有機蒸鍍設備-東南大學

1、東南大學化學化工學院金屬蒸鍍設備、 有機蒸鍍設備、旋涂用手套箱、 蒸鍍用手套箱采購招標公告 項目名稱： 標段一： 化學化工學院金屬蒸鍍設備、有機蒸鍍設備采購 標段二： 化學化工學院旋涂用手套箱、蒸鍍用手套箱采購 項目地點 : : 東南大學九龍湖校區(qū) 項目概況： 標段一： （一）化學化工學院采購金屬蒸鍍設備 1 1 臺 密閉性高 膜厚控制設備：膜厚探頭 2 個，膜厚儀 2 個 樣品和蒸發(fā)源均配備擋板裝置 2. 配置 2.1 真空沉積腔體：具有觀察窗，手動開門設置方便取樣和進樣 2.2 金屬蒸發(fā)源 4 套：蒸發(fā)電極可加載蒸發(fā)舟或者鎢籃， 要求中心電極正 對樣品基底中心，蒸發(fā)源擋板。蒸發(fā)電源 1 套

2、或者 2 套，可切換 2.3金屬蒸發(fā)源可選擇性配置 2 個以及相應的擋板， 金屬材料可斜入射到 達樣品架，蒸發(fā)源溫度最高要求可達 500oC，控溫精度1度。蒸發(fā)電源 最好能直接顯示溫度數(shù)字，并含升降調控。能實現(xiàn)半導體薄膜制備 2.4 機械泵 1 個，分子泵 1 個以及相應的附件，分子泵水冷系統(tǒng) 2.5升降樣品架 2.6真空測量系統(tǒng) 2.7膜厚測試系統(tǒng) 2.8 工作臺：含真空計，蒸發(fā)源電源和相應控制系統(tǒng)，加熱源控制系統(tǒng)， 膜厚測量系統(tǒng)，總電源控制區(qū)1.技術參數(shù)： 真空度:極限真空可達10-5Pa,工作真空度8*10-4Pa 樣品架：可旋轉，高度可調，距離蒸發(fā)源高度范圍 150-250mm,基 底

3、加熱 RT-300oC, 控溫精度小 蒸發(fā)源：金屬蒸發(fā)源 4 個，最好能旋轉，可蒸發(fā) Au， Ag， Al ， Cr， Pt 等金屬 金屬蒸發(fā)源可調節(jié)至正對樣品架中心以利于金屬以直入射方式沉積 到基片 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 1.7 （二）化學化工學院采購有機蒸鍍設備 1 1 臺 設備功能用途 該有機鍍膜系統(tǒng)是用于有機電致發(fā)光工藝研究、 有機照明器件工藝研究、有機太 陽能電池工藝研究和有機半導體工藝研究的最佳設備， 工作效率高，具有事半功 倍的效果。 主要技術指標 2.1真空抽氣系統(tǒng)：由KYKY600L/S渦輪分子泵和DM4L/S機械泵，復合數(shù)字真 空計，SD電磁隔斷/

4、充氣閥，防油充氣閥，壓力表和波紋管管道等組成，本底極 限真空度達到5X10-5 Pa。 2.2旋轉基片架：可放置4個20X25基片，做出4種不同的基片試樣。 掩膜板：基片與掩膜板間的間隙為 0，同時在線更換。 水冷膜厚探索頭：放在基片架上 4個基片的中心，對使用任一個蒸發(fā)源和對 任何一個基片，其測量精度都是相同的。 2.5有機控溫式坩堝蒸發(fā)源：壽命長達 800-1000小時以上，實際可用 4-5年勿需 維修。保溫好，控溫性能優(yōu)越， 2.6 頻率計： 共用 4套頻率計 2.7側拉門：規(guī)格 20 5X280 ， 2.8照明燈： 2 個 2.9電氣機柜： 1 臺 標段二： （一）化學化工學院采購旋涂

5、用手套箱 1）旋涂用手套箱箱體 材料：304 不銹鋼，厚度 3mm 內表面：不銹鋼拉絲處理 外表面： 內部尺寸： 前窗： 手套口： 手套： 過濾器 擱物架： 箱體照明：熒光燈，安裝在每塊玻璃窗前上方操作方便。 含晶振器）在線測量膜厚。 門上有兩個玻離觀察窗。 1 1臺 噴漆，白色 長度：2440mm，深度：750mm；高度：900mm 傾斜的視窗，透明鋼化安全玻璃，厚度 8 mm 材料為聚甲醛，0型圈密圭寸 丁基橡膠，直徑 8”，長度 32” ：規(guī)格 0.3 微米，1 個氣體入口和 1 個氣體出口 不銹鋼材料，內置 2 層 接口： 備用接口 6 個， DN 40 KF ，電源接口 2 個 （

6、220V） 2） 大過 渡 艙 尺寸 材料 表面 附件 艙門 壓力表：模擬顯示 控制：電磁閥觸摸屏自動操作 3） 小過渡艙 直徑150mm,長度300mm,進入旋涂用手套箱部分長度100 mm 304 不銹鋼 內表面為拉絲處理，外表面噴漆 雙門，螺紋鎖緊 壓力表：模擬顯示 控制：手動閥手動操作 4） 氣體凈化循環(huán)系統(tǒng) 凈化柱 功能：氣體密閉，除水、除氧 容器材料： 304 不銹鋼 凈化材料：銅觸媒、分子篩 水氧指標：小于 1ppm 循環(huán)系統(tǒng) 工作氣體：氮氣、氬氣 循環(huán)能力：集成風機流量90m3h，加裝變頻 再生 操作： PLC 自動控制再生過程 再生氣體： 工作氣體與氫氣混合氣體， （氫氣 5

7、-10%） 真空泵 規(guī)格：8m3h，旋片泵，帶油霧過濾器，氣振控制 閥門 主閥： DN 40 KF ，電氣動角閥 控制閥：電磁集成閥 （不銹鋼集成閥座，單柱為六個閥集成 ） 5） 控制系統(tǒng)： 功能：包括自診斷、斷電自啟動特性，具有壓力控制和自適應功能；自動控制、 循環(huán)控制、密碼保護。 壓力控制：控制箱體、過渡艙的壓力，箱體工作壓力 +/- 10mbar 內可以自由設 定，超出+/-12mbar系統(tǒng)自動保護； 腳踏板： 控制箱體壓力，方便操作升壓和降壓 6） 顯示系統(tǒng)：采用西門子 PLC 觸摸屏，顯示運行狀態(tài)，箱體壓力、系統(tǒng)記錄等 7） 真空系統(tǒng)控制情況：真空泵，可手動或通過 PLC啟動，流量8

8、 m3h,可對過渡 艙抽真空，并保持箱體壓力平衡，真空泵極限真空度 370*600 mm方便轉移體積較大的物料。小過渡倉尺寸 150*30 mm，高效轉移小尺寸物料。 密封要求：焊接連接，不泄露，無密封老化問題。 傳送及操作方式：可通過移動托盤傳送，托盤易于拆卸；手動操作。 （4） 氣體純化系統(tǒng)：氣體純化柱；循環(huán)風機；有機溶劑吸附柱。 （5） 技術指標 泄露率： 0.001vol%/h H2O 1ppm, O2 1ppm （6）其他附件 真空泵；水、氧分析儀：分析儀精度應達量程的 1%或0.2ppm；分析儀輸出可直 接連接到觸摸控制屏， 可對氣體循環(huán)系統(tǒng)進行自動控制， 實現(xiàn)自動循環(huán)； 可設定 報警值。箱內電源接口：配多孔電源插座。 投標單位條件 1、報名單位需要具有生產廠商銷售代理授權委托書 2、法人營業(yè)執(zhí)照副本。 3、稅務登記證副本。 4、組織機構代碼證。 授權委托書原件報名時帶來核對，原件放在投標文件中。 上述文件除提供 原件外，另須提供一套原件復印件并 加蓋公章 （請在封面注明： 另備一套原件復印件放在投標文件中） 資格預審截止時間： 2013 年 1