制程設(shè)備簡介2014(義手大學(xué)報(bào)告Glen Tsai)

1、光鋐科技股份有限公司光鋐科技股份有限公司Epileds Technologies, Inc.EPILEDS製程設(shè)備簡介製程設(shè)備簡介講師講師 : : 光鋐科技光鋐科技 蔡明吾蔡明吾2013/11/08EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS真空系統(tǒng)簡介真空系統(tǒng)簡介l 真空定義真空定義l 真空真空pumppumpl 真空計(jì)真空計(jì)l 管路系統(tǒng)管路系統(tǒng)l 測漏測漏EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS76cm水銀托里切利真空EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS德國馬德堡市長德國馬德堡市長證明真

2、空的力量，證明真空的力量，將兩個半球密合將兩個半球密合其中抽真空，兩其中抽真空，兩邊各用四匹馬並邊各用四匹馬並未能將其拉開未能將其拉開EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS絕對真空絕對真空(absolute vacuum) -氣體壓力等於零的空間就是絕對真空。氣體壓力等於零的空間就是絕對真空。 -不存在任何包括氣體在內(nèi)的物質(zhì)，故絕對真空為不存在任何包括氣體在內(nèi)的物質(zhì)，故絕對真空為一一 個氣體壓力等於零的空間。個氣體壓力等於零的空間。EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS Atmospheres (atm

3、): Scale relative to our atmospheric pressure as 1 atm Pascal (Pa 帕帕):國際真空壓力單位國際真空壓力單位 SI unit equal to N/m2 mBar(毫巴毫巴):現(xiàn)行真空壓力單位現(xiàn)行真空壓力單位 Equal to 1x10-8 Pa. Torr or mmHg:習(xí)用真空壓力單位習(xí)用真空壓力單位 Most commonly used pressure unit, based on mercury vacuum gauges.EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILED

4、SEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS Atmospheric: 760 Torr Low Vacuum: 1 to 1x10-3 Torr Medium Vacuum: 1x10-3 to 1x10-5 Torr High Vacuum (HV): 1x10-6 to 1x10-8 Torr Ultra-High Vacuum (UHV): 1x10-9 TorrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS早期為探究真實(shí)早期為探究真實(shí)原

5、子原子的表面，的表面， 表面分析過程往往須在真空或超高表面分析過程往往須在真空或超高 真空中進(jìn)行的真空中進(jìn)行的，主要科學(xué)儀器之表主要科學(xué)儀器之表面分析設(shè)備都具有真空系統(tǒng)。面分析設(shè)備都具有真空系統(tǒng)。目前目前LED製程設(shè)備製程設(shè)備如如PECVD、 蒸蒸鍍機(jī)鍍機(jī)、濺鍍機(jī)、電漿蝕刻等皆需使濺鍍機(jī)、電漿蝕刻等皆需使用真空系統(tǒng)。用真空系統(tǒng)。EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS產(chǎn)生一乾淨(jìng)的環(huán)境產(chǎn)生一乾淨(jìng)的環(huán)境低分子密度低分子密度延長延長MFP加速反應(yīng)加速反應(yīng)產(chǎn)生一力量產(chǎn)生一力量EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS創(chuàng)造小於一大氣壓(1 atm)的科學(xué)技術(shù)EPILEDSE

6、PILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS

7、EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSWork range : Atmosphere to 10-3 torrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSWork range : 1010-3 torrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEP

8、ILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSE

9、PILEDSEPILEDSEPILEDSWork range : 10-310-10 torrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSWork range : Atmosphere to 60 torrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEP

10、ILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSE

11、PILEDSEPILEDS量測範(fàn)圍 : atm1 torrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS量測範(fàn)圍:1 10-3 TorrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS量測範(fàn)圍:1 10-3 TorrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS電容式真空計(jì)電容式真空計(jì) (Capacitance Manometer)量測範(fàn)圍:1 10-5 TorrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSanodeEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS冷陰極離子真空計(jì)冷陰極離子真

12、空計(jì)(Cold-cathode ionization gauge)10-2 Torr 10-7 TorrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPI

13、LEDS可裝卸密封塑膠之釋氣率可裝卸密封塑膠之釋氣率EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管路與管路系統(tǒng)管路與管路系統(tǒng)EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管路管路EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件的選用管件的選用EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件的材質(zhì)管件的材質(zhì)EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件施工管件施工EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件施工管件施工EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件施工管件施工EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件施工管件施工EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS(a)實(shí)漏(b)虛漏(c)合併EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPI