完整版生產(chǎn)車間防靜電技術(shù)要求文檔良心出品

1、文件編號:發(fā)放號:受控狀態(tài):生產(chǎn)車間防靜電技術(shù)要求編制:審核:批準(zhǔn):發(fā)布日期:生效日期:文件發(fā)行及更改記錄表制修訂更改原因更改內(nèi)容審核批準(zhǔn)生效日期版本號1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了本公司生產(chǎn)車間靜電防護(hù)的技術(shù)要求；本標(biāo)準(zhǔn)適用于本公司產(chǎn)品生產(chǎn)、物料存放、試驗(yàn)現(xiàn)場的防靜電限制.2術(shù)語2.1 防靜電工作區(qū)(EPA配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標(biāo)記且滿足防靜電要求,為建立保護(hù)面積和進(jìn)行保護(hù)性操作所必須配置的設(shè)施和工具的統(tǒng)稱,如有靜電敏感元器件和組裝件操作的生產(chǎn)區(qū)和物料存放區(qū)域.2.2 硬接地(hard ground )直接與大地電極做導(dǎo)電性連接的一種接地方式.2.3 軟接地(sof

2、t ground )通過一足以限制流過物體的電流到達(dá)平安值的電阻連接到大地電極的一種接地方式.2.4 大地電極(earth electrode)埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組.他可以是桿狀的、 板狀的或網(wǎng)狀的,為接地系統(tǒng)提供接大地的基準(zhǔn)點(diǎn).2.5 靜電耗散材料(dissipative materials )其外表電阻率等于或大于1X105,但小于ixio12q；或體積電阻率等于或大于ixio4q? cm,.11但小于1X10 的材料.3 一般要求3.1 防靜電標(biāo)記符號在防靜電工作區(qū)應(yīng)在明顯的位置貼靜電防護(hù)標(biāo)志,如圖 3-13-1靜電防護(hù)標(biāo)志3.2 工作人員在進(jìn)入防靜電工作區(qū)

3、時(shí),須穿戴好防靜電工作服、工作鞋.3.3 工作人員對靜電敏感元器件、組裝件進(jìn)行操作時(shí),須戴好ESD防護(hù)腕帶,并測試合格.3.4 指定人員定期測量并記錄車間環(huán)境條件.4詳細(xì)要求4.1 氣候與環(huán)境條件4.1.1 溫度EPA內(nèi)應(yīng)裝有溫度調(diào)節(jié)裝置,以維持其室溫在25± 5C,采用準(zhǔn)確度優(yōu)于土 2c的溫度計(jì)測量 EPA的室溫,并在每日的同一時(shí)間進(jìn)行測量并記錄.記錄表見附表14.1.2 濕度EPA內(nèi)應(yīng)裝有濕度調(diào)節(jié)裝置,以維持室內(nèi)相對濕度在3070%R電圍內(nèi).采用準(zhǔn)確度優(yōu)于土 2%勺濕度計(jì)測量EPA內(nèi)的濕度,并在每日的同一時(shí)間進(jìn)行測量并記錄.記錄表見附表 14.1.3 潔凈度保持生產(chǎn)現(xiàn)場干凈、整潔

4、.4.1.4 靜電消除器在對靜電敏感元器件或組裝件操作的工作臺(tái)上,應(yīng)裝設(shè)靜電消除器 離子風(fēng)機(jī)等,以消除未打開的包裝件上的靜電荷和在操作過程中因人體、工具及其他物品相互摩擦在工件上產(chǎn)生的靜電荷.靜電消除器應(yīng)能消除任何一種極性的電荷,并在其有效防護(hù)區(qū)域內(nèi)使靜電位保持在規(guī)定值以內(nèi),中 和水平應(yīng)優(yōu)于土 250V/S.4.2 接地EPA內(nèi)應(yīng)有滿足使用功能要求的防靜電接地分系統(tǒng),并通過大地電極分系統(tǒng)接到大地.4.2.1 防靜電接地分系統(tǒng)EPA 的防靜電接地分系統(tǒng)包括人體防靜電接地、地板防靜電接地和操作裝置、儀器的防靜電接地等,連接方式如圖 4-1.除個(gè)別指明需采用硬接地外,一般采用軟接地方式,其接地電阻可

5、由外界電阻、材料內(nèi)固有電阻或它們的組合構(gòu)成.4.2.2 接地安裝本卷須知防靜電接地分系統(tǒng)最好與電源地等其它分系統(tǒng)各自獨(dú)立；防靜電工具、裝置等的接地端子允許 使用易于拆卸的各種夾式連接器,如鱷魚夾、插針等,但應(yīng)保證電氣連接可靠.接地主干線截面積應(yīng)不小于100mm；支干線截面積應(yīng)不小于 6mm;設(shè)備和工作臺(tái)的接地線應(yīng)采:駕糅腕帶的阻操作工具與測試設(shè)備用截面積不小于 1.25mm2的多股敷塑導(dǎo)線,接地線顏色應(yīng)和操作現(xiàn)場其它電源線等的顏色有較大區(qū) 別.防靜電臺(tái)墊什工侔/ 防靜電地整 '-了 丁地面圖4-1防靜電分系統(tǒng)連接方式1.1.1 器材、用具的靜電性能4.3.1 測量儀器EPA 相關(guān)設(shè)施安

6、裝完成后應(yīng)定期對其進(jìn)行檢測,并記錄檢測結(jié)果檢測記錄表見附表2,接地系統(tǒng)的測量儀器的量程應(yīng)為010"口,測量電極為圓柱形,直徑 50mm重量2kg.儀器的輸入和輸出線與兩電極通過鱷魚夾、連接器等便于拆卸的方式連接,測量時(shí)施以500V電壓.4.3.2 ESD防護(hù)工作臺(tái)面除非制造工藝要求要使用導(dǎo)靜電工作臺(tái)面,EPA內(nèi)的工作臺(tái)面應(yīng)使用靜電耗散材料制成并接地良好.ESD防護(hù)工作臺(tái)面的對地電阻和外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻要求見表1.對地電阻測量時(shí),將測量儀器的一端接到工作臺(tái)與地線的連接線上,另一個(gè)電極測量五個(gè)點(diǎn)取平均值如圖4-2 .外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量時(shí),兩測試電極相距0.9m,測量五組數(shù)據(jù)取平均值,測量時(shí)一

7、電極不動(dòng),另一電極以0.9m的半徑繞固定的電極旋轉(zhuǎn)移動(dòng)如圖 4-3 4.3.3 ESD防護(hù)地面除非制造工藝要求需要使用導(dǎo)靜電地面,EPA內(nèi)應(yīng)采用靜電耗散地板、地墊或噴涂防靜電漆,并良好接地,其對地電阻和外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻要求見表1.對地電阻測量時(shí),儀器一個(gè)電極接防靜電接地分系統(tǒng), 另一電極放置在防靜電地面上,取房間不同位置測量并取平均值如圖4-4;外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量時(shí),一個(gè)電極固定,另一個(gè)電極以0.9m為半徑取5個(gè)測量點(diǎn),并取平均值如圖4-5._兆歐表圖Z ESD防護(hù)地面對地電陽測量/一兆歐表<R一防靜電接地分系 77777777777777圖U EKD防護(hù)地面外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量表1 EPA

8、內(nèi)各種器材的靜電性能要求器材名稱章條號外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻對地電阻穿戴狀態(tài)下的對地電阻說明ESD防護(hù)工作臺(tái)4.3.27.5 X 1051.0 X 10107.5 X 1051.0 X910/ESD防護(hù)地面4.3.31.0 X 1051.0 X 10101.0 X 1051.0 X109/ESD防護(hù)腕帶4.3.4/7.5X510-3.5 X107/7.5 X1051.0 X1010/內(nèi)外表對電纜扣7.5 X 1055.0 X 106/腕帶連線端對端物流車、存放架4.3.57.5 X 1051.0 X 10107.5 X 1051.0 X910器材名稱章條號外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻對地電阻穿戴狀態(tài)下的對地電阻說明

9、周轉(zhuǎn)容器4.3.67.5 X 1051.0 X 10107.5 X 1051.0 X109 體積電阻/工作服4.3.71.5 X 1051.0 X 10101.5 X 1051.0 X- -1010/4.3.4 ESD防護(hù)腕帶a.腕帶穿戴狀態(tài)下的電阻測試操作者以正常方式戴上腕帶,把線端插入測試器,手指壓住手摸觸板,直至儀器可以穩(wěn)定測量 為止如圖4-6.b.腕帶內(nèi)外表對電纜扣電阻點(diǎn)對點(diǎn)電阻將兩測試點(diǎn)擊分別接觸腕帶內(nèi)外表和電纜扣與測試儀連接測量如圖4-7 .c.腕帶接地電纜兩端電阻點(diǎn)對點(diǎn)電阻用測試電極連接電纜兩端測試如圖4-8.圖4E5D防護(hù)腕帶穿戴狀況電阻測量圖4-7 ESD防護(hù)腕帶內(nèi)外表對電纜

10、扣電阻測量便器圖4-8 ESD防護(hù)腕帶內(nèi)接地電纜兩端電陰測量4.3.5 物品存放架、內(nèi)部物流車應(yīng)能通過支腳或輪子接地,它與工件接觸的外表應(yīng)由靜電耗散材料制作.對地電阻和外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻要求見表 1.對地電阻測量如圖 4-9 ;外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻的測量如圖4-10.4.3.6 周轉(zhuǎn)容器其體積電阻和外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻要求見表1.體積電阻測量如圖 4-11 ;外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量如圖4-12.測量電極4.3.7 ESD防護(hù)工作服ESD防護(hù)工作服各局部之間應(yīng)存在電氣連續(xù)性.工作服的設(shè)計(jì)應(yīng)能保持其在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸.必要時(shí),工作服上設(shè)置專門的接地連接點(diǎn),在穿戴過程中通過導(dǎo)線接地.測量時(shí),工作服放

11、在絕緣臺(tái)上,絕緣臺(tái)的外表電阻1014Q；兩電極之間的間距不小于300mm ESD工作服的對地電阻和外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻要求見表1.工作服的對地電阻測量如圖4-13;外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量如圖 4-14.圖4-13工作服對地電阻測量圖4-14工作服外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量4.3.8 電烙鐵電烙鐵應(yīng)進(jìn)行硬接地,電烙鐵頭值接地系統(tǒng)的電阻應(yīng)不大于20.4.3.9 其它EPA內(nèi)的防靜電工作椅、防靜電工作鞋等性能要符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定.4.4 EPA維護(hù)與檢查要求對EPA的各項(xiàng)技術(shù)要求,必須經(jīng)常性地進(jìn)行檢查、監(jiān)測,以維持各項(xiàng)性能符合標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定.檢查 的頻次如表2所列.檢查頻次工程名稱檢查方式每日一次環(huán)境溫度、相對濕度測量佩戴腕帶狀態(tài)卜.的對地電阻測量ESD防護(hù)工作服穿戴情況目視每臥-次ESD防護(hù)工作臺(tái)面接地情況目視地板、地墊接地情況目視系統(tǒng)接地情況目視每月一次標(biāo)記情況目視工作服對地電阻和外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量每季A次ESD防護(hù)工作臺(tái)對地電阻和外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量地板、地墊對地電阻和外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量周轉(zhuǎn)容器體積電阻和外表點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量電烙鐵對地電阻測量存放架和內(nèi)部物流車對地電阻和表向點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量建成后A年每季,次,以后每2