擴散泵的結(jié)構(gòu)示意圖和工作原理

1、擴散泵的結(jié)構(gòu)示意圖和工作原理當擴散泵油被電爐加熱時，產(chǎn)生油蒸氣沿著導流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的真空（110-1Pa），故油蒸氣流可噴出一長段距離，構(gòu)成一個向出氣口方向運動的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁凝結(jié)為液體流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā) 噴射 凝結(jié)重復循環(huán)來實現(xiàn)抽氣。由進氣口進入泵內(nèi)的氣體分子一旦落入蒸氣流中便獲得向下運動的動量向下飛去。由于射流具有高流速（約200m/s），高的蒸氣密度，且擴散泵油分子量大（300500），故能有效地帶走氣體分子。氣體分子被帶往出口處再由機械泵抽走。油擴散泵故障處理（1）擴散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液

2、已完全冷卻后方可關閉冷卻水。（2）泵停止工作時，泵內(nèi)應保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。（3）被抽氣體應是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。（4）泵如暫時不用，保管期間應保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕。并將冷卻水套內(nèi)的剩水吹凈。保存場地的室溫應在1040之間。（5）泵在正常運行時如突然出現(xiàn)性能變壞，應先檢查加熱器是否正常。（6）泵在長期工作后，性能會逐漸變壞，應定期檢修。a. 泵油是否減少或氧化，按相應要求加油或更換處理。b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用絲綢蘸乙醚或丙酮進行擦洗，并置于80100溫度下烘干或用電吹風吹干。c. 處理完后，按順序進行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級噴嘴

3、間隙要按原要求調(diào)整好。關于擴散泵返油問題 通過咨詢和了解，結(jié)合我公司油擴散泵實際問題,關于擴散泵返油問題，得出如下幾點：咨詢了愛得華售后服務中心，他們認為擴散泵返油與如下問題有關：a、冷卻水；b、機器保養(yǎng)；c、油質(zhì)等。擴散泵返油對抽氣能力會有影響，與以前抽氣能力作對比是否發(fā)生變化，前管壓力是否與以前一致？如果確認這些都沒有問題，則可判斷沒有返油。如果返油，在泵口也可以看到有殘留油污。至于反油率，泵一生產(chǎn)出來就定了的，我們沒有這個標準，也沒有檢測手段。后來咨詢了湘潭宏大真空設備有限公司黃總(我們的老交道)，他們也生產(chǎn)油擴散泵，他認為，首先檢查冷卻水溫和流量是否正常，是否有冷阱。擴散泵返油可以通過

4、觀察發(fā)現(xiàn)：a、泵口周圍（提升閥板壓蓋范圍以外）有較多油污；b、擴散泵提升閥板背面有較多油污。如果泵口和閥板都沒有油，則可以判斷沒有返油。目前我們還沒有具體檢測返油率的方法。同時還咨詢穗誠真空設備有限公司等多家公司，得出的結(jié)論都大同小異。通過以上情況可以總結(jié)：一般情況，擴散泵生產(chǎn)廠家在生產(chǎn)泵時都有返油率這項指標。最早的測試返油率的方法是用錫箔紙采樣稱重法，因其不準確而改用測試罩采樣、滴管收集法，這種方法精度太低，對于現(xiàn)有的低返油率擴散泵根本無法實施。比較精確的方法應該用分壓力測量和質(zhì)譜分析法。目前還沒有專門用來測油蒸汽分壓力的儀器。質(zhì)譜分析法其原理復雜，一般技術人員操作困難。綜上所述可以得出：到

5、目前為止，還沒有一種有效測量返油率的方法，根據(jù)目前擴散泵生產(chǎn)廠家和售后服務商的建議，可以通過觀察泵口附近和閥板背面來判斷是否返油，無須測量其返油率。根據(jù)目前的情況，我們可以運用質(zhì)譜分析法來測量真空室氣體成分，也可以了解其含油情況。油擴散泵的常見故障及原因由于真空設備長期運轉(zhuǎn)及其它一些因素的影響，擴散泵的性能可能會逐漸變壞，現(xiàn)將使用中經(jīng)常出現(xiàn)的一些問題如述如下;1)極限真空變低，原因：a.系統(tǒng)中有滲漏；b.系統(tǒng)太臟；c.泵油污染；d.加熱功率不夠；e.冷卻水不足；f.過量或過冷的冷卻水；g.前級壓力高；檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現(xiàn)象； h.快冷管內(nèi)有水。2) 抽氣較慢，原因：a.加熱功率低

6、；b.油量不足；c.噴帽安裝位置不當或受損。3)進口壓力波動，原因：a.加熱器輸入功率不當；b.油脫氣；c.擴散泵進口前面系統(tǒng)有滲漏。4)工作腔污染大，原因：a.前級壓力高；b.在高于10-1Pa壓力下長期工作；c.系統(tǒng)操作有誤。5) 返油率過大，原因：a. 頂噴嘴帽松動，間隙過大；b. 加熱功率不對；德國博世真空泵機油更換順序點擊照片可以將圖片放大。加油完畢后運轉(zhuǎn)一下泵，觀察機油下降的程度。特別是同時更換機油過濾器時更要注意油量。當心泵體及廢油溫度，以防止燙傷。每次真空泵運行前注意泵油觀察窗的油位狀態(tài)及顏色，如果油變?yōu)楹谏珪r應及時更換.羅茨泵第一次換油在運行500小時后，以后每3000小時換油；機械泵第一次換油在運行150小時后，以后每1000小時或3個月?lián)Q油。擴散泵油的返油過程示意圖 擴散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下運動，由于隨機的散射或帶方向性的放射，從噴嘴噴出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移動，這樣就形成了返流；返流是擴散泵系統(tǒng)的主要污染！因此，為了減少返流，在噴嘴和被抽系統(tǒng)之間通常加上合適的捕集裝置；例如：加上