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文檔簡介
1、表表 面面 粗粗 糙糙 度度 及及 其其 檢檢 測測Kunming University of Science and Technology講授:劉洪喜講授:劉洪喜第第 五五 章章2、學(xué)習(xí)要求、學(xué)習(xí)要求 從微觀幾何誤差的角度理解粗糙度輪廓的概念,了解表面粗糙度對機(jī)械零件從微觀幾何誤差的角度理解粗糙度輪廓的概念,了解表面粗糙度對機(jī)械零件 使用性能的影響使用性能的影響 理解規(guī)定取樣長度及評定長度的目的及中線的作用,掌握粗糙度輪廓的幅度理解規(guī)定取樣長度及評定長度的目的及中線的作用,掌握粗糙度輪廓的幅度 參數(shù)及其檢測手段參數(shù)及其檢測手段 了解粗糙度輪廓的間距特性參數(shù),掌握表面粗糙度輪廓參數(shù)和參數(shù)值的選
2、用了解粗糙度輪廓的間距特性參數(shù),掌握表面粗糙度輪廓參數(shù)和參數(shù)值的選用 原則和方法原則和方法 熟練掌握表面粗糙度輪廓技術(shù)要求在零件圖上標(biāo)注的方法熟練掌握表面粗糙度輪廓技術(shù)要求在零件圖上標(biāo)注的方法學(xué)習(xí)目的及要求學(xué)習(xí)目的及要求1、學(xué)習(xí)目的、學(xué)習(xí)目的掌握粗糙度輪廓的評定參數(shù)和標(biāo)注方法,為合理選用表面粗糙度輪廓打下基礎(chǔ)掌握粗糙度輪廓的評定參數(shù)和標(biāo)注方法,為合理選用表面粗糙度輪廓打下基礎(chǔ)第一節(jié)第一節(jié) 表面粗糙度的基本概念表面粗糙度的基本概念 一、粗糙度輪廓的界定一、粗糙度輪廓的界定表面輪廓表面輪廓圖圖5-1 表面輪廓表面輪廓粗糙度輪廓粗糙度輪廓波紋度輪廓波紋度輪廓原始輪廓原始輪廓實際表面輪廓實際表面輪廓圖
3、圖5-2 零件表面幾何形狀誤差及其組成成份零件表面幾何形狀誤差及其組成成份二、表面粗糙度對零件工作性能的影響二、表面粗糙度對零件工作性能的影響耐磨性耐磨性 零件表面越粗糙,摩擦因素越大,兩個相互運動的表面零件表面越粗糙,摩擦因素越大,兩個相互運動的表面磨損加快;零件表面過于平滑,也使摩擦因素增大而加劇磨損磨損加快;零件表面過于平滑,也使摩擦因素增大而加劇磨損配合性質(zhì)穩(wěn)定性配合性質(zhì)穩(wěn)定性 對于過盈配合,粗糙度輪廓能降低連接器強(qiáng)度;對于過盈配合,粗糙度輪廓能降低連接器強(qiáng)度;對于間隙配合,在零件工作過程中孔、軸表面上的微小峰被磨對于間隙配合,在零件工作過程中孔、軸表面上的微小峰被磨去,使間隙增大,改
4、變了配合性質(zhì)去,使間隙增大,改變了配合性質(zhì)耐疲勞性耐疲勞性 零件表面越粗糙,其疲勞強(qiáng)度越低;凹谷越深,對應(yīng)零件表面越粗糙,其疲勞強(qiáng)度越低;凹谷越深,對應(yīng)力集中越敏感,特別是交變應(yīng)力作用下更易產(chǎn)生疲勞裂紋力集中越敏感,特別是交變應(yīng)力作用下更易產(chǎn)生疲勞裂紋耐腐蝕性耐腐蝕性 零件表面越粗糙,表面積越大,凹谷越深,則越容易零件表面越粗糙,表面積越大,凹谷越深,則越容易在該表面積聚腐蝕性物質(zhì),使腐蝕加劇在該表面積聚腐蝕性物質(zhì),使腐蝕加劇表面粗糙度對零件其他性能,如表面粗糙度對零件其他性能,如結(jié)合的密封性、接觸剛度、對流結(jié)合的密封性、接觸剛度、對流體流動阻力、機(jī)器及儀器的外觀質(zhì)量體流動阻力、機(jī)器及儀器的外
5、觀質(zhì)量等均有很大影響等均有很大影響測量和評定粗糙度輪廓時,應(yīng)規(guī)定測量和評定粗糙度輪廓時,應(yīng)規(guī)定取樣長度、評定長度、中線和取樣長度、評定長度、中線和評定參數(shù)評定參數(shù),測量截面方向一般垂直于表面主要加工痕跡的方向,測量截面方向一般垂直于表面主要加工痕跡的方向第二節(jié)第二節(jié) 粗糙度輪廓的評定粗糙度輪廓的評定一、取樣長度和評定長度一、取樣長度和評定長度1、取樣長度、取樣長度lr 是測量或評定表面粗糙度所規(guī)定的一段基準(zhǔn)線長是測量或評定表面粗糙度所規(guī)定的一段基準(zhǔn)線長 度,度,至少包含至少包含5個微峰和個微峰和5個微谷個微谷,如圖,如圖5-3所示所示中線中線lnlrlrlrlrlr2、評定長度、評定長度ln
6、取取標(biāo)準(zhǔn)評定長度標(biāo)準(zhǔn)評定長度ln=5lr。若被測表面比較均勻則。若被測表面比較均勻則可選可選ln5lr;若均勻性較差,可選;若均勻性較差,可選ln5lr ,如圖,如圖5-3所示。取樣所示。取樣長度和評定長度數(shù)值如表長度和評定長度數(shù)值如表5-1表面粗糙度輪廓中線是為了表面粗糙度輪廓中線是為了定量地評定表面粗糙度輪廓定量地評定表面粗糙度輪廓而確定的而確定的一條基準(zhǔn)線一條基準(zhǔn)線二、粗糙度輪廓中線二、粗糙度輪廓中線1、輪廓最小二乘中線、輪廓最小二乘中線 在一個取樣長度范圍內(nèi),輪廓最小二乘中在一個取樣長度范圍內(nèi),輪廓最小二乘中線是指具有理想直線形狀并劃分被測輪廓的基準(zhǔn)線,在取樣長度線是指具有理想直線形狀
7、并劃分被測輪廓的基準(zhǔn)線,在取樣長度內(nèi)使輪廓上各點到該基準(zhǔn)線的距離內(nèi)使輪廓上各點到該基準(zhǔn)線的距離(輪廓偏距)(輪廓偏距)的平方和為最小的平方和為最小lryi最小二乘中線最小二乘中線圖圖5-4 表面粗造度輪廓的表面粗造度輪廓的 最小二乘中線最小二乘中線2、輪廓算術(shù)平均中線、輪廓算術(shù)平均中線 是指具有理想直線形狀并在取樣長度內(nèi)與是指具有理想直線形狀并在取樣長度內(nèi)與輪廓走向一致的基準(zhǔn)線,該基準(zhǔn)線將輪廓劃分為上下兩部分,且輪廓走向一致的基準(zhǔn)線,該基準(zhǔn)線將輪廓劃分為上下兩部分,且使使上部分的面積之和等于下部分的面積之和上部分的面積之和等于下部分的面積之和,如圖,如圖5-5最小二乘中線符合最小二乘原則,理論
8、上是理想的基準(zhǔn)線,但在最小二乘中線符合最小二乘原則,理論上是理想的基準(zhǔn)線,但在輪廓圖形上確定最小二乘中線的位置較困難,且輪廓圖形上確定最小二乘中線的位置較困難,且算術(shù)平均中線與算術(shù)平均中線與最小二乘中線差別很小,故通常用算術(shù)平均中線代替最小二乘中線差別很小,故通常用算術(shù)平均中線代替算術(shù)平均中線算術(shù)平均中線 lrF1F2FiF1F2Fi圖圖5-5 表面粗造度輪的表面粗造度輪的 算術(shù)平均中線算術(shù)平均中線1=1=niniiiFFGB/T 3505-2009規(guī)定評定粗糙度輪廓的基本參數(shù)有規(guī)定評定粗糙度輪廓的基本參數(shù)有幅度參數(shù)、間幅度參數(shù)、間距參數(shù)、混合參數(shù)及曲線和相關(guān)參數(shù)距參數(shù)、混合參數(shù)及曲線和相關(guān)參
9、數(shù)?;拘g(shù)語和符號見表?;拘g(shù)語和符號見表5-2三、粗糙度輪廓的評定參數(shù)三、粗糙度輪廓的評定參數(shù)1、幅度參數(shù)、幅度參數(shù)1)輪廓的算術(shù)平均偏差)輪廓的算術(shù)平均偏差Ra 是指在取樣長度內(nèi),被評定輪廓上各是指在取樣長度內(nèi),被評定輪廓上各 點至基準(zhǔn)線的距離的絕對值的算術(shù)平均值,如圖點至基準(zhǔn)線的距離的絕對值的算術(shù)平均值,如圖5-6dxylRal01niiynRa11 近似為近似為圖圖5-6 輪廓算術(shù)平均偏差輪廓算術(shù)平均偏差Ra的確定的確定Raxynyiy1y2lr2)輪廓最大高度)輪廓最大高度 在一個取樣長度范圍內(nèi),最大輪廓峰高在一個取樣長度范圍內(nèi),最大輪廓峰高Rp與最與最大輪廓谷深大輪廓谷深Rv之和稱
10、之為輪廓最大高度,通常用符號之和稱之為輪廓最大高度,通常用符號Rz表示,即表示,即Rz = Rp+Rv,如圖如圖5-7所示所示Zp2lrZv6Zv5Zp6Zp5Zp4Zp3Zv4Zv3Zp1Rz中線中線Zv1Zv2圖圖5-7 表面粗糙度輪廓的最大高度表面粗糙度輪廓的最大高度Rz的確定的確定62RpZpRvZv2、間距特征參數(shù)、間距特征參數(shù) 一個輪廓峰與相鄰的輪廓谷的組合叫做輪廓單一個輪廓峰與相鄰的輪廓谷的組合叫做輪廓單元。元。在一個取樣長度在一個取樣長度lr范圍內(nèi),中線與各個輪廓單元相交線段的長范圍內(nèi),中線與各個輪廓單元相交線段的長度叫做輪廓單元的寬度度叫做輪廓單元的寬度,用符號,用符號Xsi
11、表示。表示。輪廓單元的平均寬度是輪廓單元的平均寬度是指在一個取樣長度指在一個取樣長度lr范圍內(nèi)所有輪廓單元的寬度范圍內(nèi)所有輪廓單元的寬度Xsi的平均值,用符的平均值,用符號號Rsm示示,即,即1=1=miiXsmRsmXs6Xs5Xs4Xs3Xs2Xs1lr中線中線圖圖5-8 輪廓單元的寬度與輪廓單元的平均寬度輪廓單元的寬度與輪廓單元的平均寬度輪廓單元寬度輪廓單元寬度第三節(jié)第三節(jié) 表面粗糙度的技術(shù)要求表面粗糙度的技術(shù)要求一、表面粗糙度技術(shù)要求的內(nèi)容一、表面粗糙度技術(shù)要求的內(nèi)容規(guī)定表面粗糙度輪廓的技術(shù)要求時,規(guī)定表面粗糙度輪廓的技術(shù)要求時,必須給出表面粗糙度輪廓幅度必須給出表面粗糙度輪廓幅度參數(shù)
12、及允許值和測量時的取樣長度值這兩項基本要求參數(shù)及允許值和測量時的取樣長度值這兩項基本要求,必要時可規(guī)必要時可規(guī)定輪廓其他的評定參數(shù)、表面加工紋理方向、加工方法或(和)加定輪廓其他的評定參數(shù)、表面加工紋理方向、加工方法或(和)加工余量等附加要求。工余量等附加要求。如果采用標(biāo)準(zhǔn)取樣長度,則在圖樣上可以省略如果采用標(biāo)準(zhǔn)取樣長度,則在圖樣上可以省略標(biāo)注取樣長度值標(biāo)注取樣長度值u表面粗糙度值越大,表面越粗糙。如,表面粗糙度值越大,表面越粗糙。如,1.6比比3.2的精度高一級的精度高一級u常用的表面粗糙度值有:常用的表面粗糙度值有:0.012、0.025 、0.05、 0.1、 0.2、 0.4、 0.8
13、、 1.6、 3.2、 6.3、 12.5、 25、 50,100,單位,單位m二、表面粗糙度評定參數(shù)的選擇二、表面粗糙度評定參數(shù)的選擇 一般情況下,可以從幅度參數(shù)一般情況下,可以從幅度參數(shù)Ra和和Rz中任選一個中任選一個 在常用值范圍內(nèi)(在常用值范圍內(nèi)(Ra為為0.0256.3m), 優(yōu)先選用優(yōu)先選用Ra 粗糙度要求特別高或者特別低(粗糙度要求特別高或者特別低(Ra 0.025m或或Ra 6.3m) 時,選用時,選用Rz Rz用于測量部位小、峰谷小或有疲勞要求的零件表面的評定用于測量部位小、峰谷小或有疲勞要求的零件表面的評定 只有當(dāng)幅度參數(shù)不能滿足表面功能要求時,才選取附加參數(shù)作只有當(dāng)幅度參
14、數(shù)不能滿足表面功能要求時,才選取附加參數(shù)作 為附加項目為附加項目 Rsm(輪廓單元的平均寬度輪廓單元的平均寬度)主要在對涂漆性能、沖壓成形時抗主要在對涂漆性能、沖壓成形時抗 裂紋、抗振、抗腐蝕、減小流體流動摩擦阻力等有要求時選用裂紋、抗振、抗腐蝕、減小流體流動摩擦阻力等有要求時選用三、表面粗糙度參數(shù)允許值的選擇三、表面粗糙度參數(shù)允許值的選擇表面粗糙度參數(shù)值的選用原則表面粗糙度參數(shù)值的選用原則:首先滿足功能要求,其次是考慮經(jīng)首先滿足功能要求,其次是考慮經(jīng)濟(jì)性及工藝性。濟(jì)性及工藝性。在滿足功能要求的前提下,參數(shù)的允許值應(yīng)盡可能在滿足功能要求的前提下,參數(shù)的允許值應(yīng)盡可能大些。一般采用經(jīng)驗統(tǒng)計資料,
15、用類比法來選用。根據(jù)類比法初步大些。一般采用經(jīng)驗統(tǒng)計資料,用類比法來選用。根據(jù)類比法初步確定后,再對比工作條件作適當(dāng)調(diào)整確定后,再對比工作條件作適當(dāng)調(diào)整一般選擇原則如下(類比法選用)一般選擇原則如下(類比法選用):在滿足表面功能要求情況下,盡可能選較大的零件表面粗糙度參在滿足表面功能要求情況下,盡可能選較大的零件表面粗糙度參數(shù)值。同一零件上,工作表面表面粗糙度參數(shù)值小于非工作表面數(shù)值。同一零件上,工作表面表面粗糙度參數(shù)值小于非工作表面摩擦表面比非摩擦表面;滾動摩擦表面比滑動摩擦表面的粗糙度摩擦表面比非摩擦表面;滾動摩擦表面比滑動摩擦表面的粗糙度參數(shù)值要小;相對運動速度高、單位面積壓力大、承受交
16、變應(yīng)力參數(shù)值要??;相對運動速度高、單位面積壓力大、承受交變應(yīng)力的表面粗糙度參數(shù)值要小的表面粗糙度參數(shù)值要小配合性質(zhì)要求高的結(jié)合面,間隙小的配合面及要求連接可靠、受配合性質(zhì)要求高的結(jié)合面,間隙小的配合面及要求連接可靠、受重載荷的過盈配合面等都應(yīng)取較小的粗糙度參數(shù)值重載荷的過盈配合面等都應(yīng)取較小的粗糙度參數(shù)值配合性質(zhì)相同,零件尺寸越小,則零件表面粗糙度值越??;同一配合性質(zhì)相同,零件尺寸越小,則零件表面粗糙度值越小;同一 精度等級,小尺寸比大尺寸,軸比孔表面粗糙度參數(shù)值小精度等級,小尺寸比大尺寸,軸比孔表面粗糙度參數(shù)值小密封性、防腐性要求高的表面或外形美觀表面粗糙度參數(shù)值要小密封性、防腐性要求高的表
17、面或外形美觀表面粗糙度參數(shù)值要小標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了表面粗糙度參數(shù)值的要按照執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了表面粗糙度參數(shù)值的要按照執(zhí)行表表5.6、5.7、5.8列出了表面粗糙度的表面特征、經(jīng)濟(jì)加工方法和列出了表面粗糙度的表面特征、經(jīng)濟(jì)加工方法和應(yīng)用舉例、軸和孔的表面粗糙度參數(shù)推薦值及各種加工方法可能應(yīng)用舉例、軸和孔的表面粗糙度參數(shù)推薦值及各種加工方法可能達(dá)到的表面粗糙度,供類比法選用參考達(dá)到的表面粗糙度,供類比法選用參考第四節(jié)第四節(jié) 表面粗糙度技術(shù)要求在零件圖上標(biāo)注表面粗糙度技術(shù)要求在零件圖上標(biāo)注一、表面粗糙度符號和代號(一、表面粗糙度符號和代號(GB/T 131-2006)1、表面粗糙度符號、表面粗糙度符號2、表面粗
18、糙度代號、表面粗糙度代號 如圖如圖5-9所示所示 位置位置a標(biāo)注表面結(jié)構(gòu)的單一要求標(biāo)注表面結(jié)構(gòu)的單一要求 a 和和b( 同時存在同時存在)時,時,a 注寫第一表面注寫第一表面結(jié)構(gòu)要求結(jié)構(gòu)要求, b 注寫第二表面結(jié)構(gòu)要求注寫第二表面結(jié)構(gòu)要求 位置位置c標(biāo)注加工方法,如車銑刨磨鍍標(biāo)注加工方法,如車銑刨磨鍍等加工方法等加工方法 位置位置d標(biāo)注表面紋理和方向,如標(biāo)注表面紋理和方向,如“=”、“X”、 “M”等等 ,見表,見表5-12 位置位置e標(biāo)注加工余量,標(biāo)注時以標(biāo)注加工余量,標(biāo)注時以mm為為單位給出數(shù)值單位給出數(shù)值ecad b圖圖5-9 表面粗糙度輪廓代號表面粗糙度輪廓代號在零件圖上,表面粗糙度代
19、號周圍一般只標(biāo)注幅度參數(shù)在零件圖上,表面粗糙度代號周圍一般只標(biāo)注幅度參數(shù)Ra或或Rz的符號和允許值(的符號和允許值( m ););當(dāng)要求在表面粗糙度參數(shù)的所有實當(dāng)要求在表面粗糙度參數(shù)的所有實測值中超過規(guī)定值的個數(shù)少于總數(shù)的測值中超過規(guī)定值的個數(shù)少于總數(shù)的16%時,應(yīng)在圖樣上標(biāo)注表時,應(yīng)在圖樣上標(biāo)注表面粗糙度上限或下限值;面粗糙度上限或下限值;當(dāng)要求在表面粗糙度的所有實測值中當(dāng)要求在表面粗糙度的所有實測值中不得超過規(guī)定值時,應(yīng)在圖樣上標(biāo)注表面粗糙度最大值或最小值不得超過規(guī)定值時,應(yīng)在圖樣上標(biāo)注表面粗糙度最大值或最小值二、表面粗糙度代號的標(biāo)注方法二、表面粗糙度代號的標(biāo)注方法1、表面結(jié)構(gòu)標(biāo)注代號及含
20、義、表面結(jié)構(gòu)標(biāo)注代號及含義 表表5-10所示,演變見表所示,演變見表5-11極限值判斷規(guī)則極限值判斷規(guī)則完工零件表面按檢驗規(guī)范測得輪廓參數(shù)值后完工零件表面按檢驗規(guī)范測得輪廓參數(shù)值后, 需與圖樣上給定的極需與圖樣上給定的極限比較限比較, 以判定其是否合格。極限值判斷規(guī)則有兩種以判定其是否合格。極限值判斷規(guī)則有兩種:16%規(guī)則規(guī)則: 運用本規(guī)則時運用本規(guī)則時,當(dāng)被檢表面測得的全部參數(shù)值中當(dāng)被檢表面測得的全部參數(shù)值中, 超超過極限值的個數(shù)不多于總個數(shù)過極限值的個數(shù)不多于總個數(shù)16%時時,該表面是合格的該表面是合格的 超過極限值有兩種含義超過極限值有兩種含義:一是:一是當(dāng)給定上限值時當(dāng)給定上限值時,超
21、過是指大于超過是指大于給定值給定值; 二是二是當(dāng)給定下限值時當(dāng)給定下限值時,超過是指小于給定值超過是指小于給定值最大規(guī)則最大規(guī)則: 運用本規(guī)則時運用本規(guī)則時,被檢的整個表面上測得的參數(shù)值一個被檢的整個表面上測得的參數(shù)值一個也不應(yīng)超過給定的極限值也不應(yīng)超過給定的極限值 16%規(guī)則是所有表面結(jié)構(gòu)要求標(biāo)注的默認(rèn)規(guī)則。即當(dāng)參數(shù)代號規(guī)則是所有表面結(jié)構(gòu)要求標(biāo)注的默認(rèn)規(guī)則。即當(dāng)參數(shù)代號后未標(biāo)注寫后未標(biāo)注寫“max”字樣時字樣時,均默認(rèn)為應(yīng)用均默認(rèn)為應(yīng)用16%規(guī)則規(guī)則( 如如Ra0.8)。反之反之,則應(yīng)用最大規(guī)則則應(yīng)用最大規(guī)則(如如Ra max0.8)表表5-10 表面結(jié)構(gòu)標(biāo)注代號及含義(表面結(jié)構(gòu)標(biāo)注代號及含
22、義(GB/T 131-2006)如果某表面粗糙度要求按指定的加上方法如果某表面粗糙度要求按指定的加上方法(如銑削如銑削)獲得時、可獲得時、可用文字標(biāo)注見圖用文字標(biāo)注見圖5-10b;如果需要標(biāo)注加工余量(設(shè)加工總余量;如果需要標(biāo)注加工余量(設(shè)加工總余量為為5mm),應(yīng)將其標(biāo)注見圖),應(yīng)將其標(biāo)注見圖5-10c;如果需要控制表面加工紋理;如果需要控制表面加工紋理方向時,加注加工紋理方向符號,見圖方向時,加注加工紋理方向符號,見圖5-10d。標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了加工。標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了加工紋理方向符號,如表紋理方向符號,如表5-12所示所示圖圖5-10 表面粗糙度其它項目的標(biāo)注表面粗糙度其它項目的標(biāo)注按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定選用對應(yīng)
23、取樣長度時,則在圖樣上省略標(biāo)注,否則按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定選用對應(yīng)取樣長度時,則在圖樣上省略標(biāo)注,否則應(yīng)按圖應(yīng)按圖5-10a所示方法標(biāo)注取樣長度,圖中取樣長度取為所示方法標(biāo)注取樣長度,圖中取樣長度取為0.8mm2、表面粗糙度技術(shù)要求其他項目的標(biāo)注、表面粗糙度技術(shù)要求其他項目的標(biāo)注表表5-12 加工紋理方向的符號(加工紋理方向的符號(GB/T 131-2006)標(biāo)注方法:標(biāo)注方法:在零件圖上標(biāo)注表面粗糙度代號時,該代號的尖端在零件圖上標(biāo)注表面粗糙度代號時,該代號的尖端指向可見輪廓線、尺寸線、尺寸界線或它們的延長線上,且需從材指向可見輪廓線、尺寸線、尺寸界線或它們的延長線上,且需從材料外指向零件表面;料外指向
24、零件表面;表面粗糙度代號中數(shù)字及符號的方向必須按表面粗糙度代號中數(shù)字及符號的方向必須按規(guī)定標(biāo)注。圖規(guī)定標(biāo)注。圖5-11表示了表面粗糙度代號在不同位置上的標(biāo)注示例表示了表面粗糙度代號在不同位置上的標(biāo)注示例第五節(jié)第五節(jié) 表面粗糙度的檢測表面粗糙度的檢測表面粗糙度檢測方法有比較檢驗法、針描法、光切法和顯微干涉法表面粗糙度檢測方法有比較檢驗法、針描法、光切法和顯微干涉法比較法比較法 將被測表面和表面粗糙度樣板直接進(jìn)行比較,多用于車將被測表面和表面粗糙度樣板直接進(jìn)行比較,多用于車間,評定表面粗糙度值較大的工件間,評定表面粗糙度值較大的工件光切法光切法 是應(yīng)用光切原理來測量表面粗糙度的一種測量方法。常是應(yīng)用光切原理來測量表面粗糙度的一種測量方法。常用儀器為光切顯微鏡。測量范圍用儀器為光切顯
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