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文檔簡介
1、利用測試排序儀器降低大批量元器件生產(chǎn)的測試成本 越來越小的利潤空間正驅(qū)使元器件制造商降低生產(chǎn)成本,包括測試成本在內(nèi)。采用具有嵌入式測試排序器的儀器會起到作用。對測試的需求增加隨著產(chǎn)品復(fù)雜性的程度越來越高,生產(chǎn)測試的成本日益增加。更高的復(fù)雜性意味著要增加測試功能,因而要增加設(shè)備成本和空間。例如,在單片集成電路上集成模擬、數(shù)字甚至RF電路意味著更高的密度和引腳數(shù)。更高的引腳數(shù)需要更多的測試通道來保持可接受的吞吐量。擴(kuò)展測試通道的數(shù)量僅僅是解決方案的一部分。目前在生產(chǎn)線末端對產(chǎn)品集中進(jìn)行功能級測試的做法也需要改變。在那里發(fā)現(xiàn)的故障使得制造商承擔(dān)高昂的成本
2、。為了采取更有效的測試手段來提高利潤空間,制造商要考慮新的測試范例以及構(gòu)建測試系統(tǒng)的方法。在許多情況下,可以利用新的測試技術(shù)和儀器降低系統(tǒng)及測試操作成本,改善現(xiàn)有測試臺的性能。新一代具有先進(jìn)的嵌入式測試排序器和數(shù)據(jù)通信能力的SMU(源測量單元)能夠?qū)崿F(xiàn)這一點。SMU具有的這些功能容許建立緊湊并且經(jīng)濟(jì)的系統(tǒng),進(jìn)行快速的多通道元器件測試。隨著測試要求的改變,它們也具備很高的靈活性,可以快速和方便的加以修改。采用這些儀器設(shè)計的系統(tǒng)可以在生產(chǎn)周期中更早地承擔(dān)更多的測試任務(wù),并幫助降低生產(chǎn)線末端測試的高昂成本。典型的測量要求首先,創(chuàng)建適合不同元器件制造商需要的基于儀器的系統(tǒng)看起來不切實際。DUT(被測器
3、件)可能是簡單的2引腳或4引腳器件,如二極管、 LED或三極管。這些測試都需要非常簡單的源測量程序,要具備快速的瞬時響應(yīng),以在兩個通道上生成精確的I-V曲線。由于元器件操控的速度很快(某些情況下達(dá)到每部件小于100毫秒),因而儀器速度至關(guān)重要。對于像電阻和RC網(wǎng)絡(luò)、多引腳瞬態(tài)電壓抑制器、EMI濾波陣列這樣的元器件,在一個陣列獲得通過之前,所有的單個元器件都必須通過測試。因此,需要并行的多通道測試以實現(xiàn)高的吞吐量。隨著元器件復(fù)雜性的增加,測試和通道的數(shù)量也需要增加。對于半導(dǎo)體器件,測試設(shè)備應(yīng)該能夠適合晶圓級測試,因為封裝成本高昂。在生產(chǎn)的初級階段,需要在納安級別對各種復(fù)雜低功率器件的靜態(tài)和泄漏電
4、流進(jìn)行測量。此外,需要對晶圓上的所有DUT進(jìn)行簡單的直流測量以檢查基本功能。因為每一個晶圓存在成千上萬個的DUT,所以必須采用快速多通道的測試。在所有這些元器件生產(chǎn)的過程中,一種常見需要就是利用一組重復(fù)的測試序列向DUT施加電壓或電流,測量其響應(yīng),將測量結(jié)果與可接受的極限進(jìn)行比較,并作出合格/不合格決策。SMU的基本設(shè)計使它們非常適合于這類測試。然而,生產(chǎn)測試工程師需要仔細(xì)考慮儀器和測試系統(tǒng)架構(gòu)中的差異,以針對當(dāng)前的任務(wù)選擇最佳的測試儀器,并設(shè)法預(yù)測將來的測試需要。對于多DUT測試或?qū)Ω鼜?fù)雜器件的多通道測試,要采用并行通道的I-V系統(tǒng)來提高測試吞吐量。盡管如此,測試速度可能仍然受限于儀器、應(yīng)用
5、程序或DUT穩(wěn)定時間。現(xiàn)有并行通道系統(tǒng)的限制包括連續(xù)通道跳躍(即不能同時對所有并行通道進(jìn)行測量)、測量量程變化的速度慢以及數(shù)據(jù)通信速度低。可擴(kuò)展多通道系統(tǒng)針對更為復(fù)雜的元器件和測試場景進(jìn)行設(shè)計。它們常常包括針對各種測試功能的不同儀器。SMU常常是一個核心組件,寬帶儀器(信號發(fā)生器、示波器、頻譜分析儀等)往往在外部添加。兩種最為常見的架構(gòu)是集成的功能測試儀和具有開放API(應(yīng)用編程接口)儀器的I-V測試系統(tǒng)。開放API意味著要把獨立儀器安裝到定制的測試系統(tǒng)之中,這通常通過用戶或系統(tǒng)集成商實現(xiàn)。比較而言,功能或參數(shù)測試儀是一種完全預(yù)裝 (交鑰匙)的系統(tǒng),其中的大多數(shù)硬件和軟件集成已經(jīng)在交付使用之前
6、為用戶做好了。這種系統(tǒng)的缺點是成本比較高。開放API系統(tǒng)為用戶和系統(tǒng)集成商提供了高度靈活的解決方案,具有實現(xiàn)更低成本的潛力。采用最新SMU獲得更高的吞吐量測試夾具被加載后,大多數(shù)測試時間都是由下列時間段消耗:1.信號源應(yīng)用,包括電壓或電流瞬態(tài);2.DUT穩(wěn)定時間;3.測量,在需要時變更量程;4.觸發(fā)延遲;5.數(shù)據(jù)通信;6.程序執(zhí)行,包括合格/不合格及裝箱決策;7.測試夾具移動和/或電氣切換時間。通過將獨立的儀器轉(zhuǎn)換到集成的SMU測試系統(tǒng),縮短了獨立儀器與PC控制器之間的觸發(fā)延遲和數(shù)據(jù)通信時間。一些SMU具備的程序存儲器可以運(yùn)行高達(dá)100項的預(yù)定義測試,能利用或不用PC進(jìn)行極限比較、執(zhí)行條件程序
7、分支等工作。這就減少了較慢的GPIB流量和PC的延遲時間。在單通道系統(tǒng)中,采用具備測試程序存儲器的SMU來獲得測試時間的改善相對容易;然而,在多SMU系統(tǒng)中由于難以管理多個觸發(fā)和測試排序器,要縮短測試時間就要復(fù)雜得多。正因為如此,老一代SMU具有僅僅采用命令提示的排序器,即它們存儲多個GPIB命令,通過PC的單次調(diào)用執(zhí)行。這些SMU通常不具備執(zhí)行極限測試或進(jìn)行即時合格/不合格決策的邏輯。它們也不具備DUT操控接口,因此存在大量的GPIB流量。此外,許多老的設(shè)計不容許并行通道測試通道都是順序被訪問的,所以對吞吐量的改進(jìn)有限。最新的SMU設(shè)計(有時稱為智能SMU)具有解決這些問題的測試腳本處理器(
8、TSP)和高速控制總線。這就容許進(jìn)行簡單的編程,能夠運(yùn)行已經(jīng)下載并儲存在儀器中的復(fù)雜和高速的測試程序。利用跨越多個SMU的先進(jìn)的資源共享方法可以實現(xiàn)這一點。例如,在Keithley Instruments(吉時利儀器)的Series 2600 System SourceMeter儀器中,一種主-從安排容許對所有通道實施并行測量。這種架構(gòu)也容許方便地實現(xiàn)多通道的擴(kuò)展。因此,測試工程師可以充分利用各種測試應(yīng)用中的其它SMU功能。這些特性和功能包括:1. 用于100s高速嵌入式測試程序的存儲器;2. 電壓和電流脈沖及掃描能力;3. 4象限I-V操作;4. 寬的源/測量動態(tài)范圍(1uV到200V; 1
9、pA到10A);5. 6位半數(shù)字分辨率;6. 高速的即時合格/不合格測試;7. 用于觸發(fā)管理和元器件操控接口的數(shù)字I/O。此外,智能SMU具備脈沖和低頻任意波形發(fā)生器的功能,可施加到每一個通道。通過提供針對多種應(yīng)用的通用的模擬I/O引腳簡化了復(fù)雜的測試。通過采用這些功能及改變測試系統(tǒng)編程的方法,就有可能極大地提高吞吐量。不再只依賴基于PC的控制,SMU的測試排序器和程序存儲器就可以控制大多數(shù)的測試。在吉時利儀器的Series 2600中,通過采用SMU的測試腳本處理器、高速排序器和快速控制總線(TSP-Link),吞吐量得到進(jìn)一步提高??梢愿鶕?jù)需要的通道數(shù)量(最高達(dá) 128),將多個SMU連接
10、在一起,把它們像單臺儀器那樣使用。TSP-Link技術(shù)采用低延遲的100Mbps串行總線,能在多個SMU之間進(jìn)行多通道 I-V掃描。這些智能SMU也具備寬的動態(tài)范圍和無縫的量程切換。當(dāng)測量要覆蓋很寬的范圍時,這一點非常重要,因為調(diào)整量程可能消耗大量的源測量時間。圖1描述了這種類型的多SMU系統(tǒng)。其吞吐量相當(dāng)于基于主機(jī)(mainframe)的系統(tǒng)。節(jié)省的其它成本智能SMU使系統(tǒng)設(shè)計工程師易于集成各單元,且縮短了軟件開發(fā)時間。例如,吉時利儀器的TSP提供一種類似Basic的直觀的命令語言作為簡單的編程接口。采用TSP和Test Script Builder軟件,便于創(chuàng)建復(fù)雜的測試序列,以控制作為單個實體的多個SMU通道。不斷演進(jìn)的測試要求很容易通過最小的SMU硬件變化來調(diào)整。
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