氣體安全與施工簡報

1、生命安全系統(tǒng)1、特種氣體探測系統(tǒng)2、特種氣體管理系統(tǒng)3、安全設施4、特種氣體報警的聯(lián)動控制特種氣體探測系統(tǒng) 一、儲存、輸送、使用特種氣體的下列區(qū)域或場所應設置特種氣體探測裝置：1 自燃性、可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性氣體的使用場所、技術(shù)夾層等可能發(fā)生氣體泄漏處；2 自燃性、可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性氣體設備間；3 自燃性、可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風管口處；4 生產(chǎn)工藝設備的可燃性、自燃性、毒性、腐蝕性、氧化性氣體接入閥門箱及排風管內(nèi)；5 生產(chǎn)工藝設備的特種氣體的廢氣處理設備排風口處；6 惰性氣體間。特種氣體探測系統(tǒng)二、可燃性、自燃性特種氣體探測系統(tǒng)、有毒氣體檢測裝置

2、應設置一級報警或二級報警。三、 自燃性、可燃性、毒性氣體檢測裝置報警設定值應符合下列規(guī)定：1 自燃性、可燃性氣體的一級報警設定值應小于等于25%可燃性氣體爆炸濃度下限值，二級報警設定值應小于等于50%可燃性氣體爆炸濃度下限值。2 毒性氣體的一級報警設定值應小于等于50%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值，二級報警設定值應小于等于100%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。特種氣體探測系統(tǒng)四、自燃性、可燃性、毒性氣體檢測裝置的檢測報警響應時間應符合下列規(guī)定：1 自燃性、可燃性氣體檢測報警：擴散式應小于20s，吸入式應小于15s。2 毒性氣體檢測報警：擴散式應小于40s，吸入式應小于20s。五、 特種氣體

3、相對密度小于或等于0.75 時，特種氣體探測器應同時設置在釋放源上方和廠房最高點易積氣處。特種氣體相對密度大于0.75 時，特種氣體探測器應設置在釋放源下方離地面0.5m處。應用多種特種氣體的生產(chǎn)廠房宜設特種氣體管理系統(tǒng)，并應符合下列規(guī)定：1 特種氣體管理系統(tǒng)應配置特種氣體的連續(xù)檢測、指示、報警、分析的功能，并應能記錄、存儲和打印；2 特種氣體管理系統(tǒng)宜為獨立的系統(tǒng)，應具有特種氣體探測、應急處理、工作管理、監(jiān)視、數(shù)據(jù)傳輸與處理的功能；3 特種氣體管理系統(tǒng)宜與工廠設備管理控制系統(tǒng)和消防報警控制系統(tǒng)通過數(shù)據(jù)總線相連。4 特種氣體管理系統(tǒng)應設在全廠動力控制中心，在消防控制室和應急處理中心宜設特種氣體

4、報警顯示單元和集中應急閥門切斷控制盤。5 特種氣體氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤的可編程控制器的通訊接口應與氣體管理系統(tǒng)連接。特種氣體管理系統(tǒng)一、自燃性、可燃性、毒性氣體的儲存、分配及使用場所的安全設施應符合下列規(guī)定：1 應設置閉路電視監(jiān)控攝象機和門禁。2 生產(chǎn)產(chǎn)房入口處、氣瓶柜間入口處、潔凈室內(nèi)宜設置安全管理顯示屏。3 使用場所內(nèi)及相關建筑主入口、內(nèi)通道等處應設置燈光閃爍報警裝置，燈光顏色應與其他燈光報警裝置相區(qū)別。4 入口處應設緊急手動按鈕，應急處理中心室也應設緊急手動按鈕。安全設施二、在地震多發(fā)地區(qū)，使用特種氣體的主要生產(chǎn)車間宜設置地震探測裝置，地震信號應接入特種氣體探測系統(tǒng)。三、 特種

5、氣體站房地震探測裝置應在氣瓶柜的基座上設置一臺；并應以氣體站房為基準點，等距離三角形延伸廠區(qū)內(nèi)另外兩點設置地震探測裝置。地震探測裝置不得設置于人員進出頻繁的地點，且應避免受外力干擾而造成誤動作；四、封閉的可燃性、自燃性氣體的特種氣體間宜設置防爆紫外紅外火焰探測器。五、 特種氣體站房應配置防毒面具等安全防護設施。安全設施特種氣體報警的聯(lián)動控制1 特種氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，應自動啟動相應的事故排風裝置，自動關閉相關部位的氣體切斷閥，并應能接受反饋信號。2 特種氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，應自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光報警裝置，該聲光報警應有別于火災報警裝置，并應自動啟動應急廣播系統(tǒng)。3 特種氣體探

6、測系統(tǒng)確認氣體泄漏后，應關閉有關部位的電動防火門、防火卷簾門，自動釋放門禁，可聯(lián)動閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)，應啟動相應區(qū)域的攝像機、并自動錄像。4 特種氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，泄漏信號應傳至安全顯示屏，并用文字提示現(xiàn)場人員。5 地震探測裝置探測到里氏5 級以上地震，且兩臺地震探測裝置同時報警時，特種氣體管理系統(tǒng)確認收到的信號后，啟動現(xiàn)場的聲光報警裝置；同時，應關閉氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤的切斷閥門生命安全設施安裝1、施工人員在生產(chǎn)、施工區(qū)域內(nèi)，不得隨意搬弄特種氣體系統(tǒng)的各種閥門、開關、按鈕。2、 特種氣體報警裝置的安裝應符合設計規(guī)定，并滿足下列要求：3、當相對密度小于或等于0.75 時，報警

7、裝置探頭應安裝在所處場所的頂部；4、當相對密度大于0.75 時，報警裝置探頭應安裝在所處場所離地面0.5m 處；安全技術(shù)措施1 為了保障電氣控制室與變配電所的安全，減少事故影響范圍。硅烷站的電氣控制室放置有較多的電氣設備，且有人值守，一旦硅烷站內(nèi)的氣瓶發(fā)生爆炸，會對人的生命安全帶來巨大危害，因此，電氣控制室應該設置在單獨的房間內(nèi)，并且采用防爆墻與硅烷站隔開。2 硅烷站內(nèi)的變壓器室由于放置有較多的電氣設備，且電氣線路與電網(wǎng)相連，因此，規(guī)定硅烷站變壓器室不得設在硅烷站內(nèi)，也不得與硅烷站相鄰。3 為防止大宗鋼瓶產(chǎn)生的靜電帶來安全隱患，大宗鋼瓶必須設置防靜電接地系統(tǒng)。4 在抽風管道中設置泄漏探測器，并

8、設定報警值和自動關閉輸送系統(tǒng)，是為了硅烷系統(tǒng)做到早期報警，防止事故產(chǎn)生。在環(huán)境中設置泄漏探測器，并設定報警值和不自動關閉輸送系統(tǒng)，是由于環(huán)境中的硅烷泄漏報警的數(shù)量，不構(gòu)成事故，綜合考慮安全與生產(chǎn)的連續(xù)性等關系后，規(guī)定報警但不切斷輸送系統(tǒng)，工作人員可在不停產(chǎn)的情況下，檢查問題。5 紫外紅外火焰探測器與感溫探測器的設置是為了發(fā)現(xiàn)微量火焰和危險環(huán)境，及早報警并關閉氣體供應系統(tǒng)。一一. .管路的連接管路的連接-較常見的有以下五種：較常見的有以下五種： 卡套式接合卡套式接合(SWG)(SWG)，一般為，一般為1 1”以下尺寸。主要用于以下尺寸。主要用于CDA GN2.CDA GN2.通常如下圖所示。通常

9、如下圖所示。 安裝手續(xù)、照下列步驟實行 TUBE管插入接口、確定管于接口內(nèi)牢固嵌入、然后于嵌入程度作記號。 為了確定接口構(gòu)成、TUBE管在內(nèi)時，緩緩地松開螺釘帽，確認TUBE管前后金屬套圈 是否正確插入。 TUBE管在接口內(nèi)時，指緊后，用專用螺旋鉗固定，旋轉(zhuǎn)螺釘帽1又1/4圈 螺釘帽本體前套圈螺釘帽 TUBE管后套圈2. VCR - 2. VCR - 主要用于主要用于VMP/BVMP/B機臺及閥件的連接機臺及閥件的連接安裝手續(xù)照下列步驟 檢查配件是否損傷。 GASKET及GASKET RETAINER裝上本體GLAND，但須小心不傷及本體。一旦有傷痕全體的密封度會受影響。 組合其他部品，緊緊旋

10、轉(zhuǎn)雌性釘帽。 于雄性及雌性釘帽作記號。 用專用螺旋鉗固定本體，于316不銹鋼（N2OO3CO和NICKEL GASKET的場合，指緊之后 再旋轉(zhuǎn)1/8次。GLAND本體GASKETGASKET RETAINER雄性頂帽雌性頂帽GLAND本體3.NPT3.NPT接頭安裝接頭安裝 NPT牙型接頭一端為SWG型接頭，另一端為螺紋接頭。 NPT牙連接于機臺前，須以生料帶（TYPE-SEAL）先行以漸進法案順時針方向纏繞于牙端數(shù)圈。 連接于機臺時，先以手旋緊接頭，再以扳手施力旋緊。4 4Flange Flange 接頭安裝接頭安裝 1Flange接頭用于大型閥件連接處；施工前檢查Flange是否有瑕疵，

11、并確定清 潔材料表面。 2將Flange以氬焊焊接與連接處，將管子插入距Flange正面2-3mm深度處點焊 之；用手焊機將Flange正面延圓周焊接一圈，用同樣方法再焊接Flange的背面；如果先焊Flange背面，極可能會污染Flange正面而導致漏縫，因此務必先焊Flange正面部分。 3焊接時需注意與工材連接成垂直狀，焊道不得有孔，焊渣及龜裂細紋產(chǎn)生，外部不允許因過火導致色異。 4組合各閥件時，于閥件間置入一墊片（鐵弗龍）再用手將螺絲固定、螺栓固定方式以對角法依序裝置。 5調(diào)整組合閥件之水平，使成一直線；再以開口扳手依對角方式螺緊各螺栓。 5. 焊接方式連接焊接方式連接 主要用于管路中

12、間部分的連接主要用于管路中間部分的連接二二. 管路的架設管路的架設1 1 預制預制 施作現(xiàn)場需配有一臨時性潔凈棚(Clean Booth)，且所有配管工作的操作基本上在此區(qū)域內(nèi)完成，以避免一些不當?shù)奈廴?。此潔凈棚必須維持且控制在以下的環(huán)境條件： 臨時性潔凈棚： A.微塵數(shù)量（靜態(tài)數(shù)，粒子小于0.3um）1um=0.001mm： (人的一般毛發(fā)為100um) 庫房:（用于儲存材料及預制好的閥盤、管件等） 其潔凈度為Class 10000。在Class 10000 Clean Booth內(nèi)測得的微粒數(shù)量（0.1um 以上的微粒）不能超過10000 PCS/c.f 切割工作區(qū)域: Class 100

13、0 用于切割管材，組裝閥盤等。 二次閥盤組之形式：二次閥盤組之形式： 一般而言有如下之常見形式： Specialty Gas（無盤組，由VMB/VMP取代） Bulk Gas EP級由Diaphragm Valve+Regulator+Gauge+Filter組成（有時加裝止回閥，以避免氣體回 流污染氣源） BA級由Ball Valve+Regulator+Gauge組成注意：配管時有關閉二次盤組Parts之構(gòu)造須與業(yè)主討論后才能定案。 焊接工作區(qū)域: Class 100 用于焊接、預制管件。B.環(huán)境：此環(huán)境棚內(nèi)保持正壓30Pa,足以阻絕微粒、油污及其他外來的物質(zhì)。C.在此區(qū)域內(nèi)工作，必須身著

14、無塵衣、鞋及PVC手套。 當微粒數(shù)量超標時，應減少潔凈室內(nèi)工作人數(shù)，或更換MEPA過濾器再做一次測試，直到達到標準后再開始工作。1 1 預制工作（在簡易潔凈室預制工作（在簡易潔凈室clean boothclean booth）1-11-1假镕假镕目的：使現(xiàn)場的焊接工作降至最低量 自動焊接時，若配管直徑大于20A應根據(jù)需要實行假镕。 假镕的場合也需要由有資格者實行、施工前確定保護氣體是否符合流量及純度的規(guī) 定。 假镕時，確認兩配管切面處理符合規(guī)定、配管的中心一致。 假镕時镕接部的入量應小于配管厚度的1/3。 假镕間隔根據(jù)配管大小而定、但普通于等間隔四處實行。 假镕后須清潔表面氧化膜、確定镕點與配

15、管表面平坦。 假镕位置一般為4點或6點1-2.1-2.架設程序架設程序 將工作管路兩端套上管套，連接沖吹氣體及閥完成焊接之后，將管路兩段之端口用管塞封閉氬氣沖吹假镕氬氣沖吹焊接氬氣沖吹風（收尾沖吹1分鐘以上）GArGAr圖（二）1-3.1-3.儲存及搬運儲存及搬運材料必須置于特定的儲藏間，在工地現(xiàn)場或在材料間要提供暫時性的簡易潔凈室，所有材料要存放整齊。在存放材料時，有電子拋光的管件必須和未經(jīng)電子拋光的管件分開。在尚未使用管件之前都不要將塑膠封套打開直到現(xiàn)場要使用時方可打開，并且不要將材料直接放在地上。1-4 1-4 現(xiàn)場焊接現(xiàn)場焊接 原封置現(xiàn)場。 將所要焊接之管路的管套拆掉，并連接保護氣體。

16、 將管路中的空氣沖吹干凈后，開始焊接。1-5 1-5 管路的固定管路的固定 配管固定物不可與施工配管上有所負擔。 .施工配管結(jié)合角度不正確時不可用支持物改正。 .配管接續(xù)部（镕接部等）不可設置支持物。 .配管的支持間隔必須按照設計基準施工。.以U形束固定配管時、須考慮配管熱脹冷縮和地震等異常狀態(tài)的發(fā)生、不可束太緊、 .配管可能受振動的場合、須與支持物及配管之間加入振動緩沖材料。.固定配管時、必須考慮未來需要、保留空間。.室外配管及地下埋設配管須采用防腐蝕對策。（特別是埋設配管時須與專家詳細商量）一般配管固定如下圖設置： 配管固定時須考慮材料電食、腐蝕性質(zhì)是否相容而選定。 鞍TUBE管不銹鋼角鐵

17、不銹鋼角鐵樹脂絕緣體鋼管付庇護U形束 支持物的制造須根據(jù)半導體規(guī)則、避免表面?zhèn)邸?配管支持用材料也必須實施禁油處理 建筑物有伸縮縫時，管路需裝膨脹節(jié)，并于膨脹節(jié)前后以固定支撐加固。 2.2.雙層管雙層管-主要用于高危險氣體（劇毒主要用于高危險氣體（劇毒 自燃）自燃） 收尾環(huán)-連接內(nèi)管和外管 壓力偵測器-安裝于VMB上端易于識別的位置（-14psi）3.3.保溫施作保溫施作有些氣體常態(tài)下為粘稠液態(tài)氣體，室溫的飽和蒸汽壓均小于10Psi，易造成管線阻塞，需包加熱套，提高氣體蒸汽壓，才能充分供應氣體。如：DCS、CLF3、WF6注意：確定感溫棒接觸加熱帶及管壁 三三. . 彎管作業(yè)規(guī)范彎管作業(yè)規(guī)范

18、hook up 彎管主要采用5倍彎管器（主系統(tǒng)采用較大倍數(shù)的彎管器，如 7倍10 倍，以改善流通性） 1比較圖面上兩端，由短方面先開始彎曲。 將較短尺寸配管上做記號，此部分應放在Bender左側(cè)。進行彎曲時用Latch固定Pipe，將手把往配管上面滑動，轉(zhuǎn)動90來完成彎曲。2.用分度器校正其角度。但4589間欲求其彎曲角度較為困難，設計時應盡量避免選取此角度。四四. . 管路的切割銑面管路的切割銑面1 1 中大口徑配管中大口徑配管 1.原則上切割應于潔凈亭內(nèi)執(zhí)行。但如果顧客的潔凈室已完成、可在其潔凈室內(nèi)切割。（但如果切割產(chǎn)生切屑、也有不于潔凈室內(nèi)執(zhí)行的場合） 2切割前應確認配管表面無有害痕跡、

19、破壞。 3配管切割時須是用不銹鋼專用切割器（G+F）緩慢進行切割、保持切面直 角（900.5）。 4原則上應橫放于水平固定、防止切屑進入管內(nèi)。 5切割后如管上附有切屑或其他雜質(zhì)，須用無塵布料擦凈。 6切割后應用專用的切面加工器處理切面。 7進行切面加工時，為了防止切屑進入管內(nèi)，應置加工面于下端，加工后， 使切面朝下，從上方敲打幾次，去除切屑雜質(zhì)。 8切面加工終了后，確認切面處理是否良好 9如確認管內(nèi)外無雜質(zhì)或異?，F(xiàn)象，于兩端加蓋放置備用。 10如配管不能橫放水平切割、下放管便不可使用。2. 2. 小口徑配管（小口徑配管（1/41/4”1/21/2”） 1.保證Cutter與管材垂直，以免損傷刀

20、片。 2.一次進刀不可過深，否則會使切口變成橢圓，并有損Cutter,把手每次旋轉(zhuǎn)角度30即 可。開始切割時，必須前后旋轉(zhuǎn)3-4次半周，以保證端口在同一水平面。 3.切割完畢，檢查切口時，要使管材傾斜，由下往上看，以防止切屑進入孔內(nèi)附著。 4.檢視切斷部外徑不得產(chǎn)生螺旋劃痕。 5.切管完畢后，切斷部會形成錐狀，并有毛邊產(chǎn)生，使用端面機修整切斷部，致形成一平面以利焊接： 端面機不可一次進刀太多或轉(zhuǎn)速太快，以免因過熱而使端口氧化 保證管材與端口成垂直狀態(tài)。 倒角修除毛邊，倒角器要垂直于端口，使管材傾斜向下，防止鐵屑進入管內(nèi)。注意：管路修改時，應盡量避免垂直切割，切割時必須用大流量Ar沖吹。五五.

21、. 熔接規(guī)范（自動焊）熔接規(guī)范（自動焊） 1將焊接管材施以切斷、端面、倒角程序，使兩焊接工件之管壁相通。 2將焊接管材通以高純Ar，設定好流速（壓力）循環(huán)通入管中吹凈，趕出空氣。 注意： Argon gas純度達99.999%以上才予使用 原則上使用液化Argon gas。 熔接時氧化膜無法去除時要更換Gas。 3調(diào)整鎢棒與焊接管材之間的間距。 注意： 研磨鎢棒時不能偏頗。 產(chǎn)生熔接聯(lián)珠或蛇形是鎢研偏所致，要重磨。研磨時使用研磨專用機。 Taper角度請參考下記圖面。251mm0.21.6mm0.3 4調(diào)整數(shù)據(jù)及前后吹氣時間 前后吹氣時間不可低于10秒。 5啟動焊機，觀察電流、電壓之穩(wěn)定性。

22、使用Tester確認電壓 使用220V的場合要確認接地。 使用110V電源時，為保護配線，要使用附有漏電Breaker之插座。 6檢查焊道有無瑕疵。 7表面清潔 物理清潔：以鋼刷去除表面氧化物 化學清潔：以電解方式清除表面氧化物。（大口徑管材）8 8注意事項：注意事項： 中心點偏移： a.鎢棒與熔接面位置偏移 b.鎢棒之研磨角度不對 熔接聯(lián)珠不均： a.切割面90未出來 b.割面有突起物 c.鎢棒消耗 熔化不足：觀察熔接時焊接內(nèi)面，調(diào)整電流 過熔低陷：內(nèi)氣壓力未控制好 焊道蛇形：焊把氣太大，管材材質(zhì)不均 常用管材可：316L BA&EP VIM+VAR 其差異在于SUS316增加鉬（Mo）金屬，改善其機械性質(zhì)。 L則表示材料降低含C量，增加含鎳（Ni）量。 AP（Annealed and pickled）級（素管）：酸洗管 BA (Bright-annealed)級：光輝燒純管（熱處理） EP (Electrolytic polished)級：電解拋光