廢氣處理技術(shù)方案

1、廢氣處理方案太陽(yáng)能電池線的生產(chǎn)過程中涉及制絨、擴(kuò)散、鍍膜、印刷等工藝，在生產(chǎn)過程中會(huì)使用大量的化學(xué)試劑，如鹽酸、氫氟酸、硝酸、硫酸、 氫氧化鉀（或氫氧化鈉）、硅烷、氨氣、醇類等，這些化學(xué)試劑在使用過 程中會(huì)釋放出大量的有害廢氣，所排放的廢氣主要為氯化氫、氟化氫、 氯氣、氮氧化物、氨氣、硅烷、醇類廢氣等，這些廢氣需要被有效的處 理，完全達(dá)到國(guó)家和地方的排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排入大氣中。（一）廢氣分析1、制絨工藝廢氣分析在制絨工藝過程中，廢氣源主要為制絨及清洗設(shè)備，廢氣種類因工藝 不同而有區(qū)別，主要廢氣為氮氧化物、氟化氫氣體（多晶工藝）；堿蒸汽 及醇類（單晶）。2、擴(kuò)散工藝廢氣分析擴(kuò)散工藝涉及廢氣排放的設(shè)

2、備主要是：擴(kuò)散爐、石英管清洗機(jī)、石墨 舟清洗機(jī)等。擴(kuò)散爐排出的廢氣是酸性廢氣及熱廢氣，本項(xiàng)目酸性廢氣 主要為含氯廢氣，如氯氣等。石英管清洗機(jī)、石墨舟清洗機(jī)產(chǎn)生的廢氣 主要為含氟化氫及氯化氫成分的酸性氣體。3、鍍膜工藝廢氣分析鍍膜工藝涉及的主要設(shè)備為去磷硅玻璃清洗機(jī)及 PECV等。去磷硅玻 璃清洗機(jī)產(chǎn)生的廢氣主要成分為氟化氫及氯化氫等；PECVD1氣主要包含 硅烷、氨氣等。4、印刷工藝廢氣分析印刷工藝涉及的主要設(shè)備為印刷機(jī)和燒結(jié)爐，產(chǎn)生的廢氣主要是一些 以脂類和醇類廢氣為主的有機(jī)廢氣。（二）廢氣抽風(fēng)量設(shè)計(jì)及設(shè)備選擇根據(jù)上述廢氣分析，太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線產(chǎn)生的廢氣以處理方式來分可 分為三類：酸堿廢氣、

3、硅烷及氨氣等特氣、有機(jī)廢氣。1、酸堿廢氣凈化系統(tǒng)本項(xiàng)目涉及的酸堿廢氣來自制絨清洗機(jī)、擴(kuò)散爐、去磷硅玻璃清洗機(jī)、 石英管清洗機(jī)及石墨舟清洗機(jī)等，主要成分為HF/HCI/CI2/堿蒸汽等，這 些廢氣均可溶于水，可以采用酸堿中和的方式進(jìn)行廢氣處理。一般采用 堿液噴淋方式進(jìn)行廢氣凈化。本項(xiàng)目廢氣處理分為二部分：擴(kuò)散間及其 他廢氣。擴(kuò)散間的酸堿廢氣為15000m3/h,選一套DGS-B-15型廢氣洗滌 塔進(jìn)行處理；其他的酸堿廢氣采用一套 DGS-B-40型廢氣洗滌塔進(jìn)行處理 其處理風(fēng)量為40000m3/h。廢氣洗滌塔主要有以下幾部分組成：洗滌塔、 自動(dòng)加藥系統(tǒng)、玻璃鋼離心風(fēng)機(jī)、玻璃鋼風(fēng)管、排風(fēng)煙囪及保護(hù)

4、鋼架、 電氣控制柜等組成。設(shè)備工藝流程如下圖:乍間主風(fēng)rii值測(cè)顯計(jì)屋泵自動(dòng)加藥箱141廢氣洗滌塔（離番風(fēng)罷-*排放煙囪t 水泵控制1電控系統(tǒng)恫壓變/換控制負(fù)壓數(shù)據(jù)采集流程圖從車間工藝段抽出的酸堿廢氣在離心風(fēng)機(jī)的作用下進(jìn)入洗滌塔。在 洗滌塔內(nèi)部，中和液經(jīng)噴淋系統(tǒng)噴灑而下，與廢氣中的酸性氣體發(fā)生中 和反應(yīng)從而起到凈化效果。為了提高凈化塔的凈化效率廢氣洗滌塔填料 采用特殊PP海膽型保爾環(huán)以增大氣液接觸面積。為了使中和液處于一個(gè) 最佳的吸收濃度并減少人力操作，本系統(tǒng)采用自動(dòng)加藥系統(tǒng)對(duì)洗滌塔進(jìn) 行氫氧化鈉補(bǔ)充，每套系統(tǒng)包括1個(gè)自動(dòng)加藥箱，每個(gè)自動(dòng)加藥箱包括1 個(gè)PH計(jì)，1個(gè)計(jì)量泵，PH計(jì)根據(jù)凈化塔箱體

5、內(nèi)吸收液的 PH值來控制計(jì) 量泵的開關(guān)，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)加藥。經(jīng)廢氣洗滌塔凈化后的廢氣通過排放 煙囪達(dá)標(biāo)排放，排放標(biāo)準(zhǔn)為 GB16297-1996大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn) 二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。廢氣洗滌塔處理廢氣的主要化學(xué)反應(yīng)為：NaOH+HF - NaF+ H2ONaOH+HCL - NaCL + H2OCl2 + H2O- HClO + HCl2HC1O - 2 HCl + 022、有機(jī)廢氣凈化系統(tǒng)本項(xiàng)目有機(jī)廢氣以含脂類、醇類等揮發(fā)物為主，這些有機(jī)物微溶于水， 不能用常規(guī)的洗滌法處理。根據(jù)這些特點(diǎn)，本項(xiàng)目有機(jī)廢氣采用我公司 研制生產(chǎn)的活性炭纖維有機(jī)廢氣凈化器進(jìn)行吸附凈化。根據(jù)貴公司提供 的工藝設(shè)備廢氣排放量

6、并結(jié)合我公司多年的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)，本項(xiàng)目選擇一套 SYWFL-4 N0.8型*2組合式活性炭纖維有機(jī)廢氣凈化器，該組合式設(shè)備 處理能力為32000m3/h。本設(shè)備主要有凈化器、離心風(fēng)機(jī)及排風(fēng)煙囪組成。 凈化器中吸附裝置的主要成分是活性炭纖維?；钚蕴坷w維是超越活性炭(GAC )的高效吸附材料，它具有高度發(fā)達(dá)的微孔結(jié)構(gòu)，吸、脫附速度快，凈化效果好，在簡(jiǎn)單條件下，可以完全脫附等特點(diǎn)。他易于加工成 氈、絲、布等形狀，成型較好，不易粉化，在振動(dòng)下不會(huì)產(chǎn)生裝填松動(dòng) 和過分密實(shí)現(xiàn)象。 活性炭纖維吸附容量大，耐熱、耐酸、堿：ACF對(duì)汽 油、醛類、酚類、烯烴等有機(jī)蒸汽吸附比 GAC大幾倍，對(duì)無機(jī)氣體有很 好的吸附能力

7、(如NO, N02, SO2, H2S、HF、HCL等)吸附量比GAC高的多它對(duì)微生物、細(xì)菌也有優(yōu)良的吸附能力。工作流程如下:差壓檢測(cè)（更換濾料信號(hào)）凈化器14骨負(fù)壓衆(zhòng)集離心風(fēng)機(jī)（二用一備）排放煙囪從車間工藝段抽出的工藝廢氣首先進(jìn)入有機(jī)廢氣器，在凈化器內(nèi)部廢 氣經(jīng)過多層活性炭纖維過濾吸附，吸附凈化后的廢氣在離心風(fēng)機(jī)的作用 下，經(jīng)過排放煙囪達(dá)標(biāo)排放，排放標(biāo)準(zhǔn)為GB16297-1996大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。3、硅烷系統(tǒng)從PECVD工藝設(shè)備出來的廢氣主要為硅烷及氨氣。硅烷是一種可燃 性氣體，并且易自燃（接觸空氣后就會(huì)燃燒），而氨氣是一種可溶性氣體， 處理這些混合廢氣分兩步走：先燃燒后噴淋吸

8、收。本項(xiàng)目選擇一套HWR-6 型不銹鋼硅烷燃燒塔，PECVD的工藝廢氣設(shè)備具體處理過程如下：含有硅烷及氨氣等成分的混合廢氣通過管道進(jìn)入不銹鋼硅烷燃燒塔 中，在燃燒塔內(nèi)部的燃燒室內(nèi)硅烷氣體與通入的壓縮空氣接觸燃燒，燃 燒后產(chǎn)生的二氧化硅粉塵沉積從燃燒室底部的排渣口排出，而含有氨氣 的其他廢氣進(jìn)入噴淋洗滌室。在噴淋洗滌室中，氨氣與循環(huán)液發(fā)生反應(yīng) 而被處理掉，處理完的氣體經(jīng)脫液室脫液處理后由抽風(fēng)機(jī)抽出，最后通 過排放煙囪排入大氣，排出氣體達(dá)到 GB14554-93惡臭污染排放標(biāo)準(zhǔn) 標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)PECVD發(fā)生故障而出現(xiàn)應(yīng)急排放時(shí)會(huì)排出大量的純硅烷，為了提高系統(tǒng)處理應(yīng)急排放時(shí)的廢氣處理能力，本系統(tǒng)在燃燒塔前接二個(gè)不 銹鋼硅烷應(yīng)急燃燒筒。為了提高設(shè)備安全性，在進(jìn)氣方面采用壓縮空氣加新風(fēng)補(bǔ)氣的雙進(jìn) 風(fēng)形式；在噴淋系統(tǒng)方面，采用循環(huán)水泵與自動(dòng)補(bǔ)水相結(jié)合的方法；風(fēng) 機(jī)采用一用一備形式。這些工藝特點(diǎn)使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到 極大保證。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置