蓋 4之間用于密封所述磨料流,防止該磨料流由所述頂蓋

17、 4上的孔與所述第二螺栓之間 的 縫隙滲漏,設(shè)置一銅制涂層在 所述底座 3上。連接好上述裝置,以高壓、雙向流動(dòng) 的 磨料流進(jìn)行拋光,在拋光過程中,對(duì)工件施加振動(dòng)來 提升磨料流 的 去除效率?!緦?shí)施例二】步驟 1、根據(jù)內(nèi)螺旋滾道 的幾何尺寸和形貌修整砂輪輪廓和調(diào)整進(jìn)刀的軌跡,對(duì)工件進(jìn)行磨削,得到具有內(nèi)螺旋滾道幾何形貌 的絲桿螺母。步驟2、對(duì)制得 的絲桿螺母進(jìn)行清洗,以去除殘留 的磨屑和拋光液。步驟 3、采用對(duì)多個(gè)絲桿螺母同時(shí)進(jìn)行內(nèi)螺旋滾道拋光的裝置,對(duì)絲桿螺母進(jìn)行連接后,使磨料流流經(jīng)螺旋滾道,磨料流流經(jīng)螺旋滾道 的 同時(shí)振動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)裝置施加振動(dòng)。如圖 4-8所 示,該裝置包括:中心桿 20設(shè)置于絲

18、桿螺母 10的內(nèi)孔之中,所述中心桿 20與所述絲桿螺母 10 一一對(duì)應(yīng),從而所述中心桿 20的部分外表面與所述螺旋滾道形成一僅兩端開口的 打磨管道;頂蓋 40,套設(shè)在多個(gè)所述中心桿 20的頂部上,所述頂蓋 40設(shè)有與每個(gè)所述打磨管道連通 的多 個(gè)第一磨料進(jìn)出口;底座 30,位于所述中心桿 20的 下方,所述底座 30設(shè)有與每個(gè)所述打磨管 道連通 的 多個(gè)第二磨料進(jìn)出口;所述頂蓋 40、所述中心桿 20、所述絲桿螺母 10以及頂蓋之間 用以配合連接形成一整體結(jié)構(gòu);振動(dòng)機(jī)構(gòu)8,與所述底座 30連接,用以對(duì)所述整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行高頻振動(dòng),從而使磨料流流經(jīng)所述打磨管道時(shí),所述磨料流與所述絲桿螺母內(nèi)螺旋滾道進(jìn)

19、行 充分摩擦。本實(shí)施例中,對(duì) 25個(gè)所述絲桿螺母 10同時(shí)進(jìn)行拋光,采用超聲振源作為振動(dòng)機(jī)構(gòu) 8。采用夾持機(jī)構(gòu)夾持所述頂蓋 40和所述底座 30上從而簡(jiǎn)單快捷 的實(shí)現(xiàn)多個(gè)所述絲桿螺母 10的安 裝和固定。本實(shí)施例中 的夾持機(jī)構(gòu)為F夾子,圖9給出該F夾子的結(jié)構(gòu)示意圖,夾持所述頂蓋 40和所述底座 30上從而簡(jiǎn)單快捷 的實(shí)現(xiàn)多個(gè)所述絲桿螺母 10的安裝和固定,為了防止拋光過 程中所述中心桿 20因震動(dòng)而撞擊其他部件引起損傷,將每個(gè)所述中心桿20的一端均與所述底座30相連接,如實(shí)施例一中,所述固定結(jié)構(gòu)采用螺栓和螺孔結(jié)構(gòu),在所述中心桿20軸向一端的第三連接體與所述底座 30上的第三連接配合體將所述中心

20、桿 20與所述底座 30連接,本實(shí) 施例中,所述第三連接體為螺栓,所述第三連接配合體為與作為第三連接體的 螺栓形貌適配的螺孔。如圖 6所示,本實(shí)施例中,所述底座 30由下流道蓋板 302和下流道板 303組成;所述下流道蓋板 302設(shè)置25個(gè)直徑與所述中心桿 20直徑一致 的圓柱形 的凸臺(tái)3024,所述凸臺(tái) 3024的軸心位置設(shè)有螺孔作為第三連接配合體;對(duì)應(yīng)所述凸臺(tái) 3024的 位置,所述下流道板 303設(shè)有第一圓孔 3031,所述第一圓孔 的 直徑大于 所述中心桿 20的直徑且小于所述絲桿螺母 10的外直徑,以至于所述第一圓孔 3031與所述中心 桿20之間形成與所述打磨管道連通 的第一圓環(huán)

21、;所述下流道板 303下表層設(shè)有第一凹槽 3033,所述第一凹槽 3033與所述第一圓孔 3031連通, 對(duì)應(yīng)所述第一凹槽 3033的位置,所述下流道蓋板 302上設(shè)有貫穿其板體 的第一孔道 306,所述 第一孔道 306用于連接磨料流 的 進(jìn)出管道,所述下流道蓋板 302通過膠水黏貼于所述下流道板 303的 下表面上,從而所述下流道蓋板 302的 上表面與所述第一凹槽 3033形成一管道,該管道 連通所述第一圓孔 3031及所述第一孔道 306。如圖 5所示,本實(shí)施例中,所述頂蓋 40由上流道板 402和上流道蓋板 404組成;對(duì)應(yīng)所述中心桿 20的位置,所述上流道蓋板 404設(shè)置 25個(gè)用

22、于容置所述中心桿 20軸向另一 端的圓柱形 的凹臺(tái)4042;對(duì)應(yīng)所述凹臺(tái) 4042的 位置,所述上流道板 402設(shè)有第二圓孔 4022,所述第二圓孔 4022的 直徑 大于所述中心桿 20的直徑且小于所述絲桿螺母 10的 外直徑,以至于所述第二圓孔 4022與所述 中心桿 20之間形成與所述打磨管道連通 的 第二圓環(huán);所述上流道板 402上表層設(shè)有第二凹槽 4024,所述第二凹槽 4024與所述第二圓孔 4022連通, 對(duì)應(yīng)所述第二凹槽 4024的位置,所述上流道蓋板 404上設(shè)有貫穿其板體 的第二孔道 406,所述 第二孔道 406用于連接磨料流 的 進(jìn)出管道,所述上流道蓋板 404通過膠水黏貼于所述上流道板 402的 上表面上,從而所述上流道蓋板 404的上表面與第二凹槽 4024同樣形成一管道,該管道 連通所述第二孔道 406和所述第二圓環(huán)從而形成所述第二磨料進(jìn)出口。優(yōu)化底座和頂蓋 的 結(jié)構(gòu),保證磨料流從第一磨料進(jìn)出口或第二磨料進(jìn)出口到達(dá)各打磨管道入口 的距離一致,從而保證各零件 的 去除效率一致性。具體如下

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