電池片生產(chǎn)各工序質(zhì)量控制

1、電池片生產(chǎn)各工序質(zhì)量控制目錄7.7.分分選測試選測試5.PECVD1.1.一次清洗一次清洗4.4.二次清洗二次清洗6.2 6.2 燒結(jié)燒結(jié)6.1 6.1 印刷印刷電電極極3.3.周周邊邊刻刻蝕蝕8.8.檢驗(yàn)檢驗(yàn)入入庫庫2.2.擴(kuò)擴(kuò)散散1.一次清洗1.自檢要求1.1外觀檢驗(yàn) 要求甩干后的硅片顏色均勻，和樣品色差不大。表面沒有水痕，沒有明顯的斑點(diǎn)。1.2硅片重量檢查 一次清洗后硅片重量減輕25g2.不合格片處理 不符合1.標(biāo)準(zhǔn)的硅片視為不合格片。按照以下方式處理： 2.1硅片顏色不均勻，或者均勻但與樣品差據(jù)較大，或者有較多斑點(diǎn)的，需要整批返工制絨。 2.2硅片表面僅是有水痕的，整批重新清洗。（不需

2、要制絨）3.異常處理3.1設(shè)備異常凡出現(xiàn)不符合工藝文件的要求的情況，立刻停止生產(chǎn)，報(bào)告設(shè)備工程師。3.2工藝異常連續(xù)兩批出現(xiàn)顏色不均勻，或者均勻但與樣品差據(jù)較大，或者有較多斑點(diǎn)的情況，停止生產(chǎn)，報(bào)告工藝工程師。4.外觀缺陷1.一次清洗4.外觀缺陷1.一次清洗一次清洗后水痕4.外觀缺陷1.一次清洗花籃印水痕2.擴(kuò)散1.1.自檢要求自檢要求1.1外觀要求：A.擴(kuò)散前檢查：確保硅片已徹底甩干，絨面良好沒有色斑和雨點(diǎn)，沒有 碎片和隱裂片，硅片數(shù)目與流程卡一致。如存在此類問題，返還上一道工序進(jìn)行處理。B.擴(kuò)散后檢查：確保硅片偏磷酸污染，裂紋，崩邊，V型缺口。如出現(xiàn)此類問題，由本工序組長決定是否返工。批量

3、出現(xiàn)時(shí)立即聯(lián)系技術(shù)部值班工程師，值班工程師給予解決。1.2方塊電阻要求：1.2.1不均勻度=（Rmax - Rmin）/( Rmax + Rmin）100%,且同一爐硅片方塊電阻不均勻度10%，同一硅片方塊電阻不均勻度5%。如有異常，則聯(lián)系值班工程師進(jìn)行處理。1.2.2根據(jù)硅片來料電阻率控制方塊電阻值的范圍,具體如下表：2.擴(kuò)散電阻率范圍工藝參數(shù)號R控制范圍0.51#44-50/0.512#40-45/133#38-42/365#34-38/69#30-33/3少子壽命要求：3.1擴(kuò)散前抽測：每盒抽測一片，確保少子壽命大于2us，否則返還上道工序 進(jìn)行酸洗。3.2擴(kuò)散后抽測：每批次抽測五片，確

4、保少子壽命大于4 us，否則報(bào)告值班工程師進(jìn)行處理。3.刻蝕1.自檢1.1導(dǎo)電類型檢測：將夾具左右兩側(cè)螺絲平衡擰開后，按上中下的順序從硅片疊中各取兩片共六片用導(dǎo)電類型檢測儀對刻蝕后硅片的周邊一圈導(dǎo)電類型進(jìn)行檢測，測試時(shí)冷熱筆測試端必須緊緊靠在硅片邊緣上，看主機(jī)面板上直接顯示的測試結(jié)果“P/N”，顯示“P”為合格，否則不合格。1.2刻蝕后外觀檢查：對硅片擴(kuò)散面活性面積被刻蝕掉的情況進(jìn)行目視檢查，白色痕寬度正常為0.5mm、灰白色痕寬度2mm，要不然，即刻蝕過多，則認(rèn)為異常3.刻蝕2.異常處理2.1導(dǎo)電類型異常：檢測時(shí)只要發(fā)現(xiàn)任一硅片周邊任何一處的導(dǎo)電類型不合格，即沒有刻蝕完全，則應(yīng)對整個(gè)這一批次

5、的硅片進(jìn)行返工處理，返工處理的輝光時(shí)間縮短為5min，待返工刻蝕合格后再流入后面的工序。2.2外觀異常：對刻蝕后硅片外觀進(jìn)行目視檢測，如果發(fā)現(xiàn)硅片擴(kuò)散面的有效面積被刻蝕掉過多，雖該批次硅片仍舊可以流入后續(xù)工序，但必須報(bào)告。4.二次清洗1.自檢要求外觀檢驗(yàn)：要求硅片清洗后表面脫水，即表面沒有水膜，只有少數(shù)水滴；甩干后硅片表面沒有水痕。2.不合格片處理達(dá)不到6.1指標(biāo)的片視為不合格片。有不合格片出現(xiàn)的，整批硅片重新清洗。3.異常處理3.1設(shè)備異常凡出現(xiàn)不符合4.24.5的情況，立刻停止生產(chǎn)，報(bào)告值班班長。3.2工藝異常連續(xù)兩批出現(xiàn)不合格片，停止生產(chǎn)，報(bào)告。4.二次清洗4.不良缺陷圖片二洗白點(diǎn)（恩地

6、清洗液痕跡）二洗水紋（HF臟）5. PECVD1.自檢 操作人員在卸片過程中，應(yīng)同時(shí)參考硅片樣本的顏色對硅片進(jìn)行外觀自檢。 自檢要求如下所示：1.1顏色檢驗(yàn)：每石墨框隨機(jī)目視檢查2-4片，要求硅片顏色為深藍(lán)色，沒有出現(xiàn)明顯的色斑、水斑、不均勻、色差。1.2破片檢驗(yàn)： 要求硅片沒有裂片、沒有明顯裂紋、崩邊、缺角。1.3橢偏儀測量：每隔1小時(shí)，在石墨框的左、中、右各取1片硅片測試厚度和折射率；要求單晶硅片厚度為（75-78）3nm，折射率2.10.1；多晶硅片厚度824nm，折射率2.10.1。1.4鍍膜厚度控制辦法若厚度小于75nm，降低帶速（1-3cm/min）；若厚度大于78nm，則提高帶速

7、（1-3cm/min），使鍍膜厚度控制在（75-78）3nm。每次修改帶速后，必須抽測膜厚。2返工標(biāo)準(zhǔn)：規(guī)定以下的情況必須返工：2.1厚度大于85nm或者小于65nm；2.2折射率大于2.25或者小于1.95；2.3過程出現(xiàn)故障，導(dǎo)致硅片上吸附很多碎屑；2.4過程出現(xiàn)故障，導(dǎo)致硅片鍍膜嚴(yán)重不均勻。5. PECVD5. PECVD3.不良缺陷圖片6. 印刷燒結(jié)1.自檢 操作人員在生產(chǎn)過程中，應(yīng)同時(shí)參考CSG-SL125太陽電池標(biāo)準(zhǔn)定時(shí)對硅片進(jìn)行外觀自檢。自檢要求如下所示：1.1硅片外觀檢測 要求硅片印刷圖形完整，清晰；無印刷缺陷，漏漿，柵線斷線，表面玷污。1.2網(wǎng)板檢測 檢測網(wǎng)板張力是否足夠，是

8、否存在破損。1.3膠條檢測 檢測印刷膠條是否有破損、變形。2.不合格處理2.1不合格品放置于單獨(dú)的承載盒里，不允許流入下一工序。2.2不合格的網(wǎng)板和膠條要立即更換。3.異常處理3.1設(shè)備出現(xiàn)故障信號（紅燈顯示），組長應(yīng)立即報(bào)告班長。3.2工藝出現(xiàn)異常，如破片率高、連續(xù)印刷質(zhì)量問題，組長立即通知班長和工藝工程師。3.3后續(xù)工序異常,燒結(jié)爐、測試分選儀出現(xiàn)工藝異?；蛟O(shè)備故障，絲網(wǎng)印刷機(jī)需緊急停止印刷，待工藝、設(shè)備人員確認(rèn)后續(xù)工序恢復(fù)正常后，后方可繼續(xù)印刷。 6. 印刷燒結(jié)6. 印刷燒結(jié)4.不良缺陷圖片印刷漏漿6. 印刷燒結(jié)4.不良缺陷圖片背電極缺失正面電極偏移7.分選1.電性能分選 自動(dòng)分選儀自動(dòng)

9、分選，共16個(gè)檔位。2.電池片分選儀每日轉(zhuǎn)班時(shí)質(zhì)檢員用二級標(biāo)定片標(biāo)定一次。3.外觀分選：根據(jù)CSG-SL125太陽電池標(biāo)準(zhǔn)將電池片分類A、B、NG三類。破片和隱裂片，崩邊、缺角片單獨(dú)放置。1.包裝 外觀分類完畢的電池片，相同檔次，相同外觀等級的電池片每50片為一包，按照包裝要求用熱收縮包裝機(jī)包裝。2. 標(biāo)貼打印和張貼 對每一包電池片做標(biāo)簽打??；注明分類檔次，外觀等級，操作班次，操作人員。將打印出的標(biāo)簽貼在電池片的包裝上 ，標(biāo)貼上的產(chǎn)品信息和吸塑之前的標(biāo)貼一致。3.外箱封裝和標(biāo)貼 同種功率的電池片每滿1000片/20包即可封裝入庫，外箱標(biāo)貼上的電池片效率信息和內(nèi)標(biāo)貼一致。4.入庫8.入庫 產(chǎn)品優(yōu)

10、點(diǎn)能100%有效控制電池組件熱斑效應(yīng)，提供長期高效穩(wěn)定的電性能輸出在低照度情況下電性能表現(xiàn)良好，使組件輸出功率最大化通過精確的電性能效率分選( 0.2 % 絕對值)，使組件封裝功率損失最小使用最好的原材料，并通過嚴(yán)格的質(zhì)量控制，使電池組件具有長期優(yōu)秀的電性能表現(xiàn)使用3根正面主電極設(shè)計(jì)，降低了組件碎片并提高了組件性能 電池片正面為酸腐蝕表面，藍(lán)色的減反射膜確保了對太陽光更好的吸收，提高了電池轉(zhuǎn)換效率。3根主柵電極的設(shè)計(jì)降低了串聯(lián)電阻，提高電池片在組件端的表現(xiàn)。技術(shù)參數(shù)電池類型多晶硅電池片尺寸156mm 156 mm ( 0.5 mm)每片電池片輸出功率 最大可達(dá)到4.34Wp轉(zhuǎn)換效率最大可達(dá)到1

11、7.8%電池平均厚度(Si)180m ( 20 m),200m( 20 m)正面 (-) 3根1.5 mm寬的主電極 (銀),酸腐蝕表面，藍(lán)色的減反射膜（氮化硅）背面 (+) 3根 2.5 mm 寬的背電極(銀/鋁),平坦的鋁背場接觸156多晶電池片 產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)能100%有效控制電池組件熱斑效應(yīng)，提供長期高效穩(wěn)定的電性能輸出在低照度情況下電性能表現(xiàn)良好，使組件輸出功率最大化通過精確的電性能效率分選( 0.2 % 絕對值)，使組件封裝功率損失最小使用最好的原材料，并通過嚴(yán)格的質(zhì)量控制，使電池組件具有長期優(yōu)秀的電性能表現(xiàn)使用3根正面主電極設(shè)計(jì)，降低了組件碎片并提高了組件性能 電池片正面為堿腐蝕金字塔

12、表面，藍(lán)色的減反射膜確保了對太陽光更好的吸收，提高了電池轉(zhuǎn)換效率。技術(shù)參數(shù)電池類型單晶硅電池片尺寸156mm 156 mm ( 0.5 mm)每片電池片輸出功率 最大可達(dá)到4.54 Wp轉(zhuǎn)換效率最大可達(dá)到19.0 %電池平均厚度(Si)180m ( 20 m),200m( 20 m)正面 (-) 3根1.5 mm寬的主電極 (銀),堿腐蝕表面，藍(lán)色的減反射膜（氮化硅）背面 (+) 3根 2.5 mm 寬的背電極(銀/鋁),平坦的鋁背場接觸156單晶電池片 產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)能100%有效控制電池組件熱斑效應(yīng)，提供長期高效穩(wěn)定的電性能輸出在低照度情況下電性能表現(xiàn)良好，使組件輸出功率最大化通過精確的電性能效率分選( 0.2 % 絕對值)，使組件封裝功率損失最小使用最好的原材料，并通過嚴(yán)格的質(zhì)量控制，使電池組件具有長期優(yōu)秀的電性能表現(xiàn)使用2根正面主電極設(shè)計(jì)，降低了組件碎片并提高了組件性能電池片正面為堿腐蝕金字塔表面，藍(lán)色的減反射膜確保了對太陽光更好的吸收，提高了電池轉(zhuǎn)換效率。