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文檔簡介
1、常用真空單位換算表帕Pa托Torr微米汞柱 umHg亳巴mbar大氣壓 atm工程大氣壓 am1 Pa17.5XI o57.51O:9. 86923 xio1. 0197 xio51 Torr133.3211051. 33321. 31579 xio1. 3595 xio1 u mHg0. 13332io311. 3332 xio1.31579 xio41. 3595 xio&1 mbar1027.5XI o17.5 xio:19. 86923X10M1. 0197X1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760毫米汞柱=76厘米汞柱=1.013x10A5帕斯卡=10.336米水柱公斤不是單位,一般我們通常說的,事實上
2、是一種非標(biāo)準(zhǔn)單位,名稱叫:公斤力/平方厘米Kgf/cmA2 1 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=0.1MPa兆帕=101KPa=千帕左右=lbarE=760mmHg(亳米汞柱)=14.696磅/英寸2(ps訴1匚程大氣HilKgf/cmA2千克力/平方厘米千克:是質(zhì)量單位,千克力:是作用在單位體積上一千克的力一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓一般約等于101千帕即0.1兆帕,約等于一工程大氣壓約等于一千克力每平方厘米工程大氣壓是比標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小一點的1物理大氣壓=1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(atm)為什么會多一個工程大氣壓我也不清楚但是工程大氣壓通常按千克力等,用一種質(zhì)量作用力對單位面積獲得的壓強.而標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(atm)那么為標(biāo)準(zhǔn)的大氣壓強,比工程
3、大氣壓精確,但他們是約等于的.沒必要那么精確,除非你是在某些特定領(lǐng)域使用飽和水蒸汽的壓力與溫度的關(guān)系(摘自范仲元:水和水蒸氣熱力性質(zhì)圖表p4.0 )溫度c22242628303234363840水蒸氣壓力MPa0. 002640. 002980. 003360. 003780. 004240. 004750. 005320. 005940. 006620. 00738相應(yīng)真空度MPa0. 098690. 098350. 097970. 097550. 097090.096580. 096010. 095390. 094710. 09395溫度c42444648505254565860水蒸氣壓力
4、MPa0. 008200. 009100. 010090. 011160. 012340.013610. 015000. 016510.018150.01992相應(yīng)真空度MPa0. 093130. 092230. 091240. 090170. 088990. 087720. 086330. 084820. 083180. 08141溫度c62646668707274767880水蒸氣壓力MPa0. 021840. 023910. 026150. 028560. 031160.033960. 036960. 040190. 043650. 04736相應(yīng)真空度MPa0. 079490. 077
5、42J0. 075180. 072770. 070170.067370. 064370. 061140. 057680. 05397溫度c828486889092949698100水蒸氣壓力MPa0. 051330. 055570. 060110. 064950. 070110.075610. 081460. 087690. 094300.10133相應(yīng)真空度MPa0. 050000. 045760. 041220. 036380. 031220.025720. 019870. 013640. 007030溫度C102104106108110112114116118120水蒸氣壓力MPa0.
6、10878 10. 116680. 125040. 133900. 143270. 153160. 163620. 174650. 186280. 19854溫度C122124126128130132134136138140水蒸氣壓力MPa0.211450. 225040. 239330. 254350. 270130.278310.304070. 322290. 341380. 36138真史計算希用公式1、玻義爾定律體女V,壓殘P, PV=$Jt 一丈質(zhì)營的乞體,古成及不丈時,七體的壓孩與七體的體女成反比.即 P1/P2=V2/V.2、蓋呂薩克定律當(dāng)壓強P不變時,一定質(zhì)量的氣體,其體積V與
7、絕對溫度T成正比:V1/V2=T1/T2=常數(shù)當(dāng)壓強不變時,一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高或P降低C,那么它的體積比原來增加或縮小1/273.3、查理定律當(dāng)氣體的體積V保持不變,一定質(zhì)量的氣體,壓強P與其他絕對溫度T成正比,即:P1/P2=T1/T2在一定的體積下,一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高或降低i-c,它的壓強比原來增加或減 少1/273.4、平均自由程:人= 5X10-3/P cm5、抽速:S=dv/dt 升/秒或 S=Q/PQ=流量托升/秒P=壓強托V=體積升t=時間秒6、通導(dǎo):C=Q/P2-P1升/秒7、真空抽氣時間:對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式:t=8V/S 經(jīng)驗公式V為體積,S為抽
8、氣速率,通常t在510分鐘內(nèi)選擇.8、維持泵選擇:S維=$前/109、擴散泵抽速估算:S=3D2 D=直徑 cm10、羅茨泵的前級抽速:S=0. To. 2S 羅1/s11、漏率:Q 漏=VP2-Pl/t2-tlQ漏一系統(tǒng)漏率mmHg1/sV系統(tǒng)容積1Pl一真空泵停止時系統(tǒng)中壓強mmHgP2真空室經(jīng)過時間t后到達的壓強mmHgt一壓強從P1升到P2經(jīng)過的時間s12、粗抽泵的抽速選擇:S=Q1/P 預(yù)1/sS=2. 3V - 1g Pa/P 預(yù)/tS機械泵有效抽速Q(mào)1-真空系統(tǒng)漏氣率托-升/秒P預(yù)一需要到達的預(yù)真空度托V-真空系統(tǒng)容積升t到達P預(yù)時所需要的時間Pa大氣壓值托13、前級泵抽速選擇:
9、排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泉如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時需要 前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截面流量恒等的 原那么有:PnSgNPgS 或 SgNPgs/PnSg前級泵的有效抽速1/s Pn主泵臨界前級壓強最大排氣壓強1/sPg真空室最高工作壓強托S主泵工作時在Pg時的有效抽速.1/s14、擴散泵抽速計算公式:S=Q/P=(Kn)/(Pt)(升/秒)式中:S被試泵的抽氣速率1/sn-滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)格t一油柱上升n格所需要的時間秒P-在泵口附近測得的壓強托K一滴管系數(shù)托-升/秒K=VO L/nTO/Tm+
10、PaAVt其中VO-滴管和真空膠管的原始容積升L-滴管刻度局部的長度mmn滴管刻度局部的格數(shù)格T 0一油的比重克/厘米3T m汞的比重克/厘米3Pa-當(dāng)?shù)卮髿鈮簭娡蠥Vt-滴管的刻度上的一格的對應(yīng)的容積升/格15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式:S= n ZnLKvD2-d2/24X104 1/s式中:Z為旋片數(shù),n為轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)/分,L為泵腔長度,D為泵腔直徑,d為轉(zhuǎn)子直徑cm, Kv為容積利用系 數(shù)一般取95%16、.型橡膠槽深B=0.7DD為橡膠直徑,槽寬C=1.6B17、方形橡膠槽深B=0. 8AA為方形椽膠邊長,槽寬C=1.6布選用真空泵時,需要注意以下事項:1、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空
11、設(shè)備的極限真空及工作壓強要求.如:真空鍍膜要求1X lOmmHg的真空度, 選用的真空泵的真空度至少要5X10-6mmHgo通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到個數(shù)雖級.2、正確地選擇真空泵的工作點.每種泵都有-定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-10%皿地,在這樣寬壓強范 圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5X10-5X10%nHg.因而,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi), 而不能讓它在102nunHg下長期工作.又如鈦升華泵可以在lOnunHg下工作,但其工作壓強應(yīng)小于IX lO-mmHg為好.3、真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體星.4、
12、正確地組合真空泵.由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起 來,互相補充才能滿足抽氣要求.如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氮,而三極型濺射離r泵,或二極型非對稱 陰極濺射離子泵對筑有定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度.另外,有的真空泵不能在大氣 壓下工作,需要預(yù)真空:有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泉組合起來使用.5、真空設(shè)備對油污染的要求.假設(shè)設(shè)備嚴格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分r篩吸附泵、濺射離 r泵、低溫泵等.如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上些防油污染舉措,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能到
13、達清潔真空要求.6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等.選擇真空泵時,需要知道氣體成 分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泉.如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè) 備,如冷凝器、除塵器等.7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何.如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響.假設(shè)工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動9、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用.水環(huán)式真空泵的選擇、泵類型確實定泵的類型主要由工作所需的氣星、真空度或排氣壓力而定.泵工作時,需要注意以下兩個方面
14、:盡可能要求在高效區(qū)內(nèi),也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行.應(yīng)防止在最大真空度或最大排氣壓力附近運行.在此區(qū)域內(nèi)運行,不僅效率極低,而且工作很不穩(wěn)定,易產(chǎn)生振動和 噪音.對于真空度較高的真空泵而言,在此區(qū)域之內(nèi)運行,往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi) 有噪音和振動.汽蝕會導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作.根據(jù)以上原那么,當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優(yōu)先在單級泵中選取.如果真空度或排氣壓力較高,單級泵 往往不能滿足,或者,荽求泵在較高真空度情況下仍有較大氣星,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵. 如果其空度要求在一710mmHg以上,可選
15、用水環(huán)一大氣泵或水環(huán)一羅茨真空機組作為抽真空裝置.如果只作真空泵用,那么選用單作用泵比擬好.由于單作用泵的構(gòu)造簡單,容易制造和維護,且在高真空情況下抗汽蝕 性好.如果僅作較大氣星的壓縮機使用,那么選用雙作用的泉比擬適宜.由于雙作用泵的氣量大,體積小,重量輕,徑向力能得到 自動平衡,軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂,泵的使用壽命較長.二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵初步選定了泵的類型之后,對于真空泵,還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣筮來選用泵的型號.關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照我公司網(wǎng)頁.面對各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機,我們特將其各自特點收集如下,以利于用戶選型主荽特點極限真空度工作真空度nunHg抽速
16、范圍m3/min密封形式mmHgsk國內(nèi)設(shè)計單級水環(huán)真空泵,結(jié)構(gòu)簡單、維修方便.目前國內(nèi)主 流的低真空水環(huán)式真空泵.-700-300-6500. 15120盤根、 機械密封2sk國內(nèi)設(shè)計雙級水環(huán)真空泵,相當(dāng)于兩臺SK水環(huán)泵串聯(lián)使用, 比擬單級水環(huán)泵具有真空度高及高真空下抽速較大的特點.目 前國內(nèi)主流水環(huán)式真空泵.-735-300、-7001. 530盤根、 機械密封2BV采用西門先進技術(shù),機泵同軸,結(jié)構(gòu)緊湊,效率高,真空度 高,性能穩(wěn)定,將逐漸替代SK、2SK系列0. 46m7min抽速的 水環(huán)真空泵.-735-300、-7000. 458. 33機械密封2BE1采用西門先進技術(shù),效率高,真空度高,性能穩(wěn)定,將逐漸 替代SK、2SK系列6120m7min抽速的水環(huán)真空泵.-735-640-300、-700-300-6005400盤根、 機械密封SZ50年代蘇聯(lián)技術(shù),效率低,能耗大
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