電子工廠化學(xué)品供應(yīng)與回收系統(tǒng)概述

1、總第15卷164期 大 眾 科 技 Vol.15 No.4電子工廠化學(xué)品供應(yīng)與回收系統(tǒng)概述吳秀娟(上海華虹NEC電子有限公司，上海 201206)【摘 要】本文主要介紹了生產(chǎn)新型顯示器件、集成電路芯片等電子工廠中的化學(xué)品供應(yīng)及回收系統(tǒng)的類型、基本構(gòu)成、主要安全技術(shù)措施等，可供系統(tǒng)優(yōu)化時參考?！娟P(guān)鍵詞】化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)；回收處理系統(tǒng)；系統(tǒng)類型；排放控制；安全措施 【中圖分類號】X78 【文獻(xiàn)標(biāo)識碼】A 【文章編號】1008-1151(2013)04-0067-04The Overview of Chemical Supply and Recovery System in Electronics F

2、actoryAbstract: This paper introduced the type, basic structure and main safety technical measures of chemical supply and recovery systems in the electronics factory which produce new display devices, IC chips. This paper can be referenced available for system optimization.Key Words: chemical supply

3、 system; recovery system; system type; emissions control; safety measure正當(dāng)形形色色的電子產(chǎn)品席卷全球的時候，我們卻不得不關(guān)注這些“利器”在生產(chǎn)過程中造成的問題。作為時尚便捷的電子信息產(chǎn)品，“蘋果”對年輕人和精英人士的誘惑是極大的。然而，在供應(yīng)鏈環(huán)節(jié)，“蘋果”卻是有毒的，因為其零部件使用一種叫做正己烷的有毒化學(xué)品來清潔，光鮮的“蘋果”也和傳統(tǒng)的污染型企業(yè)一樣，會導(dǎo)致讓人頭疼的職業(yè)病。1化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)在國外一些企業(yè)稱為CDS(Chemical Dispense System)或簡寫為BCD (Bulk chemicaldis

4、tribution)，它是為生產(chǎn)線24小時不間斷供應(yīng)化學(xué)品的系統(tǒng)。供應(yīng)系統(tǒng)供應(yīng)的化學(xué)品一般使用量較大或有多臺設(shè)備使用，屬于遠(yuǎn)距離輸送，不適用使用量少或是使用前存放時間有限制的化學(xué)品（通常需用特殊的包裝輸送到使用點(diǎn)）3。這些化學(xué)品一般輸送到黃光、濕法刻蝕、清洗等區(qū)域。 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)按照化學(xué)品的種類可以分成三類 ：（1）無機(jī)酸堿化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)：這是最主要、化學(xué)品種類最多的系統(tǒng)，負(fù)責(zé)供應(yīng)蝕刻和清洗用的酸堿性溶液。無論是LCD還是芯片廠，對于酸堿類的化學(xué)品需求量都比較大，由于酸堿溶液大多具有較強(qiáng)的腐蝕性和毒性，在使用和輸送過程中，除了要保證品質(zhì)外，還要確保存儲、輸送和使用安全。（2）有機(jī)溶劑供應(yīng)系統(tǒng)

5、：主要供應(yīng)易燃性液體，如異丙醇（IPA）、PGMEA(或簡稱PM Thinner，乙酸丙二醇甲醚)、剝離液包括N-甲基-吡咯烷酮（N-methyl-pyrrolidone 簡稱NMP）、二甲基亞砜（Dimethyl sulfoxide簡稱DMSO）或是乙醇胺、羥胺乙醇的化合物等，在LCD和芯片廠都是用于清洗、光阻的稀釋和剝離。（3）化學(xué)研磨液供應(yīng)系統(tǒng)：是供應(yīng)將研磨液到CMP(Chemical mechanical Planarization)設(shè)備。在芯片廠，該化學(xué)研磨液供應(yīng)系統(tǒng)是必不可少的，但由于研磨液的特殊性，有些芯片廠未將此系統(tǒng)歸到廠務(wù)的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，而是直接在CMP設(shè)備群鄰近的廠房一

6、層設(shè)立供應(yīng)系統(tǒng)。由于LCD廠與芯片廠的某些生產(chǎn)工序例如清洗、薄膜、由于電子產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)需要使用大量的化學(xué)品，而這些化學(xué)品都具有一定危險性，稍有疏忽，就會造成重大的人員傷亡和設(shè)備的損失，因此，如何將這些化學(xué)品在保證品質(zhì)的前提下安全輸送到使用點(diǎn)，如何將這些使用過的化學(xué)品合理地回收處理，將是電子工廠生產(chǎn)安全的重要問題。由此看來，電子工廠中化學(xué)品的供應(yīng)與回收系統(tǒng)之改進(jìn)、優(yōu)化仍是值得探究的。文獻(xiàn)2就介紹了在芯片工廠中，應(yīng)用于化學(xué)品供給、回收系統(tǒng)的PFA管道安裝工藝。原來國內(nèi)大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線所需的化學(xué)品供給、回收系統(tǒng)管道完全由海外公司承攬施工，隨著國內(nèi)IC制造業(yè)的發(fā)展，國內(nèi)一流的IC工廠建設(shè)公司已經(jīng)開始

7、打破這一局面，涉足該系統(tǒng)的施工，為我國電子行業(yè)的自主發(fā)展添加了助推劑。本文就新型顯示器件廠（簡稱LCD）和集成電路芯片廠（簡稱芯片廠）的化學(xué)品供應(yīng)和回收系統(tǒng)進(jìn)行在系統(tǒng)類型、基本構(gòu)成、主要安全技術(shù)措施等方面進(jìn)行了較全面的總結(jié)，可供系統(tǒng)優(yōu)化時參考。1 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)1.1 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的分類【收稿日期】2013-03-10【作者簡介】吳秀娟，女，上海華虹NEC電子有限公司工程師，從事集成電路氣體化學(xué)的運(yùn)行、技術(shù)管理工作。- 67 -光阻涂布、曝光、顯影、蝕刻等比較相似，它們所使用到化學(xué)品種類有部分相同，在危險化學(xué)品的管理和人員防護(hù)上基本一致，常用的化學(xué)品種類有硫酸、氫氟酸、雙氧水、氨水、鹽酸、硝

8、酸、磷酸、氫氟酸硝酸混合液、氫氟酸緩沖溶液、研磨液（拋光液）、顯影液、醋酸、鉻刻蝕液、鋁刻蝕液、ITO(王水)、ACN、Thinner、OAP（HMDS）、異丙醇、剝離液，其中除雙氧水、Thinner、異丙醇外都有腐蝕性，與氫氟酸相關(guān)的化學(xué)品、氨水、Thinner、剝離液具有毒害性，醋酸、Thinner、OAP（HMDS）、異丙醇、剝離液具有易燃性，雙氧水和硝酸具有氧化性。1.2 供應(yīng)系統(tǒng)的基本構(gòu)成LCD廠與芯片廠的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)基本相似，供應(yīng)輸送系統(tǒng)由化學(xué)品供應(yīng)柜、化學(xué)品供應(yīng)輸送模塊（計算機(jī)網(wǎng)絡(luò)化實時控制，簡稱PLC）和閥門管道系統(tǒng)組成1（見圖1）。供應(yīng)系統(tǒng)為了確保生產(chǎn)工藝設(shè)備所需求化學(xué)品的

9、使用量和使用點(diǎn)壓力，通常使用氮?dú)饣虮米鳛檩斔蛣恿υ?，供?yīng)柜部分包括了儲罐、閥門、過濾器等，而管道閥門部分則包括了閥門分配箱等。圖1 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的基本模式（1）小型供應(yīng)系統(tǒng)，根據(jù)化學(xué)品的使用量設(shè)計成200L桶槽供應(yīng)的方式，供應(yīng)柜通過泵將化學(xué)品輸送至日用罐。此類系統(tǒng)的特點(diǎn)是初期投資小，占有空間??；在一些芯片廠，小型系統(tǒng)的日用供給儲罐采用內(nèi)置于供應(yīng)柜內(nèi)的60L桶罐，可更有效地節(jié)省空間；萬一出現(xiàn)化學(xué)品原料的品質(zhì)問題，較易對容器內(nèi)的污染源進(jìn)行控制，降低運(yùn)行的風(fēng)險。（2）大型供應(yīng)系統(tǒng)，根據(jù)化學(xué)品的使用量設(shè)計成化學(xué)品由槽罐車輸送到接收儲罐的方式，其特點(diǎn)是減少容器更換的次數(shù)，提高操作的安全性，降低污染的可

10、能性；減少容器更換操作的人力成本；降低因容器更換所產(chǎn)生的質(zhì)量變動的可能性。（3）混合或稀釋系統(tǒng)，其特點(diǎn)是降低原料的采購單位成本；采用稱重或濃度測定等方式進(jìn)行混合或稀釋化學(xué)品原料的供給設(shè)備；但混合或稀釋等化學(xué)品精度不能保證。圖4為該混合系統(tǒng)的示意圖?；瘜W(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)選用何種系統(tǒng)桶槽，是依據(jù)化學(xué)品使用量、大型槽罐車、小型200L原料桶以及供應(yīng)系統(tǒng)的成本、供應(yīng)室的空間占地等因素綜合考慮。若設(shè)置大型供應(yīng)系統(tǒng)時應(yīng)根據(jù)化學(xué)品供應(yīng)商提供的槽罐車容積來確定接收儲罐的容量。在芯片廠，由于現(xiàn)場化學(xué)品稀釋的濃度無法達(dá)到精確濃度，除了氫氟酸緩沖溶液、顯影液等，混合或稀釋的供應(yīng)系統(tǒng)基本不使用；而LCD廠則使用了較多的金屬

11、蝕刻液的混合系統(tǒng)，對于運(yùn)行管理提出了較嚴(yán)格的要求。1.3 化學(xué)品品質(zhì)的控制在LCD和芯片制造中使用的化學(xué)品在不同的生產(chǎn)工藝中會被重復(fù)使用，這些化學(xué)品可能會殘留在玻璃基板或硅片表面，導(dǎo)致污染。因此對使用的化學(xué)品純度要求極高，應(yīng)嚴(yán)格控制微粒、金屬離子和不想要的化學(xué)物質(zhì)對產(chǎn)品的玷污。減少化學(xué)物質(zhì)玷污的最好方法是徹底消除液態(tài)化學(xué)品的使用，但在目前的制造過程中，還無法實現(xiàn)，只能通過不斷地提高這些化學(xué)品的純度來達(dá)到制造工藝的要求。因此在化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的運(yùn)行管理中，品質(zhì)的要求是極其重要的。除混酸或稀釋系統(tǒng)外，一般化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)并沒有在線的品質(zhì)監(jiān)控儀器，應(yīng)在日常運(yùn)行中，根據(jù)化學(xué)品原料供應(yīng)商提供的品質(zhì)保證書等確

12、保使用的化學(xué)品是符合要求的；也可以現(xiàn)場取樣，在工廠的實驗室或委托專門的檢測機(jī)構(gòu)對輸送至使用點(diǎn)的化學(xué)品進(jìn)行檢測分析。當(dāng)檢測出的數(shù)據(jù)超出控制指標(biāo)時，就應(yīng)啟動專門的應(yīng)急預(yù)案進(jìn)行處理。為了保證輸送到使用點(diǎn)的化學(xué)品品質(zhì)良好，化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)在設(shè)計時應(yīng)合理選擇管路和閥門及過濾器，除了流量，壓損等因素，材質(zhì)必須正確選擇，一般輸送無機(jī)酸堿的化學(xué)品選用PFA材質(zhì)的管路，泵、閥門主體及槽體內(nèi)部則采用PFA、PVDF或PTFE等氟塑料材質(zhì)。輸送有機(jī)溶劑應(yīng)采用SUS316LEP的管材和閥門。 1.4 安全技術(shù)措施無論是LCD還是芯片廠使用的化學(xué)品種類繁多且具有腐蝕性、毒性、氧化性、易燃易爆性，為此化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)除本身安

13、全措施外，還應(yīng)充分考慮供應(yīng)系統(tǒng)放置場所安全措施，例如：酸堿和有機(jī)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的分隔、化學(xué)品的相容性、防火防爆區(qū)域的劃分和泄漏檢測、各種防災(zāi)儀器連動裝置、排氣、逃生和防爆電器用品等的設(shè)置等。（1）設(shè)置場所的分隔和防護(hù)LCD 和芯片廠的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)配送室一般分為無機(jī)室、有機(jī)防爆室和電器室，根據(jù)實際情況，無機(jī)室還可以分成堿房和酸房。易燃易爆的供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)置在有機(jī)防爆室，為防止火災(zāi)或爆炸所引起的危害，防爆室應(yīng)設(shè)置瀉爆墻，在入口處設(shè)置防火門，安裝緊急噴淋裝置、氣體泄漏檢測裝置、溫度傳感裝置、緊急排放或圍堵裝置、緊急排風(fēng)裝置等，在供應(yīng)柜內(nèi)安裝CO2滅火裝置。無機(jī)酸堿室需設(shè)置緊急排放和圍堵裝置等，確保在非

14、正常情況下，將危害控制在很小的范圍內(nèi)，使設(shè)備及人員的損傷降到最低。為了確?；瘜W(xué)品的穩(wěn)定性，供應(yīng)系統(tǒng)配送室對溫度、濕度也有較嚴(yán)格的控制，一般濕度控制在60%以下，溫度控制在23 ±1，并配備了全新風(fēng)和緊急排風(fēng)。（2）供應(yīng)系統(tǒng)的主要安全措施- 68 -化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的主要組成部分就是管路、閥門、泵、過濾器。在材質(zhì)的選用應(yīng)充分考慮化學(xué)品的性質(zhì)，例如腐蝕性、揮發(fā)性、氧化性、毒性等等，在第1.3品質(zhì)控制中已經(jīng)提到無機(jī)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的管件使用氟塑料、有機(jī)化學(xué)品系統(tǒng)使用不銹鋼管材。在長距離的無機(jī)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的配管中宜采用雙層管形式，即內(nèi)層采用PFA材質(zhì)的管材、外層使用透明的PVC。在更長距離的配

15、管中，需設(shè)置管路接頭箱（Union-Box） 等，并安裝泄漏檢測裝置。對于無腐蝕性的有機(jī)溶劑，一般可選用SUS316L，而有腐蝕性的有機(jī)溶劑，應(yīng)選用內(nèi)層是PFA，外層是SUS304不銹鋼的雙層管路。管路閥門、過濾器也都需要考慮化學(xué)品的性質(zhì)，選用相應(yīng)的型號材質(zhì)。供應(yīng)系統(tǒng)宜采用泵或氮?dú)庾鳛檩斔偷膭恿υ?，為了保證化學(xué)品的品質(zhì)和流量的穩(wěn)定，通常使用氮?dú)庾鳛檩斔偷绞褂命c(diǎn)的動力源。化學(xué)品管路架設(shè)時，一般設(shè)置在其他管路的最下層，防止泄漏時影響其他系統(tǒng)。管路應(yīng)有一定的坡度，在接點(diǎn)處及閥箱中安裝檢漏裝置。在供應(yīng)系統(tǒng)中，使用的槽罐，通常都用N2進(jìn)行充填，并應(yīng)設(shè)有安全閥、防爆膜和防爆膜指示片，當(dāng)槽罐內(nèi)壓力超過設(shè)定工

16、作壓力時，防爆膜會被頂破、防爆膜指示片連動發(fā)出警報，系統(tǒng)停止并瀉壓，確保了槽罐和整體系統(tǒng)的安全。此外為了方便計量槽罐內(nèi)液體液位，防止液體被排空或溢出，槽罐上設(shè)計安裝兩種液位計，壓力式液位計、U型液位計及光電感應(yīng)電子液位傳感器或磁感應(yīng)式液位計等，除有“HH”“LL”，還設(shè)置了“HHH”“LLL”，雙重保護(hù)。有機(jī)系統(tǒng)的槽罐必須進(jìn)行接地，每年進(jìn)行接地電阻的測試，防止因靜電火花而引起的燃爆。條形碼確認(rèn)、驗證，化學(xué)品系統(tǒng)日常維護(hù)及換桶、槽罐填充的工作都是重復(fù)性的，而200L原料桶的顏色、大小都十分相似，易在進(jìn)行桶交換時，換錯桶。在化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中為了防范人為的換桶錯誤，機(jī)柜上都設(shè)置了條形碼掃描確認(rèn)步驟，

17、而特定的化學(xué)品（有機(jī)系統(tǒng)和無機(jī)系統(tǒng)等）都有不同的氣、液接頭，這樣在操作人員確認(rèn)化學(xué)品名稱之后，由供應(yīng)系統(tǒng)再確認(rèn)一遍。對于大型供應(yīng)系統(tǒng)的化學(xué)品補(bǔ)充，槽罐車在放料時也需要進(jìn)行條形碼的驗證，通過之后，整個接收過程才會開始進(jìn)行。2 化學(xué)品回收處理系統(tǒng)2.1 化學(xué)品回收處理系統(tǒng)的定義和分類24小時不間斷收集和處理生產(chǎn)線上排下化學(xué)品的回收處理系統(tǒng)，可大致分為有機(jī)回收系統(tǒng)和排水處理系統(tǒng)。無論是儲罐收集外運(yùn)處理還是排入排水系統(tǒng)處理，都是為了使回收的化學(xué)品能有效地處理，達(dá)到循環(huán)使用或排放標(biāo)準(zhǔn)，不污染環(huán)境?；瘜W(xué)品回收處理系統(tǒng)按照化學(xué)品的種類可以分成以下四類：（1）不含氟的有機(jī)廢液回收系統(tǒng)：芯片制作生產(chǎn)線上使用過的

18、異丙醇、剝離液、光刻膠24小時不間斷地分別從連接設(shè)備的廢液管路下排到有機(jī)廢液回收儲罐，達(dá)到一定回收量- 69 -后通過泵輸送到外運(yùn)的槽車中，委外處理；或在LCD廠，通過設(shè)置蒸餾裝置對濃度較高的異丙醇和剝離液進(jìn)行回收再利用。國內(nèi)一些LCD廠的異丙醇和剝離液也是委托其他單位對廢液進(jìn)行蒸餾去雜質(zhì)，達(dá)到要求后通過槽車加料方式進(jìn)入到供應(yīng)系統(tǒng)中，通過比例調(diào)配達(dá)到原液要求后繼續(xù)使用4。（2）酸堿處理系統(tǒng)：生產(chǎn)設(shè)備使用的鹽酸、化學(xué)品供應(yīng)室排放的低濃度硫酸廢液、氨水廢液等排放到酸堿排水中繼槽，通過PH調(diào)整等中和處理，達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)后排放。（3）含氟廢水處理系統(tǒng)：含氟廢水是芯片廠產(chǎn)生的主要廢水，直接排放會污染水源，危害

19、人體。芯片制造過程中，濕法設(shè)備在清洗和刻蝕硅片時，常使用到的氫氟酸、氫氟酸緩沖溶液、硝酸、磷酸、硫酸等廢液必須輸送至F系排水槽，然后經(jīng)過后續(xù)處理達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)（<10ppm）后再進(jìn)行排放。（4）含重金屬的廢水處理系統(tǒng)：LCD廠在生產(chǎn)液晶面板時，使用到刻蝕鋁（Al）和鉻（Cr）的混酸溶液，其處理方式不同于芯片廠，屬于重金屬的廢液處理系統(tǒng)，由于鋁刻蝕廢液的排放量大，一些LCD廠也會收集之后委托處理。而相對于鉻酸混合液系強(qiáng)酸性物質(zhì)，故要把它稀釋到約1的濃度之后進(jìn)行還原，并且要待全部溶液被還原變成綠色時，分析檢測廢液不含六價鉻后，再經(jīng)過后續(xù)處理達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。2.2 回收處理系統(tǒng)的基本構(gòu)成

20、LCD廠與芯片廠的化學(xué)品回收處理系統(tǒng)存在一定差異，按照處理方式可分為收集委托處理、回收利用、回收處理排放三類，它們基本構(gòu)成如下：（1）收集委托處理芯片廠的有機(jī)回收系統(tǒng)一般都設(shè)有回收儲罐、化學(xué)品回收處理模塊和閥門管道系統(tǒng)組成，有機(jī)廢液回收系統(tǒng)原理見圖2。從設(shè)備側(cè)排放的異丙醇、剝離液和光刻膠通過重力流收集到相應(yīng)的儲罐，然后通過泵輸送到外運(yùn)的槽車中，委托有資質(zhì)的廠家進(jìn)行處理。由于芯片廠排下的剝離液、光刻膠成分復(fù)雜，異丙醇濃度不高，回收再利用的經(jīng)濟(jì)效益不高，委外處理比較合理。圖2 有機(jī)廢液回收系統(tǒng)流程（2）回收處理排放設(shè)備側(cè)排放的無機(jī)廢液一般都需要特別處理，回收系統(tǒng)包括排水中繼槽，反應(yīng)槽、PH調(diào)整槽等

21、儲罐、藥劑添加系統(tǒng)、閥門管道系統(tǒng)、和排水處理模塊。（3）回收再利用LCD廠的無機(jī)廢液處理系統(tǒng)的構(gòu)成與芯片廠類似，而有機(jī)回收系統(tǒng)增加了異丙醇和剝離液的回收再利用裝置，從設(shè)備側(cè)收集的異丙醇或剝離液至中繼儲罐?；厥盏漠惐贾?，除去大量的水，主要成分仍然是異丙醇， 通過回收系統(tǒng)的過濾及蒸餾雙重處理，回收的異丙醇濃度將提高至99.9%以上；同樣回收的剝離廢液中除剝離液（主要成份是乙醇胺、DMSO、NMP等）、水、光阻，可能還含有其他高溫加熱產(chǎn)生的化合物，通過回收系統(tǒng)蒸餾剝離廢液去除其他雜質(zhì)，然后加入到比例調(diào)配系統(tǒng)中，使其達(dá)到剝離液原液的濃度，剝離液蒸餾回收系統(tǒng)流程見圖34。圖3 剝離廢液蒸餾回收系統(tǒng)流程

22、2.3 回收處理系統(tǒng)的排放控制在LCD和芯片廠排放的廢液，由于所含的化學(xué)品成分和比例不同，需要進(jìn)行針對性的回收和處理。有機(jī)廢液回收系統(tǒng)回收的廢液如果是委外處理，則不要對其成分和濃度進(jìn)行監(jiān)測，如果需要回收利用，通過回收系統(tǒng)的過濾及蒸餾雙重處理，達(dá)到需要循環(huán)使用的標(biāo)準(zhǔn)，其濃度和成分需要在線或現(xiàn)場取樣分析。無機(jī)廢液包括無機(jī)酸堿處理、重金屬廢液處理、含氟廢液的排水處理，通過添加氫氧化鈣（Ca(OH)2）、三氯化鐵（FeCl3）或其他氫氧化物、絮凝劑，調(diào)節(jié)PH值，攪拌沉淀形成污泥，達(dá)到去除氟離子或重金屬離子的目的；在處理系統(tǒng)的每一個關(guān)鍵步驟處，都有PH、氟離子或重金屬離子的監(jiān)控。每日還應(yīng)提取水樣，對沉淀

23、后的上清液進(jìn)行含氟或含金屬離子的檢測，確認(rèn)廢水監(jiān)測設(shè)備是否正常工作，廢水處理是否有效；而排水處理系統(tǒng)的最終排放口，應(yīng)對最終排放的水樣進(jìn)行監(jiān)測，例如氟化物、BOD5、CODCr、PH值、懸浮物、TOC等，均應(yīng)嚴(yán)格控制在國家污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)之內(nèi)。2.4 安全技術(shù)措施無論是LCD還是芯片廠，都使用了大量種類繁多的化學(xué)品，這也就決定了回收處理系統(tǒng)的多樣性。這些需要回收處理的廢液具有腐蝕性大、毒性強(qiáng)，有機(jī)廢液還具有燃爆等性質(zhì)，所以化學(xué)品回收處理系統(tǒng)即要考慮其系統(tǒng)本身的安全，也應(yīng)考慮回收處理系統(tǒng)放置場所的安全。（1）放置場所得分隔及防護(hù)易燃易爆的有機(jī)廢液儲罐應(yīng)設(shè)置在有機(jī)防爆室內(nèi)，其儲存和環(huán)境及應(yīng)急設(shè)備的設(shè)

24、置與有機(jī)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)相同。無機(jī)廢液回收處理系統(tǒng)占地面積較大，一般單獨(dú)設(shè)置處理場所放置儲罐、泵、反應(yīng)槽、沉淀槽等，儲罐和泵的周圍都有地漏、潛水泵和圍堰堤，將不同屬性的廢液隔離，防止有大量液體泄漏時發(fā)生二次事故，并能及時處置。其他排氣、消防設(shè)施都必須安裝到位，確保非正常情況下，將危害控制在很小的范圍內(nèi)。（2）回收處理系統(tǒng)相關(guān)主要安全措施回收系統(tǒng)的儲罐有機(jī)廢液的儲罐通常選用不銹鋼304材質(zhì)，無機(jī)廢液的儲罐大多選用玻璃鋼、水泥加防腐層或不銹鋼304內(nèi)襯防腐涂層。儲罐的液位計設(shè)置兩種：壓力式液位計和U型液位計。U型液位計便于日常觀察和點(diǎn)檢，壓力式液位計通過PLC控制，設(shè)定低液位、近空液位、預(yù)定外運(yùn)液位、高液位等，通過雙重的液位計設(shè)置，確保