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1、無機化學(xué)專業(yè)畢業(yè)論文 精品論文 LaCr<,1-x>Ti<,x>O<,3>復(fù)合氧化物的合成及其膜型氣敏性關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體傳感器 敏感元件 氣敏材料 鑭鉻薄膜摘要:隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有
2、雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉體材料的吸附氧。正文內(nèi)容 隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的
3、檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。
4、同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉體材料的吸附氧。隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.
5、3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉體材料的吸附氧。隨著科技的發(fā)展和人民生
6、活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.
7、8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉體材料的吸附氧。隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,
8、XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧
9、比例高于粉體材料的吸附氧。隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行
10、了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉體材料的吸附氧。隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了L
11、aCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布
12、均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉體材料的吸附氧。隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1
13、xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉體材料的吸附氧。隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中
14、占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明
15、該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉體材料的吸附氧。隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti
16、2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉體材料的吸附氧。隨著科技的發(fā)展和人民生活水平的提高,人們對身體健康以及環(huán)境中有毒氣體的檢測越來越關(guān)注。半導(dǎo)體型氣敏傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一,其中,ABO3鈣鈦礦
17、型復(fù)合氧化物因其靈敏度高,選擇性好等在氣敏材料中占有重要的地位。 本文采用檸檬酸鹽燃燒法制備了LaCr1xTixO3(x=00.4)系列化合物,XRD圖譜表明LaCr1xTixO3(x=00.3)系列化合物均為單一的鈣鈦礦型LaCrO3晶體結(jié)構(gòu),沒有雜相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作電壓為5V的條件下,對LaCr1xTixO3(x=00.4)基厚膜型敏感元件進行了氣敏性測試,結(jié)果表明該系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3氣敏性最好,對丙酮的靈敏度最高。同時采用射頻磁控濺射方法制備了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并對其進行了XRD、
18、XPS、SEM、AFM等結(jié)構(gòu)表征,XRD圖譜證明該薄膜仍為ABO3鈣鈦礦型結(jié)構(gòu),粒子在薄膜中排布均勻、致密,XPS圖譜解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉體材料的吸附氧。特別提醒:正文內(nèi)容由PDF文件轉(zhuǎn)碼生成,如您電腦未有相應(yīng)轉(zhuǎn)換碼,則無法顯示正文內(nèi)容,請您下載相應(yīng)軟件,下載地址為 。如還不能顯示,可以聯(lián)系我q q 1627550258 ,提供原格式文檔。 " 垐垯櫃換燙梯葺銠?endstreamendobj2x滌?U'閩AZ箾FTP鈦X飼?狛P?燚?琯嫼b?袍*甒?颙嫯'?4)=r宵?i?j彺帖B3锝檡骹>笪yLrQ#?0鯖l壛枒l壛枒l壛枒l壛枒l壛枒l壛枒l壛枒l壛枒l壛枒l壛枒l壛枒l壛>渓?擗#?"?#綫G劌#K芿$
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