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1、v1.0 可編輯可修改平晶使用Webon快速平面度檢測(cè)首先采用平面檢測(cè)儀器對(duì)研磨后的器件平面采用平面度檢測(cè)儀定初步精度如研磨后的器件達(dá)到 5um以?xún)?nèi) 可以用平晶進(jìn)行檢測(cè)未達(dá)到 繼續(xù)研磨 器件可以不用下盤(pán)。FG-5檢測(cè) 120 以?xún)?nèi)FG-7檢測(cè) 170 以?xún)?nèi)FG-9檢測(cè) 220 以?xún)?nèi)FG-30檢測(cè) 650 以?xún)?nèi)二 達(dá)到 5um 以?xún)?nèi)用平面平晶體檢測(cè)首先看是否有條紋。是否合格以 300 的密封器件為例的。檢測(cè)的整個(gè)面 必須首先看到同心圓才合格2um 的面型精度 整個(gè)面的同心圓條紋 小于 3 個(gè)1 個(gè)同心圓條紋精度大于在3 個(gè)就是左右也就是說(shuō)必須是小于 3 個(gè)的同心圓條紋才合格。v1.0 可編輯可修

2、改N<3Cdw-30I30mm3015mmCdw-45I45mm 4515mmCdw-60I60mm6020mmCdw-80I80mm8020mmCdw-100I100mm10025mmCdw-150I150mm15030mmCdw-200I200mm20040mmCdw-250I250mm25045mmCdw-300I300mm30045mmCdw-350I350mm35045mmCDX-ML18 CDX-ML30v1.0 可編輯可修改三 。以下是檢測(cè)中會(huì)出現(xiàn)的問(wèn)題。v1.0 可編輯可修改條紋非常密集。兩種情況。 1. 加工出得元件精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。2. 平晶和元件之間有異物 灰塵 沒(méi)處理干凈條紋非常亂情況是 加工的研磨盤(pán)凹凸不平 不在一個(gè)平面上。元件研磨后整個(gè)面就是亂的、同心圓條紋圈數(shù)太多。情況是 元件精度還不達(dá)標(biāo) 繼續(xù)研磨直到圓圈數(shù)少于 3 個(gè)。以上的假設(shè)的情況 現(xiàn)場(chǎng)情況有變化 請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們v

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