直拉單生產(chǎn)作業(yè)指導(dǎo)書

1、直拉單晶生產(chǎn)作業(yè)指導(dǎo)書一 拆爐前準(zhǔn)備 準(zhǔn)備好一次性潔凈手套、耐高溫手套、無塵紙、酒精、吸塵刷、吸塵管、防塵口罩。準(zhǔn)備好鉗子、扳手和各類裝拆爐專用工具。 取單晶的車子、裝石墨件的不銹鋼小車（要擦拭干凈）、裝堝底料的不銹鋼筒，并處理干凈。 圖一 圖二（擦拭干凈） 圖三 熱態(tài)檢漏1. 檢查上一爐功率關(guān)閉時(shí)間，在確認(rèn)單晶冷卻時(shí)間達(dá)到 7.0 小時(shí)以上后，關(guān)閉氬氣總閥門（先打開主、副室流量計(jì)調(diào)節(jié)閥并分別調(diào)節(jié)到50L/Min，再關(guān)閉氬氣進(jìn)氣總閥門，主、流量計(jì)蝶閥仍然保持打開狀態(tài)），開始抽高真空，并作時(shí)間記錄。2. 待爐內(nèi)壓力到達(dá)極限（要求達(dá)到3Pa 以下）后，先關(guān)閉主室抽空球閥而后關(guān)閉主真空泵電源進(jìn)行檢漏

2、，并作相應(yīng)時(shí)間記錄，若0.5 小時(shí)內(nèi)抽不到3Pa 以下時(shí)，交有關(guān)維修人員處理，在此期間須配合有關(guān)維修人員進(jìn)行裝拆爐，并作相關(guān)記錄。3. 檢漏要求3分鐘以上，漏氣率<0.34Pa/min 為正常，同時(shí)作好漏氣率記錄，若漏氣率0.34Pa/min 時(shí)，交有關(guān)維修人員處理，在此期間須配合有關(guān)維修人員進(jìn)行裝拆爐，并作相關(guān)記錄4. 做好熱態(tài)檢漏時(shí)的抽空時(shí)間，檢漏時(shí)間，極限真空，漏氣速率等記錄。 取出單晶棒1. 熱態(tài)檢漏后，充氬氣至常壓，關(guān)閉氬氣，打開副室小門（在此之前須先擰松副室小門的螺絲2. 升單晶至副室（提升單晶時(shí)注意單晶通過副室爐徑處不得有碰撞），從副室小門內(nèi)確認(rèn)單晶升至所需高度（為防止升副

3、室時(shí)晶棒脫落，應(yīng)關(guān)閉隔離閥）,確認(rèn)無誤后升副室。3. 安全接盤移到爐筒口處晶體下方（若晶體過長，則需連同爐蓋一起同步轉(zhuǎn)動），緩慢轉(zhuǎn)動副室至側(cè)面。4. 單晶的車子放在副室爐筒正下方，準(zhǔn)備接單晶。5. 定單晶，移開安全接盤，按下籽晶快降，將單晶降入架子內(nèi)。6. 單晶完全入架子內(nèi)后，手握重錘，用鉗子將籽晶從細(xì)徑處鉗斷，鉗斷籽晶后，應(yīng)穩(wěn)定重錘，防止重錘快速轉(zhuǎn)動，損壞鋼絲繩。7再將重錘升至副室內(nèi)適當(dāng)位置。 8. 單晶移到中轉(zhuǎn)區(qū)，及時(shí)、準(zhǔn)確的將單晶編號寫在單晶上，并觀察晶體的顏色及籽晶是否積渣等，做好相應(yīng)的記錄。二 拆、清、裝爐A 拆爐 石墨小件取出1按爐蓋升按鈕上升爐蓋。爐蓋上升到位后，再旋轉(zhuǎn)爐蓋到側(cè)面

4、。2戴好耐高溫手套按順序取出導(dǎo)流筒及保溫蓋放在裝石墨件的不銹鋼小車上，注意要拿穩(wěn)并輕放。3在整個(gè)拆裝爐過程中，嚴(yán)禁赤手接觸石墨器件，石墨器件安放必須在清潔好的不銹鋼小車或平板上。4仔細(xì)觀察爐頸石英坩堝堝口是否積渣及石英坩堝是否變形，導(dǎo)流筒，看導(dǎo)流筒是否有開裂、粘硅現(xiàn)象，并觀察氧化物的顏色是否正常（是否發(fā)白），并及時(shí)做好相應(yīng)的記錄。5戴好耐高溫手套用鉗子夾住石英坩堝的上端部分提起，使其松動，將石英坩堝取出。若石英坩堝能將堝底料全部帶出直接放入不銹鋼筒；若不能則將先取出石英坩堝，剩下的堝底料隨三瓣堝一并取出后，再將堝底料放入不銹鋼筒內(nèi)。最后將不銹鋼筒移到指定地方，并寫上單晶編號，自然冷卻。冷卻后對

5、堝底料進(jìn)行重量檢測并作好記錄。 圖四 圖五（石墨件取出后要 圖六（單晶棒要放到指定位置）立即放到石墨房冷卻，不能放在現(xiàn)場） 石墨大件的取出（一般 4 爐做一次，須作好大清記錄）1 取出上保溫罩放在不銹鋼小車上。2按住爐筒升按紐，升起爐筒至限位，旋轉(zhuǎn)爐筒，并降至適當(dāng)位置。3取出中保溫罩放在不銹鋼小車上。4先取下加熱器螺絲蓋，再用專用工具取下加熱器螺絲后，取下加熱器螺絲和加熱器放在不銹鋼小車上。5依次取出電極護(hù)套、電極石英環(huán)、堝桿護(hù)套、爐底上壓片、爐底上壓片下小石墨碳?xì)帧⑴艢馓坠?、下保溫罩、爐底壓片、爐底碳?xì)?、石墨電極等放在不銹鋼小車上。在不銹鋼小車邊掛上石墨件爐號牌，移到指定的位置，自然冷卻，移

6、動過程中注意石墨件放置，防止墜落。B 單晶爐清掃 石墨件清掃1石墨件必須在指定的清洗室進(jìn)行清洗，不得在爐子現(xiàn)場打磨石墨器件，準(zhǔn)備好清洗用品(吸塵刷、紙巾、吸塵管、研磨布、除硅粒的專有工具、放石墨件的潔凈小車等)戴好手套、防塵口罩。清洗好清洗臺及周圍環(huán)境。2依次用吸塵刷清洗各類石墨件直至確認(rèn)無污物，溝槽及接口等吸附揮發(fā)物較多的部位要用研磨布認(rèn)真打磨后再吸塵清洗。3清洗時(shí)注意檢查各石墨件是否有損壞及粘硅，有損壞及粘硅等異常要及時(shí)報(bào)告班長或主任處理，并及時(shí)更換。作好相應(yīng)記錄。4操作時(shí)要輕拿輕放以免造成石墨件的損壞。5清理完畢的石墨件放到事先準(zhǔn)備好的潔凈不銹鋼小車上。禁止疊加，移動不銹鋼小車要穩(wěn)當(dāng)。6

7、清洗后垃圾放入垃圾指定處，清洗好清洗臺及周圍環(huán)境。 石墨大件爐內(nèi)清洗（適用于每爐小清，石墨大件未取出時(shí)在爐內(nèi)清洗）1用吸塵刷吸凈爐筒、保溫罩和加熱器上沿拆爐時(shí)掉落的殘?jiān)?用吸塵刷仔細(xì)用力清洗保溫罩，加熱器所能觸及到的部位。3取出加熱器螺絲蓋，檢查電極螺絲是否松動、膠落或粘硅。有松動須擰緊，有膠落或粘硅須更換。再蓋好加熱器螺絲蓋。4如果在拆爐時(shí)不小心引起熱場移動或轉(zhuǎn)動一定要檢查熱場是否對稱，測溫孔要重新校正。如果側(cè)溫孔有偏離會影響測光信號，導(dǎo)致ATC數(shù)值過小，無法對爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動控制無法成晶。5用吸塵刷吸凈爐底上壓片、爐底波紋管、排氣孔內(nèi)的附塵及殘?jiān)?用帶有酒精的紙巾清理爐壁上部。 單晶爐

8、室清洗a. 副室的清洗1準(zhǔn)備好清洗棒、紙巾、酒精。2在清洗棒上纏上沾有酒精的紙巾，清洗副室內(nèi)部至上部，直至確認(rèn)無污物。3快速降下籽晶夾頭，用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗重錘及鉬夾頭。需要時(shí)要將重錘摘下用研磨布認(rèn)真打磨，并清洗干凈。摘下重錘時(shí)要慎重作業(yè)，防止鋼絲繩上彈造成鋼絲繩出槽。清洗鋼絲繩時(shí)要檢查其接頭部位是否老化或損壞。清洗好上升重錘到一定位置，升重錘時(shí)，不要使重錘晃動，防止重錘掛住副室下沿，拉斷鋼絲繩。b. 小副室的清洗1打開副室小門，用沾有酒精的紙巾擦洗小副室內(nèi)的附著物。揮發(fā)物附著較多時(shí)，先用吸塵刷處理。2用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗副室抽氣口、其它小孔及翻板閥四周及轉(zhuǎn)軸。翻板閥的溝槽部位及焊縫

9、處先用紙巾卷成利于操作的形狀再認(rèn)真擦洗。3清洗過的小副室將翻板閥蓋住閥口，并關(guān)閉副室小門。4用潔凈的紙巾將小副室上口蓋住。 圖七 圖八 圖九c. 爐蓋清洗1 先用紙巾擦洗內(nèi)壁(氧化物過多先用吸塵刷清理)。2 小孔部位、觀察窗部位、伊爾根部位、閥口部位等各處的接口及焊接口等不易清洗的部位要用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗，直至確認(rèn)無污物。3 硅粉強(qiáng)力附著時(shí)或爐蓋局部發(fā)黑、發(fā)白時(shí)要用研磨布認(rèn)真研磨直至爐蓋整個(gè)內(nèi)壁出現(xiàn)光亮無污物。4 觀察窗、ATC窗口要認(rèn)真清理，所有小孔的位置要把紙巾卷成卷以便伸進(jìn)氣孔內(nèi)部更容易清理直至沒有污物。d. 爐筒清洗1 先用紙巾擦洗內(nèi)壁(氧化物過多先用吸塵刷清理)。2 取光孔部位

10、要用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗，直至確認(rèn)無污染。3 硅粉強(qiáng)力附著時(shí)或爐筒局部發(fā)黑、發(fā)白時(shí)要用研磨布認(rèn)真研磨直至爐筒整個(gè)內(nèi)壁出現(xiàn)光亮無污物。e. 抽氣管道清洗。1 用扳手打開抽氣管道上的封蓋螺絲，取下封蓋和密封圈。2 用一頭纏鋼絲球的長棒伸入管道抽動，另一頭用吸塵刷吸除抽氣管道內(nèi)的揮發(fā)物。3 用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗封蓋和密封圈，再安裝好。f. 真空過濾器清洗1準(zhǔn)備好吸塵刷、吸塵管、酒精、紙巾、扳手，帶好手套、防塵口罩。2先打開真空過濾器蓋充氣閥充滿氣，再關(guān)閉充氣閥。3用扳手打開真空過濾器蓋螺絲，取出過濾網(wǎng)。4用吸塵刷仔細(xì)清洗過濾網(wǎng)及過濾器內(nèi)的揮發(fā)物。5.將清洗后的過濾網(wǎng)緩慢放進(jìn)過濾器內(nèi)。6用吸塵刷

11、清洗過濾器蓋，用沾酒精的紙巾擦凈密封圈，并檢查密封圈是否完全就位，防止出現(xiàn)脫落或出槽影響抽空。7蓋好過濾器蓋并用扳手上好過濾器蓋螺絲。 圖十 圖十一g. 拆爐操作工對拆爐過程中發(fā)現(xiàn)的其它情況進(jìn)行描述并做好相應(yīng)的記錄。C 石墨件安裝 清洗后的石墨大件安裝，（一般5 爐做一次）。1 清理完畢的石墨大件不銹鋼小車移到單晶爐旁邊，移動過程要穩(wěn)當(dāng)。2依次裝好石墨電極、爐底碳?xì)帧t底壓片、下保溫罩，兩側(cè)排氣管、爐底上壓片下小石墨碳?xì)?，爐底上壓片、堝桿護(hù)套、電極護(hù)套、石英電極環(huán)。安裝電極時(shí)檢查接觸面是否平整，上下接觸面要放一層石墨紙，防止熱場打火。3將清洗后的加熱器（每爐要確認(rèn)廠家編號和已使用爐次，如達(dá)到規(guī)

12、定正常使用爐次需作更換）裝好，擰上石墨螺絲，要擰緊，不然要引起熱場打火，并蓋上石墨螺絲蓋。4將清洗后的中保溫罩裝好，卡口接到位。并校正與加熱器的間距(做到同心同軸)，要均勻一致，否則需調(diào)整好。5爐筒復(fù)位，升起爐筒至上限，用沾有酒精的紙巾擦洗下爐筒上部的結(jié)合部和爐筒下部的結(jié)合部，同時(shí)轉(zhuǎn)動爐筒到適當(dāng)位置。6按爐筒降，爐筒降到位后，校對測溫孔，防止測光信號過小無法溫度自控。7將清洗后的上保溫罩裝好，并卡口接到位。 清洗后石墨小件安裝。1用專用工具裝好堝桿。一定要擰緊堝桿螺絲，防止因松動造成液面晃動。2依次裝好堝底、三瓣堝（每爐要確認(rèn)廠家編號和已使用爐次，如達(dá)到規(guī)定正常使用爐次需作更換）。安裝時(shí)要確認(rèn)

13、堝桿、堝底、三瓣堝是否吻合，要認(rèn)真、細(xì)心，防止碰壞保溫材料或加熱器。3裝好后要打開堝轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)一下，以檢驗(yàn)三瓣堝與加熱器間距是否一致。若不一致，需及時(shí)調(diào)整。4進(jìn)行初始化 （去除掛壁后合爐，檢查初始化參數(shù)是否為1，點(diǎn)擊初始化按鈕進(jìn)行初始化） 圖十二（安裝要做到同心同軸，卡口接到位） 圖十三三 裝料石英坩堝安裝1爐筒、爐蓋的外側(cè)及周遍，用沾有酒精的紙巾擦洗干凈，爐體周圍地面認(rèn)真打掃。2從指定的場所將指定石英坩堝取來。帶好防塵口罩、裝料用的潔凈手套。3檢查石英坩堝包裝上標(biāo)識與設(shè)備熱系統(tǒng)要求是否一致，如一致先打開石英坩堝外包裝進(jìn)行稱重，并在外包裝上作好記錄，再打開石英坩堝內(nèi)包裝，打開后石英坩堝內(nèi)表面不得有

14、沾污，手拿取部分的手套必須是潔凈的，對光確認(rèn)有無裂紋、污物、氣泡。若有異常及時(shí)處理并報(bào)告班長或主任。4 在爐內(nèi)的石墨三瓣堝內(nèi)裝好石英坩堝，注意四周間隙一致。 圖十四 圖十五 圖十六 圖十七 裝料1取來裝料不銹鋼車（用酒精擦拭干凈），硅料及摻雜劑，仔細(xì)核對配料單的各項(xiàng)內(nèi)容是否與單晶爐號、配料實(shí)物和摻雜劑實(shí)物一致，若有異常及時(shí)處理并報(bào)告班長或主任。2更換裝料用的手套，裝料用的手套必須保持潔凈，如有沾污或破損應(yīng)及時(shí)更換，如有摻雜劑先放入石英坩堝。再將碎料、小料平鋪在堝底。3將大塊料放置中央，用中型料放于大料四周上方左右予以固定，間隙中放入小硅料。如裝硅粉須每層要壓緊，裝料時(shí)要慎重作業(yè)，輕拿輕放，防止

15、碰撞石英坩堝，也不要使料掉在保溫罩的縫隙，以免造成打火。4裝料時(shí)注意不要使料探出石英坩堝，否則會在熔料過程中引起硅液流下，損壞石墨件，甚至燜爐。5裝料完成后打開堝轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)一下，確認(rèn)四周間隙一致，再快速將堝降至下限。停止旋轉(zhuǎn)。6坩堝上部、加熱器上部、保溫罩上部再用干凈吸塵刷吸凈浮塵及硅渣。7依次裝好保溫蓋、導(dǎo)流筒（對外導(dǎo)流筒每爐要確認(rèn)廠家編號和已使用爐次，如達(dá)到規(guī)定正常使用爐次需作更換）。安裝保溫罩、導(dǎo)流時(shí)要相互吻合，安裝導(dǎo)流筒時(shí)要慎重作業(yè)，如果與硅料發(fā)生接觸時(shí)要調(diào)整硅料的擺放，防止在化料過程中發(fā)生沾硅。8 裝好保溫蓋、導(dǎo)流筒后，若料與導(dǎo)流筒有一定距離，能打開堝轉(zhuǎn)則打開堝轉(zhuǎn)，給定堝轉(zhuǎn)1r/min。

16、 籽晶安裝1 用沾有酒精的紙巾擦洗爐蓋和爐筒接合部的密封圈，再將爐蓋旋轉(zhuǎn)至爐筒上部。2按爐蓋降按鈕降下爐蓋。爐蓋降到位后確認(rèn)爐蓋是否合好，防止漏氣。3 用沾有酒精的紙巾擦洗副室下部的接合部和爐蓋上部的接合部，轉(zhuǎn)動副室，降下與爐蓋合爐。要緩慢轉(zhuǎn)動副室，防止重錘與副室內(nèi)壁碰撞。4從指定的場所將腐蝕好的籽晶取來，用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗籽晶。注意不要直接用手接觸籽晶，防止汗?jié)n污染籽晶。5下降籽晶夾頭到一定位置，從副室小門中把籽晶裝在夾頭上，裝好鉬銷。用力向下拉一下籽晶使其牢固，穩(wěn)定好籽晶后按晶快升使其上升至適當(dāng)位置。6用沾有酒精的紙巾擦洗副室小門的密封圈和接合部，關(guān)閉副室小門，擰上副室小門螺絲，打開

17、翻板閥。7 等所有的部件清洗安裝完畢后做好單晶爐周圍環(huán)境衛(wèi)生清理工作。 圖十八 （禁止裸手觸摸） 圖十九 四 抽空1先打開真空泵電源（2到3分鐘），再打開主室球閥。2抽空后爐內(nèi)壓力達(dá)到<20Pa 時(shí)，先打開氬氣進(jìn)氣總閥門，再打開主、副室流量計(jì)調(diào)節(jié)閥并分別調(diào)節(jié)到50L/Min，過5min 后，再關(guān)閉氬氣進(jìn)氣總閥門，主、副室流量計(jì)調(diào)節(jié)閥仍然保持打開狀態(tài)，再次抽空，使?fàn)t內(nèi)壓力<5Pa。如不行，可重復(fù)幾次打開氬氣進(jìn)氣總閥門5min, 再關(guān)閉氬氣進(jìn)氣總閥門的過程。3待爐內(nèi)壓力<5Pa 后，關(guān)閉主室球閥而后關(guān)閉真空泵電源之后進(jìn)行測漏，測漏時(shí)只需關(guān)閉氬氣進(jìn)氣總閥門，主、副室流量計(jì)調(diào)節(jié)閥仍然

18、保持打開狀態(tài)，要求爐子漏氣速<1Pa/3min，檢漏時(shí)間>3 分鐘。檢漏合格進(jìn)入加熱熔料工序。4若爐子漏氣速率>1Pa/3min，充氣打開爐子，重新擦洗密封圈后，重復(fù)a、b、c、d 步進(jìn)行抽空檢漏，若仍不合格報(bào)告維修人員處理。5并作好抽空時(shí)間，檢漏時(shí)間，極限真空，漏氣速率等記錄。五 化料1確認(rèn)水、電、氣是否正常。2抽空檢漏合格后，打開真空泵電源。3再打開主室球閥。4打開氬氣進(jìn)氣總閥門， 調(diào)節(jié)副室氬氣流量在5060L/Min 。5打開加熱開關(guān)，進(jìn)入化料工序。 圖二十 圖二十一（塌料后及時(shí)下降 圖二十二導(dǎo)流筒，下降時(shí)注意是否有掛邊） 6熔料過程中時(shí)刻注意觀察爐內(nèi)的情況，防止堝轉(zhuǎn)旋

19、轉(zhuǎn)時(shí)有塌料碰撞導(dǎo)流筒，有異常及時(shí)上報(bào)班長并處理，并將觀察到的現(xiàn)象做好記錄。若原未打開堝轉(zhuǎn)，則當(dāng)塌料后無異常就可給定堝轉(zhuǎn)2r/min，塌料后要及時(shí)上升適當(dāng)堝位。并進(jìn)行相應(yīng)記錄。升堝時(shí)注意不要使硅液面觸到導(dǎo)流筒下沿。升完堝后通過對堝位標(biāo)尺的確認(rèn)堝無動作，方可完成，否則會使導(dǎo)流筒粘硅，發(fā)生跳硅。7料熔完時(shí)，揮發(fā)一小時(shí)（功率降至75kw85kw）。揮發(fā)完畢后降低加熱功率至引晶溫度(與上爐對應(yīng))。給定堝轉(zhuǎn)到26r/min，并進(jìn)行相應(yīng)記錄。若在熔料時(shí)發(fā)現(xiàn)料有大量浮渣時(shí)，可不等料全熔提前降溫進(jìn)行初次吊渣操作。8ATC值降至引晶溫度對應(yīng)的數(shù)值時(shí)切入自動，將堝升至引晶堝位穩(wěn)定即導(dǎo)流筒至液面距離為15-25mm

20、左右。引晶堝位也可在上爐裝料基礎(chǔ)上根據(jù)投料量增加/減少量，來確定本次引晶堝位。六 引晶（鍋位堝轉(zhuǎn)溫度）預(yù)熱1將籽晶降至從主觀察窗剛能看到的位置，并打開晶轉(zhuǎn)電源，給定晶轉(zhuǎn)8r/min，堝轉(zhuǎn)10 r/min。220分鐘后，按籽晶快降按鈕將籽晶降至距硅液面10mm 處預(yù)熱20分鐘。作好相應(yīng)記錄。必須預(yù)熱，不然會由于籽晶由低溫區(qū)到高溫區(qū)、由固定到液態(tài)轉(zhuǎn)變時(shí)，溫差太大造成籽晶產(chǎn)生位錯(cuò)。3籽晶快速上升或下降的位置必須給予確定，升降操作方可完成，否則會溶掉籽晶甚至重錘，升至上限時(shí)會導(dǎo)致重錘掉下進(jìn)入溶硅內(nèi)，造成漏硅或整爐料徹底報(bào)廢，無法再次利用。4降籽晶使之與硅液面接觸，浸潤20 分鐘，熔去籽晶較細(xì)的部分，根

21、據(jù)接觸光圈的形狀，確定引晶溫度是否合適，若合適開始引晶；若不合適，通過ATC調(diào)整溫度20 分鐘后開始引晶，溫度不宜偏低。引晶1打開晶升電源，計(jì)長歸 0。作好相應(yīng)記錄。2緩慢提升拉速至 1.5mm/min 左右先提拉籽晶約10 mm 后，再提升拉速讓拉速保持在1.5mm/min6mm/min 之間，引晶直徑控制在3mm 左右，長度不低于150mm。3引晶過程中若溫度不適可適當(dāng)進(jìn)行溫度的調(diào)整，但不宜過大。引晶開始時(shí)，應(yīng)先引 10mm 左右直徑較粗的細(xì)頸，可作為下次接觸使用，這樣避免籽晶的浪費(fèi)。4引晶過程中若籽晶熔斷，則重新進(jìn)行ATC的調(diào)整，籽晶插入液面，重新進(jìn)行引晶。作好相應(yīng)記錄。 圖二十三（預(yù)熱

22、） 圖二十四（找引晶溫度） 圖二十五七 放肩（晶體的橫向生長，達(dá)到所需的尺寸）放肩1引晶達(dá)到預(yù)定的長度后，緩慢降低拉速直至 0.30.5mm/min 進(jìn)行放肩。作好相應(yīng)記錄。2放肩務(wù)必要放平肩。3放肩時(shí)要時(shí)刻觀察肩的形狀，放肩過快過慢時(shí)應(yīng)及時(shí)進(jìn)行適當(dāng)?shù)販囟日{(diào)整。4放肩壞時(shí)，則重新進(jìn)行溫度的調(diào)整，插入液面，熔去放肩和引晶部位，再引晶。5若料較臟時(shí)，將肩放至直徑150160mm 提離液面上升到副室，蓋住翻板閥后增大副室氬氣，打開主爐室氬氣，調(diào)節(jié)流量到爐壓和原來一致。6等副室到達(dá)常壓后，關(guān)閉副室氬氣閥。打開副室小門后，取出不成晶品放到適當(dāng)位置待其冷卻后做好標(biāo)識并稱重，放入指定場所。做好吊渣操作相應(yīng)的

23、記錄。 圖二十六 圖二十七 圖二十八轉(zhuǎn)肩1將肩放到接近目標(biāo)直徑時(shí)，將拉速緩慢提高 1.52.5mm/min，進(jìn)行轉(zhuǎn)肩。作好相應(yīng)記錄。2密切關(guān)注單晶的生長速度，調(diào)整拉速。3待單晶生長到目標(biāo)直徑時(shí)緩慢降低拉速同時(shí)適當(dāng)給定堝跟隨動。堝跟隨動設(shè)定可參照4一定要注意單晶生長穩(wěn)定后方可切入自動，否則會造單晶生長失控。八 等徑（晶體的縱向生長）正常等徑控制2計(jì)算機(jī)切入自動控制后根據(jù)操作記錄要求認(rèn)真做好各項(xiàng)記錄。3等徑過程中應(yīng)時(shí)常觀察爐內(nèi)單晶生長情況，每隔10分鐘對爐內(nèi)巡視1次，確認(rèn)有無異常，每隔1小時(shí)對爐內(nèi)晶體測量一次直徑。等徑過程中每30分鐘做1次拉晶生長記錄。4根據(jù)情況的不同，等徑至硅料液面下降到石英坩

24、堝內(nèi)徑變小處時(shí)，應(yīng)該適當(dāng)增大堝升隨動。 圖二十九 圖三十（觀察導(dǎo)流筒與 圖三十一（取渣關(guān)閉隔離閥液面的距離） 時(shí)注意切換氬氣） 等徑斷棱時(shí)回熔1在 400mm 以內(nèi)斷棱時(shí)，進(jìn)行回熔處理。作好相應(yīng)記錄。2退出自動，功率升至8590kw(熔料功率的90%)。晶轉(zhuǎn)設(shè)定為5轉(zhuǎn)，堝轉(zhuǎn)為2 轉(zhuǎn)。3觀察爐內(nèi)狀態(tài)，慢慢下降晶體進(jìn)行回熔，晶體過長需要熔化一段后，吊起晶體經(jīng)確認(rèn)下部已熔化后，再慢慢下降一段晶體進(jìn)行回熔，直到全部回熔。.4若發(fā)現(xiàn)原料有雜質(zhì)時(shí)，可熔化一部分后按吊渣料方式吊出，冷卻稱重后做好吊渣操作相應(yīng)的記錄。5回熔或吊渣完成后重新開始引晶操作。等徑斷棱時(shí)晶體收尾提出1晶體等徑在 400mm 以上斷棱時(shí)

25、，且估計(jì)本次晶體提前收尾并提出后還能正常等徑400mm 或以上時(shí)應(yīng)將單晶提前收尾并提出(根據(jù)情況而定)。收尾過程見收尾工序。2提前收尾要求收尾長度在 150200mm。收尾長度計(jì)算是從實(shí)際晶體斷棱處到收小后晶體提出處的距離。3收好尾后先下降坩堝液面 3050mm，緩慢調(diào)節(jié)晶轉(zhuǎn)為5r/min，再給定拉速1.0mm/min上升4 小時(shí)，作好相應(yīng)記錄。而后上升到副室爐筒內(nèi)翻板閥上，再等1小時(shí)后打開主室氬氣流量，蓋住翻板閥。4蓋住翻板閥后（切換氬氣）增大副室氬氣流量，到達(dá)常壓后關(guān)閉副室氬氣升起副室爐筒并轉(zhuǎn)到左側(cè)面，取出斷棱單晶。作好相應(yīng)記錄5對爐筒及小副室進(jìn)行清洗。清洗完畢進(jìn)行副室抽空（換氣23次）。

26、6進(jìn)行二次作業(yè)，重新開始引晶操作。等徑斷棱時(shí)晶體收尾停爐1晶體等徑在 400mm 以上斷棱時(shí)，且估計(jì)本次晶體提前收尾并提出后已不能再正常等徑400mm 時(shí)，應(yīng)繼續(xù)吊料到預(yù)定長度后收小尾。2收好后轉(zhuǎn)入停爐冷卻工序。九 收尾收尾1 當(dāng)晶體長度達(dá)到預(yù)定長度（根據(jù)堝內(nèi)實(shí)際剩料多少計(jì)算）時(shí)，或斷棱需要收尾時(shí)，進(jìn)入收尾程序，并做好相應(yīng)記錄。2要經(jīng)常查看收尾情況，對拉速和溫度做適當(dāng)調(diào)整。3正常收尾長度應(yīng)為晶體等徑直徑的大小，收成尖尾后使單晶脫離液面，轉(zhuǎn)入降功率、停爐冷卻工序。 圖三十二 圖三十三降功率、停爐冷卻1收尾完成或收斷后，按下堝快降鍵，下降 30mm 后確認(rèn)堝快降停止。2晶升拉速調(diào)整到 1.0mm/

27、min, 使單晶自動上升。3緩慢調(diào)節(jié)晶轉(zhuǎn)為 5r/min，緩慢調(diào)節(jié)堝轉(zhuǎn)為2 r/min。4溫度控制退出自動，電壓降至 20V，作好操作記錄。50.5 小時(shí)后電壓電流降至0，關(guān)閉加熱電源。作好操作記錄。6冷卻 6.5 小時(shí)后，緩慢調(diào)節(jié)晶轉(zhuǎn)、堝轉(zhuǎn)為0，關(guān)閉晶轉(zhuǎn)、堝轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)入下一輪拉晶。7操作人員對整個(gè)操作過程做個(gè)簡要的敘述，并做好相應(yīng)的記錄。異常事故處理 停水a(chǎn). 發(fā)生停水時(shí)，立即檢查（自動打開的）或打開停水爐子的事故水進(jìn)水閥。1 關(guān)閉加熱功率。2 復(fù)位控制柜面板上單晶生長控制器，使其處于手動狀態(tài)。3降低堝位到熔料堝位。4關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。b. 停水后水壓恢復(fù)。1冷卻水恢復(fù)供應(yīng)時(shí)，立即檢查（自動打開的）或關(guān)

28、閉事故水閥門，監(jiān)控水壓，有異常立即報(bào)告管理人員。2水壓恢復(fù)時(shí)，爐內(nèi)無嚴(yán)重氧化現(xiàn)象，熔體未結(jié)晶或已結(jié)晶但液面結(jié)晶小于10 分鐘且石英坩堝未破裂，按加熱功率開，調(diào)節(jié)功率到熔料功率。3啟動堝轉(zhuǎn)，設(shè)定為 2 轉(zhuǎn)/分，打開堝轉(zhuǎn)前，確保堝轉(zhuǎn)電位器處于零位。4熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切爐內(nèi)有無嚴(yán)重氧化現(xiàn)象，注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生嚴(yán)重氧化現(xiàn)象、硅液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。5晶體處理同晶變單晶一致，待結(jié)晶全熔后，手動調(diào)節(jié)功率為引晶功率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶。c. 停水后水壓無法恢復(fù)，或恢復(fù)時(shí)熔體已結(jié)晶大于 10 分鐘。1快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面 150mm。2在熔體結(jié)晶 15 分

29、鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。3停爐，充分冷卻后拆爐 停電a. 若爐子工作時(shí)，加熱部分停電。1復(fù)位控制柜面板上單晶生長控制器，使其處于手動狀態(tài)。2降低堝位到熔料堝位。3關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。4 加熱部分恢復(fù)時(shí)，若時(shí)間較短（液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10 分鐘且石英坩堝未破），按加熱功率開，將功率升至熔料功率。5啟動堝轉(zhuǎn)，設(shè)定為 2 轉(zhuǎn)/分，打開堝轉(zhuǎn)前，確保堝轉(zhuǎn)電位器處于零位。6熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生硅液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。7晶體處理同晶變單晶一致，待結(jié)晶全熔后，手動調(diào)節(jié)功率為引晶功率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶。8加熱部分恢復(fù)時(shí)，若停電時(shí)間較長（液面結(jié)晶已經(jīng)大于10 分鐘或石英坩堝破裂），快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。9在熔體結(jié)晶 15 分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。10 停爐，充分冷卻后拆爐。b. 若爐子工作時(shí)，加熱電源、控制電源同時(shí)斷電。1立即關(guān)閉抽空閥門。關(guān)閉所有升降轉(zhuǎn)動開關(guān)。2手動搖手柄降低堝位到熔料