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文檔簡介

1、XX項目安全驗收評價報告模版1編制說明1.1評價依據(jù)1、中華人民共和國主席令第70號中華人民共和國安全生產(chǎn)法2、 勞動部令第3號建設項目(工程)勞動安全衛(wèi)生監(jiān)察規(guī)定3、 勞動部勞安字19921號建設項目(工程)職業(yè)安全衛(wèi)生設施與技術(shù)措施驗收辦 法4、國家安管局安監(jiān)管技裝字200337號安全評價通則5、國家安管局安監(jiān)管技裝字200379號安全驗收評價導則6、天津市安管局津安監(jiān)管字200284號天津市安全評價管理辦法7、SJ30002-92電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設計規(guī)定& 國家、地方、行業(yè)有關(guān)勞動安全的法規(guī)、規(guī)定、規(guī)范和標準(詳見附件 1)9、 建設單位提供的中芯國際集成電路制造(天津)有限

2、公司項目安全驗收的相 關(guān)資料。10、中芯國際集成電路制造(天津)有限公司委托天津泰山安全科技有限公司進行 中 芯國際集成電路制造(天津)有限公司項目安全驗收評價合同書。1.2評價目的及評價范圍1、評價目的及評價內(nèi)容1)安全驗收評價的目的是貫徹“安全第一,預防為主”的方針,為建設項目安全驗收提供科學依據(jù),對建設項目未達到安全目標的系統(tǒng)或單元提出安全補償及補 救措施,以利于提高建設項目本質(zhì)安全程度,滿足安全生產(chǎn)要求。2)安全驗收評價內(nèi)容 檢查建設項目中安全設施是否已與主體工程同時設計、同時施工、同時交 付生產(chǎn)和使用;評價建設項目及與之配套的安全設施是否符合國家有關(guān)安 全生產(chǎn)的法規(guī)、規(guī)定和技術(shù)標準。

3、 從整體上評價建設項目的運行狀態(tài)和安全管理是否正常、安全、可靠。2、評價范圍根據(jù)本項目安全驗收評價技術(shù)服務合同書的規(guī)定內(nèi)容,經(jīng)與建設單位商定:對中 芯天津芯片生產(chǎn)廠房、化學品庫、污水處理站以及變配電站、鍋爐房、油庫、空 壓站、冷凍站、水泵房的設備、設施進行勞動安全驗收評價。由于公司對工藝及產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)保密且芯片生產(chǎn)線工藝設備自動化程度高,人、機分離,安全性能高,據(jù)同行業(yè)生產(chǎn)實踐,發(fā)生事故的可能性極小,對建設 項目的總體勞動安全驗收評價結(jié)果影響較小,應公司的要求,在芯片生產(chǎn)廠房勞 動安全驗收評價中,在危險危害因素辨識分析的基礎上,僅對其危險性大的芯片 生產(chǎn)的輔助設施進行勞動安全驗收評價。3主要危

4、險危害因素分析1物質(zhì)的危險危害芯片生產(chǎn)過程中,使用多種化學物品,廠區(qū)內(nèi)設有儲存這些化學物品的化學品庫, 化學品種類達80種。按照GB13690-92常用危險化學品的分類及標志規(guī)定中 對常用危險化學品,按其主要危險特性進行分類,該項目中使用的危險化學品有 壓縮氣體和液化氣體,易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別,這些物質(zhì)的 主要危險危害為:1)有毒有害氣體(如 AsH3、PH3、SiH4、CO等)如泄漏與空氣混合遇明火易燃 爆,有的可在空氣中自燃,有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。2)易燃液體(如丙酮、異丙醇等)如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、 熱源可引發(fā)火災爆炸。3)氧化劑(如

5、過氧化氫等)如泄漏與有機物還原劑、易燃物接觸可引起火災爆炸。4)腐蝕品(如酸類、堿類等)如泄漏與人體接觸可引起化學灼傷。這些危險有害因素的主要物質(zhì)理化特性,以及化學危險品的貯存、使用的危險性分析詳見化學品庫單元2、設備設施的固有危險危害生產(chǎn)設備多,且特種設備的種類、數(shù)量多。電氣設備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內(nèi)用電設備及控制系統(tǒng);特種設備有燃氣鍋爐、 空壓設備、冷凍設備、壓力容器及多種氣瓶和廠內(nèi)機動車輛;儲存設備有儲氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險因素有:1)火災爆炸油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現(xiàn)泄漏,遇明火可引發(fā)火災、

6、 爆炸危險。鍋爐使用燃料是天然氣,天然氣為易燃易爆氣體,一旦出現(xiàn)泄漏遇明火 可引發(fā)火災。當天然氣與空氣混合的濃度達到爆炸極限時遇點火源可引發(fā)爆 炸危險。2)物理爆炸鍋爐、壓力容器(蒸發(fā)器、冷凝器、儲氣罐)設備、氣瓶等,如設備有缺陷 或超壓安全附件失效或使用不當,可引發(fā)物理爆炸。3)觸電危險變配電設備、電氣線路、用電設備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運行 不當、機械損傷、維修不善導致絕緣老化破損或設計、安裝不規(guī)范,安全凈 距不足,或違章操作,均可能引發(fā)觸電危險。如出現(xiàn)短路、過載、接觸不良 等,也可引發(fā)電氣火災危險。4)靜電危害如火災、爆炸危險環(huán)境內(nèi)設備、管路防靜電設計或施工不規(guī)范,或在使用、

7、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時消除,或使用有火花 工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花,均可能引燃易燃易爆物質(zhì), 造成火災、爆炸。5)高空墜落危險凡2m以上各類高空作業(yè)點位,其梯、臺、道、護欄等常規(guī)性防護措施不符 合規(guī)范要求或損壞,可引發(fā)高空墜落危險。6)車輛傷害廠內(nèi)各類運輸車輛如車輛本身缺陷,或制動、音響、燈光等失效,道路狀況 不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。7)機械傷害空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動設備如無防護罩或損壞,可 引發(fā)機械傷害。8)灼傷高溫設備、蒸氣管路等表面,保溫、隔熱效果不好,易形成燙傷事故。各類 使用激光源、紅外線光源的設備、機臺上

8、,如因光源密閉性不好或損壞或操 作不當,致使光源直射觀察者眼睛,將會造成眼灼傷。9)噪聲危險空壓設備、泵類、風機等設備在運轉(zhuǎn)時可產(chǎn)生噪聲危害。4評價方法的選取和評價單元的劃分4.1評價方法的選取結(jié)合本項目建設內(nèi)容及已做勞動安全預評價的實際,安全驗收評價采用以下兩種方法:1、安全檢查表(SCL)依據(jù)國家、行業(yè)、地方相關(guān)法規(guī)、規(guī)定及技術(shù)標準,針對本工程存在的危險、危 害因素,編制安全檢查表,以查驗項目在設計、施工、交付生產(chǎn)使用時,所采取 的安全防護設施及技術(shù)措施的全面性和可靠性,并據(jù)此提出改進措施及建議。2、專家現(xiàn)場詢問,觀察法(邀請公司專業(yè)技術(shù)人員參加、配合) 。4.2評價單元的劃分依據(jù)已確定的

9、評價范圍及建設內(nèi)容的實際,本項目的安全驗收評價劃分如下評價單 丿元。1、總平面布置及常規(guī)安全防護設施安全評價單元2、生產(chǎn)工藝及危險化學品使用安全評價單元3、化學品庫安全評價單元4、超純水制備設施系統(tǒng)安全驗收評價單元5、鍋爐房安全驗收評價單元6、油罐區(qū)、冷凍機房、空壓站、水泵房安全評價單元7、污水處理站安全評價單元8供配電安全評價單元9、安全生產(chǎn)管理安全評價單元安全檢查表依據(jù)GB50187-93工廠企業(yè)總平面設計規(guī)范、SJ30002-92電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設計規(guī)定、GB4387-94工業(yè)企業(yè)廠內(nèi)鐵路道路運輸安全規(guī)程、GBJ16-87建筑設計防火規(guī)范(2001版)、GB50074-2002石油庫

10、設計規(guī)范、GB2894-1996安全標志、GB16179-1996安全標志使用導則等相關(guān)法規(guī)、標準及現(xiàn)場狀況編制總平面布置及常規(guī)安全防護設施安全檢查表,檢查項目及內(nèi)容見表總平面布置安全檢查表表序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注1廠址選擇廠址選擇在全面考祭,其自然和社會環(huán)境應優(yōu)1.1先選在工程地質(zhì)、水文、氣象條件符合安全衛(wèi) 生要求,交通便利,協(xié)作方便,環(huán)境較為清潔 的地區(qū)。SJ30002-922.2.2V符合要求。1.2廠址應位于生活區(qū)最小頻率風向的上風側(cè),避免建在已建工廠煙囪主導風向的下風側(cè)。2.2.4V1.3廠址應具有滿足生產(chǎn)、生活及發(fā)展規(guī)劃所需要 電源和給排水條件。GB50187-93

11、2.0.5V滿足要求1.4廠址應與交通線路、車站、港口順捷合理聯(lián)接,GB50187-932.0.4V交通便利。序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注廠所區(qū)盡量靠近公路干道。1.5地震斷層和設防烈度低于九度地震區(qū)。GB50187-932.0.11V七度設防。2總平面布置2.1廠區(qū)應根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置。一般可分為廠前區(qū)、主要生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、倉庫區(qū)和動力區(qū)。SJ30002-922.3.2V按功能分為辦公區(qū)、 生產(chǎn)區(qū)、公用工程 區(qū)、預留區(qū)。22由廠部辦公樓、多層廠房、廠區(qū)主入口等組成 的廠前區(qū),宜置于廠區(qū)最小頻率風向的下風 側(cè)。SJ30002-922.3.5V2.3布局應滿足生產(chǎn)加工

12、過程流程。GB50187-932.0.11V流程順暢。2.4要求潔凈的生產(chǎn)設施應布置在大氣含塵濃度 低、環(huán)境清潔地段。潔凈廠房的布置應符合“潔 凈廠房設計規(guī)范”的規(guī)定。GB50187-934.2.2V符合要求。2.5變配電站宜位于負荷中心,或靠近主要用戶。不受粉塵、水霧、腐蝕性氣體影響。對于大容量的總降壓站,尚應在其周圍加設圍墻。SJ30002-922.3.15GB50187-933.4.4V總降變設在廠區(qū)西 南角。各10kW變電 站靠近負荷中心。2.6空壓站應位于空氣潔凈地段,避免靠近散發(fā)爆炸性、腐蝕性和有害氣體的粉塵等場所。GB50187-934.3.4V2.7鍋爐房宜布置在廠區(qū)全年最小頻

13、率風向的上GB50187-93V序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注風側(cè)。437SJ30002-922.3.13污水處理站應布置在廠區(qū)邊緣地帶,位于廠區(qū)SJ30002-92全年最小頻率風向的上風側(cè)。應靠近污染源,2.3.162.8V遠離水源構(gòu)筑物及空調(diào)空氣入口,四周留有必GB50187-933.4.2要的衛(wèi)生防護距離。火災危險性屬于甲、 乙、丙類液體燃料罐區(qū)的布置,應遠離明火或散發(fā)火花地點。GB50187-93油罐區(qū)距鍋爐房西2.9與耐火等級為2、3級廠房距離分別為4.6.5GB50074-2002S側(cè)外墻15.2m,距廠20m、25m,與廠內(nèi)主干道距離 15m,與次干4.0.8內(nèi)道路6m。

14、道距離10m?;瘜W危險品庫, 應布置在廠區(qū)最小頻率風向的上風側(cè)及邊緣地區(qū),應遠離火源,并符合國家SJ30002-922.10V基本符合有關(guān)規(guī)定?,F(xiàn)行有關(guān)防火規(guī)范的規(guī)定, 防火間距不應少于2.3.1230m。工廠主要建筑物宜呈南北向布置,建筑物的方SJ30002-922.11位應保證室內(nèi)有良好的朝向、采光和自然通風2.3.3GB50187-93V條件良好。條件。2.0.12.12廠區(qū)出入口數(shù)量不宜少于 2個。人流出入口與GB50187-934.7.4V三個出入口,人、物序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注貨流出入口分開設置。分流。2.13廠區(qū)應進行綠化,應在道路及圍墻沿線植樹,SJ30002-

15、92V空地上種植灌木,喬木和早皮,廠前區(qū)布置花2.3.20壇,水池以及廠標、雕型等建筑小品。3廠區(qū)道路運輸線路,滿足生產(chǎn)要求,物流順暢,線路短GB50187-93人流、貨流組織合3.1V捷,人流、貨流組織合理。4.1.8理。道路與主要建筑物軸線平行或垂直,主要生產(chǎn)SJ30002-923.2廠、倉庫區(qū)、動力區(qū)的道路應呈環(huán)形布置。廠2.3.17GB50187-93V呈環(huán)形布置。有回轉(zhuǎn) 場地。區(qū)盡頭端式道路應有足夠的消防車回轉(zhuǎn)場地。5.3.1廠區(qū)主干線雙向行駛路寬5m ,單向行駛路寬GB50187-93廠區(qū)道路21m > 15m、3.3濾.5m;并有單向行駛標記,且能形成環(huán)形通5.3.5V5.

16、3.612m、7m。有人行道。道;人行道>0.75m ;沿主干線人行道 1.5m。職工上下班時間內(nèi),人流密集的出入口和路GB4387-943.4V段,應停止行駛貨運和機動車輛。5.1.8油罐區(qū)、化學品庫道易燃易爆區(qū)、儲存庫區(qū)將道路劃分為限制車輛GB4387-943.5X路未劃分限行路段。通行或禁止車輛通行的路段,并設標志。5.1.4無標志。3.6廠區(qū)道路在彎道父叉路口的橫凈距范圍內(nèi),不GB4387-945.1.10V序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注得有妨礙駕駛員視線的障礙物。3.7廠區(qū)道路應設置交通標志。GB4387-945.1.3X無交通標志。3.8路面平整、路基穩(wěn)固、邊坡整齊、

17、排水良好。GB4387-945.1.1V良好。3.9有完好的照明設施。GB4387-945.1.1V完好。4常規(guī)安全防護設施架空平臺、走道、鋼梯應符合國家現(xiàn)行固定式工業(yè)平臺、工業(yè)防護欄桿、鋼直梯、鋼斜梯SJ30002-92廠區(qū)平臺、鋼梯基本4.12.6.7V等標準的規(guī)定。凡米用直梯的場所,應米取防2.6.8符合要求。護措施,相鄰兩層的直梯宜錯開設置。4.2SJ30002-92V有蓋板。廠區(qū)各種井、溝應有蓋板。2.6.10道路上部管架和棧橋等障礙物,在干道上的凈SJ30002-924.3咼不得小于5m。2.3.18V凡容易發(fā)生事故危及安全的場所,應設置安全4.4標志。必要處尚應設置聲光、 色或聲

18、光結(jié)合的SJ30002-922.9.1S安全標志不齊全,不醒目。糸急警告信號。各種輸送氣體、液體及其它物料的管道,均應SJ30002-924.5X未按規(guī)定涂色。按國家及電子工業(yè)有關(guān)規(guī)定涂色。2.9.24.6廠房、動力站房的安全出口及疏散通道、應設SJ30002-922.9.3S不齊全。序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注置明顯的標志。4.7安全標志的涂色,應符合國家現(xiàn)行安全標志 及安全色標準的規(guī)定。SJ30002-922.9.4S不規(guī)范。綜合評價分析1、危險危害辨識1)廠區(qū)建(構(gòu))筑物如間距小,道路狹窄,路面不平整、不暢通,若人流、物流 不能有效分流,車輛無回車場地或車輛剎車、音響、燈光等出

19、現(xiàn)問題,易引發(fā) 車輛傷害事故。2)廠區(qū)內(nèi)丙烷站、化學品庫(室),油罐區(qū)、110KV變電站等易燃、易爆、易中 毒,及要害部位無安全標志,無限行、禁行等交通標志。易造成誤入及違章等, 引發(fā)中毒、燃爆、觸電等傷害。3)廠區(qū)內(nèi)若坑、孔、井及走臺、平臺無防護圍欄或蓋板,直梯、斜梯不符合有關(guān) 規(guī)定都可引發(fā)碰、磕、摔傷和墜落傷害。4)廠區(qū)內(nèi)若道路無路標無交通標志, 過路工業(yè)管路無限高標志,可造成各種車輛 隨意超速,任其闖越工業(yè)管路架設較低區(qū)域,易造成車輛交通事故或設備損害 事故。2、問題與建議廠區(qū)總平面布置根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置,能夠滿足生產(chǎn)加工過程流程要求,建(構(gòu))筑物安全距離基本符合有關(guān)規(guī)定要

20、求,廠區(qū)道路與主要建筑物軸線平行或垂直,主要生產(chǎn)區(qū)、庫區(qū)、動力區(qū)的道路呈環(huán)形布置,能滿足消防車暢通和回轉(zhuǎn)的要求,廠區(qū)各種井、溝有蓋板、平臺、走臺、鋼梯基本符合有關(guān)標 準要求。但仍有一些問題應引起注意。需采取相應措施以消除可能導致事故發(fā)生 的隱患。1)油罐區(qū)與鍋爐房和廠區(qū)道路的間距未達到 GB50074石油庫設計規(guī)范的要求。 應按油罐區(qū)評價單元的建議完善其防火防爆措施并控制儲油量。2)凡容易發(fā)生事故危及安全的場所, 安全出入口,應設置齊全醒目的安全警示標 志。安全標志的涂色應符合國家現(xiàn)行的 安全標志及安全色標準的規(guī)定。3)廠區(qū)工業(yè)管路應按 GB7231-87工業(yè)管路的基本識別色和識別符號規(guī)定,基

21、本識別色應涂刷在管路全長上或在管路上涂刷寬150mm的色環(huán)或在管路上用基本識別色膠帶纏繞寬150mm的色環(huán)。基本識別色色環(huán)應涂刷在所有管路交叉、閥門和穿孔西側(cè)等的管路上以 及其他需要識別的部位。在管路上用識別符號標識管內(nèi)流體性質(zhì)、名稱和流 向。4)廠區(qū)道路應設置顯示道路名稱、方向、車輛限速的交通標志。在易燃易爆的生產(chǎn)區(qū)域應根據(jù)需要可將部分道路劃分出限制或禁止車輛通行的路段,并設置標志。評價結(jié)論廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn),方便工作的要求,各建(構(gòu))筑物按功能分區(qū),生產(chǎn)工藝流程短捷便利,整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置,消防通道暢通、照明完好,人、物分流,并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間,基本符合G

22、B50187工業(yè)企業(yè)總平面設計規(guī) 范的要求,只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補充完善,可為實現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有 利的條件。5.2生產(chǎn)工藝及危險化學品使用安全評價單元支援車間危險化學品使用、儲存、安全措施情況如表521-3所示:危險化學品使用、儲存及安全措施表表儲存場所名稱儲存危險化學品名稱砷化氫混合氣(ASH3/H2)毒性氣體室1.5%鍺烷/氫氣(GeH4/H2)1%磷化氫/氮氣混合氣(PH3/N2)氣柜數(shù)量(個)111安全設施5%磷化氫/氮氣混合氣(PH3/N2)10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防 水噴淋、排風、火災聲光報警、shut dow n按鈕、勞動防護用品專柜、雙套管輸送,

23、內(nèi)套管為真空,設偵測器,介質(zhì)泄漏時, 報警。氨氣(NH3)一氧化碳(CO)易燃氣體室50ppm乙硼烷/氫氣(B2H6/H2)1氟甲烷(CH3F)2100ppmB2H6/N 215% B2H6/N22氯硅烷(SiH2Cl2)二氟甲烷(CH2F2)1100ppm 乙硼烷 /氫氣(B2H6/H2)210%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、氨、 氟環(huán)境監(jiān)測報警、消防水噴淋、排風(酸 堿性排風系統(tǒng)分開)、火災聲光報警、shut down按鈕、勞動防護用品專柜。10%氨氣/氮氣C4F6Cl2序號儲存場所名稱儲存危險化學品名稱氣柜數(shù) 量(個)安全設施氣體室CIF32水噴淋(CIF3無)、排風、火災聲光報警、s

24、hutHBr2HCI11down按鈕、勞動防護用品專柜。SiF41NF39氧化氣N2O710%氦1氣/氮氣工藝吹掃、 TGM 報警、消防4體室30%O2/He6水噴淋、酸性排風、火災聲光報警、shutdown按鈕、勞動防護用品專柜。1.2%He+N 21C4F82CHF31C2F6110%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防CO21CF42水噴淋、排風、火災聲光報警、shut dow n惰性氣CHF325SF62按鈕、勞動防護用品專柜。體室He14%H2/N21hci cdm1BOE CDM1HF CDM2設排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸NOE CDM16酸室HNO 3 CDM1送、內(nèi)設泄

25、漏報警偵測器、PEH在線型火H3PO4 CDM1H2SO4 CDM2災聲光報警裝置,自動水噴淋裝置。HF100:1 CDM1NH4OH1設排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸BaseH2O22送內(nèi)設泄漏報警偵測器,PEH在線型火災7Room(堿室)SD-11聲光報警裝置,自動水噴淋裝置、消防器材。8溶劑室ACT940 CDM1設溶劑排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套序號儲存場所名稱儲存危險化學品名稱氣柜數(shù) 量(個)安全設施EG-011管輸送、內(nèi)設泄漏報警偵測器、PEH在線型火災聲光報警裝置,自動水噴淋裝置、消防器材。EBR10A11PA-01CDM1危險危害辨識與分析1火災、爆炸各類易燃液體、易燃氣

26、體在生產(chǎn)、儲存、輸送過程中,一旦因設備材質(zhì)缺陷、制 造質(zhì)量差、機械損傷等原因致使設備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操 作,造成物料泄漏,如作業(yè)現(xiàn)場通風不良,與空氣混和達到爆炸極限,遇有火源 可能發(fā)生火災、爆炸;2、腐蝕、中毒、化學灼傷清洗、擴散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、Base room堿室、溶劑室等腐蝕性化學品生產(chǎn)、儲存、使用場所內(nèi),盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設備、容器以 及輸送管路因材質(zhì)缺陷,制造質(zhì)量差,搬運、使用過程機械損壞、傾翻,造成物 料泄漏,如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會引起嚴重的化學灼傷;同時各類腐 蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設備腐蝕、制造缺陷等原

27、因造 成泄漏,人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體,均會造成人員中毒。3、物理爆炸各類壓力容器(包括氣瓶)、管道,如果設備、管道因材質(zhì)缺陷、設計不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等,可能發(fā)生容器、管道不能承受設計壓力而發(fā)生爆炸,造成人員傷亡,設備損壞。4、高溫灼傷高溫設備、蒸氣管路等表面,保溫、隔熱效果不好,易形成燙傷事故。5、激光、紅外線輻射灼傷在各類使用激光源、紅外線光源的設備、機臺上,如因光源密閉性不好或損壞或 操作不當,致使光源直射觀察者眼睛,將會造成眼灼傷。6、高頻、噪聲傷害在離子植入?yún)^(qū),使用離子植入機等高頻設備;清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗 機、蝕刻機

28、、微影機等產(chǎn)生噪聲的設備,如上述各類設備高頻、噪聲防護措施不 當或損壞都會對人員造成物理因素傷害。7、高處墜落當去廢溶劑儲罐等相對基準面標高超過 2m設備進行檢查、操作或維修設備時, 若未按標準設置鋼梯、護欄、平臺或設置不完善,作業(yè)人員去檢查、操作或檢修 時,稍不慎會發(fā)生高處墜落事故。8觸電各類用電設備、照明、配電系統(tǒng)線路保護接零未接或失效,線路絕緣損壞、線路 短路等均可能發(fā)生觸電事故。9、電氣火災電氣設備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設漏電保護器、過電壓保護等裝置或失效,線路 絕緣損壞、短路,以及防爆場所電氣設備、線路、照明不符合防爆要求等均會發(fā)生電氣火災10、雷電危害建筑物防雷設計不合理、施工不規(guī)范

29、、接地電阻值不符合規(guī)范要求,當雷擊建筑物、電力設備、線路等時,會產(chǎn)生雷電過電壓,在雷電波及的范圍內(nèi)會導致嚴重 損壞建筑物、設備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火 災、爆炸,造成嚴重的生命、財產(chǎn)損失。11、靜電危害如火災、爆炸危險環(huán)境內(nèi)(如:光刻、清洗區(qū)、擴散區(qū)、可燃氣體儲藏間等)設 備、管路防靜電設計或施工不規(guī)范,在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生 的靜電電荷,不能及時消除,隨著時間延續(xù),靜電荷將越聚越多,靜電電壓逐漸 升高,當達到一定程度時,發(fā)生放電火花;或使用有火花工具、穿用不防靜電的 鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等,均可能引燃易燃易爆物質(zhì),造成火災、爆炸。523安全檢查

30、表依據(jù)GBJ16-87建筑設計防火規(guī)范(2001版)、GB50187工廠企業(yè)總平面設計規(guī) 范、SJ30002-92電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設計規(guī)定、GBJ19-87采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設 計規(guī)范(2001年版)、GB50073-2001潔凈廠房設計規(guī)范、GB5083-99生產(chǎn)設備安全 衛(wèi)生設計總則、GB12801-91生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則、GB2893-2001安全色、 GB2894-96安全標志、GB15603-95常用化學危險品貯存通則、國務院令第344號危 險化學品安全管理條例等法規(guī)、標準、規(guī)范編制安全檢查表,查驗結(jié)果詳見表523-1。生產(chǎn)工藝及危險化學品使用單元安全檢查表表序號檢查項目及

31、內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注1建筑結(jié)構(gòu)及平面布置1.1生產(chǎn)廠房耐火等級不應低于二級。GBJ16-873.2.1V均為二級。1.2若多層生產(chǎn)廠房耐火等級為二級,其防火分區(qū)最大允許占地面積為4000m2。(因有自動水噴淋系統(tǒng),防火分區(qū)最大允許占地面積增加一倍)GBJ16-873.2.1V占地面積4000m2。1.3有爆炸危險的生產(chǎn)廠房(生產(chǎn)車間、易燃氣 體室、硅烷室等)宜獨立設置。GBJ16-873.4.1V單獨設置。1.4有爆炸危險的生產(chǎn)廠房(生產(chǎn)車間、易燃氣 體室、硅烷室等)應設置必要的泄壓設施, 泄壓設施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。GBJ16-873.4.2S硅烷室屋頂泄爆、生 產(chǎn)車間、易燃氣體

32、室 無泄壓。1.5硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值(m2/m3)宜采用0.050.22,體積超過1000m3的建筑,不宜小于0.03。GBJ16-873.4.3V約 0.3。1.6生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室等可能散發(fā) 可燃氣體、可燃蒸氣的廠房應采用不發(fā)火地 面。GBJ16-873.4.6V環(huán)氧地面。1.7有爆炸危險的該甲乙類廠房不應設置辦公 室、休息室如必須貼鄰布置,應采用一、二GBJ16-873.4.8V序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注級耐火等級建筑物并應米用耐火極限不低于 3h的非燃燒體防護墻隔開并設置直通室外或 疏散樓梯的安全出口。1.8廠房結(jié)構(gòu)應滿足地震烈度 7度設防要求,框 架

33、抗震等級二級要求。GB50187-932.0.4V7度設防。1.9芯片光刻等對潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠 房,宜布置在廠區(qū)最小頻率風向的下風側(cè), 并在四周留有綠化場地。SJ30002-922.3.6V1.10易燃易爆工作間宜設置在單層廠房內(nèi),或設 在多層廠房的頂層端部。SJ30002-923.6.12X除硅烷室單獨設置夕卜,均設在多層廠房一、二層內(nèi)。2潔凈廠房2.1潔凈室應設置人員凈化、物料凈化室和設施。GB50073-20014.3.1V分別設置人員、物料凈化室。22潔凈室內(nèi)噪聲值不應大于70db( A)。GB50073-20014.4.1V詬5dB。2.3潔凈實驗室耐火等級不應低于二級。G

34、B50073-20015.2.1V二級。2.4潔凈室的頂棚和壁板應為不燃燒體,且不得采用有機復合材料。GB50073-20015.2.4V2.5潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃燒GB50073-2001V用防火墻和防火門分序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注體隔斷措施。5.2.5隔。2.6潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安 全疏散門應向疏散方向開啟,并加閉門器。GB50073-20015.2.9V2.7潔凈廠區(qū)應設置事故排風,潔凈室事故排風 換氣次數(shù)應采用1020次/h,事故排風宜由 常用排風系統(tǒng)與事故排風系統(tǒng)共同保證,事 故排風裝置的開關(guān)應分別設在潔凈室內(nèi)和室 外便于操作的地點,事

35、故排風應與報警裝置 聯(lián)鎖。SJ30002-927.0.10V設置排風系統(tǒng),常開; 特殊氣體室室外設手 動開關(guān),設自動聯(lián)鎖 報警。3作業(yè)環(huán)境及工藝、設備安全裝置3.1作業(yè)環(huán)境3.1.1車間內(nèi)人工運輸通道寬度必須1.0m。SJ30002-923.1.3V2.5m3.1.2設備設施之間應留有相應的操作空間、檢修 空間、巡回檢查及安全通道。SJ30002-923.1.4V3.1.3潔凈廠房應設置供人員疏散用的應急照明, 并應設置指明應急安全出口的疏散標志。在 專用消防出口處應設紅色應急照明燈。SJ30002-927.0.14V設應急照明、疏散標志。3.1.4易燃易爆廠房的人員疏散,通道應保持暢通,并應

36、設置應急照明,疏散指示標志及排煙措SJ30002-923.6.13V序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注施。GB4053.1 鋼梯、平臺所設置的護欄的設計應符合有關(guān)3-93廢液收集罐處平臺護3.1.5標準。GB4053.4-83X欄不符要求。第2.5.2條3.2電子、化學工藝安全冋冃匕離子注入機應設在人流取少的區(qū)域內(nèi),設置于人流最少的東3.2.1并應有符合國家標準要求的接地及相應的電SJ30002-923.2.3V側(cè),采取隔離防護措磁波、X射線防護措施。施。設置緊急制動,設置聯(lián)動生產(chǎn)線應有緊急制動裝置或聯(lián)鎖裝置,警告標志及排風系危險部位應設置醒目的警告標志;散發(fā)毒氣SJ30002-923.2

37、.2V統(tǒng),帶電作業(yè)設置接的工序應設置排風;帶電作業(yè)的工序需裝設3.2.5地故障、短路故障保自動保護裝置。護裝置。使用酸、堿或有機溶劑進行清洗的設備,必須裝設局部排風系統(tǒng),使用有毒溶劑進行清SJ30002-923.2.3V均設置。洗的設備應采取密閉措施;凡使用電氣的化3.3.1學清洗設備,應有良好的接地。3.2.4生產(chǎn)車間內(nèi)應設置緊急沖淋裝置及洗眼器。SJ30002-923.3.6V設置洗眼、淋浴器。3.2.5對于存在激光輻射設備,應采取屏蔽等防護SJ30002-929.1V屏蔽光源保護措施。序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注措施。3.3防火、防爆、防中毒3.3.1輸送易燃易爆介質(zhì)的管道、管

38、件、閥門、泵 的連接處必須嚴密,管道系統(tǒng)應采取接地措 施。SJ30002-923.6.8V管道系統(tǒng)通過管架接地。3.3.2易燃工作間的設備、電氣線路,開關(guān)、燈具等,均應采用相應等級的防爆型產(chǎn)品。SJ30002-923.6.11V3.3.3電氣設備金屬外殼應與 PE線可靠連接。GB50169-922.1.11V3.3.4氫氣、CO和天然氣管道不能通過煙道、通風 管、配電室和易燃易爆物倉庫。GB50028-937.2.10V3.3.5管道應標志介質(zhì)及流向。SJ30002-922.9.2V3.3.6對有害氣體、易燃氣體的作業(yè)區(qū),應采取切 實有效的防護措施,提高自動化,采取密閉、 隔離生產(chǎn)。SJ300

39、02-922.4.5V隔離操作、密閉生產(chǎn)。3.3.7車間空氣中有害物質(zhì)的濃度,必須符合工 業(yè)企業(yè)設計衛(wèi)生標準的規(guī)定。SJ30002-922.1.5S已做監(jiān)測,數(shù)據(jù)暫不 能提供。3.3.8輸送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蝕性氣 體或液體的管道、管件、閥門,其材質(zhì)、連 接方法,必須具有密封、耐壓、防腐蝕、防SJ30002-922.4.11V雙套管輸送,防腐內(nèi)涂層。序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注靜電等相應措施。339危險相冋的生產(chǎn),宜集中或相鄰布置SJ30002-922.5.3V3.3.10對于產(chǎn)生有害、有毒物質(zhì)的廠房,廠房內(nèi)部 應采取便于清掃、刷洗以及防止毒物附著和 積蓄的措施。SJ300

40、02-922.6.5V防泄漏收集采用二次容器,1.1倍容積。3.3.11車間內(nèi)各種明溝,應加設蓋板。SJ30002-922.6.10V3.3.12生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染,易經(jīng)皮膚 吸收的劇毒物質(zhì),潔凈度要求嚴格的廠房和 車間應設置洗衣房。SJ30002-922.7.2V設洗衣房。3.3.13凡使用酸、堿或有機溶劑進行化學清洗的設 備,必須裝設局部排風聯(lián)鎖。SJ30002-926.3.12V3.3.14有下列情況之一時,排風不應合為一個系統(tǒng): 混合后能引起燃燒或爆炸時;(1)混合后能引起燃燒、爆炸時;(2 )易燃易爆工作間排風與一般工作間排 風。SJ30002-923.6.9V均設置獨立排

41、風。3.3.15氫氣、煤氣管道,在末端、最高點等處應設 置放散管,放散管應高出屋頂;放散管上應 設阻火器。SJ30002-924.1.6V序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃氣體的風管雙層不銹鋼、酸堿風宜米用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風SJ30002-923.3.16V管采用ATC玻璃鋼涂管應米用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風7.0.18層。管或不銹鋼風管。4危險化學品的使用、輸送與管理危險化學品應按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分酸、堿有毒氣體至、4.1分間儲存、輸送。性質(zhì)相抵觸的化學危險品,SJ30002-923.8.3V硅烷室、易燃氣體室等。嚴禁混放在一起。支

42、援車間分功能區(qū)。輸送危險化學品的設備、附屬儀表、器材等,應根據(jù)危險介質(zhì),采用必要的防泄漏、防腐4.2蝕措施。輸送腐蝕性較強的液體管道,不應SJ30002-923.8.7V雙層套管內(nèi)設泄漏檢測。敷設在其它管道的上方,并不宜連接埋地敷設。全封閉輸送機組,多種儲存有較強腐蝕性液體的設備應設置必要的4.3防溢出、防滲漏緊急處理設施。其基礎及周SJ30002-923.8.8V報警聯(lián)鎖裝置;周圍設圍地面應采取防腐蝕處理。置圍堰。對于輸送具有較強腐蝕性液體的化學藥劑全封閉PLC程控泵組4.4泵、在其填料函或機械密封圈、法蘭、閥門SJ30002-923.8.9V無泄漏。泵為全圭寸閉易噴射泄漏處,應設置適當?shù)陌?/p>

43、全防護。型序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注輸送有毒介質(zhì)的設備、管道放空時,應加以SJ30002-924.5V收集并加以洗滌。收集或處理,不得任意排放。3.8.10易燃、易爆的車間,應采用易于清洗、撞擊SJ30002-92硅烷室、易燃室符合要4.6V或磨擦時不產(chǎn)生火花的地面。3.8.11求。有爆炸危險的房間(如硅烷室、易燃氣體室、硅烷室設泄壓其余生產(chǎn)車間等),應設置泄壓措施,安全出口不GBJ16-874.7S無,安全出口均不少應少于2個。其中一個直接對外,不超過3.5.1于2個。2100m的房間可設一個出口。危險化學品安危險化學品使用場所應設置通訊、報警裝置,設置應急通訊、自動、4.8并保

44、證在任何情況下均處于正常使用狀態(tài)。全管理條例V手動報警裝置。第18條工作場所安全應在危險化學品作業(yè)場所設置急救設施,并使用化學品規(guī)設置應急用品柜,提4.9提供應急處理的方法。疋V供處理方法。第17條工作場所安全使用單位應對盛裝、貯存危險化學品的設備,使用化學品規(guī)4.10采用顏色、標牌、標簽等形式,標明其危險疋V儲存柜上均有標識。性。第19條序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注4.11丙酮、雙氧水等氧化劑不得在操作崗位附近GB15603-1995V單獨存放?;旌腺A存,氧化劑應單獨存放。6.7廢棄、過期的化學危險品及使用過的包裝容關(guān)于加強化學4.12器必須妥善保管,不得隨意拋棄,依據(jù)危險危險物品

45、管理V廢棄物的處置標準進行處置。的通知市安監(jiān)局、市經(jīng)使用危險化學品,在天津市有關(guān)主管部門辦4.13理了登記手續(xù),并取得使用許可證。委相關(guān)文件要S正申辦。求有關(guān)領導和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、危險化學品4.14規(guī)章和安全知識、專業(yè)技術(shù)的培訓,經(jīng)考核安全管理條例S已組織,尚未培訓。合格,方可上崗作業(yè)。第四條5有毒氣體控制裝置砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的SJ30002-925.1鋼瓶柜,離子刻蝕設備、離子注入機等使用6.3.16V有害氣體的作業(yè)點,應設事故排風裝置。6.3.23使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作間,宜設報5.2警裝置及事故排風。報警裝置宜與生產(chǎn)設備、SJ30002-926.2.

46、9V設置報警聯(lián)鎖裝置及事故排風。操作閥聯(lián)鎖,不工作,亦應定時進行排風。6電氣序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注6.1電氣裝置采用接地故障保護時,應做總等電 位聯(lián)接。SJ30002-9212.2.4V等電位連接。6.2檢測和控制儀表的電源和氣源,停電或停氣 可能使生產(chǎn)、動力設備造成重大事故時,必 須有備用電、氣源。備用時應根據(jù)工藝、動 力要求確定,一般不小于 15-30分鐘。SJ30002-9212.2.8V設發(fā)電機3臺,壓縮空氣備用氣源30min。6.3停電或停氣時,調(diào)節(jié)閥的閥位應處于女全位 置。SJ30002-9212.2.9V6.4消防設施、防煙排煙系統(tǒng)、電動防火門窗、 火災應急照明、

47、消防用電設備,應采用單獨 的供電回路,并當發(fā)生火災切斷生產(chǎn)、生活 用電時,應仍保證消防用電。其配電設備應 有明顯標志。SJ30002-9212.2.10V單獨設置供電回路,UPS、EPS、SP 電源,6.5在有爆炸危險環(huán)境內(nèi),敷設電氣線路的溝道、 電纜或鋼管,在穿越不冋區(qū)域之間隔墻或樓 板處的孔洞,應采用非燃性材料嚴密堵塞。SJ30002-9212.2.16V防火水泥堵塞。6.6電氣設備線路必須安全可靠,照明應采用有防護罩 的燈具。SJ30002-923.2.7V線路穿管敷設,燈具 有防護罩。6.7在火災、爆炸危險環(huán)境內(nèi),可能產(chǎn)生靜電危SJ30002-9212.5.4V設備、管道均采取靜序號檢

48、查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注害的設備、管道應采取靜電接地措施。電接地措施。6.8在重點防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處,應設計 人體導除靜電裝置;并配備個人防靜電防護 用品。HG20571-953.2.10V設消除靜電離子發(fā)生器。7消防、報警設施7.1建筑滅火器的配置應按建筑滅火器配置設 計規(guī)范的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。GBJ16-878.7.7V7.2潔凈室及技術(shù)夾層應設置自動滅火系統(tǒng)。SJ30002-927.0.11V7.3生產(chǎn)廠房應設置火災自動報警檢測系統(tǒng)。SJ30002-927.0.15GB12801-916.3.1V7.4儲存、使用易燃易爆物質(zhì)的生產(chǎn)區(qū)、硅烷室、易燃氣體室等應設置可燃氣體監(jiān)測報警裝置、事故排風及防爆設施。GBJ16-8710.3.2SJ30002-923.6.2V設作業(yè)環(huán)境監(jiān)測報警系統(tǒng)。7.

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