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1、半導(dǎo)體霍爾系數(shù)與電導(dǎo)率測(cè)量1、 實(shí)驗(yàn)?zāi)康?1.了解霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)原理以及有關(guān)霍爾器件對(duì)材料要求的知識(shí) 2.測(cè)量試樣的導(dǎo)電類型、載流子濃度以及遷移率2、 實(shí)驗(yàn)原理 霍爾效應(yīng)的測(cè)量是研究半導(dǎo)體性質(zhì)的重要實(shí)驗(yàn)方法。利用霍爾效應(yīng),可以確定半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型和載流子濃度。利用霍爾系數(shù)和電導(dǎo)率的聯(lián)合測(cè)量,可以用來(lái)研究半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)制(本征導(dǎo)電和雜質(zhì)導(dǎo)電)和散射機(jī)制(晶格散射和雜質(zhì)散射),進(jìn)一步確定半導(dǎo)體的遷移率、禁帶寬度、雜質(zhì)電離能等基本參數(shù)。測(cè)量霍爾系數(shù)隨溫度的變化,可以確定半導(dǎo)體的禁帶寬度、雜質(zhì)電離能及遷移率的特性。1、 霍爾效應(yīng)和霍爾系數(shù)設(shè)一塊半導(dǎo)體的x方向上有均勻的電流流過(guò),在z方向上加有磁場(chǎng),則在這
2、塊半導(dǎo)體的y方向上出現(xiàn)一橫向電勢(shì)差,這種現(xiàn)象被稱為“霍爾效應(yīng)”, 稱為“霍爾電壓”,所對(duì)應(yīng)的橫向電場(chǎng)稱為“霍爾電場(chǎng)”?;魻栯妶?chǎng)強(qiáng)度的大小與流經(jīng)樣品的電流密度和磁感應(yīng)強(qiáng)度的乘積成正比:式中比例系數(shù)稱為“霍爾系數(shù)”。半導(dǎo)體樣品的長(zhǎng)、寬、厚分別為l、a、b,半導(dǎo)體載流子(空穴)的濃度為p,它們?cè)陔妶?chǎng)作用下,以平均漂移速度沿x方向運(yùn)動(dòng),形成電流。在垂直于電場(chǎng)方向上加一磁場(chǎng),則運(yùn)動(dòng)著的載流子要受到洛侖茲力的作用該洛侖茲力指向-y方向,因此載流子向-y方向偏轉(zhuǎn),這樣在樣品的左側(cè)面就積累了空穴,從而產(chǎn)生了一個(gè)指向+y方向的電場(chǎng)霍爾電場(chǎng)。當(dāng)該電場(chǎng)對(duì)空穴的作用力q與洛侖茲力相平衡時(shí),空穴在y方向上所受的合力為零
3、,達(dá)到穩(wěn)態(tài)。在穩(wěn)態(tài)時(shí),有 :若是均勻的,則在樣品左、右兩側(cè)面間的電位差:而x方向的電流:由以上的式子得:所以對(duì)p型半導(dǎo)體: n型半導(dǎo)體:所以的計(jì)算式: 3、 實(shí)驗(yàn)儀器 霍爾傳感器,可調(diào)恒流源3.5A,可調(diào)恒流源10mA,電磁線圈5A 4、 實(shí)驗(yàn)內(nèi)容1.測(cè)量霍爾電壓VH和霍爾電流IS的關(guān)系(1)按要求連接導(dǎo)線。(2)輕輕把霍爾傳感器調(diào)節(jié)到電磁場(chǎng)的磁隙的中間(3)打開所有電源開關(guān)(4)設(shè)置勵(lì)磁電流到某個(gè)值(5)慢慢的增大Is電流,記錄霍爾電壓VH到表中2.測(cè)量霍爾電壓VH和霍爾電流IS的關(guān)系(1)按要求連接導(dǎo)線(2)輕輕地把霍爾傳感器調(diào)節(jié)到電磁場(chǎng)的磁隙中間(3)打開所有電源開關(guān)(4)設(shè)置勵(lì)磁電流到
4、某個(gè)值(5)慢慢增大勵(lì)磁電流,記錄霍爾電壓和磁場(chǎng)強(qiáng)度的關(guān)系5、 數(shù)據(jù)結(jié)果六、結(jié)果討論1.測(cè)量誤差來(lái)源可能是測(cè)量磁場(chǎng)時(shí),特斯拉計(jì)探頭未完全與磁場(chǎng)垂直,即測(cè)出來(lái)的磁感應(yīng)強(qiáng)度偏小。2.在計(jì)算擬合曲線時(shí),根據(jù)理論公式,應(yīng)采用正比例函數(shù)進(jìn)行擬合。七、霍爾效應(yīng)的應(yīng)用1.測(cè)量半導(dǎo)體導(dǎo)電類型:半導(dǎo)體中的載流子有電子和空穴兩種,根據(jù)霍爾效應(yīng)原理,若某半導(dǎo)體材料中只存在一種載流子,那么,對(duì)P型半導(dǎo)體來(lái)說(shuō),側(cè)面積累的是空穴,因此帶正電;對(duì)N型半導(dǎo)體來(lái)說(shuō),側(cè)面積累的是電子,因此帶負(fù)電。由于P型半導(dǎo)體材料與磁場(chǎng)和電流的作用下產(chǎn)生的霍爾電場(chǎng)方向和N型半導(dǎo)體材料相反,即霍爾電壓的符號(hào)相反,因此,可根據(jù)霍爾電壓的符號(hào)判斷半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型。2.霍爾傳感器?;魻栐?、霍爾組件、霍爾集成電路等都是以霍爾效應(yīng)原理為基礎(chǔ)制成的,它們統(tǒng)稱為霍爾效應(yīng)磁敏傳感器,簡(jiǎn)稱霍爾傳感器。
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