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1、CMOS圖像傳感器的基本原理及設(shè)計(jì)考慮 摘 要:介紹CMOS圖像傳感器的基本原理、潛在優(yōu)點(diǎn)、設(shè)計(jì)方法以及設(shè)計(jì)考慮。 關(guān)鍵詞:互補(bǔ)型金屬氧化物半導(dǎo)體圖像傳感器;無(wú)源像素傳感器;有源像素傳感器 1引言 20世紀(jì)70年代,CCD圖像傳感器和CMOS圖像傳感器同時(shí)起步。CCD圖像傳感器由于靈敏度高、噪聲低,逐步成為圖像傳感器的主流。但由于工藝上的原因,敏感元件和信號(hào)處理電路不能集成在同一芯片上,造成由CCD圖像傳感器組裝的攝像機(jī)體積大、功耗大。CMOS圖像傳感器以其體積小、功耗低在
2、圖像傳感器市場(chǎng)上獨(dú)樹(shù)一幟。但最初市場(chǎng)上的CMOS圖像傳感器,一直沒(méi)有擺脫光照靈敏度低和圖像分辨率低的缺點(diǎn),圖像質(zhì)量還無(wú)法與CCD圖像傳感器相比。 如果把CMOS圖像傳感器的光照靈敏度再提高5倍10倍,把噪聲進(jìn)一步降低,CMOS圖像傳感器的圖像質(zhì)量就可以達(dá)到或略微超過(guò)CCD圖像傳感器的水平,同時(shí)能保持體積小、重量輕、功耗低、集成度高、價(jià)位低等優(yōu)點(diǎn),如此,CMOS圖像傳感器取代CCD圖像傳感器就會(huì)成為事實(shí)。 由于CMOS圖像傳感器的應(yīng)用,新一代圖像系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)研制得到了極大的發(fā)展,并且隨著經(jīng)濟(jì)規(guī)模的形成,其生產(chǎn)成本也得到降低?,F(xiàn)
3、在,CMOS圖像傳感器的畫面質(zhì)量也能與CCD圖像傳感器相媲美,這主要?dú)w功于圖像傳感器芯片設(shè)計(jì)的改進(jìn),以及亞微米和深亞微米級(jí)設(shè)計(jì)增加了像素內(nèi)部的新功能。 實(shí)際上,更確切地說(shuō),CMOS圖像傳感器應(yīng)當(dāng)是一個(gè)圖像系統(tǒng)。一個(gè)典型的CMOS圖像傳感器通常包含:一個(gè)圖像傳感器核心(是將離散信號(hào)電平多路傳輸?shù)揭粋€(gè)單一的輸出,這與CCD圖像傳感器很相似),所有的時(shí)序邏輯、單一時(shí)鐘及芯片內(nèi)的可編程功能,比如增益調(diào)節(jié)、積分時(shí)間、窗口和模數(shù)轉(zhuǎn)換器。事實(shí)上,當(dāng)一位設(shè)計(jì)者購(gòu)買了CMOS圖像傳感器后,他得到的是一個(gè)包括圖像陣列邏輯寄存器、存儲(chǔ)器、定時(shí)脈沖發(fā)生器和轉(zhuǎn)換器在內(nèi)的全部系統(tǒng)。與傳
4、統(tǒng)的CCD圖像系統(tǒng)相比,把整個(gè)圖像系統(tǒng)集成在一塊芯片上不僅降低了功耗,而且具有重量較輕,占用空間減少以及總體價(jià)格更低的優(yōu)點(diǎn)。2基本原理 從某一方面來(lái)說(shuō),CMOS圖像傳感器在每個(gè)像素位置內(nèi)都有一個(gè)放大器,這就使其能在很低的帶寬情況下把離散的電荷信號(hào)包轉(zhuǎn)換成電壓輸出,而且也僅需要在幀速率下進(jìn)行重置。CMOS圖像傳感器的優(yōu)點(diǎn)之一就是它具有低的帶寬,并增加了信噪比。由于制造工藝的限制,早先的CMOS圖像傳感器無(wú)法將放大器放在像素位置以內(nèi)。這種被稱為PPS的技術(shù),噪聲性能很不理想,而且還引來(lái)對(duì)CMOS圖像傳感器的種種干擾。 然而今天
5、,隨著制作工藝的提高,使在像素內(nèi)部增加復(fù)雜功能的想法成為可能。現(xiàn)在,在像素位置以內(nèi)已經(jīng)能增加諸如電子開(kāi)關(guān)、互阻抗放大器和用來(lái)降低固定圖形噪聲的相關(guān)雙采樣保持電路以及消除噪聲等多種附加功能。實(shí)際上,在Conexant公司(前Rockwell半導(dǎo)體公司)的一臺(tái)先進(jìn)的CMOS攝像機(jī)所用的CMOS圖傳感器上,每一個(gè)像素中都設(shè)計(jì)并使用了6個(gè)晶體管,測(cè)試到的讀出噪聲只有1均方根電子。不過(guò),隨著像素內(nèi)電路數(shù)量的不斷增加,留給感光二極管的空間逐漸減少,為了避免這個(gè)比例(又稱占空因數(shù)或填充系數(shù))的下降,一般都使用微透鏡,這是因?yàn)槊總€(gè)像素位置上的微小透鏡都能改變?nèi)肷涔饩€的方向,使得本來(lái)會(huì)落到連接點(diǎn)或晶體管上的光線
6、重回到對(duì)光敏感的二極管區(qū)域。 因?yàn)殡姾杀幌拗圃谙袼匾詢?nèi),所以CMOS圖像傳感器的另一個(gè)固有的優(yōu)點(diǎn)就是它的防光暈特性。在像素位置內(nèi)產(chǎn)生的電壓先是被切換到一個(gè)縱列的緩沖區(qū)內(nèi),然后再被傳輸?shù)捷敵龇糯笃髦?,因此不?huì)發(fā)生傳輸過(guò)程中的電荷損耗以及隨后產(chǎn)生的光暈現(xiàn)象。它的不利因素是每個(gè)像素中放大器的閾值電壓都有細(xì)小的差別,這種不均勻性就會(huì)引起固定圖像噪聲。然而,隨著CMOS圖像傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制造工藝的不斷改進(jìn),這種效應(yīng)已經(jīng)得到顯著弱化。 這種多功能的集成化,使得許多以前無(wú)法應(yīng)用圖像技術(shù)的地方現(xiàn)在也變得可行了,如孩子的玩具,更加分散的
7、保安攝像機(jī)、嵌入在顯示器和膝上型計(jì)算機(jī)顯示器中的攝像機(jī)、帶相機(jī)的移動(dòng)電路、指紋識(shí)別系統(tǒng)、甚至于醫(yī)學(xué)圖像上所使用的一次性照相機(jī)等,這些都已在某些設(shè)計(jì)者的考慮之中。3設(shè)計(jì)考慮 然而,這個(gè)行業(yè)還有一個(gè)受到普遍關(guān)注的問(wèn)題,那就是測(cè)量方法,具體指標(biāo)、陣列大小和特性等方面還缺乏統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。每一位工程師在比較各種資料一覽表時(shí),可能會(huì)發(fā)現(xiàn)在一張表上列出的是關(guān)于讀出噪聲或信噪比的資料,而在另一張表上可能只是強(qiáng)調(diào)關(guān)于動(dòng)態(tài)范圍或最大勢(shì)阱容量的資料。因此,這就要求設(shè)計(jì)者們能夠判斷哪一個(gè)參數(shù)對(duì)他們最重要,并且盡可能充分利用多產(chǎn)品的CMOS圖像傳感器家族。
8、60; 一些關(guān)鍵的性能參數(shù)是任何一種圖像傳感器都需要關(guān)注的,包括信噪比、動(dòng)態(tài)范圍、噪聲(固定圖形噪聲和讀出噪聲)、光學(xué)尺寸以及電壓的要求。應(yīng)當(dāng)知道并用來(lái)對(duì)比的重要參數(shù)有:最大勢(shì)阱容量、各種工作狀態(tài)下的讀出噪聲、量子效率以及暗電流,至于信噪比之類的其它參數(shù)都是由那些基本量度推導(dǎo)出來(lái)的。 對(duì)于像保安攝像機(jī)一類的低照度級(jí)的應(yīng)用,讀出噪聲和量子效應(yīng)最重要。然而對(duì)于象戶外攝影一類的中、高照度級(jí)的應(yīng)用,比較大的最大勢(shì)阱容量就顯得更為重要。 動(dòng)態(tài)范圍和信噪比是最容易被誤解和誤用的參數(shù)。動(dòng)態(tài)范圍是最大勢(shì)阱容量與最低讀出噪聲的比值,它之所以
9、引起誤解,是因?yàn)樽x出噪聲經(jīng)常不是在典型的運(yùn)行速度下測(cè)得的,而且暗電流散粒噪聲也常常沒(méi)有被計(jì)算在內(nèi)。信噪比主要決定于入射光的亮度級(jí)(事實(shí)上,在亮度很低的情況下,噪聲可能比信號(hào)還要大)。 所以,信噪比應(yīng)該將所有的噪聲源都考慮在內(nèi),有些資料一覽表中常常忽略散粒噪聲,而它恰恰是中、高信號(hào)電平的主要噪聲來(lái)源。而SNRDARK得到說(shuō)明,實(shí)際上與動(dòng)態(tài)范圍沒(méi)有什么兩樣。數(shù)字信噪比或數(shù)字動(dòng)態(tài)范圍是另一個(gè)容易引起混淆的概念,它表明的只是模擬/數(shù)字(A/D)轉(zhuǎn)換器的一個(gè)特性。雖然這可能很重要,但它并不能精確地描述圖像的質(zhì)量。同時(shí)我們也應(yīng)清楚地認(rèn)識(shí)到,當(dāng)圖像傳感器具有多個(gè)可調(diào)模擬增
10、益設(shè)置時(shí),模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換器的分辨率不會(huì)對(duì)圖像傳感器的動(dòng)態(tài)范圍產(chǎn)生限制。 光學(xué)尺寸的概念的模糊,是由于傳統(tǒng)觀念而致。使用光導(dǎo)攝像管只能在部分范圍內(nèi)產(chǎn)生有用的圖像。它的計(jì)算包括度量單位的轉(zhuǎn)換和向上舍入的方法。采用向上舍入的方法,先以毫米為單位測(cè)量圖像傳感器的對(duì)角線除以16,就能得到以英寸為單位的光學(xué)尺寸。例如0.97cm的尺寸是1.27cm而不是0.85cm。假如你選擇了一個(gè)光學(xué)尺寸為0.85cm的圖像傳感器,很可能出現(xiàn)圖像的四周角落上的映影(陰影)現(xiàn)象。這是因?yàn)橛行┵Y料一覽表欺騙性地使用了向下舍入的方法。例如,將0.97cm的尺寸稱為0.85cm,理由很簡(jiǎn)單:
11、0.85cm光學(xué)尺寸的圖像傳感器的價(jià)格要比1.27cm光學(xué)尺寸的圖像傳感器的價(jià)格低得多,但是這對(duì)系統(tǒng)工作性能產(chǎn)生不利影響。所以,設(shè)計(jì)者應(yīng)該通過(guò)計(jì)算試用各種不同的圖像傳感器來(lái)得到想要的性能。 CMOS圖像傳感器的一個(gè)很大的優(yōu)點(diǎn)就是它只要求一個(gè)單電壓來(lái)驅(qū)動(dòng)整個(gè)裝置。不過(guò)設(shè)計(jì)者仍應(yīng)謹(jǐn)慎地布置電路板驅(qū)動(dòng)芯片。根據(jù)實(shí)際要求,數(shù)字電壓和模擬電壓之間盡可能地分離開(kāi)以防止串?dāng)_。因此良好的電路板設(shè)計(jì),接地和屏蔽就顯得非常重要。盡管這種圖像傳感器是一個(gè)CMOS裝置并具有標(biāo)準(zhǔn)的輸入/輸出(I/O)電壓,但它實(shí)際的輸入信號(hào)相當(dāng)小,而且對(duì)噪聲也很敏感。
12、0; 到目前為止,已設(shè)計(jì)出高集成度單芯片CMOS圖像傳感器。設(shè)計(jì)者力求使有關(guān)圖像的應(yīng)用更容易實(shí)現(xiàn)多功能,包括自動(dòng)增益控制(AGC)、自動(dòng)曝光控制(AEC)、自動(dòng)平衡(AMB)、伽瑪樣正、背景補(bǔ)償和自動(dòng)黑電平校正。所有的彩色矩陣處理功能都集成在芯片中。CMOS圖像傳感器允許片上的寄存器通過(guò)I2C總線對(duì)攝像機(jī)編程,具有動(dòng)態(tài)范圍寬、抗浮散且?guī)缀鯖](méi)有拖影的優(yōu)點(diǎn)。4CMOS-APS的潛在優(yōu)點(diǎn)和設(shè)計(jì)方法41CMOS-APS勝過(guò)CCD圖像傳感器的潛在優(yōu)點(diǎn) CMOSAPS勝過(guò)CCD圖像傳感器的潛在優(yōu)點(diǎn)包括15: 1)消除了電荷反復(fù)轉(zhuǎn)移的麻
13、煩,免除了在輻射條件下電荷轉(zhuǎn)移效率(CTE)的退化和下降。 2)工作電流很小,可以防止單一振動(dòng)和信號(hào)閉鎖。 3)在集成電路芯片中可進(jìn)行信號(hào)處理,因此可提供芯跡線,模/數(shù)轉(zhuǎn)換的自調(diào)節(jié),也能提供由電壓漂移引起的輻射調(diào)節(jié)。 與硅探測(cè)器有關(guān),需要解決的難題和爭(zhēng)論點(diǎn)包括12: 1)在體材料界面由于輻射損傷而產(chǎn)生的暗電流的增加問(wèn)題。 2)包括動(dòng)態(tài)范圍損失的閾值漂移問(wèn)題。 3)在模/數(shù)轉(zhuǎn)換電路中
14、,定時(shí)和控制中的信號(hào)閉鎖和單一擾動(dòng)問(wèn)題。42CMOS-APS的設(shè)計(jì)方法 CMOS-APS的設(shè)計(jì)方法包括: 1)為了降低暗電流而進(jìn)行研制創(chuàng)新的像素結(jié)構(gòu)。 2)使用耐輻射的鑄造方法,再研制和開(kāi)發(fā)中等尺寸“dumb”(啞)成像儀(通過(guò)反復(fù)地開(kāi)發(fā)最佳像素結(jié)構(gòu))。 3)研制在芯片上進(jìn)行信號(hào)處理的器件,以適應(yīng)自動(dòng)調(diào)節(jié)本身電壓Vt的漂移和動(dòng)態(tài)范圍的損失。 4)研制和開(kāi)發(fā)耐輻射(單一擾動(dòng)環(huán)境)的定時(shí)和控制裝置。
15、; 5)研制和加固耐輻射的模/數(shù)轉(zhuǎn)換器。 6)尋找低溫工作條件,以便在承受最大幅射強(qiáng)度時(shí),找到并證實(shí)最佳的工作溫度。 7)研制和開(kāi)發(fā)大尺寸、全數(shù)字化、耐輻射的CMOS-APS,以便生產(chǎn)。 8)測(cè)試、評(píng)價(jià)和鑒定該器件的性能。 9)引入當(dāng)代最高水平的組合式光學(xué)通信/成像系統(tǒng)測(cè)試臺(tái)。5像素電路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 目前,已設(shè)計(jì)的CMOS圖像傳感器像素結(jié)構(gòu)有:空隙積累二極管(HAD)型結(jié)構(gòu)、光電二極管型無(wú)源像素結(jié)構(gòu)、光電二極
16、管型有源像素結(jié)構(gòu)、對(duì)數(shù)變換積分電路型結(jié)構(gòu)、掩埋電荷積累和敏感晶體管陣列(BCAST)型結(jié)構(gòu)、低壓驅(qū)動(dòng)掩埋光電二極管(LVBPD)型結(jié)構(gòu)、深P阱光電二極管型結(jié)構(gòu)、針型光電二極管(PPD)結(jié)構(gòu)和光柵型有源像素結(jié)構(gòu)等。51CMOSPPS像素結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 光電二極管型CMOS無(wú)源像素傳感器(CMOS-PPS)的結(jié)構(gòu)自從1967年Weckler首次提出以來(lái)實(shí)質(zhì)上一直沒(méi)有變化,其結(jié)構(gòu)如圖1所示。它由一個(gè)反向偏置的光敏二極管和一個(gè)開(kāi)關(guān)管構(gòu)成。當(dāng)開(kāi)關(guān)管開(kāi)啟時(shí),光敏二極管與垂直的列線連通。位于列線末端的電荷積分放大器讀出電路保持列線電壓為一常數(shù),并減小KTC噪聲。當(dāng)光敏二極管存貯
17、的信號(hào)電荷被讀出時(shí),其電壓被復(fù)位到列線電壓水平,與此同時(shí),與光信號(hào)成正比的電荷由電荷積分放大器轉(zhuǎn)換為電荷輸出。 單管的PD-CMOS-PPS允許在給定的像素尺寸下有最高的設(shè)計(jì)填充系數(shù),或者在給定的設(shè)計(jì)填充系數(shù)下,可以設(shè)計(jì)出最小的像素尺寸。另外一個(gè)開(kāi)關(guān)管也可以采用,以實(shí)現(xiàn)二維的XY尋址。由于填充系數(shù)高且沒(méi)有許多CCD中多晶硅疊層,CMOS-PPS像素結(jié)構(gòu)的量子效率較高。但是,由于傳輸線電容較大,CMOS-PPS讀出噪聲較高,典型值為250個(gè)均方根電子,這是致命的弱點(diǎn)。52CMOS-APS的像素結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 幾乎在CMOS-PPS
18、像素結(jié)構(gòu)發(fā)明的同時(shí),科學(xué)家很快認(rèn)識(shí)到在像素內(nèi)引入緩沖器或放大器可以改善像素的性能。雖然CMOS圖像傳感器的成像裝置將光子轉(zhuǎn)換為電子的方法與CCD相同,但它不是時(shí)鐘驅(qū)動(dòng),而是由晶體三極管作為電荷感應(yīng)放大器。在一些CMOS圖像傳感器中,每組像素的頂端有一個(gè)放大器,每個(gè)像素只有一個(gè)作為閾值電流值開(kāi)關(guān)的三極管。開(kāi)關(guān)像素中的電荷為放大器充電,其過(guò)程類似DRAM中的讀取電路,這種傳感器被稱為PPS。PPS的結(jié)構(gòu)很簡(jiǎn)單,它具有高填充系數(shù)。各像元沒(méi)有很多的多晶硅層覆蓋,其量子效率很高,但是PPS的讀取干擾很高,只適應(yīng)于小陣列傳感器。 在CMOS-APS中每一像素內(nèi)都有自己的
19、放大器。CMOS-APS的填充系數(shù)比CMOS-PPS的小,集成在表面的放大晶體管減少了像素元件的有效表面積,降低了“封裝密度”,使4050的入射光被反射。這種傳感器的另一個(gè)問(wèn)題是,如何使傳感器的多通道放大器之間有較好的匹配,這可以通過(guò)降低殘余水平的固定圖形噪聲較好地實(shí)現(xiàn)。由于CMOS-APS像素內(nèi)的每個(gè)放大器僅在此讀出期間被激發(fā),所以CMOS-APS的功耗比CCD圖像傳感器的還小。與CMOS-PPS相比,CMOSAPS的填充系數(shù)較小,其設(shè)計(jì)填充系數(shù)典型值為2030,接近內(nèi)線轉(zhuǎn)換CCD的值。521光敏二極管CMOS-APS(PD-CMOS-APS)的像素結(jié)構(gòu)
20、1968年,Noble描述了PD-CMOS-APS。后來(lái),這種像素結(jié)構(gòu)有所改進(jìn)。PD-CMOS-APS的像素結(jié)構(gòu)如圖2所示。 高性能CMOSAPS由美國(guó)哥倫比亞大學(xué)電子工程系和噴氣推進(jìn)實(shí)驗(yàn)室(JPL)在1994年首次研制成功,像素?cái)?shù)為128×128,像素尺寸為40m×40m,管芯尺寸為6.8mm×6.8mm,采用1.2mCMOSn阱工藝試制,動(dòng)態(tài)范圍為72dB,固定圖形噪聲小于0.15飽和信號(hào)水平。固定圖形噪聲小于0.15飽和信號(hào)水平。1997年日本東芝公司研制成功了640×480像素光敏二極管型CMOSAPS,其像素
21、尺寸為5.6m×5.6m,具有彩色濾色膜和微透鏡陣列。2000年美國(guó)Foveon公司與美國(guó)國(guó)家半導(dǎo)體公司采用0.18mCMOS工藝研制成功4096×4096像素CMOSAPS10,像素尺寸為5m×5m,管芯尺寸為22mm×22mm,這是迄今為止世界上集成度最高、分辨率最高的CMOS固體攝像器件。有關(guān)CMOSAPS的工作原理、發(fā)展現(xiàn)狀及其應(yīng)用,筆者已作過(guò)詳細(xì)介紹68。 因?yàn)楣饷裘鏇](méi)有多晶硅疊層,PD-CMOS-APS的量子效率較高,它的讀出噪聲由復(fù)位噪聲限制,典型值為75均方根電子100均方根電子。PD-CMOS-APS
22、的每個(gè)像素采用3個(gè)晶體管,典型的像元間距為15m。PD-CMOS-APS適宜于大多數(shù)低性能應(yīng)用。522光柵型CMOSAPS(PG-CMOS-APS)的像素結(jié)構(gòu) 1993年由JPL最早研制成功PG-CMOS-APS并用于高性能科學(xué)成像的低光照明成像。PG-CMOS-APS結(jié)合了CCD和XY尋址的優(yōu)點(diǎn),其結(jié)構(gòu)如圖3所示。 光柵信號(hào)電荷積分在光柵(PG)下,浮置擴(kuò)散點(diǎn)(A)復(fù)位(電壓為VDD),然后改變光柵脈沖,收集在光柵下的信號(hào)電荷轉(zhuǎn)移到擴(kuò)散點(diǎn),復(fù)位電壓水平與信號(hào)電壓水平之差就是傳感器的輸出信號(hào)。
23、60; 當(dāng)采用雙層多晶硅工藝時(shí),PG與轉(zhuǎn)移柵(TX)之間要恰當(dāng)交疊。在光柵與轉(zhuǎn)移柵之間插入擴(kuò)散橋,可以采用單層多晶硅工藝,這種擴(kuò)散橋要引起大約100個(gè)電子的拖影。 光柵型CMOSAPS每個(gè)像素采用5個(gè)晶體管,典型的像素間距為20m(最小特征尺寸)。采用0.25mCMOS工藝將允許達(dá)到5m的像素間距。浮置擴(kuò)散電容的典型值為1014F量級(jí),產(chǎn)生20V/e的增益,讀出噪聲一般為10均方根電子20均方根電子,已有讀出噪聲為5均方根電子的報(bào)道。 CMOS圖像傳感器的設(shè)計(jì)分為兩大部分,即電路設(shè)計(jì)和工藝設(shè)計(jì),CMOS圖像傳感器的性能好壞
24、,不僅與材料、工藝有關(guān),更重要的是取決于電路設(shè)計(jì)和工藝流程以及工藝參數(shù)設(shè)計(jì)。這對(duì)設(shè)計(jì)人員提出更高的要求,設(shè)計(jì)人員面要寬,在設(shè)計(jì)中,不但要懂電路、工藝、系統(tǒng)方面的知識(shí),還要有較深的理論知識(shí)。這個(gè)時(shí)代對(duì)設(shè)計(jì)者來(lái)說(shuō)是一個(gè)令人興奮和充滿挑戰(zhàn)的時(shí)代。計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)技術(shù)為設(shè)計(jì)者提供了極大的方便,但圖像系統(tǒng)的用途以及目標(biāo)用戶的范圍由制造商決定。如果用戶裝有Windows95的系統(tǒng),那么就要確定圖像系統(tǒng)不是Windows98的。如果你只是為了獲取并存儲(chǔ)大量的低分辨率圖像,那就不要選擇一個(gè)能夠提供優(yōu)質(zhì)圖像但同時(shí)會(huì)產(chǎn)生更多數(shù)據(jù)以致于無(wú)法存儲(chǔ)的高分辨率圖像傳感器?,F(xiàn)在還存在許多非標(biāo)準(zhǔn)的接口系統(tǒng)?,F(xiàn)在僅供數(shù)字相機(jī)所使
25、用可裝卸存儲(chǔ)介質(zhì)就包括PCMCIA卡、東芝(Toshiba)的速閃存儲(chǔ)器及軟磁盤。重要的是,要根據(jù)產(chǎn)品未來(lái)所在的工作環(huán)境,對(duì)樣品進(jìn)行細(xì)致的性能評(píng)估。53CCD和CMOS系統(tǒng)的設(shè)計(jì) CCD圖像傳感器和CMOS圖像傳感器在設(shè)計(jì)上各不相同,對(duì)于CCD圖像傳感器,不能在同一芯片上集成所需的功能電路。因此,在設(shè)計(jì)時(shí),除設(shè)計(jì)光敏感部分(即CCD圖像傳感器)外,還要考慮設(shè)計(jì)提供信號(hào)和圖像處理的功能電路,即信號(hào)讀出和處理電路,這些電路需要在另外的基片上制備好后才能組裝在CCD圖像傳感器的外圍;而CMOS圖像傳感器則不同,特別是CMOSAPS可以將所有的功能電路與光敏感部分(
26、光電二極管)同時(shí)集成在同一基片上,制作成高度集成化的單芯片攝像系統(tǒng)。與前者相比,成本低、制備容易、體積小、微型化、功耗低,雖然開(kāi)始有人認(rèn)為光照靈敏度不如CCD圖像傳感器的高,并且暗電流和噪聲比較大,近來(lái)由于改進(jìn)了電路設(shè)計(jì),采用亞微米和深亞微米光刻技術(shù),使CMOS圖像傳感器的性能得到改善。已經(jīng)具備與CCD圖像傳感器進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)的條件,21世紀(jì),CMOS攝像器件將成為信息獲取與處理領(lǐng)域的佼佼者。到那時(shí),單芯片攝像機(jī)和單芯片數(shù)碼相機(jī)將進(jìn)入千家萬(wàn)戶。這些都得益于CMOSAPS為人們提供了高度集成化的系統(tǒng),如圖4所示。圖5示出CMOS數(shù)碼相機(jī)的框圖,從中可見(jiàn)數(shù)碼相機(jī)設(shè)計(jì)的復(fù)雜性。6結(jié)語(yǔ) CMOS圖像傳感器的前途是光明的,隨著多媒體、數(shù)字電視、可視通訊等市場(chǎng)的增加,CMOS圖像傳感器的應(yīng)用前景更加廣闊。 CMOSAPS為MIS/CCD圖像傳感器設(shè)計(jì)提供了另一選擇方案,它把電荷轉(zhuǎn)換成電壓所需的晶體管裝在每個(gè)像素內(nèi)。在這種器件內(nèi)均不必進(jìn)行電荷轉(zhuǎn)移,因?yàn)閿?shù)據(jù)讀取是在單個(gè)
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