工業(yè)清洗系統(tǒng)收集資料

1、工業(yè)清洗系統(tǒng)一、工業(yè)清洗系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)包括對(duì)清洗對(duì)象上的污垢情況以及清洗後清潔度要求的考慮。1、污垢的性質(zhì)、數(shù)量和形態(tài)在設(shè)計(jì)工業(yè)清洗系統(tǒng)時(shí)， 首先要了解清洗對(duì)象上污垢的性質(zhì)、 數(shù)量以及附著和污染的形 態(tài)等情況，以便考慮使用哪些清洗力并正確地加以組合。在多數(shù)情況下， 清洗對(duì)象上的污垢是以復(fù)雜的符合形式存在的， 只靠一次清洗工藝使污 垢完全解離分散去除是很難的。 通常的清洗工藝都是針對(duì)特別有害的或某些特定污垢而設(shè)計(jì) 的。為了去除清洗對(duì)象上的復(fù)合污垢，通常的做法是先采用最經(jīng)濟(jì)的方法把大部分污垢去 除，然后用精密的方法針對(duì)殘存的頑固污垢作專(zhuān)門(mén)處理。 用這種分步進(jìn)行的方法組合成一個(gè) 清洗系統(tǒng)往

2、往很有實(shí)效。2、對(duì)清潔度的要求在選擇清洗系統(tǒng)時(shí)，必須考慮這種系統(tǒng)對(duì)要求達(dá)到的清潔程度有充分的保證。 在家庭清洗領(lǐng)域一般對(duì)洗凈度要求不很高， 往往只要求與清洗前的狀態(tài)相比有很大的改 善，肉眼看不到污垢即可。 而在工業(yè)清洗中往往要求很高， 特別是精密工業(yè)清洗中潔凈度要 求更高，所以對(duì)不同潔凈度要求的清洗應(yīng)選擇不同的清洗系統(tǒng)。但是應(yīng)考慮到， 潔凈度要求越高， 清洗成本也越高， 而且生產(chǎn)成本是以幾何級(jí)數(shù)遞增的， 一般潔凈度為 98% 時(shí)的成本要比潔凈度為 95%時(shí)的成本高幾倍。 而要求潔凈度提高到 99.9% 時(shí)成本要提高 10 倍以上。要獲得 100% 的潔凈度，在實(shí)際生產(chǎn)中往往是不可能的。但在某些

3、需要完全避免出現(xiàn)清洗效果不佳的次品的情況下， 為了避免出現(xiàn)次品造成的損 失，需要增加檢查清洗質(zhì)量的工序和剔除次品的工藝， 此時(shí)只能選擇生產(chǎn)成本高的清洗系統(tǒng)， 生產(chǎn)的經(jīng)濟(jì)性不能放在首位來(lái)考慮。 例如， 清洗半導(dǎo)體元件硅片時(shí)， 硅片表面上要求去除污 垢的最小粒徑在 0.2-0.3 u m范圍，因此硅片表面上的極薄氧化物覆蓋膜以及雜質(zhì)金屬原子、 離子都必須去除掉。而一個(gè)直徑為10cm的硅片表面上存在一個(gè) 0.3u m大小的污垢離子，按比例放大只相當(dāng)于一個(gè)直徑為 100m 的棒球場(chǎng)上有一個(gè)粒徑為 0.3mm 的碳粒。雖然 100% 的去除污垢實(shí)際上近乎不可能，但在半導(dǎo)體工業(yè)往往要求99%以上的污垢粒子

4、被清除。在半導(dǎo)體工業(yè)中，要求達(dá)到的潔凈度是以殘留粒徑小于一定大小的污垢粒子限定個(gè)數(shù)為指標(biāo) 的。而且在當(dāng)今半導(dǎo)體硅片集成線(xiàn)路密集程度飛速提高的情況下，對(duì)潔凈度的要求還在不斷提高。對(duì)清洗系統(tǒng)的評(píng)價(jià)方法 對(duì)一個(gè)清洗系統(tǒng)的優(yōu)劣，主要從以下幾個(gè)方面進(jìn)行評(píng)價(jià)。1、經(jīng)濟(jì)性 特別是一般工業(yè)清洗領(lǐng)域，對(duì)經(jīng)濟(jì)性要求十分突出。2、效率和省力性 希望清洗系統(tǒng)效率高而且具有省力的優(yōu)點(diǎn)，即能進(jìn)行自動(dòng)化操作，盡量縮短工藝流程、 降低勞動(dòng)強(qiáng)度和生產(chǎn)成本。3、可靠性 要求清洗系統(tǒng)的清洗質(zhì)量穩(wěn)定，能保證達(dá)到規(guī)定的洗凈程度的要求。4、對(duì)清洗對(duì)象的影響 要求清洗過(guò)程對(duì)清洗對(duì)象造成的損失盡可能少，并且不能產(chǎn)生對(duì)清洗對(duì)象的新的二次污染。

5、5、保持良好的生產(chǎn)環(huán)境要求清洗系統(tǒng)能保持良好的生產(chǎn)作業(yè)環(huán)境，使工人的健康和安全得到充分的保證。6、有利于對(duì)自然環(huán)境的保護(hù) 要求清洗系統(tǒng)必須能防止清洗中產(chǎn)生的廢棄物對(duì)自然環(huán)境造成破壞。清洗系統(tǒng)的分類(lèi)根據(jù)清洗使用的媒質(zhì)不同而將清洗系統(tǒng)分為兩大類(lèi)： 把使用水、 各種水溶液、 有機(jī)溶劑 等液體媒質(zhì)的清洗系統(tǒng)叫濕式清洗系統(tǒng)， 而把以空氣等氣體作為媒質(zhì)的清洗系統(tǒng)叫干式清洗 系統(tǒng)。濕式清洗系統(tǒng)主要包括清洗、 沖洗、 干燥三個(gè)工藝過(guò)程； 而干式清洗系統(tǒng)不需要干燥工 藝，只包括清洗和沖洗兩個(gè)工藝過(guò)程。濕式清洗 使用液體作媒質(zhì)的清洗叫濕式清洗，它主要包括以下幾種方式。一、噴射清洗 如果用液體媒質(zhì)進(jìn)行潤(rùn)濕的清洗對(duì)象

6、是大型的不易搬動(dòng)的或外型結(jié)構(gòu)決定它不適合浸 泡在液槽中的物體時(shí)， 需要把洗液噴射或用刷子蘸取的方法使清洗對(duì)象表面潤(rùn)濕， 然后進(jìn)行 清洗和沖洗。這類(lèi)濕式清洗一般叫噴射清洗。噴射清洗是利用噴嘴噴出的水或洗液的沖擊力量使污垢解離分散的。 在噴射清洗中要求的清 潔程度越高，消耗的洗液也越多，因此往往要求盡可能使用價(jià)格便宜的清洗液。1、噴射與淋洗的區(qū)別噴射與淋洗兩個(gè)概念有相似的含義， 往往容易混淆。 嚴(yán)格地講兩個(gè)概念是有區(qū)別的。 噴 射指的是使用經(jīng)過(guò)加壓的液流， 而淋洗是利用重力的作用使液體從上而下運(yùn)動(dòng)， 利用下落時(shí) 重力作用進(jìn)行清洗。 噴射有壓力的作用， 對(duì)污垢的沖刷作用較強(qiáng)， 而淋洗使污垢解離分散的

7、 力量相對(duì)較弱。因此在清洗工藝中利用噴射的方法較多，而淋洗往往用作沖洗工藝的手段， 淋洗對(duì)表面上附著的輕微污垢去除效果較好。2、噴射清洗方式的分類(lèi)根據(jù)噴射清洗使用的噴嘴情況分為兩類(lèi)：（1）噴射位置固定的噴射清洗：當(dāng)清洗對(duì)象是多個(gè)小型物體時(shí)，經(jīng)常使用在固定位置的噴 嘴進(jìn)行噴射清洗。 在這種裝置中， 清洗對(duì)象往往通過(guò)輸送帶排成直線(xiàn)并從噴嘴下面通過(guò)， 洗 液通過(guò)噴嘴對(duì)清洗對(duì)象進(jìn)行清洗和沖洗。 為了使被清洗對(duì)象的不同側(cè)面都能受到均勻的噴射 壓力，必要時(shí)可以設(shè)計(jì)成使清洗對(duì)象旋轉(zhuǎn)或噴嘴從不同方向同時(shí)噴射洗液的組合結(jié)構(gòu)。 在清洗密閉的缸體內(nèi)部時(shí)，可利用位置固定的多個(gè)噴嘴呈放射狀對(duì)缸體進(jìn)行噴射。（2）噴嘴位置

8、可任意移動(dòng)的噴射清洗：工廠(chǎng)中各種大型設(shè)備容器壁面和機(jī)器的外型以及橋 梁、飛機(jī)、 火車(chē)外殼等設(shè)備適用可移動(dòng)的噴射裝置進(jìn)行清洗。 這種裝置的特點(diǎn)是可以裝在手 推車(chē)或卡車(chē)上， 方便地任意移動(dòng)，經(jīng)過(guò)泵加壓後的洗液， 通過(guò)輸送水龍管及噴嘴， 由人工控 制可噴射到任意方向。如一臺(tái)由電動(dòng)泵帶動(dòng)的首推式噴射裝置， 1min 可噴射出 10-50dm3 壓 力的洗液。二、浸泡清洗將清洗對(duì)象放在洗液中浸泡， 濕潤(rùn)而洗凈的濕式清洗叫浸泡清洗。 在浸泡清洗工藝系統(tǒng) 中，清洗和沖洗分別在不同洗槽中進(jìn)行，分多次進(jìn)行的浸泡清洗可以得潔凈度很高的表面。 因此，浸泡清洗是以清洗效果好為特點(diǎn)的。這種方法對(duì)數(shù)量多的小型清洗對(duì)象特別

9、合適。 下面對(duì)浸泡清洗要點(diǎn)加以說(shuō)明。1、基本系統(tǒng)類(lèi)型浸泡清洗系統(tǒng)基本上兩種類(lèi)型。（1）清洗槽用溶劑、沖洗槽用清水型：介紹了一種在清洗槽中使用表面活性劑水溶液或有 機(jī)溶劑作洗液，而在后面的沖洗槽中用水作沖洗劑的浸泡清洗系統(tǒng)。沖洗工藝中使用水作沖洗劑， 其優(yōu)點(diǎn)在于價(jià)格便宜和安全性好， 而且能使在清洗槽中未能完 全去除的水溶性污垢得以溶解去除。 因此設(shè)計(jì)系統(tǒng)時(shí)可以將清洗槽的工作重點(diǎn)放在去除油性污垢上。如果在清洗槽中使用的是親油性有機(jī)溶劑作清洗劑， 為了使帶入清洗槽的有機(jī)溶劑能很 好第分散到水中， 在水中可加少量的表面活性劑以幫助有機(jī)溶劑乳化分散。 或者在清洗槽和 沖洗槽之間設(shè)計(jì)加一個(gè)裝有乙醇或異丙醇

10、等親水性溶劑的中間槽。 也可以用一個(gè)淋洗器代替 沖洗槽進(jìn)行沖洗工藝。使用這種浸泡清洗系統(tǒng)應(yīng)注意的問(wèn)題是： 由于沖洗工藝一般使用的是清水， 清水中含有 微量雜質(zhì)，在干燥後留在清洗對(duì)象表面會(huì)使其潔凈度變差。在潔凈度要求特別高的情況下， 災(zāi)情水沖洗之后藥用純水或超純水進(jìn)一步?jīng)_洗。 另外，在用水作沖洗劑時(shí)往往產(chǎn)生大量廢水， 需要經(jīng)過(guò)處理后才能排放。（2）清洗槽、沖洗槽都使用同一種溶劑的系統(tǒng)：圖介紹的是在清洗槽、沖洗槽中使用同一 種溶劑的系統(tǒng)。這是適合使用合成有機(jī)溶劑和石油類(lèi)溶劑去除油性污垢為主要目的清洗系統(tǒng)。 這種系統(tǒng)的特點(diǎn)是管理較容易， 設(shè)備安排較緊湊， 使用的溶劑都采用逆流方式運(yùn)動(dòng)， 使 溶劑的溶

11、劑能力得到充分利用，同時(shí)產(chǎn)生的廢液數(shù)量也較少。這種系統(tǒng)存在的主要問(wèn)題有以下幾點(diǎn)。 雖然在設(shè)計(jì)系統(tǒng)時(shí)已考慮到使用溶解范圍盡可能廣泛的有機(jī)溶劑， 但無(wú)論如何， 清洗對(duì) 象表面的親水性污垢還是較難被完全去除。另外有機(jī)溶劑大多存在毒性大、 安全性差、易燃易爆、受環(huán)境保護(hù)要求限制的問(wèn)題。由 于這些原因，原來(lái)廣泛使用的氯氟烴和三氯乙烯等有機(jī)溶劑，現(xiàn)在已不能繼續(xù)使用了。而使用高沸點(diǎn)的石油類(lèi)溶劑， 雖然閃點(diǎn)升高， 安全性較好， 但又出現(xiàn)干燥較困難的問(wèn)題。 以上介紹的只是兩種最基本的浸泡清洗系統(tǒng)。 實(shí)際情況往往是比較復(fù)雜的， 以下對(duì)系統(tǒng)的組 成情況作進(jìn)一步介紹。2、 浸泡清洗系統(tǒng)的組成 浸泡清洗系統(tǒng)是由清洗工藝

12、、沖洗工藝、干燥工藝三個(gè)部分組成的。（1）清洗工藝：清洗工藝指把污垢從清洗對(duì)象表面解離下來(lái)并分散到媒液中的工藝。因此 這一工藝中使用的媒液， 不僅應(yīng)對(duì)污垢的溶解、 分散能力大， 同時(shí)能使解離下來(lái)的污垢在它 中間穩(wěn)定分散。 當(dāng)清洗液表面存在多種類(lèi)型污垢時(shí)， 清洗工藝應(yīng)分階段進(jìn)行。 在清洗中應(yīng)把 油性污垢的去除當(dāng)作重點(diǎn)， 優(yōu)先去除， 因?yàn)榍逑磳?duì)象表面存在油膜時(shí)， 往往會(huì)妨礙其它類(lèi)型 污垢與洗液的接觸。 當(dāng)某一種污垢數(shù)量較多， 一次清洗不能使之完全溶解去除的時(shí)候， 清洗 操作要重復(fù)進(jìn)行幾次。 當(dāng)清洗工藝完成時(shí)， 應(yīng)保證污垢完全轉(zhuǎn)入媒液中， 在清洗對(duì)象表面應(yīng) 該沒(méi)有污垢殘留存在。如果設(shè)計(jì)清洗工藝時(shí)考慮

13、同時(shí)使用加熱、攪拌、噴射、超聲波、摩擦等物理手段，它們與媒液的溶解力、分散力能相輔相成， 發(fā)揮協(xié)同效應(yīng)，獲得更好的清洗效果。（2 ）清洗工藝：清洗工藝完成之后，清洗對(duì)象表面上附著一層含有污垢的洗液，把這種洗液叫含垢洗液。用清潔的媒液把含垢液從清洗對(duì)象表面置換出來(lái)的過(guò)程而沖洗。沖洗工藝包括用清潔媒液反復(fù)浸泡的方法以及使媒液流動(dòng)的噴射或淋洗方法。由于十分清潔的洗液對(duì)于污垢才有較好的穩(wěn)定分散作用，所以沖洗媒液的用量是比較大的，因此要求使用價(jià)格便宜的溶劑作沖洗液以降低生產(chǎn)成本。對(duì)于包含有干燥工藝的濕式清洗系統(tǒng)，還要求沖洗媒液必須具備易被干燥的特點(diǎn)。由于親水價(jià)格便宜，容易大量獲得，同時(shí)它有能把清洗工藝中

14、難以去除的親水性污垢溶 解、分散的優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛利用在沖洗工藝中。（3）干燥工藝：在沖洗工藝結(jié)束之后，洗凈的對(duì)象表面仍附著一部分媒液，干燥工藝是通 過(guò)氣化的方法使媒液去除，使?jié)袷角逑醋罱K得以完成。干燥工藝對(duì)媒液的要求有：沸點(diǎn)低，氣化熱小，比較容小，易于揮發(fā)去除；表面張力低，易于在物體表面鋪展開(kāi)，因而易于蒸發(fā)；閃點(diǎn)及燃點(diǎn)高，不易燃易爆，安全性好；媒液的毒性小，對(duì)工人健康危害??；對(duì)環(huán)境破壞作用小。表3-1中列有濕式清洗中使用的主要媒液對(duì)干燥工藝要求的適應(yīng)情況。表3-1媒液對(duì)干燥要求的適應(yīng)情況干燥工藝要求鹵代烴合溶劑碳?xì)浠衔锎碱?lèi)溶劑水低沸點(diǎn)溶劑高沸點(diǎn)溶劑沸點(diǎn)低低中低中氣化熱低低低低大比熱容小小小

15、小大表面張力低低低低高安全性好差較差差好毒性大較小小較小小對(duì)環(huán)境影響大較小較小較小小為了使干燥順利進(jìn)行，通常把洗凈後的物體在高溫干燥環(huán)境中放置一段時(shí)間使干燥自然進(jìn)行。 例如， 在家庭中洗滌的衣物放在太陽(yáng)光下進(jìn)行干燥。 在工業(yè)清洗中為了提高干燥率往 往通入溫和的干燥熱風(fēng)進(jìn)行干燥。 干燥的速度主要由送入的空氣溫、 濕度、 風(fēng)速以及清洗對(duì) 象表面溫度等條件決定。對(duì)閃點(diǎn)低安全性差的媒液，使用的通風(fēng)空氣溫度有一定限制。 清洗對(duì)象表面溫度越高干燥效率越高。 對(duì)熱傳導(dǎo)效率比較低的清洗對(duì)象， 沖洗工藝中溫 度保持較高對(duì)后面的干燥工藝是有利的。 用蒸汽洗凈方式清洗時(shí)由于溫度較高對(duì)后面的干燥 工藝是有利的。提高風(fēng)

16、速有利于媒液從清洗對(duì)象表面擴(kuò)散和氣化蒸發(fā)。 為了使清洗對(duì)象各個(gè)表面都受到 均勻的風(fēng)力作用， 應(yīng)該排列好清洗物之間的位置間隔。 用氣刀狀的強(qiáng)風(fēng)速進(jìn)行干燥， 容易獲 得良好的效果。對(duì)高沸點(diǎn)的媒液或殘存在清洗物體表面狹窄縫隙中的媒液進(jìn)行干燥時(shí)， 使用真空干燥的 方法效果較好。 另外， 由于媒液氣化時(shí)吸熱會(huì)使清洗對(duì)象表面的溫度下降不利于蒸發(fā)，因此在干燥之前盡可能提高清洗對(duì)象的溫度。3、濕式清洗系統(tǒng)存在的問(wèn)題在濕式清洗系統(tǒng)中， 由于清洗對(duì)象表面上的污垢 （稱(chēng)為一次污染） 有一部分未洗凈而殘 留下來(lái)，而且在清洗過(guò)程中不可避免發(fā)生新的污染（稱(chēng)為二次污染） ，結(jié)果達(dá)不到所期望的 洗凈效果。 同樣， 應(yīng)對(duì)在清洗

17、工藝中出現(xiàn)逆污染以及在干燥工藝中出現(xiàn)的水斑等這些問(wèn)題的 原因進(jìn)行分析，并提出解決辦法。（1）在清洗工藝中可能出現(xiàn)的問(wèn)題 一次污染的殘留：如果溶劑使用不當(dāng)就會(huì)使某些污垢不能被很好地溶解、分散而殘留在 清洗對(duì)象表面。因此要采用一定措施盡量減少這種殘留的污垢，一方面可以增加清洗次 數(shù)，也可以用溶解能力更強(qiáng)的溶劑。如果是利用親油性溶劑作媒液使清洗工藝中殘留有 親水性污垢時(shí)，可以用水作溶劑在沖洗工藝中將它們?nèi)コ?二次污染的形成：當(dāng)清洗工藝中使用表面活性劑水溶液或堿水溶液作媒液時(shí)，它們會(huì)在 清洗對(duì)象表面吸附并殘留而造成二次污染。這些污染物通過(guò)適當(dāng)?shù)臎_洗是可以去除的。 另外，在清洗工藝中使用酸或堿的水溶液

18、作媒液時(shí)，有時(shí)它們會(huì)與物體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生 成不希望的變質(zhì)層也會(huì)造成二次污染。（2）沖洗工藝中可能出現(xiàn)的問(wèn)題：沖洗工藝中可能出現(xiàn)已溶解分散的污垢造成逆污染的問(wèn) 題。在清洗工藝中已被溶解分散的污垢， 在沖洗工藝中又吸附到清洗對(duì)象表面， 把這種情況 稱(chēng)為逆污染。 例如已被表面活性劑水溶液乳化分散的油性污垢的一部分， 在被帶入到?jīng)_洗槽 中時(shí)，由于沖洗水極大地降低了表面活性劑溶液的濃度， 使表面活性劑失去對(duì)污垢的穩(wěn)定分 散能力，結(jié)果一部分不穩(wěn)定狀態(tài)的污垢不可避免地又吸附到清洗對(duì)象表面而造成逆污染。 顯示在沖洗槽中已被表面活性劑乳化的油滴變得不穩(wěn)定的示意圖。這種現(xiàn)象在洗液被污垢飽和的情況下容易發(fā)生， 因此

19、希望被帶入沖洗槽的洗液， 仍保存 著一定程度的洗凈能力。 介紹的這種兩槽式清洗工藝中， 因?yàn)橄匆喝杂懈挥嗟那逑茨芰Γ?從 第二槽中逆流送入第一清洗槽中時(shí)， 使得洗液德清洗能力得到更充分的發(fā)揮。 使用這種逆流 運(yùn)動(dòng)方式不僅使洗液的利用更合理，也使進(jìn)入沖洗槽時(shí)污垢出現(xiàn)逆污染的可能性大大減少。 使用的沖洗槽越多，逆污染的情況越易避免。因此出現(xiàn)了多槽進(jìn)行沖洗的情況。含有污垢的洗液粘附著在清洗對(duì)象表面被帶入到?jīng)_洗槽中，在干凈的溶劑多次使用下， 洗液被不斷稀釋?zhuān)?而污垢逐步被分散轉(zhuǎn)移到?jīng)_洗槽內(nèi)， 最終清洗對(duì)象表面的污垢被完全沖洗 干凈。這種過(guò)程叫做多次沖洗。那么是否進(jìn)行沖洗的系數(shù)多多益善呢？根據(jù)稀釋理論可

20、知， 即使用無(wú)限多次的沖洗要完 全把污垢稀釋去除也是十分困難的。 因此存在一個(gè)多次沖洗工藝的效率問(wèn)題， 即如何利用一 定量的洗液通過(guò)有限次的沖洗達(dá)到較好的洗凈效果 （一定潔凈度的） 問(wèn)題。 下面簡(jiǎn)單加以說(shuō) 明。當(dāng)各個(gè)沖洗槽的媒液容量為一定值X,而附著在清洗對(duì)象表面被帶入沖洗槽的含污垢的媒液量為y時(shí)，經(jīng)過(guò)一次沖洗之后，在清洗對(duì)象表面殘留的污垢量（s）可用下式表示：s=最初存在的污垢量x y/x經(jīng)過(guò)n個(gè)沖洗槽，反復(fù)沖洗之后，殘留的污垢量（Sn）可用下式表示：Sn =最初存在的污垢量X （y/x） xy/ （ x+y） n-1最初存在的污垢量 x （y/x） n當(dāng)y與x相比小得多時(shí)，可作這種近 似處

21、理。按上式，要使殘留污垢量（Sn）變得很小，可采用的方法有三種： 增大 x 值,即擴(kuò)大沖洗槽容量。但這要擴(kuò)大設(shè)備,增加成本,加大洗液用量,增加人工 勞動(dòng)力消耗。因此,這種方法實(shí)際不可行。 增大n,即增加沖洗槽個(gè)數(shù)。這也將增加設(shè)備成本，增加工人勞動(dòng)量不是好辦法。 減少y,即減少被清洗對(duì)象帶入沖洗槽的含垢溶劑量。這是最簡(jiǎn)單易行，而又是很經(jīng)濟(jì) 地提高清洗效率的好辦法。根據(jù)計(jì)算可知,當(dāng)清洗對(duì)象表面帶出的含垢劑量減少到原來(lái)的1/2 時(shí),經(jīng)過(guò)兩次沖洗,可使?jié)崈舳忍岣叩皆瓉?lái)的 4 倍。要使清洗對(duì)象表面帶出的含垢劑量減少，可以采用以下方法： 用甩動(dòng)或振動(dòng)的方法使附著的含垢劑量減少；用風(fēng)動(dòng)蒸汽使附著含垢溶劑被吹

22、飛； 用離心力使含垢劑量被旋轉(zhuǎn)甩出； 提高溫度，使含垢溶劑粘度下降而易于脫離清洗對(duì)象。 為了提高多次進(jìn)行的沖洗工藝的效率，可采用媒液的逆流式供給的方式。 此時(shí)新加入的沖洗媒液是從最后一個(gè)沖洗槽進(jìn)入體系的， 含有污垢的沖洗液由後順序向前一 個(gè)沖洗槽逆流式流動(dòng)， 并從最前端一個(gè)沖洗槽排出含有較多污垢的沖洗廢液。 采用這種方式 經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)墓芾恚?使沖洗媒液的清洗能力得到最大限度的利用， 而媒液的消耗量也大幅度減 少。同時(shí)最后一個(gè)沖洗槽的媒液始終保持恒定的較高潔凈度， 這樣就保證清洗對(duì)象得到良好 的沖洗。以水作為沖洗媒液時(shí)，其管理措施包括控制溶液的 ph 值和電阻率等來(lái)控制清潔度。（3）干燥供一種可能

23、出現(xiàn)的問(wèn)題：水是價(jià)格便宜，而且溶解力強(qiáng)、分散能力大的液體，因 此水經(jīng)常被用作沖洗媒液。但水作用沖洗媒液在干燥中會(huì)出現(xiàn)一些問(wèn)題。由于水的沸點(diǎn)為 100，且有很大的氣化熱，因此在干燥脫水時(shí)要耗費(fèi)較多的能量和較長(zhǎng)的干燥時(shí)間，這是它 的不足之處。一般沖洗用的水是清水， 其中溶解有一些雜質(zhì)， 而且水有很高的表面張力。 當(dāng)水在清洗 對(duì)象表面均勻蒸發(fā)時(shí)， 隨著干燥的進(jìn)行逐漸形成圓球狀的水滴并逐漸縮小半徑， 當(dāng)最后水滴 完全蒸發(fā)後就會(huì)在清洗對(duì)象表面上留下環(huán)狀的水斑殘跡。 水斑是由清水中溶解的雜質(zhì)在水滴 最后濃縮過(guò)程中殘留下來(lái)的。在工業(yè)精密清洗中， 很多情況下不希望有水斑生成， 因此要求用潔凈度高的純水或超純

24、水作沖洗過(guò)程最后階段的用水。 但是即使超純水也含有極微量的雜質(zhì)， 還會(huì)有生成水斑的可 能。這在精密電子工業(yè)元件的清洗中會(huì)造成問(wèn)題。為解決水斑形成的問(wèn)題可采用前面提高的風(fēng)扇-刮刀狀風(fēng)壓并用的方法進(jìn)行干燥或采用離心力使表面附著的水被甩掉的方法。當(dāng)清洗對(duì)象是半導(dǎo)體硅片等平板狀物體時(shí)， 可沿著與水平面垂直方向把浸在水中的物體 慢慢拉上來(lái)離開(kāi)水面， 并同時(shí)用熱風(fēng)進(jìn)行干燥的方法。 這種上拉干燥法可防止水滴在表面凝 聚，防止水斑生成很有效。除了上述在濕式清洗系統(tǒng)在清洗、 沖洗及干燥三個(gè)工序中可能出現(xiàn)的問(wèn)題外， 在清洗系 統(tǒng)中所使用的機(jī)器也有造成污染的可能，應(yīng)引起重視。4） 洗系統(tǒng)對(duì)機(jī)器的要求：清洗系統(tǒng)中使用

25、的機(jī)器應(yīng)符合以下要求： 機(jī)器的材料要求對(duì)媒液有非常好的穩(wěn)定性， 不會(huì)被媒液侵蝕。 通常認(rèn)為不銹鋼適合作清洗 系統(tǒng)的機(jī)器材料。 但在精密清洗領(lǐng)域中， 它也存在能溶解出微量金屬離子造成二次污染的問(wèn) 題，因此在這種情況下不能使用不銹鋼而使用塑料。為防止產(chǎn)生的微量污染離子使制品的潔凈度受到影響， 盛裝受清洗部件的容器不用金屬 材料的，而藥用不會(huì)與溶劑發(fā)生溶解作用的塑料（如氟塑料） 制成。另外清洗槽內(nèi)部及附屬 部件都應(yīng)經(jīng)常保持清潔是十分必要的。用于裝運(yùn)小型清洗對(duì)象進(jìn)出洗液的托盤(pán)的構(gòu)造也應(yīng)十分注意。 從清洗槽中夾帶出來(lái)的含垢 溶劑量是與清洗對(duì)象和托盤(pán)的表面積總和成正比關(guān)系的。 托盤(pán)多余部分表面積越大造成沖洗 工藝中不必要的負(fù)荷也越多。 另外， 裝在托盤(pán)內(nèi)的清洗對(duì)象的排列方式是否適當(dāng)對(duì)清洗效率 也有很大影響。4、媒液的相轉(zhuǎn)換在多次浸泡清洗工藝中如果使用不同性質(zhì)的媒液時(shí)， 存在隨媒液種類(lèi)的變化而發(fā)生相轉(zhuǎn) 換問(wèn)題。相轉(zhuǎn)換的方式主要有以下幾種：（1） 親油性溶劑相轉(zhuǎn)變成水相親油性溶劑相T（親水性溶劑）7水相親油性溶劑相T（表面活性劑水溶液）7水相乳化性溶劑相7水相（2）水相轉(zhuǎn)換成親油性溶劑相水相7（親水性溶劑）7親油性溶劑相 水相（親油性溶劑恒沸混合物）7親油性溶劑相 下面分別對(duì)上述相轉(zhuǎn)換進(jìn)行方式加以解釋。