大宗氣體特氣系統(tǒng)介紹

1、2011.5.18Section 1氣體的類型氣體的類型Section 2氣體供應(yīng)方式氣體供應(yīng)方式Section 3氣體設(shè)備氣體設(shè)備Section 4尾氣處理尾氣處理Section 5控制系統(tǒng)控制系統(tǒng)Section 6大眾氣體輸送系統(tǒng)大眾氣體輸送系統(tǒng)Section 7壓縮空氣壓縮空氣(CDA)1,1,按照氣體的使用量分類按照氣體的使用量分類: : (1), (1),大宗氣體大宗氣體: : (2),(2),特殊氣體特殊氣體: :2,2,按照氣體的性質(zhì)分類按照氣體的性質(zhì)分類: : (1), (1),惰性性氣體惰性性氣體 (2), (2),助燃性氣體助燃性氣體 (3), (3),易燃性氣體易燃性氣體

2、 (4), (4),腐蝕性氣體腐蝕性氣體 (5), (5),氧化性氣體氧化性氣體 3,3,按照氣體的純度分類按照氣體的純度分類: : (1), (1),一般氣體一般氣體: : (2), (2),高純氣體高純氣體: :4,4,按照氣體常溫條件下的狀態(tài)分類按照氣體常溫條件下的狀態(tài)分類: : (1), (1),氣態(tài)氣體氣態(tài)氣體 (2), (2),液態(tài)氣體液態(tài)氣體 (3),(3),高壓氣體高壓氣體 (4),(4),低壓氣體低壓氣體 1: On-site gas generator supply: CDA,GN2,O2 現(xiàn)場制造氣體現(xiàn)場制造氣體2: Bundle supply: H2,He 集裝格供應(yīng)氣

3、體集裝格供應(yīng)氣體3: Lorry tank supply: Ar,O2 液體槽車供應(yīng)氣體液體槽車供應(yīng)氣體4: Gas cylinder supply: Special Gas 鋼瓶供應(yīng)氣體鋼瓶供應(yīng)氣體 流量計流量計Tank LorryN2 Plant液態(tài)氣體儲罐液態(tài)氣體儲罐Purity GasGeneral GasOutside OfBuildingInside OfBuilding過濾器過濾器0.02m, 0.01m無塵室無塵室氣體純化器氣體純化器過濾器過濾器(0.05m)過濾器過濾器(0.1m)調(diào)壓器調(diào)壓器氣化器氣化器r特殊氣體系統(tǒng)特殊氣體系統(tǒng)特殊氣體系統(tǒng)特殊氣體系統(tǒng)-流程圖流程圖特殊氣體

4、集中輸送系統(tǒng)特殊氣體集中輸送系統(tǒng)(BSGS)安全安全設(shè)計設(shè)計 (外外殼殼)不不銹鋼銹鋼 316L VIM/VAR選選用材料符合特殊用材料符合特殊氣氣體需要體需要100% 內(nèi)內(nèi)表面表面電電子拋光子拋光無無顆顆粒粒泄漏率泄漏率: 1 x 10 10 Atm-cc/sec (He)PLC 控制控制 & 觸觸摸摸瓶瓶操作操作 和和 維護(hù)維護(hù)方便方便全自全自動動循循環(huán)環(huán)工工藝藝自自動動工工藝鋼瓶藝鋼瓶切切換換安全安全選項選項 & 聯(lián)動聯(lián)動裝置裝置顯顯示器示器 : EL Mono or TFT Color Gas Cabinet Flow DiagramA : PROCESSB : PURGE N2C :

5、 GENERAL N2D : LEAK CHECK HeE : EXHAUST在不用停止供在不用停止供氣氣的的條條件下增加使用點(diǎn)件下增加使用點(diǎn)降通降通過減過減少少氣瓶柜氣瓶柜的的數(shù)數(shù)量量來來降低降低費(fèi)費(fèi)用用系系統(tǒng)統(tǒng)和安全和安全選項類選項類似于似于氣瓶柜氣瓶柜設(shè)計簡潔設(shè)計簡潔1 X 8 輸輸送送t o o l : 3t o o l : 2t o o l : 1V M B BSGS (特殊特殊氣氣體集中體集中輸輸送系送系統(tǒng)統(tǒng)) 防止更換鋼瓶時,鋼瓶接頭咬死持久保持高潔凈度: 減小鋼瓶內(nèi)雜質(zhì)結(jié)合的幾率.降低頻繁更換鋼瓶所涉及的人員成本及項目管理成本.連續(xù)不間斷供氣降低污染, 減少維護(hù)費(fèi)用減少氣瓶柜數(shù)

6、量以降低成本.簡化二次配管工作供應(yīng)量: 0300 slpm二次降壓: 0150 psig 5psig系統(tǒng)和安全選項類似于氣瓶柜 Safety Design & SystemDesigned with Anti-corrosion MaterialEasy Operation and MaintenanceLow Running CostHigh EfficiencyPLC Controller & Touch PanelFull Auto Cycle ProcessSafety Option & InterlocksApplicable Monitoring System Dry Scrubb

7、er Thermal Wet Scrubber Plasma Type POU ScrubberPlasma chamberWater chamberInlet port(4 ports - standard)Touch screenMiddle flange Flow controller (N2, Air water)Controller of Gas and Chemical Supply System Free Volt Main Power PLC Process Touch Panel Operation Display : EL Mono or TFT Color COM : R

8、S-232C 422, 485, Data Highway Box Size W796 x D330 x H315Signal TowerManometerEMG12” TFT Color Display GMS Concept FlowPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWI

9、RE WIRE LINKLINKPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M

10、O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINK ServerFull Point I/O Panel PCGas CabinetVMBHubHubHubHubEthernet TransceiverGas CabinetVMBGas CabinetVMBServerFull Point I/OServerFull Point I/O GMS 定義:在空氣中可以提取的氣體,如氮?dú)?氧氣,氬氣,氦氣等. 儲藏方式:低溫儲罐,高壓鋼瓶 低溫液體在常壓下一般沸點(diǎn)低于-180 例如液氧(-182.9)液氬(-185.7)液氮 (-195.8)液氦(-268.9) （1）壓縮氣體 臨界溫度低于-10的氣體，經(jīng)加高壓壓縮，仍處于氣態(tài)者稱壓縮氣體，如氧、氮、氫、空氣、氬、氮等。這類氣體鋼瓶若設(shè)計壓力大于或等于12MPa（125kg/cm2）稱高壓氣瓶。 （2）液化氣體 臨界溫度10的氣體，經(jīng)加高壓壓縮，轉(zhuǎn)為液態(tài)并與其蒸氣處于平衡狀態(tài)者稱為液化氣體。 （3）溶解氣體 單純加高壓壓縮，可產(chǎn)生分解、爆炸等危險性的氣體，必須在加高壓的同時，將其溶解于適當(dāng)溶劑，并由多孔性固