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nndxdEN1)E(SeedxdEN1)E(S)E(S)E(SNdxdEen000011( )( )( )( )EEnenedEdERNSES ENSES E 托馬斯費米屏蔽函數(shù):f(r/a)=a/r(a/r)2+31/2 能量損失率與離子能量關(guān)系 (低能時彈性碰撞,不破壞鍵;高能時傳輸能量小)0E0enR0)E(S)E(SdEN1dxRpmax0RN2dx)x(NDppmaxRD4 . 0R2DN2p2ppR2)Rx(expR2D)x(N2p2p2222p2/3R)Rx(ZzYy21expZYR)2(1) z, y, x(f橫向離散不但與注入離子種類有關(guān),也與入射離子能量有關(guān)。由LSS理論計算的B、P、As、Sb的Rt如上圖( )( , )222ttN xyayaN x yerfcerfcRR)Dt2R()Rx(21exp)Dt2R(2Q) t , x(N2p2p2/12p4.7.1 對MOS晶體管閾值電壓的控制4.7.2 自對準(zhǔn)形成源漏區(qū)4.7.3 雙極中制作薄基區(qū),自對準(zhǔn)形成p區(qū)4.7.4 SIC(Selective Implanted Collect
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