防靜電工作區(qū)技術(shù)要求

1、附件一防靜電工作區(qū)技術(shù)要求（試行）1. 范圍1.1 主題內(nèi)容本標準規(guī)定了供操作靜電放電敏感電子產(chǎn)品用的防靜電工作區(qū)應具備的各項技術(shù)要求。1.2 適用范圍本標準適用于防靜電工作區(qū)。2. 引用文件GB4385-1995 防靜電鞋、導電鞋技術(shù)要求GBI2014-89 防靜電工作服GJB/Z25-91 電子設備和設施的接地、搭接和屏蔽設計指南GJBI649-93 電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱SJ/T10694-1996 電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測試方法GJB3007-97 防靜電工作區(qū)域技術(shù)要求3. 術(shù)語及縮寫詞3.1 術(shù)語3.1.1 防靜電工作區(qū)配備各種防靜電設備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專

2、門標記的適于從事靜電防護操作的場所。3.1.2 操作在操作放電敏感電子產(chǎn)品的制造、老化、篩選、檢測、裝聯(lián)、包裝、儲存、修理和失效分析等過程中，直接或間接作用于產(chǎn)品的有效活動。3.1.3 接地電子連接到能供給或接受大量電荷的物體（如大地、艦船或運載工具外殼等）。3.1.4 硬接地直接與大地電極作導電性連接的一種接地方式。3.1.5 軟接地通過一足以限制流過人體的電流達到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。3.1.6 大地電極埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。3.1.7 靜電耗散材料其表面電阻率等于或大于1×105/，但小于1×1012/；或體積電阻率等

3、于或大于1×104.cm，但小于1×1011.cm,能快速耗散其表面或體內(nèi)靜電荷的材料。3.1.8 導（靜）電材料其表面電阻率小于1×105/或體積電阻率小于1×104.cm的材料。3.2 縮寫詞3.2.1 靜電放電 ESD electrostatic discharge3.2.2 靜電放電敏感（的）ESDS electrostatic discharge sensitive3.2.3 防靜電工作區(qū) EPA electrostatic discharge protected area3.2.4 接地連接點 EBP earth bonding point4

4、. 詳細要求4.1 防靜電標志4.1.1 防靜電標志應符合GJB 1649的規(guī)定，如圖1和圖2所示。4.1.2 圖1和圖2所示的防靜電標志適用于需要靜電防護的產(chǎn)品和靜電敏感的器件，單板和部件等需要進行靜電防護的產(chǎn)品。圖1 防靜電標記符號 圖2 防靜電標志圖樣4.2 靜電電位如無另外規(guī)定，EPA內(nèi)的靜電電位應滿足下列要求，即在任何情況下，在EPA內(nèi)貯存、使用或接受加工的未帶ESD外防護的ESDS產(chǎn)品周圍 300mm 空間之內(nèi)任一物體的靜電電位不得超過±100V。使用準確度優(yōu)于±10% 的非接觸式靜電電壓表進行測試。4.3 氣候與環(huán)境條件4.3.1 溫度EPA內(nèi)應裝設有溫度調(diào)節(jié)

5、裝置，以維持其室溫在1535的范圍內(nèi)，保證每天的同一時間測量和記錄一次。4.3.2 濕度EPA內(nèi)應裝設有濕度調(diào)節(jié)裝置，保持其室內(nèi)相對濕度在4575范圍內(nèi)，保證每天的同一時間測量和記錄一次。4.4 靜電消除器（必要時）在工作臺面上方的適當部位或其它部位，必要時應裝設靜電消除器，以消除未打開的包裝件上的靜電荷和在操作過程中因人體、工具及其它物品相互摩檫在工件上產(chǎn)生的靜電荷。靜電消除器應能消除任何一種極性的電荷，并在其有效防護區(qū)域內(nèi)使靜電位保持在規(guī)定值以內(nèi)，中和能力應優(yōu)于±250V/S，一般配置離子風扇，中和能力控制在1000V中和至100V的時間在2秒以內(nèi)。4.5 接地4.5.1 防靜電

6、接地分系統(tǒng)防靜電地極接地，分別在制造中心大樓南、北樓中軸線埋裝三組地極銅板，每塊紫銅板的厚度為3mm，長度為1500mm，寬度為1000mm，埋沒入地下深度為2500mm，同時添加專用土質(zhì)降阻劑，地極銅板的接地電阻須小于1。4.5.2 PVC防靜電地板接地將防靜電地板導電地網(wǎng)與地坪內(nèi)的防靜電銅排全部搭接。4.5.3 裝配、調(diào)試工作臺接地和預留的防靜電地線連接。 4.5.4 接地安裝注意a) 不允許交流線路的走線與直流地線緊貼或平行敷設，以防對直流信號造成干擾； b) 各接地分系統(tǒng)的連線之間應當相互隔離，為此應使用帶絕緣外皮的導線； c) 各接地干線之間的連線應采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等

7、進行搭接連接； d) 防靜電工具、裝置等的接地端子允許使用易于裝拆的各種夾式連接器，例如鍔魚夾、插頭座等，但應確保電氣連接可靠；的多股敷塑導線，外皮顏色為黃綠色。 4.6 各種器材、用具的靜電性能 4.6.1 ESD防護工作臺面EPA內(nèi)的ESD防護工作臺面應使用靜電耗散材料制成并接地良好。ESD防護工作臺面的對地電阻和表面（點對點）電阻要求見表1。表1 EPA內(nèi)各種器材的靜電性能要求單位：4.6.2 ESD地坪EPA應采用靜電耗散地板并接地良好，對其地電阻和表面（點對點）電阻的要求見表1。4.6.3 ESD防護腕帶a) 腕帶內(nèi)表面（與手腕的接觸面）對地電阻應符合表1的規(guī)定；b) 佩戴腕帶的情況

8、下，對地電阻應符合表1的規(guī)定；c) 供連接腕帶用的腕帶連線，其端對端之間的電阻應符合表1的規(guī)定。4.6.4 物品存放架、內(nèi)部運輸小車（物流車）應能通過支架或輪子接地，它與工件接觸的表面應由靜電耗散材料制作。對地電阻和表面電阻（點對點）電阻值應符合表1。4.6.5 周轉(zhuǎn)容器（箱、盤、盒）其內(nèi)、外表面（點對點）電阻應符合表1規(guī)定。4.6.6 電烙鐵焊頭部位應進行硬接地，從焊頭至接地系統(tǒng)的電阻應不大于2。應定期檢查加熱絲與焊頭的絕緣性能(108)。4.6.7 防靜電服工作服應符合GB12014的規(guī)定，其各部分之間應存在著電氣連續(xù)性。工作服的設計應保持其在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。工作服對

9、地電阻和表面（點對點）電阻要求按表1。4.6.8 防靜電鞋進入EPA的人員應穿防靜電鞋。在穿用狀態(tài)下，鞋、襪對地電阻值應符合表1對定。5. 技術(shù)管理要求5.1 人員培訓凡與EPA相關(guān)的工作人員，均需經(jīng)過基本防靜電知識的培訓。操作人員應掌握各種器具的使用技能和操作規(guī)則與方法。5.2 靜電源控制凡易于產(chǎn)生磨擦靜電的材料，例如普通塑料、橡膠、合成纖維等，在EPA內(nèi)盡量避免使用；若必須使用，則要配備離子風機。5.3 包裝進入EPA的元器件或組件，必須使用防護罩或袋進行防靜電包裝（包括非ESDS產(chǎn)品）。即使已被發(fā)現(xiàn)為失效的元器件或組件，在送去修復或進行失效原因分析之前，同樣需與正常品一樣進行防靜電包裝。

10、并且包裝與拆包裝操作均需在EPA內(nèi)進行。5.4 人體防護5.4.1 凡進入EPA的人員必須穿防靜電工作服，長頭發(fā)的人員應佩戴由防靜電布料制作的工作帽，以防頭發(fā)與ESDS產(chǎn)品發(fā)生接觸放電。5.4.2 凡與ESDS產(chǎn)品接觸的人員，包括操作人員、工程技術(shù)或管理人員、參觀人員等，需佩戴防靜電腕帶，并應保持其與人體、與接地系統(tǒng)都接觸可靠。5.4.3 凡進入EPA的人員必須穿防靜電工作鞋，并應保持與防靜電地面接觸以泄漏人體靜電荷。5.4.4 必要時，應佩戴防靜電手套或防靜電指套進行操作。5.4.5 在EPA 內(nèi)的人員操作ESDS產(chǎn)品時不準進行與工作無關(guān)的肢體活動。5.4.6 文件資料防護在EPA內(nèi)使用的文

11、件資料，其與別的物體之間或文件自身之間的接觸分離，所產(chǎn)生的靜電位不能大于±100V。必要時，這些文件資料應裝在透明防靜電包裝袋內(nèi)。5.4.7 EPA維護與檢查對EPA的各項技術(shù)要求，必須經(jīng)常性地進行檢查、監(jiān)測，以維持其各項性能符合本標準的規(guī)定。檢查的時間周期如下表所列。日檢測項目由使用個人完成，周、月、6季檢測項目由工藝部完成。檢測項目表6. 附件附錄A 靜電敏感電子元器件附表一：防靜電手腕帶、防靜電鞋檢試記錄表附表二：溫度、濕度記錄表附表三：設備、儀器、工具接地測量表審批： 審核： 擬制： 8附 錄 A（資料性附錄）靜電敏感電子元器件電子元器件靜電敏感度的分級如下：A1 1級（ 1

12、999V）ESDS元器件a) 微波器件（肖特基二極管，點接觸二極管和f > 1Ghz的檢波二極管）； b) MOS場效應晶體管（MOSFET）；c) 結(jié)型場效應晶體管（JFET）；d) 聲表面波器件（SAW）；e) 電荷耦合器件（CCD）；f) 精密穩(wěn)壓二極管（線性或負載電壓調(diào)整率小于0.5%）；g) 運算放大器（OP AMP）；h) 集成電路（IC）；i) 混合電路（1級ESDS元件組成）；j) 特高速集成電路（VHSIC）；k) 薄膜電阻器；l）可控硅整流器（SCR）（環(huán)境溫度100 時，I0 < 0.175A）。 A2 2級（2000V3999V）ESDS元器件a) MOS場效應晶體管；b) 結(jié)型場效應晶體管；c) 運算放大器；d) 集成電路；e) 特高速集成電路；f) 精密電阻網(wǎng)絡（RZ型）；g) 混合電路（2級ESDS元件組成）；h) 低功率雙極型晶體管（Pt 100mV，Ic < 100mA）。A3 3級（4000V15999V）ESDS元器件a) MOS場效應晶體管；b) 結(jié)型場效應晶體管；c) 運算放大器；d) 集成電路；e) 特高速集成電路；f) ESDS1級或2級不包括的所有其它微電子器件；