雷尼紹干涉儀使用方法

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)一、本次我們主要研究：如何檢測機(jī)床的螺距誤差。因此我們主要的任務(wù)在于：1.應(yīng)該使用什么儀器進(jìn)行測量2. 怎么使用測量儀器3. 怎么進(jìn)行數(shù)據(jù)分析4. 怎么將測量所得的數(shù)據(jù)輸入對應(yīng)的數(shù)控系統(tǒng)二、根據(jù)第一點(diǎn)的要求，我們選擇的儀器為：Renishaw 激光器測量系統(tǒng)，此儀器檢測的范圍包括：1. 線性測量2. 角度測量3. 平面度測量4. 直線度測量5. 垂直度測量6. 平行度測量線性測量：是激光器最常見的一種測量。 激光器系統(tǒng)會比較軸位置數(shù)顯上的讀數(shù)位置與激光器系統(tǒng)測量的實(shí)際位置，以測量線性定位精度及重復(fù)性。三、根據(jù)第二點(diǎn)的解釋，線性測量正符合我們檢測螺距誤差

2、的要求。因此，我們此次使用的檢測方法線性測量?？偨Y(jié)以上我們的核心在于：如何操作 Renishaw 激光器測量系統(tǒng)結(jié)合線性測量的方法進(jìn)行檢測，之后將檢測得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，最后將分析得到的數(shù)據(jù)存放到數(shù)控系統(tǒng)中。這樣做的目的在于提高機(jī)床的精度。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)第二章、基礎(chǔ)知識2.1 什么是螺距誤差？開環(huán)和半閉環(huán)數(shù)控機(jī)床的定位精度主要取決于高精度的滾珠絲杠。但絲杠總有一定螺距誤差，因此在加工過程中會造成零件的外形輪廓偏差。由上面的原因可以得知：螺距誤差是指由螺距累積誤差引起的常值系統(tǒng)性定位誤差。2.2 為什么要檢測螺距誤差？根據(jù) 2.1 節(jié)，檢測螺距誤差是為了減少加工過程中

3、造成零件的外形輪廓偏差，即提高機(jī)床的精度。2.3 怎么檢測螺距誤差？（1）安裝高精度位移檢測裝置。（2）編制簡單的程序，在整個行程中順序定位于一些位置點(diǎn)上。所選點(diǎn)的數(shù)目及距離則受數(shù)控系統(tǒng)的限制。（3）記錄運(yùn)動到這些點(diǎn)的實(shí)際精確位置。（4）將各點(diǎn)處的誤差標(biāo)出，形成不同指令位置處的誤差表。（5）多次測量，取平均值。（6）將該表輸入數(shù)控系統(tǒng)，數(shù)控系統(tǒng)將按此表進(jìn)行補(bǔ)償。2.4 什么是增量型誤差、絕對型誤差？增量型誤差增量型誤差是指：以被補(bǔ)償軸上相鄰兩個補(bǔ)償點(diǎn)間的誤差差值為依據(jù)來進(jìn)行補(bǔ)償絕對型誤差絕對型是誤差是指：以被補(bǔ)償軸上各個補(bǔ)償點(diǎn)的絕對誤差值為依據(jù)來進(jìn)行補(bǔ)償2.5 螺距誤差補(bǔ)償?shù)脑硎鞘裁?？螺距誤

4、差補(bǔ)償?shù)幕驹砭褪菍?shù)控機(jī)床某軸上的指令位置與高精度位置測量系統(tǒng)所測得的實(shí)際位置相比較，計(jì)算出在數(shù)控加工全行程上的誤差分布曲線，再將誤差以表格的形式輸入數(shù)控系統(tǒng)中。這樣數(shù)控系統(tǒng)在控制該軸的運(yùn)動時(shí)，會自動考慮到誤差值，并加以補(bǔ)償。采用螺距誤差補(bǔ)償功能應(yīng)注意：螺距誤差補(bǔ)償功能的實(shí)現(xiàn)方法又有增量型和絕對型之分。所謂補(bǔ)償就是指通過特定方法對機(jī)床的控制參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，其參數(shù)調(diào)整方法也依各數(shù)控系統(tǒng)不同而各有差異。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)第三章、認(rèn)識激光干涉儀 本次試驗(yàn)我們使用的儀器為：Renishaw 激光器測量系統(tǒng)3.1 激光干涉儀是由什么硬件組成3.1.1 什么是硬件？硬件：硬件就是

5、我們看到的一堆由金屬、塑料等材料堆成的被稱之為“Renishaw 激光干涉儀”的東西(事實(shí)上，它是由一些機(jī)殼和電路板等物構(gòu)成)。因?yàn)槭且恍┛吹靡?、摸得著的東西,又因?yàn)槎际恰坝病钡?，所以被人們形象地稱為“硬件” 。3.1.2 具體硬件名稱以及各自的用途是什么？一、本次使用激光檢測儀主要檢測螺距誤差，因此我們主要使用到以下的儀器： （1）ML10 激光器Renishaw ML10 Gold Standard 激光器精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)以上四個圖案為激光罩在不同的狀態(tài)下的作用A)A)無光束射出無光束射出 B)B)縮小橫截面光束及目標(biāo)縮小

6、橫截面光束及目標(biāo) C C）最答光束及目標(biāo)）最答光束及目標(biāo) D D）標(biāo)準(zhǔn)測量位置標(biāo)準(zhǔn)測量位置 射出最大光來的橫截面以及反射光束的探測器孔射出最大光來的橫截面以及反射光束的探測器孔Renishaw ML10 Gold Standard 激光器：ML10 是一種單頻 HeNe 激光器，內(nèi)含對輸出激光束穩(wěn)頻的電子線路及對由測量光學(xué)鏡產(chǎn)生的干涉條紋進(jìn)行細(xì)分和計(jì)數(shù)處理。 其主要作用簡單概括為：發(fā)射紅外線以及返收紅外線供特定的軟件做分析，記錄相關(guān)的數(shù)據(jù)（2）三腳架精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)三腳架及云臺可用來安

7、裝 ML10 激光器，將 ML10 激光器設(shè)置在不同的高度，并充分控制 ML10 激光束的準(zhǔn)直。 對于大多數(shù)機(jī)床校準(zhǔn)設(shè)置，建議將 ML10 激光器安裝在三腳架和云臺上。三腳架、安裝云臺和 ML10 激光器三合一體，可為 ML10 光束準(zhǔn)直提供下列調(diào)整：高度調(diào)整 水平平移調(diào)整 精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)角度偏轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)調(diào)整 角度俯仰調(diào)整 其中高度調(diào)整是由圖 9 上顯示的高度曲柄控制的，水平平移是由圖 2 上顯示的平移控制旋鈕控制，角度偏轉(zhuǎn)偏移是由圖 2 上顯示的旋轉(zhuǎn)微調(diào)旋鈕控制。圖 2 后的兩個示意圖為水平平移和角度偏移的使用方法。（3）EC10 環(huán)境補(bǔ)償裝置精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉

8、上專心-專注-專業(yè)EC10 環(huán)境補(bǔ)償裝置可以補(bǔ)償激光器光束波長在氣溫、氣壓、及相對濕度影響之下的變化。大多數(shù)機(jī)床會隨著溫度變化膨脹或收縮，可能導(dǎo)致校準(zhǔn)發(fā)生誤差，為了避免校準(zhǔn)誤差，線性測量軟件納入一種稱為熱膨脹補(bǔ)償或“歸一化”的數(shù)學(xué)修正，應(yīng)用在線性激光讀數(shù)上。 軟件使用膨脹系數(shù)將測量加以歸一（膨脹系數(shù)需手動輸入），并使用 EC10 來測量平均機(jī)床溫度。 修正的目的是要評估在 20 C (68 F) 的溫度下執(zhí)行校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)得的激光器校準(zhǔn)結(jié)果。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)（4）線性測量鏡組線性測量鏡組可用于測量線性定位精度。 線性測量鏡組組件包括下列要件，如圖 1 所示： 分光鏡 兩個線

9、性反射鏡 兩個光靶以助于光學(xué)準(zhǔn)直 注： 當(dāng)您組合一個分光鏡和線性反射鏡后，便成為一個線性干涉鏡。（5）用于將鏡組安裝到機(jī)床機(jī)床上的安裝組件精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)鏡組安裝組件是用來將 Renishaw 測量鏡組安裝到 CMM 或機(jī)床上。 本系統(tǒng)的設(shè)計(jì)可以輕易地交換不同的測量鏡組，無需重新準(zhǔn)直激光器。組件包括： 三個安裝桿（安裝桿有 M8 螺絲釘可擰上底板、標(biāo)準(zhǔn)磁基或其它 Renishaw 裝置） M8 適配器（可連接標(biāo)準(zhǔn)磁基或 Renishaw 的 CMM 探頭） 兩個底板 兩個安裝塊和安裝螺釘（可將光學(xué)元件連接至安裝桿） 鏡組安裝組件不包括任何可將安裝的鏡組夾上待測機(jī)床的元

10、件，要這么做需視不同的機(jī)床而異。 一種通用的方式是用磁性安裝塊直接將鋼制底板或/和安裝桿裝上機(jī)床。安裝組件的安裝桿和底板都是磁性不銹鋼所制，因此可以用磁性安裝塊來加以牢固。3.2 激光干涉儀是由哪些軟件組成精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)3.1.2 什么是軟件？軟件：是人們?yōu)榱烁嬖V電腦要做什么事而編寫的，電腦能夠理解的一串指令，有時(shí)也叫代碼、程序。 3.2.2 具體的軟件名稱以及各自的用途是什么？（1）Renishaw Laser10 是配套 Renishaw 激光器測量系統(tǒng)的軟件，此軟件的資源管理器窗口：這里面包括該儀器所有功能的配套軟件，其中線性測長是我們本次研究的軟件。 （2）

11、線性測量軟件精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)下列各表列出各種菜單選項(xiàng)的功能：文件文件選項(xiàng)選項(xiàng)/ /次選項(xiàng)次選項(xiàng)功能功能新建 自動設(shè)置隨機(jī)設(shè)置手動設(shè)置指導(dǎo)用戶通過有關(guān)數(shù)據(jù)采集設(shè)置程序，顯示目標(biāo)生成，采集初始化和自動數(shù)據(jù)采集對話框。 倘若您已在會話中定義了目標(biāo)，就可以選擇創(chuàng)建新目標(biāo)或者修改既有的目標(biāo)。打開會顯示打開對話框，容許您在其中為上一次數(shù)據(jù)采集會話加載參數(shù)。另存為會顯示 對話框，容許您將數(shù)據(jù)用一個新文件名保存或保存至另一個目錄。屬性容許您輸入或查看當(dāng)前的數(shù)據(jù)采集會話的機(jī)床標(biāo)題信息。 最近會話容許您從最近的數(shù)據(jù)采集會話列表內(nèi)選擇并打開數(shù)據(jù)文件。退出退出數(shù)據(jù)采集軟件。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情

12、為你奉上專心-專注-專業(yè)目標(biāo)目標(biāo)選項(xiàng)選項(xiàng)/ /次選項(xiàng)次選項(xiàng)功能功能自動設(shè)置隨機(jī)設(shè)置手動設(shè)置會顯示目標(biāo)設(shè)置對話框。 倘若您已在會話中定義了目標(biāo)，您可以選擇創(chuàng)建新目標(biāo)或者修改已有的目標(biāo)。編輯會顯示編輯目標(biāo)數(shù)值對話框，容許您更改已定義的目標(biāo)位置。保存會顯示另存為對話框，容許您給要保存的目標(biāo)設(shè)置定義一個文件名或目錄。采集采集選項(xiàng)選項(xiàng)/ /次選項(xiàng)次選項(xiàng)功能功能開始在您定義目標(biāo)并后開始數(shù)據(jù)采集過程。繼續(xù)在中斷后繼續(xù)數(shù)據(jù)采集過程。環(huán)境設(shè)置會顯示環(huán)境設(shè)置對話框，容許您手動設(shè)定環(huán)境參數(shù)或選擇使用 裝置進(jìn)行補(bǔ)償。Tpin/out 開/關(guān)設(shè)置會顯示 TPin-TPout 設(shè)置對話框，容許您在其中啟用/禁用并設(shè)定觸發(fā)

13、間距。自動采集設(shè)置會顯示 對話框，容許您在其中輸入數(shù)據(jù)采集參數(shù)，如最小暫停期間以及過速步長尺寸。數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)選項(xiàng)選項(xiàng)/ /次選項(xiàng)次選項(xiàng)功能功能按運(yùn)行編輯按目標(biāo)位置編輯會顯示數(shù)據(jù)編輯對話框，容許您在其中編輯在每一個目標(biāo)按運(yùn)行或按目標(biāo)位置所記錄的誤差值。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)分析啟動 Renishaw Laser10 。工具工具選項(xiàng)選項(xiàng)/ /次選項(xiàng)次選項(xiàng)功能功能附加功能/將角度轉(zhuǎn)換為直線度 是一個 DOS 實(shí)用程序，可將角度數(shù)據(jù)文件轉(zhuǎn)換為直線度數(shù)據(jù)文件。運(yùn)行軟件時(shí)，請參閱 IMPORTANT NOTE（重要注意事項(xiàng)）一節(jié)。附加功能/轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)文件是一個 DOS 實(shí)用程序，可從采集的數(shù)

14、據(jù)中去除斜率。 它也能夠縮放及給所采集的數(shù)據(jù)添加偏移量。附加功能/將數(shù)據(jù)文件轉(zhuǎn)換為電子表格一個 DOS 實(shí)用程序，可將數(shù)據(jù)文件從 Renishaw 文件格式轉(zhuǎn)換為 Lotus 123 電子表格。 該格式也能用 Microsoft Excel 讀取。附加功能/環(huán)境監(jiān)控軟件一個 DOS 實(shí)用程序，可顯示材料溫度、氣溫、氣壓和濕度并以電子數(shù)據(jù)表格式記錄。組件/將數(shù)據(jù)采集到 Lotus 123 電子數(shù)據(jù)表文件選中時(shí)，會加載一個軟件組件，可用于將激光讀數(shù)、誤差、環(huán)境數(shù)據(jù)等數(shù)據(jù)以電子數(shù)據(jù)表文件格式保存。 每一次數(shù)據(jù)采集軟件內(nèi)采集到一個數(shù)據(jù)點(diǎn)時(shí)，便會記錄該數(shù)據(jù)。通信/設(shè)置 RS232會顯示 Renishaw

15、 通信對話框，您便能夠按機(jī)床所配備的控制器類型設(shè)置通信參數(shù)。通信/終端會顯示 Renishaw 通信終端窗口，您便能夠測試及監(jiān)控通過 RS232 接口的文件傳送。打印 舊機(jī)床參數(shù)新機(jī)床參數(shù)坐標(biāo)軸文件零件程序這些選項(xiàng)容許您選擇及打印 OMP、NMP、TBL 和 RPP 文件。 精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)零件程序生產(chǎn)傳送查看編輯復(fù)制到軟盤接收這些選項(xiàng)顯示生成、查看及編輯，并在計(jì)算機(jī)和控制器間傳送 RPP 文件所需的對話。配置配置選項(xiàng)選項(xiàng)/ /次選項(xiàng)次選項(xiàng)功能功能數(shù)據(jù)文件目錄容許您定義保存 Renishaw 數(shù)據(jù)文件的默認(rèn)目錄。環(huán)境設(shè)置會顯示環(huán)境設(shè)置對話框，容許您定義默認(rèn)的值以及用來

16、顯示環(huán)境參數(shù)的單位。測量單位會顯示單位設(shè)置對話框，容許您定義單位類型（英制或公制），以及用來顯示激光測量值及誤差值讀數(shù)的分辨率。角度因子僅適用于角度測量模式。會顯示角度因子對話框，容許您在其中輸入有關(guān)所用角度鏡組的詳細(xì)信息。工具欄會顯示一個對話框，容許您在其中更改工具欄的外觀。 您可以添加或刪除按鈕并更改它們的顯示順序。設(shè)備選擇Renishaw PC10 或 PCM10 配 ML10 接口通過串口的 Bobe 盒Federal Gauge/RS232容許您選擇計(jì)算機(jī)上所連接或安裝的接口類型。接口地址會顯示端口地址選擇對話框，容許您給計(jì)算機(jī)上所配備精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)的接口

17、卡設(shè)定端口地址。加載配置文件當(dāng)開始一個采集會話時(shí)，軟件會從默認(rèn)文件 CURRENT.RCF 內(nèi)讀取配置。 該選項(xiàng)會顯示打開對話框，容許您在其中從自己先前創(chuàng)建的文件中選擇一個配置。保存配置文件該選項(xiàng)會顯示另存為對話框，容許您在其中將一個自定義配置保存到與 CURRENT.RCF 文件相同的目錄。語言選擇該選項(xiàng)容許您用不同的語言，如德語、英語、法語、意大利語、或西班牙語，來顯示菜單、對話框、及狀態(tài)指示燈中的文字。窗口窗口選項(xiàng)選項(xiàng)/ /次選項(xiàng)次選項(xiàng)功能功能標(biāo)題層疊排列圖標(biāo)古典這些選項(xiàng)用于控制子窗口的排列方式。 您可以將它們并排“平鋪”或者是彼此“層疊”。 默認(rèn)的選項(xiàng)是“古典”，可能要算普通情況下最好

18、的用法。環(huán)境設(shè)置信息屬性復(fù)選這些選項(xiàng)其中之一，會在中顯示環(huán)境參數(shù)、可選的光學(xué)設(shè)置圖表、或機(jī)床標(biāo)題信息。1 狀態(tài)2 讀數(shù)3 信號4 環(huán)境倘若子窗口被平鋪或?qū)盈B，復(fù)選這些選項(xiàng)其中之一會使該窗口成為活動窗口，而且在層疊模式中將選中的窗口帶到最前面。幫助幫助選項(xiàng)選項(xiàng)/ /次選項(xiàng)次選項(xiàng)功能功能關(guān)于 PC10 設(shè)備關(guān)于自動采集關(guān)于采集會顯示一個小窗口，提供關(guān)于接口設(shè)備、自動采集或采集軟件的簡短說明。 顯示的信息包括軟件版本號以及至 Renishaw 網(wǎng)站的鏈接。幫助會單獨(dú)顯示一個幫助窗口，其中包含本 Renishaw Laser10 校準(zhǔn)系統(tǒng)用戶手冊的信息庫。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)以下

19、為工具欄功能：自動設(shè)置，逐步指導(dǎo)您完成自動目標(biāo)設(shè)置、采集初始化以及自動數(shù)據(jù)采集設(shè)置對話框并自動開始數(shù)據(jù)采集程序。 會顯示對話框，容許您在其中為先前的數(shù)據(jù)采集會話加載參數(shù)。 會顯示另存為對話框，容許您保存采集的數(shù)據(jù)。 定標(biāo)激光器。 將一個預(yù)置值應(yīng)用至激光讀數(shù)。 在所顯示的激光讀數(shù)方向之間切換。 在毫米及英寸間來回切換顯示單位。 在角度測量模式中，單位將會在度數(shù)、毫弧度及弧秒間來回切換。 在毫米及英寸間切換誤差單位。 在角度測量模式中，單位將會在弧秒及毫弧度間來回切換。 會顯示分辨率對話框，容許您在其中設(shè)置顯示在小數(shù)點(diǎn)后的數(shù)字位數(shù)。 切換平均開啟/關(guān)閉功能。 選擇長期平均。 選擇短期平均。 精選優(yōu)

20、質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè) 啟動 Renishaw Laser10 分析軟件。 會顯示一個幫助窗口，其中包含本 Renishaw Laser10 校準(zhǔn)系統(tǒng)用戶手冊的信息庫。 結(jié)束數(shù)據(jù)采集軟件。以下為軟件本體上的一些功能：圖 1圖 1 顯示當(dāng)前檢測到的實(shí)際位置，其中有紅色背景和灰色背景的區(qū)分，紅色代表當(dāng)前檢測過程中激光的返回光點(diǎn)偏移或光源受阻擋，灰色表正常。圖 2 主要是顯示當(dāng)前 ML10 與 EC10 的工作狀態(tài)，并且顯示了當(dāng)前使用的單位標(biāo)準(zhǔn)、測量方式、數(shù)據(jù)采集的方式。 圖 2精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)圖 3 主要記錄檢測到的實(shí)際數(shù)據(jù)并且以圖形的形式顯示出來。圖 3

21、圖 4 顯示為當(dāng)前激光返回信號的強(qiáng)度，其實(shí)我們也可以使用此信號的顯示情況判斷當(dāng)前光線是否準(zhǔn)直，即鏡子的安裝是否正確。 圖 4第四章、使用激光干涉儀器前應(yīng)該注意什么問題？1.搞清楚為什么要對光點(diǎn)，最終是為了什么？2.如何知道現(xiàn)在儀器檢測到的信號強(qiáng)弱如何？3.對光的時(shí)候應(yīng)該注意什么？是否有訣竅？4.搞清楚如何安裝儀器即儀器之間的信號線和電源線之間的關(guān)系是怎么樣的，繪圖說明。5.搞清楚三腳架的使用方法，四個主要的旋鈕的名稱是什么？各自的作用是什么？6.搞清楚什么是增量誤差和什么是絕對誤差，應(yīng)該怎么輸入到系統(tǒng)中。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)7.在檢測之前應(yīng)該生成一個檢測程序給數(shù)控系統(tǒng)，這

22、個程序應(yīng)該怎么生成？8.對光的時(shí)候發(fā)現(xiàn)兩平行線之間的光點(diǎn)不重合并且不能試用微調(diào)適合的軸向時(shí)應(yīng)該怎么辦？（提示：調(diào)鏡子的方向）第五章、安裝激光干涉儀5.1 連接硬件部分5.1.1 連接硬件時(shí)必備知識？ 安裝 ML10：一、激光安全一、激光安全 - - 切勿凝視光束切勿凝視光束根據(jù) EN60825-1 以及美國標(biāo)準(zhǔn) ANSI 2136，RENISHAW ML10 激光器屬 II 級激光，因而不需要佩戴護(hù)目鏡（正常條件下人會自然地眨動眼睛并轉(zhuǎn)移目光以避免傷害）。 切勿直接凝視光束或照射他人的眼睛。 注視漫射光束不會造成傷害。二、警告警告1.主電源導(dǎo)線是一根三股的電纜線。 地線（接地）的電源部分需有效

23、接地。2.零線沒有熔接保險(xiǎn)絲。 將裝置接上電源時(shí)，務(wù)必留心將正確的電線連接火線三、接口介紹接口介紹ML10 的后面板包括一個激光器狀態(tài)燈、ON/OFF 電源開關(guān)、電源連接、數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)插座、以及。注：請返回 3.1.2 觀看 ML10 后面面板（圖）激光器狀態(tài)燈可表示激光器是否已達(dá)到穩(wěn)定的狀態(tài)。ON/OFF 開關(guān)控制 ML10 激光器的電源輸入。 電源插座就在此開關(guān)旁邊，可插入提供的電源導(dǎo)線上壓模的標(biāo)準(zhǔn) IEC 接頭。安裝 EC10一、重要注意事項(xiàng)一、重要注意事項(xiàng) 應(yīng)先連接 EC10 的氣溫及材料溫度傳感器電源，再開啟 EC10 電源。 一旦 EC10 檢測到其精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注

24、-專業(yè)中一個傳感器通道尚未接通，將不會再度探測該通道。 當(dāng)使用少于三個材料溫度傳感器時(shí)，需按照從右到左的順序使用插座。注：請返回 3.1.2 第一大點(diǎn)的第三小點(diǎn)中的圖三 即 EC10 后視圖二、二、EC10EC10 數(shù)據(jù)鏈接數(shù)據(jù)鏈接EC10 機(jī)架后部有電源插座、電源開關(guān) (on/off)、一個狀態(tài)燈、以及數(shù)據(jù)鏈接電纜插座，可將 EC10 裝置連接 PC10 或 PCM20 接口卡。三、警告警告EC10 的原廠設(shè)置應(yīng)已符合您所在國家的電壓及頻率規(guī)格。 不過，在您使用 EC10 前，特別是在國外使用 EC10 或在非標(biāo)準(zhǔn)電源的場所使用時(shí)，請先確定將電源設(shè)定在適當(dāng)?shù)碾妷骸?請檢查裝置下部的開關(guān)設(shè)置，

25、如下圖 5 所示：電壓選擇開關(guān)應(yīng)設(shè)置為：100 伏、120 伏則 EC10 設(shè)定為：120 伏 ；220 伏、240 伏則 EC10 設(shè)定為：240 伏 如下改變電壓設(shè)定：如下改變電壓設(shè)定：1. 確定先將電源開關(guān)關(guān)閉。 1. 用一枚硬幣或一把大型的平頭螺絲起子或類似 工具將開關(guān)轉(zhuǎn)到正確的設(shè)定。 1. 打開開關(guān)。 現(xiàn)在即可安全使用裝置。EC10 機(jī)架后部的電源插座旁邊的收放式托盤中，有一根 T 級保險(xiǎn)絲管防護(hù)火線（通電）輸入。 該托盤也有備用保險(xiǎn)絲的放置槽。 工作的保險(xiǎn)絲放在內(nèi)側(cè)。三、安裝三腳架三、安裝三腳架安裝三腳架的時(shí)候要注意水平的問題，水平的調(diào)節(jié)在三只腳的調(diào)試上。每次挪動三腳架后都必須看三

26、腳架上的水平指示器，判斷時(shí)候水平。四、計(jì)算機(jī)接口四、計(jì)算機(jī)接口DX10DX10 接口組件接口組件 (USB)(USB) DX10 已取代 PCM20 (PCMCIA) 卡，成為 ML10 和 EC10 與筆記本電腦通信的標(biāo)準(zhǔn)接口。 它精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)同樣也適用于臺式機(jī)，取代了 PC10 接口卡（現(xiàn)已停產(chǎn)）。 DX10 是可靠的高速通信設(shè)備，可以 5 kHz 的速度將數(shù)據(jù)直接傳輸?shù)?Laser10。 DX10 與 Windows XP、SP1 和 SP2 兼容，但與老版本的 Windows 操作系統(tǒng)不兼容。 對于雙軸數(shù)據(jù)采集，只需使用兩個 DX10 接口，分別插入兩個

27、USB 端口或一個單獨(dú)的集線器上即可。DX10 接口組件 (USB) 包括： DX10 接口 (USB) 3 米 USB 電纜 DX10 驅(qū)動程序安裝光盤 5.1.2 連接簡略圖5.2 啟用軟件5.2.1 如何安裝和配置軟件？一、安裝軟件1.開啟計(jì)算機(jī)，等候它在 Windows 中啟動，然后插入 CD-ROM 光盤至 光盤驅(qū)動器。 安裝程序現(xiàn)在應(yīng)會自動運(yùn)行。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)若安裝程序沒有自動運(yùn)行，請從計(jì)算機(jī)的任務(wù)欄中選擇開始/運(yùn)行，進(jìn)入運(yùn)行對話框。 單擊瀏覽按鈕，并由瀏覽對話框來使用安裝 CD-ROM 光盤上的 Setup.exe 文件。 選擇 Setup.exe，然

28、后單擊打開按鈕。 現(xiàn)在，從運(yùn)行對話框中選擇“確定”以開始軟件安裝程序。2.您現(xiàn)在會看到安裝向?qū)У臍g迎屏幕。 該向?qū)且唤M屏幕，可自動指導(dǎo)您逐步完成安裝程序。 單擊下一步，進(jìn)入下一步（會出現(xiàn)選擇目標(biāo)位置屏幕），或取消退出安裝程序。3.選擇目標(biāo)位置屏幕容許您定義將在其中加載軟件的目錄。 建議您接受 C:Program FilesRenishaw Laser10 的默認(rèn)值，但也可單擊瀏覽按鈕選擇另一個目錄。單擊下一步以進(jìn)入下一步，會出現(xiàn)選擇程序文件夾屏幕。4.選擇程序文件夾屏幕容許您在程序啟動菜單中選擇用來儲存程序啟動圖標(biāo)的文件夾。 安裝程序會自動提供默認(rèn)的文件夾 Renishaw Laser10，

29、但您也可從列表中選擇另一個文件夾或輸入一個新的文件夾名稱。單擊下一步開始安裝。5.在安裝過程中，您會看到一系列的進(jìn)度表、消息及指示說明。6.安裝結(jié)束時(shí)，會詢問您是否要更新 HTML 幫助。 若選擇是，Internet Explorer 瀏覽器提供的 HTML 幫助程序會更新為使用該幫助所需的標(biāo)準(zhǔn)。 因此建議您選擇是。7.最后，設(shè)置完成屏幕會出現(xiàn)，詢問您是否要現(xiàn)在重新啟動計(jì)算機(jī)或稍后再啟動。 選擇適當(dāng)?shù)倪x項(xiàng)，單擊完成退出安裝程序。二、配置軟件什么是配置？什么是配置？配置就是一種功能，允許您輸入有關(guān)系統(tǒng)中硬件類型以及您希望如何使用軟件的信息。 一旦輸入有關(guān)信息后，軟件就會將它儲存在一個文件中，在每

30、一次啟動軟件時(shí)使用。某部分?jǐn)?shù)據(jù)采集及分析程序的操作是由軟件設(shè)定控制的。 您可以根據(jù)需求來配置這些設(shè)定，如有某一設(shè)定，允許您指定程序一般用來儲存采集的數(shù)據(jù)的默認(rèn)目錄。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)要配置軟件要配置軟件1.使用數(shù)據(jù)采集軟件。2.從菜單欄上，選擇配置。 會出現(xiàn)配置菜單。 注：注： 選項(xiàng)可用與否，取決于選中的數(shù)據(jù)采集類型（如角度、線性或直線度）。 不可用的選項(xiàng)呈暗淡顯示。 可用的選項(xiàng)有： 數(shù)據(jù)文件目錄 環(huán)境設(shè)置 測量單位 工具欄 選擇設(shè)備（選擇 PC10 以及 PCM20 設(shè)備驅(qū)動器） 選擇接口（設(shè)定 PC10 以及 PCM20 卡配置） 配置文件 語言選擇 精選優(yōu)質(zhì)文檔-

31、傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)我們一般在默認(rèn)安裝的情況下，要將選擇設(shè)備里的選項(xiàng)設(shè)置為當(dāng)前使用設(shè)備的型號，因?yàn)槲覀兪褂玫氖?DX10 代替 PC10 以及 PCM10 所以此選項(xiàng)選擇為：DX10默認(rèn)的環(huán)境參數(shù)單位默認(rèn)的環(huán)境參數(shù)單位當(dāng)執(zhí)行了環(huán)境補(bǔ)償時(shí)，您將會在一個窗口查看環(huán)境參數(shù)，或在一個對話框內(nèi)將它們輸入。 這些參數(shù)所用的單位取決于為軟件配置的單位。 要更改默認(rèn)值，按照下列步驟進(jìn)行：1.從配置菜單中，選擇環(huán)境設(shè)置選項(xiàng)。 會出現(xiàn)環(huán)境設(shè)置對話框。 2.第一個參數(shù)，膨脹系數(shù)，可用來輸入被校準(zhǔn)的機(jī)床或?qū)ο蟮臒崤蛎浵禂?shù)。通常都會輸入機(jī)床反饋系統(tǒng)的膨脹系數(shù)。例如，11.7ppm/C (6.50ppm/F) 是

32、使用鋼制滾珠絲杠及園編碼器反饋系統(tǒng)的一個典型數(shù)值。 精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)有關(guān)選擇材料熱膨脹系數(shù)的信息，請參閱材料熱膨脹補(bǔ)償一節(jié)。 3.其它每一參數(shù)決定環(huán)境數(shù)值在環(huán)境設(shè)置窗口中以哪一種單位顯示。 要更改單位，從下拉列表中選擇所需的單位。 會出現(xiàn)一個單位列表，可從列表中選擇必要的選項(xiàng)。 可用單位有： 環(huán)境參數(shù)環(huán)境參數(shù) 可用單位可用單位膨脹系數(shù)膨脹系數(shù)每攝氏度 ppm每華氏度 ppm氣壓氣壓千帕 (kPa)毫巴 (mbar)毫米汞柱 (mmHg)英寸汞柱 (inHg)英寸水柱 (inH2O)每平方英寸磅 (psi)厘米水柱 (cmH2O)精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專

33、業(yè)氣溫及材質(zhì)溫度氣溫及材質(zhì)溫度攝氏度華氏度默認(rèn)的測量單位默認(rèn)的測量單位1.從配置菜單中，選擇測量單位選項(xiàng)。 會出現(xiàn)單位設(shè)置對話框。 、2.顯示單位字段會設(shè)置大型數(shù)字讀數(shù)窗口的單位。 它允許您設(shè)定一般在使用軟件時(shí)喜歡使用的單位。 它可以設(shè)置為公制 (mm) 或英制 (in)，或是角度測量時(shí)所用的弧秒、度數(shù)或 m/mm。誤差單位字段允許您設(shè)置用來顯示誤差值的單位。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)注：注：當(dāng)使用數(shù)據(jù)采集軟件時(shí)，您可以隨時(shí)來回切換顯示單位，方法是單擊工具欄上的 按鈕或按 Ctrl+U 鍵。 會有一個狀態(tài)燈顯示當(dāng)前設(shè)置的單位。 同樣地，您可以隨時(shí)來回切換誤差單位，方法是單擊工具

34、欄上的 按鈕或按 Ctrl+E 鍵。 分析數(shù)據(jù)時(shí)，您可以覆蓋這些首選的單位，方法是從數(shù)據(jù)分析主窗口菜單欄選擇繪制圖/單位選項(xiàng)。3.標(biāo)準(zhǔn)小數(shù)位數(shù)選項(xiàng)會決定數(shù)字讀數(shù)以及誤差值讀數(shù)的分辨率。 要更改數(shù)字位數(shù)，只需從適當(dāng)?shù)墓苹蛴⒅七x項(xiàng)的下拉列表中選擇所需的數(shù)字即可。每一種測量模式可用的選項(xiàng)如下：線性測量毫米英寸多配置文件多配置文件您可能需要超過一個配置文件，才能滿足車間內(nèi)各種機(jī)床或操作員首選項(xiàng)的特殊設(shè)置。.RCF 文件中的配置信息是以 ASCII 文本格式保存，因此可用如記事本（Windows 95 或 NT 附帶的程序）等文字編輯器來查看及打印。若您想使用您自己先前創(chuàng)建的文件中的一個配置，請從菜單

35、欄中選擇配置/加載配置文件。 會出現(xiàn)打開對話框，允許您從列表中選擇一個文件。語言選擇語言選擇精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)要更改軟件所顯示及繪制的文本語言，從菜單欄中選擇配置/語言。 會出現(xiàn)一個子菜單，包含軟件當(dāng)前所支持的所有語言選項(xiàng)。單擊所需的語言選項(xiàng)。 會出現(xiàn)一個對話框，要求您確認(rèn)所做的選擇。 單擊是確認(rèn)。 軟件會重新自行配置，并在下一次運(yùn)行軟件時(shí)使用該種語言。 5.2.2 如何識別軟件指示燈含義？數(shù)據(jù)采集主窗口的狀態(tài)燈窗口包含各個指示燈，能夠提供有關(guān) ML10 激光器及 EC10 的狀態(tài)信息。 狀態(tài)燈在屏幕上按下面的順序排列：測量模式測量模式測量單位測量單位平均模式平均模式

36、ML10ML10 沒有回應(yīng)沒有回應(yīng)/ /無接口卡無接口卡信號強(qiáng)度過低信號強(qiáng)度過低EC10EC10 手動手動/ /自動自動 EC10EC10 錯誤錯誤 加熱器開加熱器開/ /關(guān)關(guān)高速誤差高速誤差光束被遮斷光束被遮斷預(yù)熱預(yù)熱 脈沖觸發(fā)脈沖觸發(fā)ML10ML10 ON/ML10ON/ML10 故障故障/ /ML10ML10 穩(wěn)定穩(wěn)定/ /精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)HTHT FAILFAILML10ML10 不穩(wěn)定不穩(wěn)定測量模式測量模式此狀態(tài)燈指出當(dāng)前進(jìn)行的測量模式（如線性、角度、直線度等）。測量單位測量單位此狀態(tài)燈指出測量顯示屏上的讀數(shù)單位。 單位可從菜單欄選擇配置/測量單位改變，或使

37、用工具欄上的 按鈕在公制和英制單位間來回切換。平均模式平均模式當(dāng)顯示的測量讀數(shù)是一個平均值時(shí)，此狀態(tài)燈會亮，指出使用的是短期或長期平均模式。ML10ML10 沒有回應(yīng)沒有回應(yīng)/ /無接口卡無接口卡顯示平均模式的狀態(tài)燈也會顯示 ML10 沒有回應(yīng)的消息。 這時(shí)： 1.確定 ML10 激光器及 PC10 或 PCM20 接口卡間的數(shù)據(jù)鏈接已正確連接。 2.確定已打開 ML10 激光器的開關(guān)。 3.當(dāng) EC10 環(huán)境補(bǔ)償裝置與 PC10 接口卡已連接時(shí)，確定已打開其開關(guān)（或是斷開連接）。 該狀態(tài)燈也會顯示無接口卡的消息。 此消息表示 Renishaw 接口沒有正確安裝或配置。要安裝及配置一個臺式計(jì)算

38、機(jī)的 PC10 接口卡要安裝及配置一個筆記型計(jì)算機(jī)的 PCM20 接口卡使用 DX10 的要配置 DX10精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)信號強(qiáng)度過低信號強(qiáng)度過低SIGNAL LOW 狀態(tài)燈會發(fā)出警告表示信號強(qiáng)度已降至不到其最大值的 25%。 這可能是由于激光器和測量鏡組間沒有準(zhǔn)直并可能導(dǎo)致完全喪失信號，或可能是由于余弦誤差所造成的。 信號強(qiáng)度過低也可能是由于測量鏡組不干凈所造成的。EC10EC10 手動手動/ /自動自動當(dāng)一個 EC10 環(huán)境補(bǔ)償裝置連接到 PC10 接口卡并打開時(shí)，此狀態(tài)燈會亮。 它會分辨 EC10 裝置是在自動或手動模式中運(yùn)行。EC10EC10 錯誤錯誤此狀態(tài)燈

39、也會顯示 EC10 FAULT 消息，表示 EC10 以及 PC10 接口卡間已建立的數(shù)據(jù)鏈接已停止運(yùn)行。 若發(fā)生此種狀況，請確定 EC10 裝置及 PC10 接口卡間的數(shù)據(jù)鏈接電纜沒有斷開。加熱器開加熱器開/ /關(guān)關(guān)ML10 激光器由一個內(nèi)置的加熱器來維持溫度，從而將激光管的長度保持在一定的容差，以維持其穩(wěn)定性。 不過，這種保持穩(wěn)定的形式可能會受到操作期間室溫顯著改變的影響，致使 加熱器完全開啟 或 加熱器完全關(guān)閉 狀態(tài)燈亮起。高速誤差高速誤差ML10 激光器內(nèi)的探測電路是利用柵格計(jì)數(shù)技術(shù)來確定測量數(shù)值。 探測器電路內(nèi)的邏輯元件運(yùn)行速度支配了線性鏡組可被分離的最快速度。請參閱線性測量規(guī)范，了

40、解 ML10 的最快測量速度。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)若超出該速度限制，測量讀數(shù)很可能出錯，因?yàn)樘綔y器電路會“遺漏”柵格。 不過，自檢過程會斷定是否發(fā)生這種狀況，因而亮起 HIGH SPEED ERROR 狀態(tài)燈并凍結(jié)測量讀數(shù)。 這些情況要在系統(tǒng)重新定標(biāo)后才能消除。注：注：沒有信號時(shí)可能會觸發(fā) HIGH SPEED ERROR 標(biāo)志，因此即使鏡組一直保持靜止的狀態(tài)，也可能會顯示 BEAM OBSTRUCTED 標(biāo)志。光束被遮斷光束被遮斷BEAM OBSTRUCTED 狀態(tài)燈會發(fā)出警告表示信號強(qiáng)度已降至不到其最大值的 12.5%。 這可能是由于光束沒有準(zhǔn)直，或是光束受到物理干擾

41、所致。當(dāng) BEAM OBSTRUCTED 狀態(tài)燈亮?xí)r，測量顯示屏?xí)鼋Y(jié)并亮紅燈。 這些情況要等到恢復(fù)足夠的信號強(qiáng)度而且系統(tǒng)重新定標(biāo)后才會結(jié)束。若 BEAM OBSTRUCTED 狀態(tài)燈意外亮起，可能是因?yàn)榧す馄鞑环€(wěn)定所致。預(yù)熱預(yù)熱打開 ML10 后， PREHEAT 狀態(tài)燈會亮大約 10 到 15 分鐘。 它表示 ML10 正在經(jīng)歷初始的穩(wěn)定階段。 這時(shí)， ML10 UNSTABLE 狀態(tài)燈也會亮。脈沖入脈沖入/ /脈沖出脈沖出此狀態(tài)燈也可用來在啟動 脈沖入 及 脈沖出 裝置時(shí)顯示。ML10ML10 ON/ML10ON/ML10 故障故障/HT/HT FAILFAIL這些都是可能會出現(xiàn)在屏幕上

42、相同位置的消息。ML10 ON 應(yīng)在任何時(shí)候，一連接上 ML10 激光器并開啟時(shí)顯示。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)ML10 FAULT 消息會發(fā)出警告表示激光器的輸出功率已降至預(yù)置的閾值以下。 只要保持足夠的信號強(qiáng)度，即使出現(xiàn)此消息，仍能獲得令人滿意的測量結(jié)果。 不過，若它一直亮下去，請盡快與 Renishaw 或您當(dāng)?shù)胤咒N商洽商。HT FAIL 消息表示 ML10 激光器電源發(fā)生故障。 若發(fā)生這種情況，請先檢查激光器的操作電壓是否正確。 如該標(biāo)志繼續(xù)出現(xiàn)，請與 Renishaw 或您當(dāng)?shù)胤咒N商洽商。ML10ML10 穩(wěn)定穩(wěn)定/ML10/ML10 不穩(wěn)定不穩(wěn)定這兩條是可能會出現(xiàn)在

43、屏幕上相同位置的消息。ML10 穩(wěn)定 表示 ML10 已達(dá)到穩(wěn)定的狀態(tài)。ML10 不穩(wěn)定 則表示激光器的光輸出波長沒有保持在所需的容差范圍內(nèi)。 在 ML10 激光器剛開啟時(shí)會出現(xiàn)這種情況，但若后來 ML10 變得不穩(wěn)定， ML10 UNSTABLE 狀態(tài)燈還是會亮。 5.3 鏡組的使用 5.3.1 檢測螺距誤差應(yīng)該選用什么境？ 該方法選用的鏡組請參看 3.1.2 第四小點(diǎn)的圖 1，在機(jī)床上的安裝如下圖：精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)5.3.2 檢測時(shí)鏡組的光學(xué)設(shè)置和測量原理是什么？圖圖 1 1 - 線性測量的光學(xué)設(shè)置要設(shè)置線性測量，將一個線性反射鏡連接到具有兩個緊螺紋的分光鏡上。

44、這個組合要件被稱為“線性干涉鏡”，可以作為激光束的參考路徑。 線性干涉鏡位于 ML10 激光器和線性反射鏡之間的光束路徑，如圖 1 所示。分光鏡管上標(biāo)有兩個箭頭以顯示其方位。 箭頭應(yīng)指向兩個反射鏡，如上圖所示。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)圖圖 2 2 測量原理ML10 激光器的光束會射入線性干涉鏡，再分為兩道光束。 一道光束（稱為參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡。 這兩道光束回再反射回分光鏡，重新匯聚之后返回激光頭，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束間的干涉。在線性測量時(shí)，其中一個光學(xué)元件保持不變，而另一個則沿著線性軸移動。 定位

45、測量是通過監(jiān)控測量及參考光束間光路差異的變化來執(zhí)行的（請注意，兩個光學(xué)元件間的差分測量與 ML10 激光器的位置無關(guān)）。 此種測量可與待測機(jī)床的標(biāo)尺讀數(shù)比較，獲得機(jī)床精度的任何誤差。通常，反射鏡設(shè)置為移動的光學(xué)元件，而干涉鏡則作為固定的元件，如圖 2 所示。這些角色可以調(diào)換，但會縮小測量的最大量程，從 40 (133 ) 縮小為 15 m (49 ft)。 因此在長軸上，線性干涉鏡通常保持固定，而移動其它反射鏡以執(zhí)行測量。 在較短的軸上，如果方便，這些角色可以互相交換。第六章、使用激光干涉儀6.1 使用前的工作6.1.1 為什么要對光？對光的目的是為了讓檢測的光線能準(zhǔn)確返回激光干涉儀上，讓激光

46、干涉儀得到最強(qiáng)的反饋信息，以便計(jì)算實(shí)際的行程數(shù)值。6.1.2 影像線性測量精度的因素包括哪些？精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)、死程誤差死程誤差是在線性測量過程中與環(huán)境因素改變有關(guān)的誤差，這時(shí)已采用 EC10 自動補(bǔ)償功能。 在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會發(fā)生在定標(biāo)后以及測量過程中的環(huán)境改變。路徑 L2 的激光測量死程誤差與兩個光學(xué)元件間的距離有關(guān)，此時(shí)系統(tǒng)定標(biāo)為 L1，請參閱圖 1。若干涉鏡及反射鏡之間沒有動作，且激光束四周的環(huán)境狀況有所改變，整個路徑(LI + L2)的波長（空氣中）都會改變，但激光測量系統(tǒng)只會對 L2 距離進(jìn)行補(bǔ)償。 因此，死程測量誤差會由于光束路徑 L

47、1 沒有獲得補(bǔ)償而產(chǎn)生。圖圖 1 1 - 死程誤差不過，若當(dāng)設(shè)定定標(biāo)時(shí)固定和移動鏡組彼此鄰接，死程誤差就可忽略不計(jì)。如下圖 2 所示。圖圖 2 2 - 死程誤差可不計(jì)時(shí)的正確設(shè)置精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)如果可能，定標(biāo)激光器時(shí)使鏡組互相靠近。 若定標(biāo)激光器時(shí)鏡組彼此相隔不到 10 mm，則正常狀況下的死程誤差就可忽略。 機(jī)床幾何顯示當(dāng)移動鏡組位于軸的零點(diǎn)位置，這兩個鏡組彼此分得最開，此時(shí)可用預(yù)置功能來避免與定標(biāo)激光干涉鏡系統(tǒng)有關(guān)的潛在死程誤差。、余弦誤差 激光束路徑與運(yùn)動軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會造成測得的距離和實(shí)際的運(yùn)動距離之間有差異，如圖 1 所示。圖圖 1 1 - 余弦誤

48、差.此未準(zhǔn)直誤差通常被稱為余弦誤差。 此誤差的大小與激光束和運(yùn)動軸間的未準(zhǔn)直角度有關(guān)，如圖 1 中的 。當(dāng)激光測量系統(tǒng)與運(yùn)動軸未準(zhǔn)直時(shí)，余弦誤差會使得測量的距離比實(shí)際距離要短。 隨著角度未準(zhǔn)直的增加，誤差也跟著顯著增加，如下表所示：角度角度 ( ( ) ) 角度角度 （弧分）（弧分）誤差誤差 ( ( ) ) 0.451.001.403.201.533.434.8710.870.10.51.05.0精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)4.5010.0015.3935.3910.050.0要使余弦誤差達(dá)到最小，測量激光束必須準(zhǔn)直，并與運(yùn)動軸平行。 在長于一米的軸上，使用提供的準(zhǔn)直步驟很容易達(dá)

49、到這個目的。 但在較短的軸上就變得相當(dāng)困難，需用下面方法來最優(yōu)化準(zhǔn)直并使余弦誤差最?。鹤畲蠡す庾x數(shù) 自動反射方式 設(shè)置直線度測量過程中的斜率消除 注：注： 不要假設(shè)由于信號強(qiáng)度在整個運(yùn)動軸上都保持不變，準(zhǔn)直就會完美無誤。 校準(zhǔn)軟件中的信號強(qiáng)度表的靈敏度和分辨率不足以確保短軸上的精確準(zhǔn)直。最大化激光測量讀數(shù)最大化激光測量讀數(shù)若激光測量出現(xiàn)余弦誤差，則激光讀數(shù)將會小于原本應(yīng)有的數(shù)值。 因此，通過仔細(xì)調(diào)整激光頭的俯仰及偏轉(zhuǎn)，直到取得最大的激光讀數(shù)，就能消除短軸上的余弦誤差。 操作步驟如下：1.沿著運(yùn)動軸準(zhǔn)直光束。2.移動軸以使鏡組靠近并定標(biāo)激光讀數(shù)。3.移動軸，使鏡組彼此離的越遠(yuǎn)越好。4.仔細(xì)調(diào)整

50、激光頭的俯仰和偏轉(zhuǎn)控制，取得最大的激光測量讀數(shù)。 注注： 使用這個方法時(shí)需要特別小心，但卻非常有效。 可能有必要先做一連串的細(xì)微調(diào)整并在每一次調(diào)整后放松控制，才能看出對激光讀數(shù)的作用。 也可能需要平移激光頭來保持準(zhǔn)直。 可能也有必要選擇測量顯示屏上的最大分辨率設(shè)定，并將短期平均 設(shè)定為開啟 (ON) 狀態(tài)。 完成后，最好重復(fù)上述的步驟以確認(rèn)準(zhǔn)直。自動反射方式自動反射方式若機(jī)床軸非常短，而且知道正好有平面與運(yùn)動軸垂直或平行（在 0.05），則可使用自動反射方式。 執(zhí)行的步驟如下：1.沿著運(yùn)動軸準(zhǔn)直光束。2.將一個鋼塊規(guī)放在激光束的路徑（干涉鏡后）上，面對一個或多個平面。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上

51、專心-專注-專業(yè)3.調(diào)整偏轉(zhuǎn)和俯仰控制，使從塊規(guī)表面反射的光束返回激光頭上的出射光孔。 這時(shí)，激光束就與運(yùn)動軸保持準(zhǔn)直。 此方式在激光頭離干涉鏡有一定距離時(shí)特別有效。直線度測量直線度測量 斜率消除斜率消除若您打算在一個軸上執(zhí)行線性及直線度測量，最好先執(zhí)行直線度測量，因?yàn)榭梢岳檬謩有甭氏齺碜顑?yōu)化光束準(zhǔn)直。 只要線性鏡組可以取代直線度鏡組而不會干擾安裝組合或激光器，線性測量便可立即獲得最優(yōu)化的準(zhǔn)直。、材料死程誤差線性測量時(shí)，材料膨脹補(bǔ)償通常只會應(yīng)用至等于所測激光距離的材料死程長度。 若測量回路包含其它結(jié)構(gòu)，則該“材料死程”的任何熱膨脹或收縮或是負(fù)載偏差將會導(dǎo)致測量誤差。 請將鏡組直接安裝到所需

52、的測量點(diǎn)上可使這些誤差達(dá)到最小。6.1.3 如何對光？水平光束調(diào)整水平光束調(diào)整1. 沿著運(yùn)動軸將機(jī)床推離激光頭，直到您看到光束開始移開光靶。 當(dāng)只有一半的光束仍然擊中白點(diǎn)時(shí)停止移動機(jī)床。 請注意光束現(xiàn)在偏離中心多遠(yuǎn)。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)2. 用三腳架臺左后方的小旋鈕，調(diào)整激光頭的角度偏轉(zhuǎn)，以使光束光束橫掃過白色光靶。 繼續(xù)移動光束，直到它位于相反方向離中心的距離相同，如圖 2 所示。3.現(xiàn)在，用三腳架臺左邊中間的大旋鈕，調(diào)整激光頭水平平移激光頭水平平移，使光束返回光靶的水平中心線。如圖 3 所示、垂直光束調(diào)整垂直光束調(diào)整垂直光束調(diào)整垂直光束調(diào)整4. 4. 請注意激光束在目

53、標(biāo)上的垂直位置。5. 使用激光頭后方的指形輪組來調(diào)整，使光束光束垂直掃過目標(biāo)。 調(diào)整指形輪組，直到光束位于相反方向離目標(biāo)中心的距離相同的位置，如圖 4 所示6. 現(xiàn)在，使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪來將激光頭激光頭上下移動上下移動，直到光束再一次擊中目標(biāo)中心。 注：注： 此時(shí)，可能有必要進(jìn)行另外一次較小的水平回轉(zhuǎn)調(diào)整，以使激光束返回到該目標(biāo)的中心。如圖 5 所示精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)7. 現(xiàn)在沿著運(yùn)動軸繼續(xù)推離機(jī)床。 當(dāng)您看到激光頭移開目標(biāo)時(shí)再一次停止。 重復(fù)步驟 2 到 6 的激光器準(zhǔn)直調(diào)整，直到您達(dá)到軸的末端。8. 達(dá)到軸的末端時(shí)，將機(jī)床移回激光器，來到軸的起點(diǎn)。9.

54、 若光束不再位于光靶中心，則水平平移激光器，使光束光束回到光靶的垂直中心線。10. 然后，垂直平移激光頭垂直平移激光頭，使光束回到光靶的中心。 注：注： 此時(shí)，可能有必要進(jìn)行另外一個較小的水平回轉(zhuǎn)調(diào)整，以使激光束返回到該光靶的中心。11. 重復(fù)步驟 1 到 10，直到光束在整個運(yùn)動軸范圍內(nèi)都能保持在光靶的中心。提示：若光線已經(jīng)與待校準(zhǔn)軸平行，只需將激光頭水平平移用于擊準(zhǔn)光靶的中心，那么我們可以使用手輪微調(diào)鏡子的位子來實(shí)現(xiàn)；若是垂直平移，我們可以手動調(diào)整鏡子的高度來實(shí)現(xiàn)。 （不過這個調(diào)整必須很小心，若光束回到光靶中心則馬上固定）第七章、開始檢測7.1 檢測前工作7.1.1 檢測前應(yīng)該設(shè)置什么參數(shù)

55、、檢測程序怎么生成？精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)一、目標(biāo)位置：一、目標(biāo)位置：當(dāng)選擇目標(biāo)位置以進(jìn)行機(jī)床軸的校準(zhǔn)時(shí)，目標(biāo)位置通常應(yīng)橫跨該軸的工作區(qū)域。下面我們以目標(biāo)為從 0 到 450MM，并使間隔為 30MM 為間距如圖所示：在軟件中如下設(shè)置目標(biāo)：選擇目標(biāo)點(diǎn)中的等距定義目標(biāo)，如下圖所示 圖 1 圖圖 2 2接著彈出如圖 2 的窗口接著我們在內(nèi)部設(shè)置數(shù)據(jù)如圖三所示圖 3到這里的時(shí)候我們將目標(biāo)點(diǎn)設(shè)置完畢，接下來我們要上生成。二、生成檢測程序：二、生成檢測程序：激光干涉儀在檢測的時(shí)候時(shí)按照我們在第一步設(shè)定的目標(biāo)點(diǎn)運(yùn)動的，即從 0 到 450MM 每精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專

56、業(yè)30MM 為一個點(diǎn)，因此機(jī)床在運(yùn)動的時(shí)候必須和軟件設(shè)置的一致，所以我們必須生成檢測程序。程序的生成方法圖下：選擇定義工具欄下的零件程序下的產(chǎn)生按鍵，如下圖所示：圖 1 圖 2在彈出的窗口中輸入文件名，并且選擇程的序存放路徑按保存，會彈出下圖：圖 1 圖 2在圖 1 中需要我們選擇的為：數(shù)控系統(tǒng)的型號。我們針對我們當(dāng)前檢測機(jī)床的數(shù)控系統(tǒng)型號作正確的選擇，接著彈出圖 2 的窗口，這個窗口要求我們填寫與程序相關(guān)的數(shù)據(jù)，我們?nèi)缦聢D所示填寫： 程序號：0001 軸名為：Y 運(yùn)行次數(shù)為：3精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè) 選擇方向?yàn)椋弘p向 暫停周期為：4 秒 越程為：4.0000 毫米 零件程

57、序類型：線性 進(jìn)給量：1500 ；軸方式為：普通名詞解釋：程序號：該程序的序號軸名：待校準(zhǔn)軸的名稱 這里記住是大寫運(yùn)行次數(shù)：我們希望該程序運(yùn)行多少次選擇方向：在軸上行走的方向時(shí)一來一回的間隔點(diǎn)還是只去這樣走回時(shí)不走暫停周期：等待軟件記錄數(shù)據(jù)的時(shí)間，這里要根據(jù)電腦的性能作調(diào)整越程：這里是為了消除方向間隙而設(shè)置的，一般選擇默認(rèn)，也可以自行設(shè)置零件程序類型：選擇運(yùn)行的方式，因?yàn)槲覀兪亲咧本€的所以我們選擇線性進(jìn)給量：機(jī)床運(yùn)動的速度到這里的時(shí)候我們已經(jīng)完成了程序的生成，我們使用文本格式打開文件可以看到程序如下：(PGM, NAME=0001):G71 G94(MSG, RENISHAW ERROR CO

58、MPENSATION)G90 F1500COUNT=0RUNS=3(DO)G01 Y004.000G04 F1.G01 Y000.000G04 F4.G04 F4.G01 Y-030.000G04 F4. 第一頁G04 F4.G01 Y-300.000G01 Y-060.000G04 F4.G01 Y-090.000G04 F4.G01 Y-120.000G04 F4.G01 Y-150.000G04 F4.G01 Y-180.000G04 F4.G01 Y-210.000G04 F4.G01 Y-240.000G04 F4.G01 Y-270.000 第二頁G01 Y-270.000G04

59、F4.精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)G04 F4.G01 Y-330.000G04 F4.G01 Y-360.000G04 F4.G01 Y-390.000G04 F4.G01 Y-420.000G04 F4.G01 Y-450.000G04 F4.G01 Y-454.000G04 F1.G01 Y-450.000G04 F4.G04 F4.G01 Y-420.000G04 F4.G01 Y-390.000G04 F4.G01 Y-360.000G04 F4.G01 Y-330.000G04 F4.G01 Y-300.000G04 F4. 第三頁G01 Y-240.000G04 F

60、4.G01 Y-210.000G04 F4.G01 Y-180.000G04 F4.G01 Y-150.000G04 F4.G01 Y-120.000G04 F4.G01 Y-090.000G04 F4.G01 Y-060.000G04 F4.G01 Y-030.000G04 F4.G01 Y000.000G04 F4.COUNT=(COUNT+1)(LOOP WHILE COUNT RUNS)M02 第四頁這個程序是適用于三菱系統(tǒng)的，但這樣的程序在沒有支持宏程序的系統(tǒng)中不一定能用得上，所以我們統(tǒng)一使用以下修改過的程序作為標(biāo)準(zhǔn)：G90 G54 G01 Y004.000 F1500G04 X1.