PVD鍍膜產(chǎn)品及制備工藝資料

1、富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品PVD鍍膜產(chǎn)品及制備工藝介紹鍍膜產(chǎn)品及制備工藝介紹富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品目錄 膜系介紹 工藝介紹 真空設(shè)備介紹 注意事項(xiàng)富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品IP金：金：1N14和和2N18色；色； IP玫瑰金：玫瑰金：3N、4N和和5N色；色；IP黑系列：槍色、鈦灰色和純黑色等。黑系列：槍色、鈦灰色和純黑色等。裝飾膜的標(biāo)準(zhǔn)色系裝飾膜的標(biāo)準(zhǔn)色系富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品IP紫色、紫色、IP藍(lán)色、藍(lán)色、IP棕色。

2、棕色。裝飾膜的彩色系列裝飾膜的彩色系列富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品 每種顏色都可按不同的上下限色調(diào)生產(chǎn)每種顏色都可按不同的上下限色調(diào)生產(chǎn)-可參考色辦冊(cè)；可參考色辦冊(cè)； 每種膜層都可依據(jù)客戶要求沉積不同級(jí)別的厚度；每種膜層都可依據(jù)客戶要求沉積不同級(jí)別的厚度； 工件基材為碳鋼、不銹鋼、工具鋼、鎢鋼、銅合金、鈦合金、陶瓷、工件基材為碳鋼、不銹鋼、工具鋼、鎢鋼、銅合金、鈦合金、陶瓷、銀等銀等, , 某些基材可能需先水鍍底層來獲得更好的附著力；某些基材可能需先水鍍底層來獲得更好的附著力； 通過厚度、硬度、耐磨、耐腐蝕等測(cè)試，滿足客戶需求；通過厚度、硬度、耐磨、耐腐

3、蝕等測(cè)試，滿足客戶需求； 符合符合RoHS和和REACH標(biāo)準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)。裝飾膜的特性裝飾膜的特性富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品間電貨品：膜層與基體顏色相間；根據(jù)間電顏色生產(chǎn)難度而定；間電貨品：膜層與基體顏色相間；根據(jù)間電顏色生產(chǎn)難度而定；復(fù)合膜層：在同一工件上實(shí)現(xiàn)兩種或兩種以上顏色的鍍膜；貨品交復(fù)合膜層：在同一工件上實(shí)現(xiàn)兩種或兩種以上顏色的鍍膜；貨品交期大約期大約20天；天；界面平整分明，森科專利技術(shù)。界面平整分明，森科專利技術(shù)。裝飾膜的復(fù)合膜層裝飾膜的復(fù)合膜層富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品顏色：鋼色、鈦色顏色：鋼色、鈦色

4、, 可調(diào)節(jié)顏色以滿足客戶需求。可調(diào)節(jié)顏色以滿足客戶需求。硬度：與基體硬度有關(guān)硬度：與基體硬度有關(guān), 不銹鋼基體上最高可達(dá)不銹鋼基體上最高可達(dá)1500 HV。 厚度：可達(dá)厚度：可達(dá)10 m以上。以上。成品：拉砂、拋光或噴砂成品：拉砂、拋光或噴砂, 可根據(jù)基材特點(diǎn)進(jìn)行選擇。可根據(jù)基材特點(diǎn)進(jìn)行選擇?；模轰摗⑩?、鎢鋼、合金、陶瓷等?；模轰?、鈦、鎢鋼、合金、陶瓷等。特性：極強(qiáng)的耐磨損、耐腐蝕性特性：極強(qiáng)的耐磨損、耐腐蝕性, 產(chǎn)品表面不易刮花。產(chǎn)品表面不易刮花。應(yīng)用于：鐘表、手機(jī)配件、模具、刀具等五金件真空鍍膜。應(yīng)用于：鐘表、手機(jī)配件、模具、刀具等五金件真空鍍膜。功能膜：功能膜：IP硬膜硬膜富森鈦金設(shè)

5、備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品顏色：黑色顏色：黑色, 不同色調(diào)的灰色。不同色調(diào)的灰色。硬度：可達(dá)硬度：可達(dá)1000 HV 左右。左右。厚度：厚度：1m 到到1.5m?；模轰摶模轰? 鈦鈦 和鎢鋼。和鎢鋼。性能：鍍層均勻、耐腐蝕、耐磨損、致密性和附著力好。性能：鍍層均勻、耐腐蝕、耐磨損、致密性和附著力好。 應(yīng)用于：模具、刀具、鐘表和手機(jī)片等五金件真空鍍膜。應(yīng)用于：模具、刀具、鐘表和手機(jī)片等五金件真空鍍膜。功能膜功能膜: DLC類金剛石膜類金剛石膜富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品顏色：透明的顏色：透明的, 可應(yīng)用于任一產(chǎn)品的表面。

6、可應(yīng)用于任一產(chǎn)品的表面。成品外觀：適合于拉砂和噴砂面成品外觀：適合于拉砂和噴砂面, 拋光面不常用。拋光面不常用。特性：防止指紋；強(qiáng)的防水、油污性能。特性：防止指紋；強(qiáng)的防水、油污性能。應(yīng)用：表殼、表帶和手機(jī)配件等。應(yīng)用：表殼、表帶和手機(jī)配件等。功能膜：防指紋膜功能膜：防指紋膜富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品鍍膜前鍍膜前鍍膜后鍍膜后擦拭后擦拭后初始指紋初始指紋指紋不能去除指紋不能去除擦拭后沒有任何痕跡擦拭后沒有任何痕跡工藝簡(jiǎn)單，效果良好工藝簡(jiǎn)單，效果良好拋光面防指紋效果拋光面防指紋效果富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品鍍膜前鍍

7、膜前鍍膜后鍍膜后接觸角增大；接觸角增大；疏水效果增強(qiáng)疏水效果增強(qiáng)僅有零星的水珠存在僅有零星的水珠存在水接觸角對(duì)比水接觸角對(duì)比富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品Colorful Coatings (with Overlayer)富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品Film Deposition1SprayingSubstrateMaterial2ElectroplatingSubstrateMaterialAnodeCathode3EvaporationMaterialSubstrateHeaterVacuum chamberCl

8、oud4SputteringMaterialSubstratePlasma富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品真空鍍膜特點(diǎn) 被鍍物與塑膠不產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)被鍍物與塑膠不產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng) 環(huán)保製程；環(huán)保製程； 無化學(xué)物污染無化學(xué)物污染 可鍍多重金屬可鍍多重金屬 生產(chǎn)速度快生產(chǎn)速度快 可對(duì)各種素材加工可對(duì)各種素材加工 屬低溫製程屬低溫製程富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品.物理氣相沉積（PVD）： 從原材料中發(fā)射粒子通過蒸發(fā)、升華、濺射濺射和分解等過程 粒子輸運(yùn)到基片（粒子間發(fā)生碰撞，產(chǎn)生離化、復(fù)合、反應(yīng)，能量的交換和運(yùn)動(dòng)方向的變化）； 粒

9、子在基片上凝結(jié)、成核、長(zhǎng)大和成膜在真空條件下，用物理的方法將材料汽化成原子、分子或電離成離子，并通過氣相過程在襯底上沉積一層具有特殊性能的薄膜技術(shù)。富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品2.濺射鍍膜的基本原理：濺射是轟擊粒子與靶原子之間動(dòng)量傳遞的結(jié)果濺射：濺射：荷能粒子轟擊固體表面，當(dāng)表面原子獲得足夠大的動(dòng)能而脫離固體表面，從而產(chǎn)生表面原子的濺射。富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品直流輝光放電區(qū)域可分為8個(gè)發(fā)光強(qiáng)度不同的區(qū)域。實(shí)際鍍膜過程采用異常輝光放電。（）入射離子的產(chǎn)生：富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合

10、出品聯(lián)合出品（）濺射主要參數(shù)：u濺射閾值：濺射閾值：將靶材原子濺射出來所需的入射離子最小能量值。與入射與入射離子的種類關(guān)系不大、與靶材有關(guān)。離子的種類關(guān)系不大、與靶材有關(guān)。金屬元素離子濺射閾值/eV元素升華熱/eVNeArKrXeTi222017184.40Cr222218205.28Fe222025234.12Cu171716153.53Zr232218256.14Ag121515173.35Au202020183.90富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品入射離子轟擊靶材時(shí)，平均每個(gè)正離子能從靶材打出的原子數(shù)。 入射離子能量影響：入射離子能量影響：150eV，

11、平方關(guān)系；150eV-10keV，變化不大；10keV，下降。u濺射產(chǎn)額：濺射產(chǎn)額：入射離子的種類影響：入射離子的種類影響：濺射產(chǎn)額隨入射原子序數(shù)增加而周期性增加。NeArKrXe富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品離子入射角度離子入射角度的的影響：影響：材料（靶材）特性的影響：材料（靶材）特性的影響：靶材溫度的影響：靶材溫度的影響：表面氧化表面氧化的的影響：影響：合金化的影響：合金化的影響：富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品濺射產(chǎn)額（濺射產(chǎn)額（0.01-40.01-4）之間）之間Sputtering Yield for arg

12、on ion bombardment at 600 eV富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品3.濺射沉積方法：濺射方法根據(jù)特征可分為：直流濺射直流濺射、射頻濺射射頻濺射、磁控濺射磁控濺射和反應(yīng)濺射反應(yīng)濺射。I-V characteristics of three different methods used for sputtering富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品 傳統(tǒng)濺射方法缺點(diǎn)：傳統(tǒng)濺射方法缺點(diǎn)：垂直方向分布的磁力線將電子約束在靶材表面附近，延長(zhǎng)其在等離子體中的運(yùn)動(dòng)軌跡，提高電子與氣體分子的碰撞幾率和電離過程。（）磁控

13、濺射：沉積速率低；工作氣壓高；氣體分子對(duì)薄膜污染高 磁控濺射原理：磁控濺射原理：富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品 磁控濺射靶材：磁控濺射靶材：永磁體磁控濺射靶：永磁體磁控濺射靶： Nd-Fe-B永磁體（簡(jiǎn)單經(jīng)濟(jì)、鐵磁性材料濺射效率低）勵(lì)磁磁控濺射靶：勵(lì)磁磁控濺射靶： 勵(lì)磁線圈、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、可濺射鐵磁材料平面靶和圓柱形靶平面靶和圓柱形靶富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品通過減小或增大靶中心的磁體體積，使部分磁力線發(fā)散到距靶較遠(yuǎn)的襯底附近，使等離子體擴(kuò)展到襯底附近且部分等離子體起轟擊襯底作用。拓展等離子體區(qū)域；增加離子比例；增加沉

14、積能量。 非平衡磁控濺射：非平衡磁控濺射：富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品帕邢（帕邢（PaschenPaschen）曲線）曲線降低工作氣壓，可到0.5Pa左右；電離效率高，提高了靶電流密度和濺射效率，降低靶電壓；離子電流密度高，是射頻濺射的10-100倍；不能實(shí)現(xiàn)強(qiáng)磁性材料的低溫高速濺射；靶材濺射不均勻、靶材利用率低。 磁控濺射特征：磁控濺射特征：富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品（）反應(yīng)濺射：在存在反應(yīng)氣體的情況下，濺射靶材時(shí)，靶材料與反應(yīng)氣體形成化合物（氮化物、碳化物、氧化物）。靶中毒：反應(yīng)氣體與靶反應(yīng)，在靶表面形成化合

15、物；沉積膜的成分不同于靶材；化合物靶材濺射后，組元成分（氧、氮）含量下降，補(bǔ)償反應(yīng)氣體；調(diào)整氬氣和反應(yīng)氣體分壓，可控制化合物薄膜的組成、沉積速率和薄膜性能。 反應(yīng)濺射特征：反應(yīng)濺射特征：富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品 靶中毒現(xiàn)象：靶中毒現(xiàn)象： 取決于金屬與反應(yīng)氣體的結(jié)合特性及形成化合物表層的性質(zhì)。 降低薄膜沉積速率，化合物的濺射產(chǎn)額低于金屬的濺射產(chǎn)額。 降低靶中毒措施：降低靶中毒措施：將反應(yīng)氣體輸入位置遠(yuǎn)離靶材靠近襯底。提高靶材濺射速率，降低活性氣體的吸附。采用中頻或脈沖濺射。反應(yīng)濺射的回線圖反應(yīng)濺射的回線圖富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科

16、技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品 反應(yīng)濺射應(yīng)用：反應(yīng)濺射應(yīng)用：富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品最常見的PVD製程1EvaporationMaterialSubstrateHeaterVacuum chamberCloud2SputteringMaterialSubstratePlasma富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品蒸鍍(Evaporation)MaterialSubstrateHeaterVacuum chamberCloud富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品蒸鍍(Evaporation)原理富森

17、鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品蒸鍍(Evaporation)原理富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品蒸鍍(Evaporation)原理 鎢絲 鎢舟 鉬舟富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品濺鍍(Sputter)MaterialSubstratePlasma富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品PLASMA物質(zhì)的第四態(tài)物質(zhì)的第四態(tài)富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品濺鍍製程技術(shù)的特點(diǎn) 成長(zhǎng)速度快 大面積且均勻度高 附著性佳可改變薄膜應(yīng)力

18、金屬或絕緣材料均可鍍製 適合鍍製合金材料富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品各種PVD法的比較 PVD蒸鍍法真空蒸鍍?yōu)R射蒸鍍離子蒸鍍粒子生成機(jī)構(gòu)熱能動(dòng)能熱能膜生成速率可提高快可提高粒子原子、離子原子、離子原子、離子蒸鍍均勻性複雜形狀佳良好良好，但膜厚分佈不均平面佳優(yōu)佳蒸鍍金屬可可可蒸鍍合金可可可蒸鍍耐熱化合物可可可粒子能量很低0.10.5eV可提高1100eV可提高1100Ev惰性氣體離子衝擊通常不可以可，或依形狀不可可表面與層間的混合通常無可可加熱（外加熱）可通常無可，或無蒸鍍速率10-9m/sec1.6712500.1716.70.50833富森鈦金設(shè)備富森

19、鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品 粗真空 低真空 高真空 超高真空 極高真空Pa35103331100131Pa13103331103331Pa61103331103331Pa106103331103331Pa10103331富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品濺射真空室組件：濺射真空室組件： 真空室（不銹鋼材料制造、氬弧焊接、表面進(jìn)行化學(xué)拋光處理），真空室組件上焊有各種規(guī)格的法蘭接口。濺射靶組件濺射靶組件 ：鋅靶材數(shù)量，靶內(nèi)有水冷，電動(dòng)控制擋板組件，靶配有屏蔽罩基片水冷加熱臺(tái)組件：基片水冷加熱臺(tái)組件： 基片尺寸、基片加熱溫度、基片回轉(zhuǎn)、基片加負(fù)偏壓工作氣路：工作氣路： 質(zhì)量流量控制器、進(jìn)氣截止閥、混氣室、管路、接頭富森鈦金設(shè)備富森鈦金設(shè)備 迪通恒業(yè)科技迪通恒業(yè)科技 聯(lián)合出品聯(lián)合出品抽氣機(jī)組及閥門、管道：抽氣機(jī)組及閥門、管道： 真空測(cè)量及電控系統(tǒng)：真空測(cè)量及電控系統(tǒng)： 電源機(jī)柜、總控制電源、水流報(bào)警系統(tǒng)、樣