太陽能電池片工藝(全流程).

1、太陽能電池片工藝一、硅片檢測硅片是大陽能電池片的栽體硅片質(zhì)的好壞II接決定了太陽能電池片轉(zhuǎn)換效字 的高低因此爲(wèi)豪對(duì)來料睚片進(jìn)行檢測。該工序主賽用來對(duì)廷片的一些技術(shù)參數(shù) 進(jìn)行在絞測.這些參數(shù)主糞包涪哇片孜面不刃屋度、少子壽命、電阻率、P/N 型和微疑紐等該組設(shè)備分自動(dòng)上下料、fit片傳輸、采統(tǒng)矗合部分和四個(gè)槍油槽 塊。.光伏硅片核測儀對(duì)硅片我面不平整度洌行檢渕同時(shí)檢測硅片的尺寸 和対處線等外觀參?。何⑼都y檢沁權(quán)塊用來檢測硅片的內(nèi)部微裂鍍；另什還有兩 個(gè)檢測模組，其中一個(gè)在線測試模組主要測試珪片丼電阻率和硅片類型，另一個(gè) 穰塊用于檢期硅片的少子WUJo在進(jìn)行少子腭命和範(fàn)阻率越測之m 器整先対硅 片

2、的對(duì)角線、微裂紋進(jìn)行檢測，并自動(dòng)剔除破損硅片。硅片檢測設(shè)備能夠自動(dòng)裝 U和卸片并且能夠?qū)⒉缓细?amp;放到囚定位廈從而提高歧觀精度和效率。二.表面制絨單品硅玻面的制各是利用建的各向異性廣蝕，在毎平方米確表面形成幾百萬個(gè) 四面方僚體也即金字塔結(jié)構(gòu)由于入射光在表面的多次反射和折射，增加了光的 吸收 提高了電池的短路電流和轉(zhuǎn)換效率。硅的各向異性扁蝕液迺常用熱的班性 溶液 可用的反有氫気化鈉氫氧化鉀.氫氧化鋰和乙二胺等.大多使用廉價(jià)的 濃度內(nèi)為（的氧"化鐵祥溶，夜來制各絨面雀Stia度為76859。為了獲得均 勻的城曲還應(yīng)在溶液中的it汐加IB矣知乙翡和弄丙BI番作為絡(luò)合劑，以加快硅 的i

3、a住。制備嬪血閘硅片獗先進(jìn)行初步表血鳶蝕 用緘性或酸性踐蝕液蝕去約 20 - 25pm .在01性絨直后 進(jìn)行一般的化學(xué)鬲洗。經(jīng)過畏面準(zhǔn)各的硅片都不宜 在水中久存，以防沾污.應(yīng)盡快護(hù)歌制結(jié).三.擴(kuò)散制結(jié)xFaue電池需夏一個(gè)穴面枳的pn結(jié)以冥現(xiàn)光能對(duì)電能的絞換，而!rat爐即為制 追怎陽牝電池PN給匪奇用備。晳式擴(kuò)戡滬主旻由石奐舟的上下敦部力.£.爐體部分和r柜卻分籌四大部分組戍。擴(kuò)敵一飯用三“頊磧液態(tài)嫁作為擴(kuò)散 琢.把P ffltt片放在式擴(kuò)散爐的石英容內(nèi)，在850-900»KK高遍下征用 籌氣將三氯氧琪帝入石英容器，血過三««6S和1片進(jìn)行反広得到說

4、原子。經(jīng) 過一定時(shí)間砂原子從四周進(jìn)入硅片的義面宗并且通過妄東子之間的空障向硅 片內(nèi)部港透擴(kuò)戰(zhàn).形成了 N型半導(dǎo)體和P型半導(dǎo)體的交界面.也観 PN結(jié)。 這村方法制出的PN結(jié)均勻性好方塊電阻的不均勻性小于白分N十少子序命可 穴于10ms.制適PN結(jié)是女陽電池生產(chǎn)最基本也是最關(guān)偎的工序。因?yàn)檎荘N 結(jié)的形成才使電子和空穴在滾動(dòng)后平再回到原處 這樣款形成了電涼周導(dǎo)玻四、去磷硅玻璃該工藝用于氏陽能電池片生產(chǎn)制造過程中，通過化學(xué)觸蝕法也即把珪片放在氯俎 餓溶液中浸泡，使其產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成可溶性的絡(luò)和物六報(bào)硅酸，以去除擴(kuò)戴制結(jié)后在硅片賽血形成的一層壩硅玻璃在擴(kuò)散過程中 POCL3與02反應(yīng)生成 P2O5淀

5、積在硅片教面。P2O5與Si反應(yīng)又生成SiO2和頑原子.這樣就在硅片衣 面形成一層含有確元素的SiO2稱之為碳硅玻璃°去璘硅玻璃的設(shè)備一般由本 體、清洗AL伺服驅(qū)動(dòng)系炕、機(jī)械脊.電氣控制系統(tǒng)和自動(dòng)配酸系統(tǒng)尊部分組咸， 主鍥動(dòng)力源有氫嫩酸、總r、壓縮空r、純水，忍排風(fēng)和股水。氫徽酸能夠溶解 二氧化睚扉因?yàn)檠踅闼崤c二氧化畦反應(yīng)生成易揮發(fā)的四氟化硅氣休。若氧氛酸過 *,反應(yīng)生成的四氟化硅仝進(jìn)一步與氫齟酸反應(yīng)生成可溶性的絡(luò)和物六叛硅酸。五、等離子刻蝕由于在擴(kuò)散過程中，即使采用背靠背擴(kuò)散硅片的所有表面包括邊緣都將不可避 兌地?cái)U(kuò)敞上碗，PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會(huì)沿著邊緣擴(kuò)散有璃的區(qū)域流 到

6、PN結(jié)的背面.而遣咸短路=> 因就.必須對(duì)太陽能電池罔邊的樁雜廷進(jìn)行刻悅, 以實(shí)除電池邊塚的PN結(jié)©通常采用尊離子刻憶枝術(shù)完成這一工藝。尊戾子刻燭 是在低壓狀石下反應(yīng)氣體CF4的毎體分子在射頻功率的激發(fā)下.產(chǎn)生電走并 形成等離子體。等葛子護(hù)是由帶電的電子和離子組戒，反應(yīng)腔體中的氣體在電子 的撞擊下，除了共變成戾子外，還能吸收能并形成大的活性Sc活性反應(yīng) 基團(tuán)由于擴(kuò)散或者在電場作用下到達(dá)SQ2表血 在那里與被刻性材料表直發(fā)生 化學(xué)反應(yīng).并形咸揮發(fā)性的反應(yīng)生咸物腔曳被刻蝕物質(zhì)寒宜，被翼空糸貌抽出腔體。六. 傲減反射膜號(hào)光廷表直的反I：率為35%,為了疋少表面反射.提高電池的轉(zhuǎn)換效率

7、.需要沉積一層氮化氐減反射1IL班在工必生戶中常采用PECVD設(shè)備制備N反射膜。PLCVD即尊瘠子書強(qiáng)型化學(xué)r相沉稅。它的技術(shù)艮湮是利用低溫尊會(huì)子體作能 源.樣品于低r質(zhì)下輝光放電購明級(jí)上，利用解光威電使樣品升沮到預(yù)定的 濕度，然后通入適的反蟲氣體SH4和NH3 , r體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和尊離子 體反應(yīng).在樣品表血形咸旨迅著狽訊氮化蛀滋膿。一般惜況下，使用這種等離子 増強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積前方法沉積的3KJS*度在70nm左右.這樣厚度的5PS具也 光學(xué)的功能性。利用墓膜干法廉理,可以便光的反舉大為涯少，電池的煖路電流 和輸岀酬有很大増加.效率也有相當(dāng)?shù)奶嵊?。? 絲網(wǎng)印刷太陽電池經(jīng)過制絨、擴(kuò)散及

8、PECVD弩工序后.已0制成PN結(jié)，可以在光照下 產(chǎn)生電流為了將產(chǎn)生的電流導(dǎo)出，爲(wèi)要在電池農(nóng)面上制作正、負(fù)兩個(gè)電極.制 造電扱的方法很多而絲網(wǎng)印刷是目前制作玄陽電池電極最普逼的一種生產(chǎn)工 藝。絲網(wǎng)印削是采用壓印的方式將預(yù)定的圖形印刷在粧板上，該設(shè)備由電池背面 銀鋁漿印劇、電池背面鋁漿印刷和電池正面銀漿印刷三部分組成。其工作原理為. 利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)乳透過漿料，用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力，同時(shí) 朝絲網(wǎng)另一第移動(dòng)。油凰在移動(dòng)中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到扛片上。由 于漿料的粘性作用使E卩跡固事在一定姮國內(nèi)印劇中刮板始終與絲網(wǎng)E卩版和基片 呈線性接觸，接觸蝮隨刮刀移動(dòng)而移動(dòng)，從而完成印劇

9、行程八、快速燒結(jié)經(jīng)過絲網(wǎng)卬刷后的硅片不能直接使用，需經(jīng)饒結(jié)爐快速燒結(jié)，將有機(jī)樹脂粘合 剤燃燒掉.剩下幾乎疑耘的、由于玻璃質(zhì)作用而密合在硅片上的銀電極。當(dāng)銀電 極和晶體硅在溫度達(dá)到共晶溫度時(shí).晶體硅原子以一定的比例融入到熔融的銀電 極材料中去，從而形成上下電扱的歐娼接址電池片的開路電壓和填充因子 兩個(gè)關(guān)傅勢數(shù).便其具有電阻待性，以提離電池片的轉(zhuǎn)決飲率。燒給爐分為預(yù)燒 結(jié)、燒結(jié)、降溫冷卻三個(gè)階段。預(yù)規(guī)結(jié)階段目的炮使?jié){料中的高分子粘合刑分解、 燃疑律，此階段溫度慢慢上升：坯結(jié)階段中疑結(jié)體內(nèi)完成各種物理化學(xué)反應(yīng)，形 成電阻膜結(jié)構(gòu)，使其真正貝育電阻倚性，該階段溫度達(dá)到峰值 降溫冷卻階段, 敬誦冷卻磴化并鬲固使申，陰膜結(jié)構(gòu)固定地粘附于基片上。九、外圍設(shè)備在電池斤丈產(chǎn)過程中，注需史供電、動(dòng)力、給水、撫水、暖通、真空、特汽尊外 圍設(shè)施:.消防和環(huán)保設(shè)備對(duì)于保證安全利舟續(xù)炭展也顯得尤為重蕓，一條年產(chǎn) 50MW能力的人陽能電池片生產(chǎn)絞.僅工藝和常力設(shè)備用電功率就在1800KW 左右。工藝鈍水的用量在毎小時(shí)15噸左右，水質(zhì)要求達(dá)到中國電子級(jí)水 GB<T11446.1-1997中ESM級(jí)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。工藝?yán)鋮s水用也在每小時(shí)15噸左右， 水質(zhì)中徵