電感耦合等離子體質(zhì)譜ICP-MS的原理與操作

1、電感耦合等離子體質(zhì)譜ICP-MS1. ICP-MS儀器介紹測定超痕量元素和同位素比值的儀器.由樣品引入系統(tǒng)、等離子體離子源系統(tǒng)、離子聚焦和傳輸系統(tǒng)、質(zhì)量分析器系統(tǒng)和離子檢測系統(tǒng)組成.接口局部離子源樣品引入系統(tǒng)真空系統(tǒng)工作原理：樣品經(jīng)預(yù)處理后,采用電感耦合等離子體質(zhì)譜進(jìn)行檢測,根據(jù)元素的質(zhì)譜圖或特征離子進(jìn)行定性,內(nèi)標(biāo)法定量.樣品由載氣帶入霧化系統(tǒng)進(jìn)行霧化后,以氣溶膠形式進(jìn)入等離子體的軸向通道,在高溫和惰性氣體中被充分蒸發(fā)、解離、原子化和電離,轉(zhuǎn)化成帶電荷的正離子,通過銅或饃取樣錐收集的離子,在低真空約133.322帕壓力下形成分子束,再通過12毫米直徑的截取板進(jìn)入質(zhì)譜分析器,經(jīng)濾質(zhì)器質(zhì)量別離后,

2、到達(dá)離子探測器,根據(jù)探測器的計數(shù)與濃度的比例關(guān)系,可測出元素的含量或同位素比值.儀器優(yōu)點(diǎn)：具有很低的檢出限達(dá)ng/ml或更低,基體效應(yīng)小、譜線簡單,能同時測定許多元素,動態(tài)線性范圍寬及能快速測定同位素比值.地質(zhì)學(xué)中用于測定巖石、礦石、礦物、包裹體,地下水中微量、痕量和超痕量的金屬元素,某些鹵素元素、非金屬元素及元素的同位素比值.ICP-tnductivelyCoupledPl&sma電感耦合等離子體質(zhì)譜的高溫離子源樣品蒸發(fā)、解離*原子匕電需等過程MS'MassSpectrometer質(zhì)譜四板桿快速掃描質(zhì)譜儀迎氤的R序掃描分函8定所有元素高速雙通道模式檢測器對四極桿別離后的離子進(jìn)

3、行檢測2. ICP產(chǎn)生原理ICP-MS所用電離源是感應(yīng)耦合等離子體一樣的,其主體是一個由三層石英套管組成的炬管,炬管上端繞有負(fù)載線圈,三層管從里到外分別通載氣,輔助氣和冷卻氣,負(fù)載線圈由高頻電源耦合供電,產(chǎn)生垂直于線圈平面的磁場.如果通過高頻裝置使僦氣電離,那么僦離子和電子在電磁場作用下又會與其它僦原子碰撞產(chǎn)生更多的離子和電子,形成渦流.強(qiáng)大的電流產(chǎn)生高溫,瞬間使僦氣形成溫度可達(dá)10000k的等離子焰炬.樣品由載氣帶入等離子體焰炬會發(fā)生蒸發(fā)、分解、激發(fā)和電離,輔助氣用來維持等離子體,需要量大約為1L/min.冷卻氣以切線方向引入外管,產(chǎn)生螺旋形氣流,使負(fù)載線圈處外管的內(nèi)壁得到冷卻,冷卻氣流量為

4、10-15L/min.ICP離子源原理圖ICP,它與原子發(fā)射光譜儀所用的ICP是ICP熱注分8000K樣品停智時同為幾個阜秒在果祥鍵口處樣品以正離子彥蠢存存粒子蔻發(fā)與解離富成單廉至月電離柔容笛口指F惠子1ft度最良,而金廉子唐子干餡度量低使用僦氣作為等離子氣的原因：僦的第一電離能高于絕大多數(shù)元素的第一電離能除He、F、Ne外,且低于大多數(shù)元素的第二電離能除Ca、Sr、Ba等.因此,大多數(shù)元素在僦氣等離子體環(huán)境中,只能電離成單電荷離子,進(jìn)而可以很容易地由質(zhì)譜儀器別離并加以檢測.焰火的三個溫度區(qū)域：焰心區(qū)呈白色,不透明,是高頻電流形成的渦流區(qū),等離子體主要通過這一區(qū)域與高頻感應(yīng)線圈耦合而獲得能量.

5、該區(qū)溫度高達(dá)10000Ko內(nèi)焰區(qū)位于焰心區(qū)上方,一般在感應(yīng)圈以上10-20mm左右,略帶淡藍(lán)色,呈半透明狀態(tài).溫度約為6000-8000K,是分析物原子化、激發(fā)、電離與輻射的主要區(qū)域.尾焰區(qū)在內(nèi)焰區(qū)上方,無色透明,溫度較低,在6000K以下,只能激發(fā)低能級的譜線.最常用的進(jìn)樣方式是利用同心型或直角型氣動霧化器產(chǎn)生氣溶膠,在載氣載帶下噴入三層同心石英玻璃炬管置于高頻感應(yīng)線圈中焰炬,樣品進(jìn)樣量大約為1mL/min,是靠蠕動泵送入霧化器的.,等離子體工作氣體從管內(nèi)通過,試樣在霧化器中霧化后,由中央管進(jìn)入火焰；外層Ar從切線方向進(jìn)入,保護(hù)石英管不被燒熔,并用來點(diǎn)燃等離子體；在負(fù)載線圈上面約10mm處,

6、焰炬溫度大約為8000K,在這么高白溫度下,電離能低于eV的元素完全電離,電離能低于10.5eV的元素電離度大于20%.由于大局部重要的元素電離能低于10.5eV,因此具有很高的靈敏度,少數(shù)電離能較高的元素,如C、O、Cl、Br等也能檢測,只是靈敏度較低.IGOODAgilent7500系歹“CP-MS系統(tǒng)簡ICP-MS由ICP焰炬,接口裝置和質(zhì)譜儀三局部組成；假設(shè)使其具有好的工作狀態(tài),必須設(shè)置各局部的工作條件.3.ICP-MS系統(tǒng)介紹1KW左右,冷卻氣流量為15L/min,輔助氣流量和載氣流量約為1L/min,調(diào)節(jié)載氣流量會影響測量靈敏度.樣品提升量為1ml/min.ICP主要包括ICP功率

7、,載氣、輔助氣和冷卻氣流量.樣品提升量等,ICP功率一般為當(dāng)高頻發(fā)生器接通電源后,高頻電流I通過感應(yīng)線圈產(chǎn)生交變磁場綠色.開始時,管內(nèi)為Ar氣,不導(dǎo)電,需饕用高壓電火花觸發(fā),使氣體電離后,在高頻交流電場的作用下,帶電粒子高速運(yùn)動,碰撞,形成“雪崩式放電,產(chǎn)生等離子體氣流.在垂直于磁場方向?qū)a(chǎn)生感應(yīng)電流渦電流,粉色,其電阻很小,電流很大數(shù)百安,產(chǎn)生高溫.又將氣體加熱、電離,在管口形成穩(wěn)定的等離子體焰炬卓r:!_(5200tuuo2大顆粒碰撞沉積,小顆粒3人高溫等離子體6二代口離子透鏡,對離子進(jìn)14提取透鏡使離子行聚焦和偏轉(zhuǎn),便之與光子、I通由單岳鍵進(jìn)入中性標(biāo)子別離,有最高的離子|真空系統(tǒng)包效率工

8、樣品顆粒解離,電離成正離子1.高速氨與掙液用羊品霧化8.雙通道H式*W量級線性動態(tài)范圍的檢測器,快速檢測1雙曲面四極桿離平接荷質(zhì)比進(jìn)行別離,政砌器Z-6.真空門閥在不采樣時關(guān)閉,以蠢*質(zhì)諧儀的高真空度看利于系姍護(hù)3.1 樣品導(dǎo)入系統(tǒng)霧化器、霧化室.最常用的進(jìn)樣方式是利用同心型或直角型氣動霧化器產(chǎn)生氣溶膠,在載氣載帶下噴入焰炬,樣品進(jìn)樣量大約為1mL/min,是靠蠕動泵送入霧化器的.等離子氣(Ar)+/輔助氣(Ai)-氣炬管等離子體(為)Pdtiei冷卻霧空RF維混合氣CA1)匚!載氣(Ai)霧化器標(biāo)準(zhǔn)樣品引入系統(tǒng)由兩個主要局部組成：樣品提升局部和霧化局部.樣品提升局部可以使用蠕動泵或自提升的霧

9、化器.蠕動泵用于提升樣品或提升經(jīng)T接頭混合的樣品/內(nèi)標(biāo)混和液,可以便捷地實(shí)現(xiàn)內(nèi)標(biāo)的在線參加.使用標(biāo)準(zhǔn)的1.02mm內(nèi)徑的樣品管時,在0.1rps轉(zhuǎn)速下,蠕動泵提升樣品的水平大約為0.4ml/min.而內(nèi)標(biāo)管的直徑為0.19mm,因此內(nèi)標(biāo)液的流速更慢,在0.1rps轉(zhuǎn)速下,蠕動泵提升內(nèi)標(biāo)的水平大約為20山min.也就是說,內(nèi)標(biāo)溶液相對于被稀釋20倍,所以雖然我們要求引入系統(tǒng)的內(nèi)標(biāo)元素濃度為50ppb,但使用的內(nèi)標(biāo)溶液濃度為1ppm(1000ppb).注：即使用自提升的霧化器,仍需要使用蠕動泵,由于霧化器里的廢液是通過蠕動泵排到廢液桶中的.如果霧化器不排廢液,將導(dǎo)致信號不穩(wěn)定,如果過多的液體流入炬

10、管,將導(dǎo)致熄火,對儀器造成危害.樣品引入系統(tǒng)的第二局部是霧化器和霧化室.樣品以泵入方式或者自提升方式進(jìn)入霧化器后,在載氣作用下形成小霧滴,并進(jìn)入霧化室.大的、重的霧滴碰到霧化室壁后被排至廢液中,只有小霧滴才可進(jìn)入等離子體內(nèi).載氣的流量決定了霧化效率,當(dāng)載氣流量不夠大時,可以增加混合氣流量以保證霧化效率(例如：進(jìn)行冷等離子體實(shí)驗時).同心芬化喘(ConcentricNebulizer)氣流與毛細(xì)管平行,氣流迅速通過毛細(xì)管末端,溶液由毛細(xì)管引入低IK區(qū),低壓與高速氣流我同將溶液破碎成氣溶膠.優(yōu)點(diǎn)：況敏度高.敵定性好：域點(diǎn)：斯堵混、更換本錢高、液璃材質(zhì)不耐同氟酸.交叉流券化器(CrossflowNe

11、bulizer)利用高速氣流與液流之間接觸便液體破碎產(chǎn)生氣溶膠優(yōu)點(diǎn)：里固乂易于清洗、不易堵塞缺廣：霧化效果(靈敏度和穩(wěn)定性)比同心冤化器略,3霧化室的主要目的是去除大液滴,阻止其進(jìn)入炬管,保證只有小顆粒的氣溶膠可以進(jìn)入大液滴碰撞到霧化室的等離子體.使用霧化室可以提升等離子體的穩(wěn)定性和離子化的效率.樣晶導(dǎo)入到蛀著都等離F體.HS8tt雙通道零空(double-passspraychamber)室壁,并由廢液管排出.利用霧化空內(nèi)壁上的湘流沉降作用,或利用膽力作用除去較大的霧滴,內(nèi)層同心酒可減少信號強(qiáng)度的隨即波動0軻廢液管旋流客室(cyclonicspraychamber)缺點(diǎn)：死空間方,易引起記憶

12、效附口利用離心力別離大霧粒,霧的被弱邂內(nèi)切向引入的飛流和氣溶膠產(chǎn)生的潮流來分隅不同粒度的霧粒.映點(diǎn)：靜密度爐一些,氧化物水平戰(zhàn)高.皤十一1#索(impactbeadspraychamber)利用霧空內(nèi)跟撞而球內(nèi)阻q溶咬的js法別離大霧粒,氣溶膠進(jìn)入霧室后直接撞擊到算室內(nèi)的球體外表,大霧粒破也落到底部排出.炬管和霧化室可以通過計算機(jī)X、V、Z三維調(diào)控,調(diào)節(jié)精確度可達(dá)0.1mm;使用接頭夾固定炬管和連接管,方便器件的維護(hù)、更換；通過化學(xué)工作站軟件可以限制、移動整個炬管箱至前方,方便用戶直接維護(hù)錐和提取透鏡.Agilent7500ICP-MS使用的是ICP儀器上通用的Fassel型炬管.這種炬管由三

13、個同心石英管組成,每層管路中流經(jīng)的氣體也有所不同.如果最中央的管路使用鉗或藍(lán)寶石材質(zhì)的內(nèi)插管,那么可檢測含HF的樣品.炬管的一端深入工作線圈中,工作線圈可以誘導(dǎo)產(chǎn)生用于樣品離子化的等離子體.為預(yù)防等離子體的高溫將炬管融化(等離子體的溫度可以到達(dá)10,000K),系統(tǒng)向炬管的最外層石英管中引入冷卻氣又稱等離子體氣,其流量達(dá)15L/min.冷卻氣/等離子體氣的主要作用是將等離子體推離炬管內(nèi)壁,預(yù)防炬管融化,同時也為等離子體的形成提供了支持氣.在炬管第二層石英管中引入的是輔助氣,其流量大約為1L/min,其作用是將等離子體推離中央樣品引入管的末端,同時維持等離子體火焰.載氣從炬管的最中央管路進(jìn)入炬管

14、,同時將霧化室內(nèi)形成的氣溶膠帶入炬管.載氣流路包括霧化器中引入白載氣和混合氣的流量要足夠大,保證可以在等離子體中央吹出一個孔,以將樣品引入到等離子體中,實(shí)現(xiàn)樣品的離子化；但載氣流量又不能太大,以免降低氣溶膠解離和離子化效率,并預(yù)防降低等離子體溫度.一般說來,使用標(biāo)準(zhǔn)2.5mm的炬管時,推薦的載氣流速為1.2L/min.炬管位置由步進(jìn)電機(jī)限制r耳、戶工三維可調(diào),快速精埔.炬管的拆卸、安袋簡單快速,便于清洗更換.箸離子體局部啦于儀器主體局部,等離子氣由排氣管道直接排出.3.2 接口系統(tǒng)ICP產(chǎn)生的離子通過接口裝置進(jìn)入質(zhì)譜儀,接口裝置的主要參數(shù)是采樣深度,也即采樣錐孔與焰炬的距離,要調(diào)整兩個錐孔的距

15、離和對中,同時要調(diào)整透鏡電壓,使離子有很好的接口采樣錐-1Jmm內(nèi)徑截取椎-0.5mm內(nèi)徑兩孔相距6-7ninb削i和Pt兩種材質(zhì)材質(zhì).3.3 質(zhì)譜儀主要是設(shè)置掃描的范圍.為了減少空氣中成分的干擾,一般要預(yù)防采集N2、02、Ar等離子,進(jìn)行定量分析時,質(zhì)譜掃描要挑選沒有其它元素及氧化物干擾的質(zhì)量.同時還要有適宜的倍增器電壓.事實(shí)上,在每次分析之前,需要用多元素標(biāo)準(zhǔn)溶液對儀器整體性能進(jìn)行測試,如果儀器靈敏度能到達(dá)預(yù)期水平,那么儀器不再需要調(diào)整,如果靈敏度偏低,那么需要調(diào)節(jié)載氣流量,錐孔位置和透鏡電壓等參數(shù).扇形磁場質(zhì)量分析器：由于洛倫茲力的作用,磁場能夠?qū)Υ怪贝艌龇较蛉肷涞膸щ娏Ｗ舆M(jìn)行偏轉(zhuǎn),偏轉(zhuǎn)

16、的角度與粒子的質(zhì)量、所帶電量、初速度有關(guān).對于相同動能的離子而言,偏轉(zhuǎn)角度就只與離子的質(zhì)荷比m/z有關(guān).由于需要用到高強(qiáng)度勻強(qiáng)磁場一般為1.5T,經(jīng)典的扇形磁場質(zhì)量分析器的體積一般比擬大.扇形磁場是歷史上最早出現(xiàn)的質(zhì)量分析器,除了在質(zhì)譜學(xué)開展史上具有重要意義外,還具有很多優(yōu)點(diǎn),如重現(xiàn)性良好的峰形與同位素豐度,分辨率與質(zhì)量大小無關(guān),能夠比擬快地進(jìn)行掃描每秒10個質(zhì)荷比單位.在目前出現(xiàn)的小型化質(zhì)量分析器中,扇形磁場所占的比重不是很大,主要是由于如果把磁場體積和重量降低后將極大地影響磁場的強(qiáng)度,從而大大削弱其分析性能.但是,隨著新材料和新技術(shù)的不斷出現(xiàn),這種局面可望在將來得到改觀.磁場離子源檢測器方

17、向聚焦：相同質(zhì)荷比,入射方向不同的湍子會出:單聚焦磁場分析器IftAgilent7500四級桿：Agilent7500系列使用的是四級桿質(zhì)量過濾器.四級桿由四根精密加工的雙曲面桿平行成對兒排列而成.四級桿由純鋁材料制成,四個桿的中央空隙部分排列著離子束.RF電壓和DC電壓加在對角的兩個桿上,而在另外兩個桿上加的是相同大小的負(fù)電壓.電壓的交替改變,產(chǎn)生了電磁場,與離子束發(fā)生相互作用.在特定的電壓下,只有特定質(zhì)量數(shù)的離子才能穩(wěn)定的沿軌道穿過四級桿.因此,通過快速掃描、變換電壓的方式,不同質(zhì)量數(shù)的離子可以在不同時間內(nèi)穩(wěn)定,并穿過四級桿到達(dá)檢測器.四級桿質(zhì)量過濾器的掃描速度超過每秒3000amu,相對

18、于每秒時間內(nèi)可以對整個質(zhì)量范圍掃描10次.由于四極桿的掃描速度畢竟是有限的,所以如果離子進(jìn)入四級桿的速度太快,就會導(dǎo)致四極桿別離離子的水平降低.因此,儀器在四級桿之前使用了一個PlateBias透鏡,并在其上施加電壓以降低離子進(jìn)入質(zhì)量過濾器的速度.如果在該透鏡上施加的是正電壓最大為+5V,那么就更可以有效地降低離子速率,得到更好的峰形.四級桿原理+VcoswtfieldremovesionsbelowaceilnmassY-skisfieldwesicnsacertainmass四級桿由四根精密加工的雙曲面桿平行對稱狎既u而成在特定的電壓下,只有特定質(zhì)量數(shù)m/z的離子才有魂定的沿軌道穿過四級札

19、因此,通過快速掃揀變換電壓的方式,不同質(zhì)量數(shù)的離子可以在不同時間向糕京并尋過四柒桿至II送憐涮器.4.ICP-MS使用事項4.1 ICP離子源中的物質(zhì)1已電離的待測元素：As+,Pb+,Hg+,Cd+,Cu+,Zn+,Fe+,Ca+,K+,?2主體：Ar原子99.99%3未電離的樣品基體：Cl,NaClH2On,SOn,POn,CaO,CaOHn,FeO,FeOHn,?這些成分會沉積在采樣錐、截取錐、第一級提透鏡、第二級提取透鏡以上部件在真空腔外、聚焦透鏡、C偏轉(zhuǎn)透鏡、偏置透鏡、預(yù)四極桿、四極桿、檢測器上按先后順序依次減少,是實(shí)際樣品分析時使儀器不穩(wěn)定的主要因素,也是儀器污染的主要因素;4已電

20、離的樣品基體：ArO+,Ar+,ArH+,ArC+,ArCl+,ArAr+,Ar基分子離子要干擾;特別需要注意的是,1ppt濃度的樣品元素在0.4mL/minBabinton霧化器,0.1rps速度進(jìn)樣時,相當(dāng)于每秒進(jìn)入儀器>10,000,000個原子；而在檢測器得到的離子數(shù)在10量與待測元素如Fe,Ca,K,Cr,As,Se,P,V,Zn,Cu等的原子量相同,是測定這些元素的主提升靈敏度的后果是同時加大儀器受污染速度.離子提取接口處的樣品離子國王帷電十砧簡0ICaO+,CaOH+,SOn+,POn+,NOH+,ClO+?樣品基體產(chǎn)生,這些成分由于分子1000之間,即>99.99%

21、的樣品及其基體停留在儀器內(nèi)部或被排廢消除;因此,加大進(jìn)樣量雙錐離子透鏡的設(shè)計使更多的離子尤其是輕質(zhì)量離子能夠進(jìn)入系統(tǒng),提升儀器靈敏度在讀取錐后雙矍取邊境開常有效的聚集加速離子提取建靛在原取魏中負(fù)電子就相f正電干糧提取#加速中忖粒子不要電扁膏響堪叱直行強(qiáng)王桃黃干批招架葉就里竭成艙差期后消除未電離的樣品翦體干執(zhí)tQICFWS接口的設(shè)計樣品錐1.0mm孔徑鋒利的孔邊綠可預(yù)防堵塞胴底盤-銀雎尖極好的熱導(dǎo)性能 延長了錐的壽命截取攀標(biāo)準(zhǔn)為銀耨 口1mm孔徑 工作溫度較高可使鹽窗不在其上沉積 從不堵塞消除已電離的樣品基體干擾：碰撞/反響池ICP-MS進(jìn)一步消除干擾的方法:ORS碰撞/反響池H2;He,班容硬

22、撐/反響氣體入口第三代一體ft口偏觸鈍其空門閥在不來壽時關(guān)閉八極桿碰撞,應(yīng)應(yīng)他函5系統(tǒng)4.2碰撞/反響池系統(tǒng)有三種工作方式：1） CollisionalInducedDissociation干擾離子碰撞解離CID什么是碰撞誘導(dǎo)解離CID?這是一個通過中性分子的碰撞把能量傳遞給離子的過程.這種能量傳遞足以使分子鍵斷裂和所選擇的離子重排.為什么它那么重要在70年代初期McLaffertyJACS,95,3886,1973論證了從離子觀測得的鍵斷裂和重排,說明了CID是中性分子的分子結(jié)構(gòu)的典型代表.在質(zhì)譜圖被獲得之前,母離子在碰撞池或室中被打碎.可掃描子離子來獲取母離子的信息.通過碎片指紋分析,這種

23、類型的數(shù)據(jù)可用于排序縮氨酸和糖,結(jié)構(gòu)分析和分析物鑒定.分裂最常用的方法就是碰撞誘導(dǎo)解離CID,有時也稱碰撞激發(fā)分解CAD.2） Reaction反響模式,3動能歧視KED,7500-ORS以此為主ICP-MS消除卜擾的方法2碰撞/反響池干擾離子碰撞解離CID?的局限邪系統(tǒng)中的最主要模式工動能歧視KEO干擾離子失去能量而不能進(jìn)入四極桿Elediicalpdariijl40TAMc1)He/H與枇口硅磐貞率更高ArUI的功耗倒匹遠(yuǎn)肝命的由除屏溫炬的能更聚國il四板懺的H述滋峰池應(yīng)前只仃A迷網(wǎng)四極杯,而跳匚：完全無法過El?cirie*pMdTh.il|CTc1qpF鉗重要：脈沖/模擬雙模式調(diào)諧P/

24、A調(diào)諧川隨著待測樣品濃度的變化,化學(xué)工作站可以自動切換脈沖和模擬模式為了得到良好的線性關(guān)系,需要進(jìn)行做P/AFactor調(diào)諧.進(jìn)行P/AFactor調(diào)諧所用的各個元素的計數(shù)值必須介于400,000和4,000,000cps之間,才能得到正確的P/A因子.如果測定的元素濃度范圍很寬,脈沖和模擬兩種模式都會用到,就必須經(jīng)常進(jìn)行P/AFactor調(diào)諧,才能得到精確的分析結(jié)果.f«1lh.DeidTiffb-Ccrretticn4M,;舊/PAAFHCtu-TunifRantTitleofPDate4.3影響儀器檢測水平的因素1 .環(huán)境污染與實(shí)驗室工作條件2 .實(shí)驗步驟的優(yōu)化設(shè)計majAgi

25、lemRAStncrSd-AnabfiRii0'AgilentTechnologiesPage32P'jiscwilhauriQffdTiwQvWWi3 .試劑污染因素4 .購置適合測定要求的高純試劑5 .分子離子的干擾因素6 .優(yōu)化樣品引入系統(tǒng),干擾校正方法,屏蔽炬,冷等離子體技術(shù),碰撞池或反響池7 .記憶效應(yīng)8 .優(yōu)化樣品引入系統(tǒng),加長沖洗時間,操作人員的素質(zhì)9 .接口效應(yīng),基體效應(yīng)10 .選擇信號強(qiáng)度隨著基體元素的基體效應(yīng)、接口效應(yīng)而與待測元素信號強(qiáng)度同時增強(qiáng)或降低的內(nèi)標(biāo)進(jìn)行校正11 .隨機(jī)背景12 .四極桿、離子透鏡、真空系統(tǒng)等的優(yōu)化組合設(shè)計5.ICP-MS根本操作流程

26、1、開機(jī)1、開電腦密碼3000hanover,打印機(jī);2、翻開儀器的總電源開關(guān)在儀器后面的下角和前面的電源開關(guān);3、雙擊桌面的ICP-MSTOP圖標(biāo)旺I進(jìn)入工作站,如下列圖所示:4、從Instument菜單中選擇Instrumentcontrol"或者單擊Instrumentcontrol圖標(biāo)進(jìn)入下列圖所示的儀器限制界面.從Vacuum菜單中選擇vacuumon",抽真空,第一次開機(jī)需要抽過夜.儀器狀態(tài)從SHUTDOWN到STANDBY狀態(tài)轉(zhuǎn)換；5、從Meters菜單中選擇MeterControlPanel",進(jìn)入如下列圖所示的畫面,可以對真空、水流量、環(huán)境溫度、霧室溫度、氣體壓力及射頻功率進(jìn)行實(shí)時監(jiān)測.一般選擇以下幾項IF/BKPressure-接口及背壓閥壓力；WaterTemperatureWf環(huán)水溫；S/CTemperature霧室溫度；ForwardPower入射功率；Refle