【圖文】擴(kuò)散爐操作培訓(xùn)_第1頁(yè)
【圖文】擴(kuò)散爐操作培訓(xùn)_第2頁(yè)
【圖文】擴(kuò)散爐操作培訓(xùn)_第3頁(yè)
【圖文】擴(kuò)散爐操作培訓(xùn)_第4頁(yè)
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維護(hù)保養(yǎng)（ 維護(hù)保養(yǎng)（三） 5、檢查石英管內(nèi)的碎片并清理。 、檢查石英管內(nèi)的碎片并清理。 6、清理石英管口冷凝的偏磷酸。 、清理石英管口冷凝的偏磷酸。 維護(hù)保養(yǎng)（ 維護(hù)保養(yǎng)（四） 7、檢查冷卻水管道和SSR冷卻部分是否漏水。 、檢查冷卻水管道和 冷卻部分是否漏水。 冷卻部分是否漏水 8、檢查觸摸屏使用是否正常，矯正。 、檢查觸摸屏使用是否正常，矯正。 生產(chǎn)提示-信號(hào)指示燈 生產(chǎn)提示 信號(hào)指示燈 1、黃色燈：手動(dòng)狀態(tài)；警告或在設(shè)定模式時(shí)警告，沒(méi)有蜂 、黃色燈：手動(dòng)狀態(tài)；警告或在設(shè)定模式時(shí)警告， 鳴報(bào)警。 鳴報(bào)警。 2、綠色燈：自動(dòng)狀態(tài)；暫停狀態(tài)和準(zhǔn)備好可以操作，沒(méi)有 、綠色燈：自動(dòng)狀態(tài)；暫停狀態(tài)和準(zhǔn)備好可以操作， 蜂鳴報(bào)警。 蜂鳴報(bào)警。 3、藍(lán)色燈：需要人工輸入信息，沒(méi)有蜂鳴報(bào)警。 、藍(lán)色燈：需要人工輸入信息，沒(méi)有蜂鳴報(bào)警。 4、紅色燈：沒(méi)有解決的報(bào)警和錯(cuò)誤、急停狀態(tài)，有蜂鳴報(bào) 、紅色燈：沒(méi)有解決的報(bào)警和錯(cuò)誤、急停狀態(tài)， 警。 生產(chǎn)提示 1、手動(dòng)放舟到“Slider”上時(shí)，注意舟的方向，有圓形標(biāo)記 、手動(dòng)放舟到“ 上時(shí)， 上時(shí) 注意舟的方向， 的一段放在里面。 的一段放在里面。 2、每次加載工藝文件時(shí)

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