光學(xué)系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)焦概述_第1頁(yè)
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1、光學(xué)系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)焦概述摘要: 隨著儀器自動(dòng)化、智能化的迅速發(fā)展,自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)的應(yīng)用顯得越來(lái)越重要,特別是在工業(yè)生產(chǎn)和測(cè)量中,往往要用到它。本文就其基本方法、原理和發(fā)展現(xiàn)狀作一簡(jiǎn)單概述。關(guān)鍵詞:自動(dòng)調(diào)焦 圖像處理 評(píng)價(jià)函數(shù) 尋優(yōu)控制;1 引言在光學(xué)系統(tǒng)中,鏡頭對(duì)一定距離的目標(biāo)成像有一個(gè)最佳像面位置,這個(gè)位置通常滿足物像共扼關(guān)系1,稱為聚焦(Focus);偏離了這個(gè)位置,將導(dǎo)致系統(tǒng)離焦(Defocus),造成圖像質(zhì)量下降、成像模糊。光學(xué)系統(tǒng)的相對(duì)孔徑越大,離焦表現(xiàn)的效果越明顯。離焦會(huì)直接影響后續(xù)的信息提取和處理工作。調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)由離焦到聚焦的過(guò)程稱為調(diào)焦。能否準(zhǔn)確快速調(diào)焦對(duì)于一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)是非常重要的

2、。傳統(tǒng)的手動(dòng)調(diào)焦依靠人的目測(cè)和手調(diào),耗時(shí)長(zhǎng)2,可重復(fù)性小,調(diào)整精度受人員主觀影響較大。20世紀(jì)70年代后,微電子技術(shù)的突破、大規(guī)模集成電路和中央處理器的出現(xiàn),使調(diào)焦開(kāi)始由過(guò)去的目測(cè)和手調(diào)成為完全的自動(dòng)控制,隨著自動(dòng)化水平不斷提高,自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)也日臻完善,應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大,在自動(dòng)化、高精度、高穩(wěn)定性等方面都取得了很大進(jìn)展,現(xiàn)己廣泛應(yīng)用于照相機(jī)、攝像機(jī)、顯微鏡、掃描儀等各種精密儀器中。在初期主要是應(yīng)用在顯微鏡、照相機(jī)和攝影機(jī)等方面,但在過(guò)去很長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)都是以非自動(dòng)化即目測(cè)、手動(dòng)調(diào)焦的方式進(jìn)行的,這主要由于它適應(yīng)和滿足了當(dāng)時(shí)對(duì)調(diào)焦精度和速度的要求。但是在近幾十年來(lái),特別是進(jìn)入20世紀(jì)70年代以來(lái),隨

3、著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,同其他領(lǐng)域一樣,精密儀器領(lǐng)域面臨著高精度、高速度、高穩(wěn)定性和自動(dòng)化的要求,因而自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)不斷完善,應(yīng)用的范圍也迅速擴(kuò)大, 自動(dòng)調(diào)焦問(wèn)題已經(jīng)不再是許多儀器實(shí)現(xiàn)或性能提高的重要障礙。人們?cè)谧詣?dòng)調(diào)焦領(lǐng)域的深入研究,使得這一技術(shù)成為精密光學(xué)儀器領(lǐng)域中的一項(xiàng)重要技術(shù)。2 自動(dòng)調(diào)焦原理通用光學(xué)儀器常常要對(duì)工件進(jìn)行手動(dòng)調(diào)焦及瞄準(zhǔn),其調(diào)節(jié)過(guò)程長(zhǎng),瞄準(zhǔn)的精度受人為主觀因素的影響較大3?,F(xiàn)代化的數(shù)字測(cè)量?jī)x器常采用激光、光柵等技術(shù),雖然儀器的測(cè)量精度、 測(cè)量速度以及系統(tǒng)的自動(dòng)化程度都得到了提高,但系統(tǒng)的瞄準(zhǔn)部分仍采用原來(lái)的光學(xué)瞄準(zhǔn)方法,瞄準(zhǔn)速度與瞄準(zhǔn)精度仍未得到提高。因此,解決通用光學(xué)儀器及

4、現(xiàn)代化數(shù)字儀器的調(diào)焦與瞄準(zhǔn)問(wèn)題,從而進(jìn)一步提高測(cè)量精度、測(cè)量速度及自動(dòng)化程度,減輕操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度是十分必要的。隨著 21 世紀(jì)先進(jìn)制造業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)技術(shù)的迅猛發(fā)展,對(duì)伴隨其發(fā)展的質(zhì)量檢測(cè)技術(shù)提出了更高的要求。自動(dòng)化制造生產(chǎn)過(guò)程中的完整質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng),在具備實(shí)時(shí)在線檢測(cè)能力的基礎(chǔ)上, 并且朝著高自動(dòng)化、智能化、柔性化方向發(fā)展。而在計(jì)算機(jī)視覺(jué)理論基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的自動(dòng)化視覺(jué)檢測(cè)(Automated Machine Vision Inspection)技術(shù),是一種非接觸式的檢測(cè)方法,并且具有檢測(cè)速度快、檢測(cè)精度高、能夠自動(dòng)、連續(xù)的進(jìn)行檢測(cè),可以進(jìn)行遙測(cè),便于自動(dòng)記錄,可以和電子計(jì)算機(jī)相連接進(jìn)行處理,可

5、以采用微處理機(jī)做成智能儀器等優(yōu)點(diǎn),恰好滿足了現(xiàn)代工業(yè)對(duì)檢測(cè)的要求。現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的檢測(cè)都是由靜態(tài)向動(dòng)態(tài)發(fā)展,以及機(jī)器人技術(shù)的大力開(kāi)發(fā),更為視覺(jué)檢測(cè)技術(shù)開(kāi)拓了廣闊的應(yīng)用前景。圖像測(cè)量技術(shù)是近年來(lái)在測(cè)量領(lǐng)域中形成的新的測(cè)量技術(shù),其優(yōu)點(diǎn)在于可進(jìn)行在線和非接觸測(cè)量,而且具有信息量大,精度高,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單, 易于與計(jì)算機(jī)相聯(lián)等優(yōu)點(diǎn)。目前在圖像測(cè)量技術(shù)中,需進(jìn)一步解決的問(wèn)題是如何進(jìn)一步提高測(cè)量分辨率和調(diào)焦的準(zhǔn)確性。進(jìn)行準(zhǔn)確調(diào)焦是圖像測(cè)量的第一步,它是保障測(cè)量精度的前提和基礎(chǔ),因而具有至關(guān)重要的作用。無(wú)論是傳統(tǒng)的檢測(cè)方法還是視覺(jué)檢測(cè)方法,凡光學(xué)系統(tǒng)都有成像得問(wèn)題,成像質(zhì)量是人們對(duì)多數(shù)光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行研究時(shí)比較關(guān)心的要

6、素之一,因此它直接關(guān)系到研究的成果。人們找出了很多種方法來(lái)獲得高質(zhì)量的圖像,而關(guān)鍵技術(shù)便是調(diào)焦問(wèn)題4。2.1 理論依據(jù)自動(dòng)調(diào)焦的目的是為了快速地獲得高精度、高清晰的圖像。對(duì)于一個(gè)成像系統(tǒng),我們可以用高斯公式描述:式中:v-物距; u-像距; f-焦距。從上面的高斯公式我們可以看出,可以通過(guò)變物距、變像距、變焦距三種方式達(dá)到調(diào)焦的目的。當(dāng)物距或像距發(fā)生變化時(shí),由式可知,當(dāng)鏡頭的焦距不變時(shí)候那么為了獲得高質(zhì)量的圖像,可以通過(guò)改變物距或者像距這兩種途徑來(lái)滿足高斯公式。但改變像距的同時(shí)光學(xué)系統(tǒng)的放大倍數(shù)也發(fā)生改變,這對(duì)于一般的照相機(jī)和攝像機(jī)來(lái)可能關(guān)系不大,而對(duì)于絕大多數(shù)的精密儀器測(cè)量來(lái)講,這樣做會(huì)影響

7、儀器的使用, 所以一般很少采用像距方式來(lái)調(diào)焦,同時(shí)由于變焦距法調(diào)焦,是對(duì)光學(xué)鏡頭組進(jìn)行調(diào)節(jié)相對(duì)復(fù)雜,難度比較高,一般很少采用。所謂調(diào)焦,是指沿光軸方向改變物面(或鏡頭)的位置,使得物像關(guān)系滿足高斯公式,以獲取清晰的圖像。1) 離焦描述:幾何光學(xué)認(rèn)為,平行光發(fā)出的光線經(jīng)過(guò)理想的光學(xué)系統(tǒng),全部匯聚在焦平面上一點(diǎn),而在離焦位置上(設(shè)為離焦量)呈現(xiàn)彌散斑,彌散斑的形狀與光學(xué)孔徑形狀相似。圖2-1 幾何光學(xué)的離焦描述以最常見(jiàn)的圓形孔徑為例,圖2-1中f為透鏡焦距,D為透鏡通光孔徑,平行于光軸的光線經(jīng)透鏡在焦平面上匯聚成一點(diǎn),如果探測(cè)器平面偏離焦平面,則得到一直徑為d的彌散圓,其中d與偏移量和通光孔徑D成

8、正比、與焦距f成反比。容易看出,當(dāng)探測(cè)器位于焦面前和焦面后時(shí),其彌散圓的尺寸變化在焦面的前后是對(duì)稱的,而且光強(qiáng)在彌散圓內(nèi)分布均勻。在無(wú)像差的光學(xué)系統(tǒng)中,由于衍射的存在,點(diǎn)光源通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)其能量會(huì)散開(kāi)而不能得到理想的點(diǎn)像,其亮度分布稱為點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)(PSF),點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)可以通過(guò)求傳輸函數(shù)的幅度得到,傳輸函數(shù)又可以通過(guò)對(duì)光瞳函數(shù)作傅里葉變換得到。圖2-2中,S'為收斂于焦點(diǎn)F的波前,S1'為圓心位于F點(diǎn)后處的離焦位置點(diǎn)P的波前,在對(duì)F點(diǎn)張角為處產(chǎn)生的兩個(gè)波前距離差 20=1/2n'sin2,其中n'為介質(zhì)折射率。由圖2-2,光瞳函數(shù)為:式中的直角坐標(biāo)(x,y)為歸一化

9、后的波前上的點(diǎn)坐標(biāo),當(dāng)x2+y2=1時(shí),表示圓形光瞳的邊緣。20圖2-2 衍射理論的離焦描述從以上的分析中可以看出,通過(guò)無(wú)像差的圓形光闌光學(xué)系統(tǒng),幾何光學(xué)得出的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)僅僅是光強(qiáng)分布一致的圓斑,衍射理論通過(guò)計(jì)算離焦波前和聚焦波前的相位差是更加精確的描述。Stokseth的結(jié)論表明,當(dāng)離焦量較小( 20 < 10)時(shí),幾何光學(xué)并不適合來(lái)描述離焦現(xiàn)象;離焦量較大( 20 > 10)時(shí),幾何光學(xué)的結(jié)果才可以在低頻段近似衍射理論。2) 判據(jù)原理:從牛頓成像公式 xx =ff 可知 當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)的ff 一定時(shí),以焦點(diǎn)為計(jì)算起點(diǎn)的物距x和像距x之間為雙曲線關(guān)系,且有一一對(duì)應(yīng)的性質(zhì),可稱之為物像

10、共軛關(guān)系。當(dāng)x絕對(duì)值變大時(shí),x的絕對(duì)值將變小,反之當(dāng) x絕對(duì)值變小時(shí),x的絕對(duì)值將變大。調(diào)焦判別原理根據(jù)牛頓公式xx =ff ,可以找出物上的點(diǎn)在共軛物平面上或平面前后時(shí)像方的成像情況。圖2-3 光學(xué)系統(tǒng)的物像關(guān)系圖2-3中a和b為成實(shí)像條件下的物像共軛面,攝像機(jī)的CCD感光面安排在b面,a面上的點(diǎn)成像在b面上; c面上的點(diǎn)成像在d面上,其在b面上的像是一個(gè)彌散圓;同理,e 面上的點(diǎn)在 b 面上的像也是一個(gè)彌散圓。因而不在 a 面的物的像是物上各點(diǎn)在b面上的彌散圓像的卷積,像的清晰度變差。物離共軛面a越遠(yuǎn)清晰度越差。因此可以得出一個(gè)結(jié)論,只有在正確調(diào)焦的情況下,圖像各點(diǎn)間的灰度對(duì)比度最強(qiáng);調(diào)焦

11、偏差越大,灰度對(duì)比度越弱。這就是實(shí)現(xiàn)調(diào)焦判別的理論依據(jù)。2.2 方法介紹自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)己經(jīng)廣泛應(yīng)用于各種精密儀器中,常見(jiàn)的調(diào)焦方法根據(jù)其判別準(zhǔn)則來(lái)源于物方還是像方,可分為主動(dòng)法和被動(dòng)法5,主動(dòng)法是指各種方式的物距檢測(cè);被動(dòng)法則是像質(zhì)評(píng)價(jià)。被動(dòng)法中的以數(shù)字圖像處理作為調(diào)焦檢測(cè)函數(shù)的方法,具有算法靈活多變、控制容易實(shí)現(xiàn)等優(yōu)點(diǎn)。采用圖像處理法實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)焦的一個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題就在于圖像清晰度評(píng)價(jià)函數(shù)的選取。理想的評(píng)價(jià)函數(shù)要求:無(wú)偏性、單峰性、能反映離焦的極性、對(duì)噪聲敏感度低等,通常為提高效率,還希望計(jì)算量盡可能的小。自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)是一個(gè)閉環(huán)的控制系統(tǒng),它包括信號(hào)的自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)調(diào)整兩部分,相對(duì)于手動(dòng)調(diào)焦,它具有

12、高精度、高效率的特點(diǎn),但結(jié)構(gòu)相對(duì)來(lái)說(shuō)比較復(fù)雜,成本也比較高。近些年來(lái)自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)有的是采用了圖像處理的辦法,有的是采用圖像掃描的辦法,有的是采用氣動(dòng)式測(cè)距的方法。不過(guò)總結(jié)起來(lái)極有價(jià)值的、典型的自動(dòng)調(diào)焦方法主要有6:1)測(cè)距法:包括激光測(cè)距法、紅外測(cè)距法和超聲波測(cè)距法等,他們的共同特點(diǎn)是通過(guò)接受反射過(guò)來(lái)測(cè)量目標(biāo)的距離和方位,然后通過(guò)計(jì)算機(jī)控制自動(dòng)調(diào)焦。 采用這些方法的儀器一般體積較大,價(jià)錢(qián)較高,且對(duì)近距離不太適合。而且當(dāng)被測(cè)物體對(duì)紅外光或者是超聲波有較大強(qiáng)的吸收作用時(shí)候,將使測(cè)距系統(tǒng)失靈或?qū)共粶?zhǔn)確。2)VAF 組件相關(guān)法:VAF(Visitronic Auto Focus)組件或稱為視象自動(dòng)調(diào)

13、焦組件是由霍尼威爾(Honeywell)公司研制的,它通過(guò)電子線路測(cè)定左側(cè)固定反射鏡掃描所形成的被攝體象在其對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體元件上的相對(duì)位置關(guān)系(相關(guān)性),從而進(jìn)行自動(dòng)調(diào)焦。這種方法設(shè)計(jì)巧妙,體積較小,但機(jī)構(gòu)復(fù)雜且精度不高。3)基于圖像處理技術(shù)法:這種方法是基于在正焦(接收器正處于景象平面上)的情況下,圖像各點(diǎn)間的灰度對(duì)比度最強(qiáng);離焦(接收器離開(kāi)景象平面上)偏差越大,灰度對(duì)比度越弱這一調(diào)焦判別的理論依據(jù)的自動(dòng)調(diào)焦方法。表2-1 自動(dòng)調(diào)焦方法總結(jié)自動(dòng)調(diào)焦間接調(diào)焦電容測(cè)量式偏心光束式斜光束式氣動(dòng)式測(cè)距式測(cè)速法激光測(cè)距法紅外測(cè)距法超聲波測(cè)距法直接調(diào)焦圖像掃描電視掃描二極管多重掃描激光掃描光柵掃描圖像處理刀

14、口法接收器件:光電池、光電二極管陣列、CCD光電攝像管等。像散法平滑法MTF法空間濾波法微分法積分法小波變換法日本的潘太克司(PENTAX)TTL-EFC 系統(tǒng)、歐林巴斯(OLYMPUS)的高級(jí)顯微鏡 AHBS 型、我國(guó)天津大學(xué)精密儀器系研制的圖象分析顯微鏡、哈爾濱工業(yè)大學(xué)的二維圖像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)系統(tǒng)等都是采用的這種自動(dòng)調(diào)焦方法?,F(xiàn)把目前所研究出的各種調(diào)焦方法的詳細(xì)總結(jié)如表2-1 所示。3 評(píng)價(jià)函數(shù)的選擇自動(dòng)調(diào)焦發(fā)展到今天,己經(jīng)取得了一定的成就。人們?cè)趹?yīng)用圖像處理法的調(diào)焦評(píng)價(jià)函數(shù)方面進(jìn)行了廣泛的研究,提出了許多調(diào)焦評(píng)價(jià)函數(shù),基本上可以分四大類: (1)頻域函數(shù) 這一類函數(shù)是以傅立葉變換(Fouri

15、er transform)為基礎(chǔ)的,高清晰度圖像的主要特征是具有清晰的邊緣和圖像細(xì)節(jié)的復(fù)現(xiàn)性,它對(duì)應(yīng)于圖像傅立葉變換后的高頻分量。離焦退化造成的圖像模糊在頻域上體現(xiàn)為高頻成分的衰減,因此,可以用圖像的高頻分量作為自動(dòng)調(diào)焦的評(píng)價(jià)函數(shù)7。但是,一般來(lái)講,這種方法的計(jì)算量是比較大的。 (2)灰度函數(shù) 這一類函數(shù)主要利用對(duì)圖像灰度的各種處理方法來(lái)表征圖像的清晰度。例如,利用圖像處理方面的梯度函數(shù)提取圖像的邊緣信息。 (3)信息學(xué)函數(shù) 正焦圖像與離焦圖像相比,其灰度值的多樣性要大,即它們的信息含量或熵是不一樣的。圖像趨于離焦時(shí),圖像的灰度值趨于單一灰度,信息含量減少,所以,可以利用圖像的信息熵來(lái)作為自動(dòng)

16、調(diào)焦的評(píng)價(jià)函數(shù)。 (4)統(tǒng)計(jì)學(xué)函數(shù) 完全離焦的圖像是由單一灰度值組成的,正焦圖像則因?yàn)榘饲逦鷪D像信息,表現(xiàn)為多灰度值分布,這一特性可以用直方圖來(lái)表示。 一個(gè)理想的調(diào)焦函數(shù),應(yīng)該具有以下特性8-10: 1)無(wú)偏性。只有在物面與對(duì)焦平面重合時(shí),調(diào)焦評(píng)價(jià)函數(shù)才取得極值。 2)半寬度。曲線的半寬度是指在函數(shù)最大值50%時(shí)的曲線寬度。這一指標(biāo)主要描述了曲線的尖銳程度。一般來(lái)講,具有比較尖銳峰值的曲線可以使系統(tǒng)更加容易正確地定位于最佳物面位置,而不尖銳的曲線將增大理想對(duì)焦位置的定位不確定性。此外,半寬度小,說(shuō)明函數(shù)在較大離焦時(shí)具有較大的斜率,意味著較高的調(diào)焦靈敏度和判斷離焦的高可靠性。 3)曲線的單調(diào)

17、范圍。曲線的單調(diào)范圍是指在曲線的峰值點(diǎn)處向某一側(cè)的延伸部分是單調(diào)下降趨勢(shì)的范圍大小。這一指標(biāo)直接決定了根據(jù)此調(diào)焦特性曲線所能實(shí)現(xiàn)的有效調(diào)焦的范圍大小。理想調(diào)焦特性曲線的單調(diào)范圍應(yīng)該是很大的,但在實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)中,當(dāng)物面離焦量達(dá)到一定程度時(shí),象方視場(chǎng)內(nèi)充滿了背景色和噪聲信號(hào),評(píng)價(jià)函數(shù)的計(jì)算結(jié)果呈現(xiàn)一定的隨機(jī)性,使得曲線的單調(diào)范圍為有限長(zhǎng)。 4)單峰性。對(duì)于某些函數(shù)來(lái)講,應(yīng)該稱為單谷性。就是說(shuō),評(píng)價(jià)函數(shù)有且僅有一個(gè)極值,極值對(duì)應(yīng)于最清晰的圖像。有時(shí),由于一些干擾的影響,致使調(diào)焦曲線出現(xiàn)一些干擾峰,如果干擾峰在主峰附近,將會(huì)給自動(dòng)調(diào)焦結(jié)果造成較大的誤差。因此,理想的調(diào)焦曲線應(yīng)該比較平滑且單峰。 5)對(duì)

18、個(gè)別參數(shù)的不敏感性。如果在調(diào)焦過(guò)程中,環(huán)境的個(gè)別參數(shù)發(fā)生了變化 (例如光照強(qiáng)度),調(diào)焦程序仍然有較好的特性。 6)能反映離焦極性。為自動(dòng)調(diào)焦的位置調(diào)整確定正確的方向。 7)較高的信噪比。即使在一定的噪聲干擾下亦能檢測(cè)到離焦信號(hào)。8)相對(duì)計(jì)算時(shí)間。能使計(jì)算機(jī)快速完成評(píng)價(jià)函數(shù)運(yùn)算,滿足調(diào)焦實(shí)時(shí)性的要求。下面來(lái)介紹幾種常用的調(diào)焦評(píng)價(jià)函數(shù)算法11:1) 峰值光強(qiáng)比較法:假定圖像函數(shù)非負(fù)值,即f(x,y)0,則:Emaxf(xi,yj)E越大對(duì)焦越好。本方法最簡(jiǎn)單,尤其對(duì)單點(diǎn)成像最適用,但是對(duì)于線掃描和面掃描,得先尋找到峰值點(diǎn)。2) 對(duì)比度比較法:對(duì)于線掃描:對(duì)于面掃描:對(duì)比度R越大,對(duì)焦越好。3) 標(biāo)

19、準(zhǔn)差比較法:其中,為像面的均值。使值最大的點(diǎn)即為系統(tǒng)的對(duì)焦點(diǎn)。但此算法不適合單點(diǎn)成像和線掃描采樣方式。4) 熵值比較法:對(duì)于一幅大小的圖像,其總能量可表示為:同時(shí)定義:由于的結(jié)構(gòu)類似于信息論中熵的表示法,所以稱它為圖像的熵。根據(jù)山農(nóng)信息論原理,熵最大時(shí)信息量最多。將此應(yīng)用于調(diào)焦過(guò)程中,當(dāng)E一定時(shí),最大,二維圖像最清晰。用此方法的對(duì)焦靈敏度最高,但此算法也不適合單點(diǎn)采樣方式。5) 閾值積分法:根據(jù)圖像的灰度分布,選取一個(gè)閾值,并對(duì)大于閾值的灰度進(jìn)行求和,其最大值作為圖像的調(diào)焦判據(jù),精度不高。式中,(為圖像灰度閾值)。此外,利用統(tǒng)計(jì)學(xué)函數(shù)方法還有多種算法,如:Range函數(shù)、Menmay函數(shù)、Ma

20、sgrn函數(shù)、直流功率函數(shù)、交流功率函數(shù)等12。4 基于圖像的調(diào)焦系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及控制方案4.1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)原理整個(gè)系統(tǒng)為一個(gè)閉環(huán)控制系統(tǒng),系統(tǒng)計(jì)算機(jī)用軟件判斷離焦,通過(guò)計(jì)算機(jī)控制自動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)工作,圖像采集卡負(fù)責(zé)采集圖像,送入計(jì)算機(jī)內(nèi)存,供離焦判斷之用?;竟ぷ鬟^(guò)程如下: 1.首先啟動(dòng)自動(dòng)調(diào)焦程序,完成一些必需的初始化工作; 2.計(jì)算機(jī)控制圖像采集系統(tǒng)工作,取得圖像數(shù)據(jù); 3.對(duì)圖像數(shù)據(jù)完成調(diào)焦評(píng)價(jià)函數(shù)運(yùn)算,取得離焦信號(hào); 4.對(duì)離焦信號(hào)進(jìn)行判斷,如果未能達(dá)到調(diào)焦要求,完成必要的記錄后,控制自動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)適當(dāng)調(diào)整,然后重新回到第2步;5.提醒用戶自動(dòng)調(diào)焦完成,退出自動(dòng)調(diào)焦軟件系統(tǒng)。上述調(diào)焦過(guò)程,因?yàn)槊恳?/p>

21、次離焦信號(hào)的提取和判斷都有一定的誤差,所以一般情況下理想對(duì)焦平面位置的確定都是多次運(yùn)算比較的結(jié)果。操作者系統(tǒng)計(jì)算機(jī)輸入/輸出接口步進(jìn)電機(jī)微位移機(jī)構(gòu)圖像采集卡CCD攝像頭物距調(diào)整圖4-1 基于圖像處理的自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)原理框圖4.2 系統(tǒng)尋優(yōu)控制方案自動(dòng)調(diào)焦的過(guò)程是對(duì)圖像清晰度的一個(gè)逐步優(yōu)化的過(guò)程。實(shí)際上,理想對(duì)焦位置不可能從一幅圖像確定,調(diào)焦過(guò)程必須經(jīng)過(guò)多次圖像采集、處理、與已有樣本對(duì)照并判斷的過(guò)程。因此,如何快速而準(zhǔn)確地找到對(duì)焦點(diǎn)是系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)中的一大問(wèn)題。從前面可以知道,用熵函數(shù)作為評(píng)價(jià)函數(shù),得到的調(diào)焦曲線是一條近似的拋物線,所以可以借鑒數(shù)學(xué)某些求極值的方法13。1.斜率法 如圖4-2所示,對(duì)焦點(diǎn)

22、P點(diǎn)處的斜率等于零或接近于零,而其它點(diǎn)處(如A、B點(diǎn))的斜率則大于零或小于零。所以在移動(dòng)鏡頭的過(guò)程中,只要檢測(cè)各點(diǎn)處的斜率值就知道離焦的情況,正斜率表示運(yùn)動(dòng)方向趨向于對(duì)焦點(diǎn),負(fù)值斜率表示運(yùn)動(dòng)方向遠(yuǎn)離對(duì)焦點(diǎn)。而零斜率或小于我們?cè)O(shè)定的值表示處于對(duì)焦點(diǎn)。這一方法的優(yōu)點(diǎn)是調(diào)焦速度快,但由于對(duì)焦點(diǎn)P處的斜率變化很小,所以這種方法的調(diào)焦精度并不理想14。圖4-2 斜率法2.逐步搜索法 如圖4-3所示,從A點(diǎn)出發(fā)找到方向后逐步比較采樣值,達(dá)到B點(diǎn)后再返回最小值C點(diǎn)處。B點(diǎn)與C點(diǎn)之差是人為設(shè)定的,這一差值應(yīng)確保C點(diǎn)在A, B區(qū)間之內(nèi)而且為提高調(diào)焦速度B點(diǎn)也不應(yīng)離C點(diǎn)太遠(yuǎn)。該方法的特點(diǎn)是調(diào)焦速度比較快,但由于該

23、方法是以采樣值的大小來(lái)確定對(duì)焦點(diǎn)的。所以噪聲以及其它干擾都會(huì)使系統(tǒng)的調(diào)焦精度受到影響15。圖4-3 逐步搜索法3.對(duì)分法 如圖 4-4所示,由光學(xué)可以證明,標(biāo)準(zhǔn)調(diào)焦曲線關(guān)于對(duì)焦點(diǎn)是對(duì)稱的。故利用對(duì)稱特性便可以用對(duì)分法找到最佳對(duì)焦點(diǎn)。從A點(diǎn)出發(fā),在曲線另一側(cè)找到A的對(duì)稱點(diǎn)B,然后再返回A,行程的一半即達(dá)到對(duì)焦點(diǎn)C16。圖4-4 對(duì)分法這一方法的精度是相當(dāng)高的,但從圖中可以看出若A點(diǎn)位置不同則 AB的行程也不一樣,從而調(diào)焦時(shí)間也不一樣。這就是說(shuō)調(diào)焦速度很大程度上取決于A點(diǎn)的位置,另一點(diǎn)就是若A點(diǎn)處于C點(diǎn)位置或非常接近C點(diǎn)的時(shí)候,則此法可能不穩(wěn)定從而無(wú)法找到對(duì)焦點(diǎn)。4.綜合法 如圖4-5所示,本系統(tǒng)

24、中我們兼顧調(diào)焦速度和調(diào)焦精度,綜合了逐步搜索法的快速性和對(duì)分法的高精度特性,提出一種綜合的方法。從A點(diǎn)出發(fā),用逐步搜索法找到A'點(diǎn),從 A'點(diǎn)開(kāi)始用對(duì)分法找到對(duì)焦點(diǎn)C點(diǎn)17。圖4-5 綜合法綜合法有兩個(gè)優(yōu)點(diǎn):一是由于C點(diǎn)包含在AA'區(qū)間之內(nèi)18,所以不會(huì)出現(xiàn)象對(duì)分法中找不到對(duì)焦點(diǎn)的不穩(wěn)定情況;二是由于A'B兩點(diǎn)均在C點(diǎn)較近的范圍內(nèi),所以盡管使用了對(duì)分法,整個(gè)調(diào)焦過(guò)程的時(shí)間不會(huì)增加很多,而系統(tǒng)的調(diào)焦精度卻河以得到顯著提高19。自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)流程圖如圖4-6所示。先任意采集一幅圖像,計(jì)算其熵值,然后使步進(jìn)電機(jī)正向前進(jìn)若干步,再次計(jì)算熵值。比較兩次的熵值大小,如后一次的

25、值比前一次的小,則電機(jī)前進(jìn),反之,則后圖4-6 自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)流程圖停電機(jī)中斷|差值|電機(jī)反轉(zhuǎn)到B點(diǎn)逐步搜索電機(jī)正轉(zhuǎn)到A'點(diǎn)逐步搜索電機(jī)反轉(zhuǎn)當(dāng)前值移動(dòng)后的計(jì)算熵值開(kāi)始任意采集一幅圖像計(jì)算熵值電機(jī)前進(jìn)重復(fù)n次電機(jī)正轉(zhuǎn)逐步搜索到B'點(diǎn)退;當(dāng)電機(jī)停止后,再先后記錄兩次圖像的熵值,比較其大小,如后一次的值仍比前一次的小,電機(jī)繼續(xù)前進(jìn),反之則繼續(xù)后退;直到測(cè)得后一次的值比前一次的大,電機(jī)反轉(zhuǎn),同時(shí)縮小前進(jìn)的步數(shù),即縮小調(diào)焦范圍;依次循環(huán)若干次后,判斷此時(shí)先后采集的兩幅圖像的熵值差的絕對(duì)值是否小于 1.35. (1.35是根據(jù)前面熵值與測(cè)量誤差之間的關(guān)系試驗(yàn)得到的,即當(dāng)熵值達(dá)到1.35左右,

26、測(cè)量誤差幾乎不發(fā)生變化)。如果小于,退出自動(dòng)調(diào)焦軟件,調(diào)焦完成,否則繼續(xù)循壞,進(jìn)行判定,直到判定到清晰圖像為止20。5 自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)的研究現(xiàn)狀隨著儀器自動(dòng)化、智能化的迅速發(fā)展,自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)的應(yīng)用顯得越來(lái)越重要,不僅顯微鏡需要自動(dòng)調(diào)焦,其它許多光學(xué)儀器,如照相機(jī)、攝象機(jī)、光刻機(jī)以及光學(xué)測(cè)量?jī)x等都需要自動(dòng)調(diào)焦。自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)是一個(gè)很早就引起人們重視的研究課題,實(shí)現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)的自動(dòng)調(diào)焦是光學(xué)工作者百年來(lái)說(shuō)一直探索的目標(biāo)。從上個(gè)世紀(jì)已經(jīng)有人從事這方面的研究。 最早是法國(guó)人于1898年實(shí)現(xiàn)了對(duì)放大鏡系統(tǒng)的自動(dòng)調(diào)焦21,后來(lái)到1960年,A.Martin的自動(dòng)調(diào)焦測(cè)距器和1968年Canon的自動(dòng)調(diào)焦相機(jī)才開(kāi)

27、始使自動(dòng)調(diào)技術(shù)的發(fā)展進(jìn)入了新的階段22。進(jìn)入九十年代,自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)已廣泛地用于航天、醫(yī)學(xué)、工業(yè)機(jī)器人視覺(jué)、軍事以及各種高精度測(cè)量和投影式儀器。七十年代初,美國(guó)斯坦福大學(xué)J. M. Tenebanm研究了計(jì)算機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)的自動(dòng)調(diào)焦問(wèn)題23。他們根據(jù)圖像的情況提取離焦信號(hào),以調(diào)制閾值梯度作為自動(dòng)調(diào)焦評(píng)價(jià)函數(shù)獲得了較好的效果。1976年澳大利亞的R. A. Jarvis對(duì)顯微鏡圖像處理系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)焦進(jìn)行了研究24,提出了三種評(píng)價(jià)函數(shù),其特點(diǎn)是算法計(jì)算簡(jiǎn)單,但每種評(píng)價(jià)函數(shù)僅對(duì)具有某種特征的圖像有效。1987年 Ren, Coluo 提出了二種適合于漫反射物體的自動(dòng)調(diào)焦算法25,并應(yīng)用于機(jī)器人自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)。

28、1983年,英國(guó)瑞丁大學(xué)物理系Grimbeby. J. B提出用調(diào)制傳遞函數(shù)作為離焦判據(jù),這一觀點(diǎn)現(xiàn)已被光學(xué)界普遍接受,作為像質(zhì)評(píng)價(jià)的最佳標(biāo)準(zhǔn)。1988年,美國(guó)的Carnegie Mellon大學(xué) Lawrence Firestose用不同調(diào)焦評(píng)價(jià)函數(shù)對(duì)生物組織圖像、 正弦圖像和隨機(jī)圖像進(jìn)行了性能對(duì)比分析26-28。 1992年,新加坡國(guó)立大學(xué)的TTE,Yeo等人對(duì)以前自動(dòng)調(diào)焦領(lǐng)域出現(xiàn)的評(píng)價(jià)函數(shù)做了分類、對(duì)比,并對(duì)單層圖像、多層圖像和彩色圖像的調(diào)焦曲線進(jìn)行了研究,同時(shí)介紹了一種通過(guò)插值從一系列圖像中提取高質(zhì)量圖像的方法29。日本許多著名的家電生產(chǎn)企業(yè)如Canon 、Sony 、Nikon 、R

29、icoh 都把自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)應(yīng)用于照相機(jī)。例如 Sony 公司利用數(shù)字積分法對(duì)視頻信號(hào)進(jìn)行分析,認(rèn)為當(dāng)圖像正焦時(shí),積分值最大,把該方法應(yīng)用其生產(chǎn)的照相機(jī)中,取得了較理想的效果。近年來(lái),國(guó)內(nèi)有眾多的科研院所及大專院校都對(duì)自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)進(jìn)行了研究。上海工業(yè)大學(xué)在1983年利用模擬電路檢測(cè)電視信息的高頻分量30,進(jìn)行調(diào)焦判別,取得了較高的調(diào)焦精度。在1984年和1986年,哈爾濱工業(yè)大學(xué)光學(xué)儀器專業(yè)利用自準(zhǔn)直法研制成功了衛(wèi)星相機(jī)的自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng), 精度10m 。1992年,該專業(yè)又研制了具有國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平的圖像檢測(cè)式頻帶切割差動(dòng)比較CCD自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng),1993年,又進(jìn)行了高分辨力 CCD 衛(wèi)星相機(jī)調(diào)焦技術(shù)的

30、研究, 精度為 0.6m。浙江大學(xué)利用圖像微分法,在 10m范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了對(duì)顯微系統(tǒng)的調(diào)焦,精度為 1.9m。清華大學(xué)研制的氣動(dòng)自動(dòng)調(diào)焦儀,利用噴嘴擋板原理來(lái)獲取離散信號(hào),能在±100m的范圍內(nèi)達(dá)到0.5m的調(diào)焦精度。浙江大學(xué)、電子部 45 所和上海光學(xué)儀器研究所都曾利用光電法對(duì)照相系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)調(diào)焦的研究,均達(dá)到了較高的精度。上海激光技術(shù)研究所對(duì)光盤(pán)錄放機(jī)的顯微系統(tǒng)利用象散法進(jìn)行自動(dòng)調(diào)焦,實(shí)現(xiàn)了在 500m 范圍內(nèi) 10m的調(diào)焦精度。清華大學(xué)對(duì)線寬測(cè)量?jī)x的顯微系統(tǒng)利用偏心光束法進(jìn)行自動(dòng)調(diào)焦,實(shí)現(xiàn)了±500m的調(diào)焦范圍內(nèi)0.1m的調(diào)焦精度。參考文獻(xiàn):1 原育凱.光學(xué)系統(tǒng)的自動(dòng)調(diào)

31、焦方法.紅外月刊,2004年第6期.p15.2 張問(wèn)驊.自動(dòng)對(duì)焦.自動(dòng)化博覽,1995年,第13卷第5期.p10.3 任四剛,李見(jiàn)為,謝利利.基于灰度差分法的自動(dòng)調(diào)焦技術(shù).光電工程,2003年4月,第30卷第2期.p53.4 楊再華,李玉和,李慶祥,郭陽(yáng)寬.一種粗精結(jié)合的圖象反饋?zhàn)詣?dòng)調(diào)焦方法.計(jì)算機(jī)工程與設(shè)計(jì),2005年9月,第26卷第9期.p2271.5 瞿蓬,林喜榮.一種基于圖像處理的自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng).電子技術(shù)應(yīng)用,2002年第28卷第10期.p33.6 許盛,李見(jiàn)為.基于智能化自動(dòng)調(diào)焦的高級(jí)顯微鏡系統(tǒng).光電工程,2000年第6期.p33.7 Michael A Oliva,Miguel Br

32、avo-Zanoguera,Jeffrey H Price.Filtering out contrast reversals for microscopy autofocusJ.Applied Optics,1999,38(4):p638-646.8 孫立寧,陳立國(guó),容偉彬.微操作機(jī)器人顯微視覺(jué)系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)焦的實(shí)現(xiàn).儀器儀表學(xué)報(bào),2002年第23卷第3期.p668.9 劉駿,顧靜良,李海峰等.液晶投影的液晶極自動(dòng)匯聚系統(tǒng)的對(duì)焦算法分析.光子學(xué)報(bào),2003年第32卷第10期.p1268.10 李賀橋,張以謨,容常青等.圖像采集自動(dòng)生物顯微鏡系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)焦的研究.光子學(xué)報(bào),1995年第15卷第8期.p

33、1106.11 Moreira, A., Mittermayer, J., Scheiber, R., A SAR auto-focus technique based on azimuth scaling. Geoscience and Remote Sensing, 1997, 4: 2028-2030.12 Komatsu,E,Motaki, H., Miyoshi, M., A new auto-focus method in critical dimension measurement SEM. Test Symposium, 1997, 17(19): 202-207.13 伏德貴

34、,汪法根,孫朝明.面向?qū)ο蟮墓鈱W(xué)系統(tǒng)自動(dòng)對(duì)焦方法.光電工程,2005年7月第32卷第7期.p66.14 Cheol-Hee Park, Jong-Ho Paik, Young-Hwan You, Hyoung-Kyu Song, Yong-Soo Cho, Auto focus filter design and implementation using correlation between filter and auto focus criterion. International Conference on ICCE 2000, 2000: 250-251.15 Dickson, S.

35、D., Tyminski, J. K., McNamara, S. J., Humphrey, D. C., Ziemer, D., FC2: focus control technique for critical level Wine photolithography. Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop, 1997,10(12): 309-316.16 Moreira, A., Mittermayer, J., Scheiber, R., A SAR auto-focus technique based

36、 on azimuth scaling. Geoscience and Remote Sensing, 1997, 4: 2028-2030.17 Komatsu,E,Motaki, H., Miyoshi, M., A new auto-focus method in critical dimension measurement SEM. Test Symposium, 1997, 17(19): 202-207.18 Soatto, S., Observability of shape from focus. Decision and Control, 1998, 3: 3251-3256.19 Yoshida,Y.Shinchara, S., Ike

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