亞真空環(huán)境中在線氣體檢測系統(tǒng)

1、亞真空環(huán)境中在線氣體檢測系統(tǒng)金策劉濤【摘要】本文針對現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)中需要測量亞真空系統(tǒng)的氣體成分的需求，根據(jù)剩余氣體分析儀的工作狀態(tài)，設(shè)計了亞真空在線氣體檢測系統(tǒng)，通過模擬仿真細(xì)化完善設(shè)計，確定了系統(tǒng)的減壓結(jié)構(gòu)的參數(shù)，同時通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了亞真空環(huán)境在線氣體檢測系統(tǒng)系可以在幾百至上千帕的環(huán)境中，長時間有效地對相應(yīng)腔體中的氣體進(jìn)行在線檢測。【關(guān)鍵詞】在線氣體檢測;減壓結(jié)構(gòu);亞真空中圖分類號：TQ028文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A文章編號：2095-2457202115-0086-003DOI：10.19694/j ki.issn2095-2457.2021.15.041onlineGasDetectionSystemi

2、nSub-vacuumEnvironmentJINCe1LIUTao2*1.NuclearIndustryInstituteofPhysicsandEngineering，Tianjin300180，China;2.NuclearIndustryInstituteofPhysicsandEngineering，NationalScienceKeyLabofParticleTransportandEnrichmentTechnology，Tianjin300180，China【Abstract】Accordingtoneedstomeasurethegascompositionofthesub-

3、vacuumsysteminexperiment，thepaperdesignedasub-vacuumonlinegasdetectionsystembasedontheworkingstateoftheresidualgasanalyzer，throughsimulationthedesignwasimprovedandtheparametersofthewasdetermined，meanwhile，theexperimentverifiedon-linegasdetectionsystemcaneffectivelydetectthegasinthecorrespondingcavit

4、yinthesub-vacuumenvironmenthundredsofthousandsPa.【Keywords】On-linegasdetection;Classstructure;Sub-vacuum0引言在某些特定科研實(shí)驗(yàn)裝置中，亞真空裝置內(nèi)緩沖氣體的組成，會直接影響產(chǎn)品的品質(zhì)，為了能夠?qū)崟r知道緩沖氣體的組成，需要一套在線檢測裝置。因?yàn)楝F(xiàn)有市場上的剩余氣體分析儀，一般要求工作在10-2帕以下，而亞真空裝置一般要求工作在幾百帕到上千帕的狀態(tài)上。所以為了實(shí)現(xiàn)亞真空系統(tǒng)的在線監(jiān)測，必須對系統(tǒng)進(jìn)行降壓處理。因?yàn)樵诰€氣體檢測系統(tǒng)的工作原理，在檢測的同時會將系統(tǒng)內(nèi)部的緩沖氣體和雜質(zhì)一起抽離出去，

5、從而導(dǎo)致亞真空系統(tǒng)的壓強(qiáng)的降低。所以本文按要求設(shè)計的亞真空環(huán)境在線氣體檢測系統(tǒng)，要能滿足亞真空系統(tǒng)的在線氣體測量，同時也要降低測量時對亞真空系統(tǒng)本身的影響。1系統(tǒng)設(shè)計與模擬為了滿足上述設(shè)計及使用需求，對亞真空在線檢測系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)計，并對在線測量系統(tǒng)中的逐級減壓結(jié)構(gòu)進(jìn)行模擬分析，確定具體關(guān)鍵部位的結(jié)構(gòu)尺寸。系統(tǒng)分為兩個局部，一個為兩級減壓裝置即差分裝置，可以將亞真空裝置中緩沖氣體的氣壓降低至10-2帕;另一個局部為成熟的剩余氣體分析儀，完成系統(tǒng)的在線檢測到達(dá)直接測量亞真空裝置中的氣體成分的目標(biāo)?！?】1.1在線氣體檢測系統(tǒng)模擬現(xiàn)有市場上的剩余氣體分析儀，一般工作在10-2帕以下，而亞真空裝置一般工

6、作在幾百帕的水平上，為了實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)測必須對系統(tǒng)進(jìn)行降壓處理，在監(jiān)測系統(tǒng)氣體成分的同時，相對較少的影響腔體內(nèi)部氣體的壓強(qiáng)變化，所以重新設(shè)計了氣體的在線監(jiān)測系統(tǒng)。預(yù)想的分系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖如圖1所示。整體設(shè)計在能完成現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)需求的同時，也可在向設(shè)備注入液氮降低測量時的本底干擾，進(jìn)行更高精度的測量。經(jīng)過模擬設(shè)計，發(fā)現(xiàn)為了能將幾百帕的腔體氣壓降低到剩余氣體分析儀的工作范圍，從而使在線監(jiān)控系統(tǒng)最終實(shí)現(xiàn)測量，這兩個微孔的直徑比較關(guān)鍵，現(xiàn)在針對這兩孔進(jìn)行模擬計算。模擬中要確定幾個參數(shù)，即二級減壓系統(tǒng)中的小孔尺寸、小孔距離、以及減壓小孔的錐度。小孔尺寸的大小關(guān)系到二級減壓系統(tǒng)是否能夠順利將氣壓降到目標(biāo)值。小孔的距離和

7、錐度影響到系統(tǒng)采樣是否比例準(zhǔn)確以及采樣的時效性?！?】將模型進(jìn)行必要簡化，按照實(shí)驗(yàn)室實(shí)際設(shè)備狀態(tài)，以及實(shí)驗(yàn)中較常見的狀態(tài)設(shè)定模擬狀態(tài)的邊界條件進(jìn)行模擬，實(shí)驗(yàn)設(shè)備腔體按照500帕，分子泵抽速設(shè)置為700L/S，模擬實(shí)驗(yàn)中實(shí)際狀況。在模擬中要確定幾個參數(shù)，模擬圖如圖2所示。通過屢次模擬確定了2個小孔的直徑為一級小孔直徑為0.1mm，錐度為135°二級小孔直徑為1mm，錐度為120°與90°的夾角;雙孔的距離為20mm，如上圖所示。這兩個小孔將所測氣體進(jìn)行二級減壓，完成將亞真空系統(tǒng)幾百帕到10-2帕的過度，實(shí)現(xiàn)了最終目標(biāo)。最終通過實(shí)驗(yàn)證明二級減壓結(jié)構(gòu)，可將結(jié)構(gòu)中剩余氣體

8、分析儀區(qū)域的真空降為2*10-3帕，可以滿足實(shí)驗(yàn)設(shè)備啟動的需求。在確定了系統(tǒng)中關(guān)鍵的兩個小孔的尺寸后，就對整體系統(tǒng)進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計，確定各個局部的關(guān)鍵尺寸以及對應(yīng)工藝，具體結(jié)構(gòu)如圖1所示整體裝置的實(shí)物圖如圖3所示。2實(shí)驗(yàn)內(nèi)容2.1實(shí)驗(yàn)環(huán)境試驗(yàn)過程中需要真空維持系統(tǒng)，配氣系統(tǒng)，實(shí)驗(yàn)檢測系統(tǒng)，真空檢測系統(tǒng)。真空維持系統(tǒng)采用兩臺機(jī)械泵配合分子泵使系統(tǒng)到達(dá)實(shí)驗(yàn)要求，在本實(shí)驗(yàn)中系統(tǒng)內(nèi)充入5N高純氬氣，即99.999%的Ar，來作為整個實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的緩沖氣體，實(shí)驗(yàn)的檢測系統(tǒng)采用INFICOIN公司的四級質(zhì)譜儀，實(shí)時檢測亞真空腔體在各種變化時，亞真空腔體內(nèi)剩余氣體雜質(zhì)成份含量的變化。因?yàn)檎婵沼嫷墓ぷ鳁l件限制，所以本

9、系統(tǒng)采用兩套真空計以便使用，一套是濟(jì)寧新光公司的XG-5527-II型復(fù)合真空計，用來監(jiān)控系統(tǒng)在抽真空時真空參數(shù)。另一套是INFICOIN公司的VGC501型電容真空計，用來監(jiān)控系統(tǒng)在充入惰性氣體時的真空參數(shù)。2.2檢測實(shí)驗(yàn)通過實(shí)驗(yàn)要完成針對亞真空系統(tǒng)中不同狀態(tài)的氣體成分測量，測出亞真空系統(tǒng)處于在線檢測時系統(tǒng)的變化，降低檢測本身對系統(tǒng)的影響。實(shí)驗(yàn)時在考慮亞真空系統(tǒng)內(nèi)部氣體的溫度對測量影響的同時，還要針對腔體漏氣、放氣現(xiàn)象，以及檢測出非緩沖氣體內(nèi)的主要構(gòu)成，為得到更高級別的亞真空狀態(tài)提供一定意義上的理論指導(dǎo)。實(shí)驗(yàn)過程中采用手動調(diào)整針閥的方式，向系統(tǒng)內(nèi)部充入一定比例的空氣，待空氣與緩沖的惰性氣體充

10、分混合后，觀察亞真空在線氣體檢測系統(tǒng)的變化。之后開啟氣體凈化裝置，將亞真空系統(tǒng)中氣體的雜質(zhì)局部去除，再去觀察亞真空系統(tǒng)中的氣體成分變化。最后通過長時間運(yùn)行，觀察系統(tǒng)的真空狀態(tài)，從而觀察亞真空在線氣體檢測系統(tǒng)在測量時，對整個亞真空系統(tǒng)的影響。在實(shí)驗(yàn)初始狀態(tài)將真空系統(tǒng)抽空到1.1*10-3Pa時，充入99.999%的高純氬氣，然后再將系統(tǒng)抽空到1.1*10-3Pa，靜止一段時間后，此時系統(tǒng)內(nèi)的氣體有氬氣的剩余氣體，也有真空系統(tǒng)因一定漏率產(chǎn)生的空氣的進(jìn)入，也有腔體中各個密封件以及不銹鋼腔體本身所放的氣，比較接近實(shí)驗(yàn)中氣體雜質(zhì)的主要組成局部，這時用質(zhì)譜儀檢測剩余氣體的雜質(zhì)即剩余氣體，剩余氣體的主要成分

11、為H2、N2、O2、Ar、CO2以及水蒸氣。在真空狀態(tài)下，大局部腔體中的剩余氣體也都為這些氣體構(gòu)成，所以在后續(xù)試驗(yàn)中也根本以這幾個主要剩余氣體，作為監(jiān)控的目標(biāo)，符合在線檢測的需求。首先進(jìn)行短時間的多氣體測量，將亞真空腔體充入高純氬氣，將氬氣充至500帕，注入2帕空氣。等候亞真空系統(tǒng)穩(wěn)定后，同時開啟凈化系統(tǒng)和亞真空環(huán)境在線氣體檢測系統(tǒng)?？梢悦黠@地看出氬氣中的各個氣體成分在不同時刻的含量發(fā)生相應(yīng)的變化。如圖4所示。將緩沖氣體即氬氣充入亞真空腔體后，將實(shí)驗(yàn)裝置內(nèi)的氬氣保持在500帕，等候其穩(wěn)定后，注入10帕空氣模擬系統(tǒng)內(nèi)部在一定時間后的漏率。針對氮?dú)膺M(jìn)行長時間實(shí)時監(jiān)控分析。注入空氣后，將系統(tǒng)穩(wěn)定10000s。這時開啟凈化系統(tǒng)，對混合氣體進(jìn)行凈化至12000s時關(guān)閉凈化裝置。待14000s時在開啟凈化循環(huán)系統(tǒng)。等待到22000s時系統(tǒng)內(nèi)部氣壓因長時間采樣工作后氣壓降到492帕，將氬氣注入系統(tǒng)使氣壓重新恢復(fù)到500帕，現(xiàn)在將在線監(jiān)控針對氮?dú)膺M(jìn)行檢測，其含量曲線如圖5所示。如上圖所示，最終系統(tǒng)中氮?dú)獾某煞蛛S著不同時期的操作相應(yīng)波動，在線氣體檢測系統(tǒng)工作至6小時后系統(tǒng)有8帕的壓降，相對影響較小。在后續(xù)使用過程中可以將在線氣體檢測系統(tǒng)與亞真空系統(tǒng)之間安裝閥門，在需要時翻開閥門，這樣可以使在線氣體檢測系統(tǒng)對亞真空環(huán)境的影響降到更低的水平。3結(jié)論經(jīng)過實(shí)驗(yàn)確定亞真空環(huán)境在線氣體檢測系統(tǒng)系可