電容式稱重傳感器課程設(shè)計

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)東北石油大學(xué)課 程 設(shè) 計 2015 年 7 月 8課 程 傳感器課程設(shè)計 題 目 電容式重量測量系統(tǒng)設(shè)計 院 系 電氣信息工程學(xué)院 專業(yè)班級 測控技術(shù)與儀器 12-2 學(xué)生姓名 學(xué)生學(xué)號 指導(dǎo)教師 鄒彥艷 劉繼承 精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)任務(wù)書課程課程 傳感器課程設(shè)計傳感器課程設(shè)計題目題目 電容式重量測量系統(tǒng)電容式重量測量系統(tǒng)專業(yè) 測控技術(shù)與儀器 姓名 桂存斌 學(xué)號 0 主要內(nèi)容：主要內(nèi)容：電容式重量傳感器：設(shè)計的傳感器根據(jù)受壓不同，輸出信號不同。本設(shè)計要求完成重量傳感器的設(shè)計，采用電容式設(shè)計電路。電容式稱重傳感器是要求把被稱物體重

2、量轉(zhuǎn)換為電容容量變化的一種傳感器。通常為差動變間距電容式稱重傳感器，采用調(diào)頻電路，要求是一個具有可變參數(shù)的電容器。基本要求：基本要求：1、按照技術(shù)要求，設(shè)想不同的設(shè)計方案并進行比較。2、利用電容的特性設(shè)計出一種稱重的應(yīng)用電路。3、說明所用傳感器的基本工作原理、畫出應(yīng)用電路電路圖。主要參考資料：主要參考資料：1 黃賢武.傳感器原理與應(yīng)用M.北京：高等教育出版社，2004.3.2 李剛，林凌.現(xiàn)代測控電路M.北京:高等教育出版社，2004.5.3孟立凡，鄭賓.傳感器原理與技術(shù)M.北京：國防工業(yè)出版社，2005.6.4 沙占友.集成傳感器應(yīng)用M.北京：中國電力出版社，2005.12完成期限 2015

3、.7.42015.7.8 指導(dǎo)教師 專業(yè)負(fù)責(zé)人 2015 年 7 月 1 日精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)摘 要電容式傳感器是將被測量的變化轉(zhuǎn)換為電容量變化的一種裝置，它本身就是一種可變電容器，由于這種傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強，體積小，動態(tài)響應(yīng)好，靈敏度高，分辨率高，能實現(xiàn)非接觸測量等特點，因而被廣泛應(yīng)用于位移、加速度、振動、壓力、壓差、液位、檢測領(lǐng)域。此文就以電容式重量傳感器來研究。本文介紹了電容式重量傳感器的結(jié)構(gòu)，以及其測量電路，分析電容稱重傳感器的特性和相關(guān)參數(shù)選取，通過一系列的資料查詢所得結(jié)果表明該電容式重量傳感器具有很好的穩(wěn)定性、重復(fù)性和無滯后性，具有一定的實用價值。

4、關(guān)鍵詞關(guān)鍵詞：電容式傳感器；稱重；差動；放大；精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè) 目錄目錄精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)電容式重量傳感器設(shè)計一 、設(shè)計要求及用途1 1、功能與用途、功能與用途設(shè)計的電容式重量傳感器電路，當(dāng)被稱重物差動改變電容的間距而使電容發(fā)生變化時，振蕩器的振蕩頻率發(fā)生相應(yīng)變化，在鑒頻器上變換為振幅的變化，經(jīng)放大轉(zhuǎn)換成一個直流的高電平信號輸出，在稱重儀表顯示。要求設(shè)計的傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單，能實現(xiàn)非接觸測量，適應(yīng)性強，體積小，靈敏度高，分辨率高等特點。重量傳感器主要應(yīng)用在各種電子衡器、工業(yè)控制領(lǐng)域、在線控制、安全過載報警、材料試驗機等領(lǐng)域。如電子汽車衡、電子臺

5、秤、電子叉車、動態(tài)軸重秤、電子吊鉤秤、電子計價秤、電子鋼材秤、電子軌道衡、料斗秤、配料秤、罐裝秤等。2 2、課題研究的意義、課題研究的意義稱重計量技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域，已經(jīng)遍及冶金、交通、鐵道、電力、建材、化工、輕工等部門。在生產(chǎn)過程或工藝流程中，對各種配料稱重、定量稱重及現(xiàn)場稱重技術(shù)的要求越來越高。現(xiàn)代的稱重計量儀器或衡器，不僅要作為過程檢測系統(tǒng)中的一個單元而具有測量、計算、控制、檢驗及通訊等功能。它們已成為工藝技術(shù)、預(yù)包裝技術(shù)、收發(fā)貨業(yè)務(wù)及商業(yè)銷售行業(yè)中必不可少的組成部分，推進了工業(yè)生產(chǎn)和貿(mào)易交往的自動化和合理化。本文主要是針對稱重傳感器進行介紹。稱重傳感器在工業(yè)過程檢測和商貿(mào)結(jié)算等方面，作為電

6、子衡器的心臟部件而倍受重視。傳統(tǒng)的稱重傳感器主要有壓電式、壓磁式、電阻應(yīng)變式等幾種。壓電式稱重傳感器是利用壓電材料的壓電效應(yīng)，當(dāng)有外力作用在壓電元件上，就有電壓（或電荷）輸出。壓電式傳感器形小體輕、工作頻帶較寬、機械強度高、剛性大、工作變形小，絕緣強度高，廣泛用于機床切削力、機械振動、沖擊等領(lǐng)域的測量。但由于外力作用在壓電材料上產(chǎn)生的電荷只有在無泄漏的情況下才能保存，這就要求測量電路的輸入阻抗近乎無限大，這很難實現(xiàn)。且輸出能量小，低頻特性比較差，只適合于各種動態(tài)力的測量。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)壓磁式稱重傳感器的工作原理是利用鐵磁材料（如鎳、鐵鎳、鐵硅合金等）的壓磁效應(yīng)工作的

7、。即當(dāng)被測力作用在鐵磁材料上時，鐵磁材料在產(chǎn)生機械變形和內(nèi)應(yīng)力的同時，鐵磁材料的磁導(dǎo)率也發(fā)生變化。如果鐵磁材料上繞有線圈的話，將引起鐵芯中的磁阻變化，從而導(dǎo)致自感或互感的變化，相應(yīng)的輸出電勢也隨被測力的大小而變化，通過測量電路，就可測出力的大小。壓磁式傳感器抗干擾能力強，過載能力大，對運行條件的要求低，能在較差的環(huán)境條件（灰塵、水和腐蝕性氣體、溫度濕度較惡劣）下工作，在冶金、礦山、化工領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。但長期穩(wěn)定性和線性差。3 3、國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀、國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀電阻應(yīng)變式稱重傳感器是現(xiàn)階段應(yīng)用最廣、性能穩(wěn)定、精度高、技術(shù)成熟的稱重傳感器。它是利用金屬的應(yīng)變效應(yīng)或半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)進行轉(zhuǎn)換的，在被測

8、力的作用下，彈性體發(fā)生形變帶動附在其上的應(yīng)變片發(fā)生形變，對應(yīng)產(chǎn)生電阻的變化，電阻的變化反映的大小。這種傳感器具有體積小、反應(yīng)快、線性好、重復(fù)性好、使用方便等優(yōu)點。但該傳感器模擬電壓輸出信號，能量低，需放大電路和轉(zhuǎn)換電路，相應(yīng)成本增加。這些傳感器都是模擬式的，即把待測力轉(zhuǎn)換成與之成確定關(guān)系的電學(xué)量 。稱重傳感器是電子稱重的核心部件，從原理上分為電阻應(yīng)變式、壓磁式、振弦式等。 電阻應(yīng)變式稱重傳感器因制作簡單、工藝成熟、準(zhǔn)確度高（最高準(zhǔn)確度目前可做到非線性、重復(fù)性、滯后指標(biāo)優(yōu)于 0.01%） ，占據(jù)著稱重傳感器 90%以上的市場份額。電阻應(yīng)變式稱重傳感器用于靜態(tài)、動態(tài)條件下質(zhì)量或力的測量，在工業(yè)生產(chǎn)

9、過程檢測、控制、自動稱量等領(lǐng)域已大量應(yīng)用。隨著工業(yè)控制系統(tǒng)向數(shù)字化發(fā)展，近幾年來數(shù)字式稱重傳感器被開發(fā)并已得到應(yīng)用，數(shù)字式稱重傳感器可由微處理器對常規(guī)橋路進行補償和調(diào)整，進行非線性、滯后、蠕變等性能的修正，從而大大提高稱重傳感器的性能。由于它直接輸出數(shù)字量，大大提高了傳輸中的抗干擾能力，并使得與計算機的通信極為方便。由于取消了儀表中的模擬放大、轉(zhuǎn)換等環(huán)節(jié)，使儀表大為簡化 .壓磁式稱重傳感器的代表廠家是 ABB 公司，該傳感器輸出功率大，過載能力強，可在高溫、潮濕、多塵等惡劣環(huán)境條件下長期工作。 振弦式稱重傳感器的代表廠家是瑞士哈斯勒公司，該公司采用的振弦式稱重傳感器的電子皮帶秤已在國內(nèi)有較多用

10、。這種稱重傳感器的特點如下：重復(fù)性、線性用了低漂移高增益放大器、高分辨率轉(zhuǎn)換器、閃存、電可擦存儲器和非易失性隨機存儲器、通信標(biāo)準(zhǔn)、現(xiàn)場總線等技術(shù)，使其性能和功能都有了很大提高。同時，還應(yīng)用了 一調(diào)制型模數(shù)轉(zhuǎn)換器和印刷電路板的表面安裝等新技術(shù)。這些新技術(shù)的采用，進一步提高了稱重儀表的性能精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)和可靠性，并為儀表小型化創(chuàng)造了有利條件。在性能上已能做到：非線性優(yōu)于0.01%，靈敏度優(yōu)于 0.2，A/D 轉(zhuǎn)換速度一般為 10-30 次，用于動態(tài)稱重時可達 100 以上。功能上包括：各種參數(shù)的設(shè)定，如分度值、量程、校準(zhǔn)參數(shù)、計算系數(shù)、皮重等設(shè)定；零點自動跟蹤；自動去皮

11、；量程自動校準(zhǔn)；動態(tài)檢測；開機自檢和故障診斷；停電數(shù)據(jù)保護；超載報警；非線性補償；滿刻度的0.01，穩(wěn)定性為 0.03，與電阻應(yīng)變式稱重傳感器的指標(biāo)大體相當(dāng)；微小的被測力變化可產(chǎn)生較大的頻率變化，分辨率高達百萬分之一，靈敏度高；直接數(shù)字稱重，被處理的信以及毛重、凈重、皮重和累加值的顯示等。 為了便于與計算機通信，現(xiàn)在的稱重儀表都配有輸入輸出接口，如RS-232c,RS-485.20mA 電流環(huán)、模擬量（ 4.20mA）以及繼電器輸出等。為了適應(yīng)各種應(yīng)用的需要，當(dāng)前稱重儀表發(fā)展的一個趨勢是：通過硬件或軟件的積木式組合來實現(xiàn)不同的功能需求。稱重儀表另一個發(fā)展趨勢是小型化。小型或微型儀表主要用于小號

12、及輸出信號都是數(shù)字信號，處理過程無、轉(zhuǎn)換，運算精確度高；抗電氣干擾、抗振動干擾能力強；傳感器內(nèi)裝有溫度傳感器，溫度補償靈敏度可達 0.0001%。；非位移式測量原理，測量過程幾乎無位移發(fā)生，不影響秤架的校準(zhǔn)狀態(tài)；有動態(tài)過載保護裝置；最多15 臺傳感器可在同一根串行總線上傳遞信號，最大傳送距離為500，因此，這種稱重傳感器是未來傳感器發(fā)展的一個方向。單杠桿式秤架只有一組稱量杠桿，其上支撐了一組或幾組稱量托輥，秤架通常由稱量杠桿、支點、平衡重物等組成，但稱量準(zhǔn)確度不高，精度通常為一。雙杠桿式秤架由對稱的兩組稱量杠桿組成，每組稱量杠桿上支撐了一組或幾組稱量托輥，秤架結(jié)構(gòu)復(fù)雜，秤體龐大，但它的兩組稱量

13、杠桿在稱量過程中可以抵消一些水平分力（如皮帶張力、皮帶跑偏引起的側(cè)向力）對稱量精確度的影響，所以秤架性能穩(wěn)定，稱型生產(chǎn)設(shè)備和移動的稱重系統(tǒng)中，例如定量包裝秤、叉車秤、貨車秤、可移動的臺秤等二、方案設(shè)計目前稱重傳感器的敏感元件的類型主要有應(yīng)變片、電容、電感等。針對敏感元件的不同可以將稱重傳感器的設(shè)計分為下面三種不同的設(shè)計方案：方案一方案一：電阻應(yīng)變式稱重傳感器電阻應(yīng)變式稱重傳感器電阻應(yīng)變式稱重傳感器是基于這樣一個原理：彈性體（彈性元件，敏感梁）在外力作用下產(chǎn)生彈性變形，使粘貼在他表面的電阻應(yīng)變片（轉(zhuǎn)換元件）也隨同精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)產(chǎn)生變形，電阻應(yīng)變片變形后，它的阻值將發(fā)生

14、變化（增大或減?。?，再經(jīng)相應(yīng)的測量電路把這一電阻變化轉(zhuǎn)換為電信號（電壓或電流） ，從而完成了將外力變換為電信號的過程。公式電阻應(yīng)變式傳感器的優(yōu)點是精度高，測量范圍廣壽命長,結(jié)構(gòu)簡單，頻響特性好，能在惡劣條件下工作，易于實現(xiàn)小型化、整體化和品種多樣化等。它的缺點是對于大應(yīng)變有較大的非線性、輸出信號較弱。圖 1 應(yīng)變式稱重原理框圖方案二方案二：電感式稱重傳感器電感式稱重傳感器在電感式壓力傳感器中，首先用彈性元件將被測壓力轉(zhuǎn)換成彈性元件的位移，再用電學(xué)的方法將位移轉(zhuǎn)換成自感或互感系數(shù)的變化，最后由測量電路轉(zhuǎn)換成與被測壓力成正比的電流或電壓輸出。電感式的工作原理是由于磁性材料和磁導(dǎo)率不同，當(dāng)壓力作用

15、于膜片時，氣隙大小發(fā)生改變，氣隙的改變影響線圈電感的變化，處理電路可以把這個電感的變化轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的信號輸出，從而達到測量壓力的目的。該種壓力傳感器按磁路變化可以分為兩種:變磁阻和變磁導(dǎo)。電感式壓力傳感器的優(yōu)點在于靈敏度高、測量范圍大；缺點就是不能應(yīng)用于高頻動態(tài)環(huán)境。 圖 2 電感式稱重原理框圖方案三方案三：電容式重量傳感器電容式重量傳感器電容式傳感器是按照兩塊平行極板之間的極距、面積或介質(zhì)的變化引起相應(yīng)的電容的變化這一原理來稱重的。電容式稱重傳感器主要是基于外加載荷改變電容平行極板的間隙來改變電容這一原理上的，在通過測量電路將電容的變化轉(zhuǎn)換成頻率量。電容式稱重傳感器有著自己獨特的優(yōu)點：能耗低，

16、結(jié)構(gòu)簡單，環(huán)境適應(yīng)力強，電路簡單，輸出數(shù)字信號，簡化了二次儀表的開發(fā)，體積小，重量輕。同時也存精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)在著一些缺點，本身工作電容較低，寄生電容有時大于工作電容，抗干擾能力差。近來科技的發(fā)展，使得電容傳感器能與放大電路、振蕩電路做在一起，減少了干擾和分布電容對之的影響，精度有所提高，使電容器愈來愈受到人們的關(guān)注。圖 3 電容式稱重原理框圖三、電容式傳感器工作原理電容式稱重傳感器的原理：電容式稱重傳感器是把被稱物體重量轉(zhuǎn)換為電容容量變化的一種傳感器。通常為差動變間距電容式稱重傳感器，采用調(diào)頻電路，實際上就是一個具有可變參數(shù)的電容器。當(dāng)被稱重物差動改變電容的間距而使

17、電容發(fā)生變化時，振蕩器的振蕩頻率發(fā)生相應(yīng)變化，在鑒頻器上變換為電壓振幅的變化，經(jīng)放大轉(zhuǎn)換成一個直流的高電平信號輸出，在稱重儀表顯示。這時，可以通過電壓的變化測出相應(yīng)的重量。由式(1)可知，電容量 c 與極板距離 d 不是線性關(guān)系,而是如圖 32 所示的雙曲線關(guān)系。若電容器極板距離由初始值 do 縮小d，極板距離分別為 do 和 do-d，其電容量分別為 C0 和 C1，即00dAC (1)202000001111dddddAdddAddAC (2)改善擊穿條件的辦法是在極板間放置云母片，如圖 33 所示。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)云母的相對介電系數(shù)為空氣的 7 倍，其擊穿電壓不

18、小于 103kvmm、而空氣的擊穿電壓僅為 3kvmm。即使厚度為 o01mm e6 云母片它的擊穿電壓也不小于10kvmm。因此有云母片，極板之間的起始距離可以大大減小。同時式(35)分母中的：項是恒定值它能使電容式傳感器的輸出特性的線性度得到改善，只要云母片厚度選取得當(dāng)，就能獲得較燈的線性關(guān)系。一放電容式傳感器的起始電容在 20 一 30pF 之間，極板距離在 25200Pm 的范圍內(nèi)。最大位移應(yīng)該小于間距的110。這樣可以消除外界因素所造成的測量誤差。四、電路的工作原理圖 4 電容式稱重傳感器原理圖電容式稱重傳感器是把被稱物體重量轉(zhuǎn)換為電容容量變化的一種傳感器。通常為差動變間距電容式稱重

19、傳感器，采用調(diào)頻電路，實際上就是一個具有可變參數(shù)的電容器。若 Cx1=Cx2,因兩電容上疊加的交流電壓值相等但相位相反，則U0=0。若 Cx1Cx2，因兩電容上疊加的交流電壓值不等相位相反，則 U00，即橋路有輸出電壓。當(dāng)被稱重物差動改變電容的間距而使電容量發(fā)生變化時，R1 前的電壓變化，經(jīng)過有 A1 構(gòu)成的濾波器后，由 A2 和 R3，R4，Rf 構(gòu)成的運算放大精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)器進行放大，從而得到一個可用輸出信號，根據(jù)輸出電壓的大小，可以計算出電容的變化量，進而測出所受重量。五、單元電路設(shè)計、參數(shù)計算和器件選擇1、單元電路設(shè)計（1）電容傳感器轉(zhuǎn)換電路圖 5 轉(zhuǎn)換電路

20、圖中 Cx 為電容傳感器，差動接法時，若 Cx1=Cx2,因兩電容上疊加的交流電壓值相等但相位相反，則 U0=0。當(dāng)受到重量作用時，電容的極距會發(fā)生變化，從而導(dǎo)致 Cx1Cx2，因兩電容上疊加的交流電壓值不等相位相反，則 U00，即電路有輸出電壓。通過這種方法，可以將受力導(dǎo)致的電容的變化轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電壓量的變化。（2）濾波電路圖 6 濾波電路電路所示是一個反 相輸入的一階低通濾波器，濾波電路盡可能減小脈動的直流電壓中的交流成分，保留其直流成分，使輸出電壓紋波系數(shù)降低，波形變得比較平滑。(3)運算放大電路圖 7 運算放大電路精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)圖中所示的是一個反相的運算放大

21、電路，其作用主要是要將原輸出信號進行適當(dāng)?shù)姆糯螅员愀玫臏y量。電路的放大倍數(shù)為-Rf/R1，選擇適當(dāng)?shù)碾娮瑁纯傻玫较胍姆糯蟊稊?shù)。2、器件選擇Rl-R4 選用 1/4W 金屬膜電阻器或碳膜電阻器。Rf1 和 Rf2 選用超小型合成碳膜電位器或可變電阻器。Cx1、Cx2 均選用耐壓值為 l6V 的鋁電解電容器，C 選用高頻瓷介電容器或玻璃釉電容器。變壓器和可變電容器 Cx1、Cx2 構(gòu)成電容傳感器轉(zhuǎn)換電路，將電容的改變值轉(zhuǎn)換為電壓值。R1、R2、Rf1、A1 與 C 構(gòu)成一階低通濾波器。R4、R3、Rf2 與 A2構(gòu)成運算放大器。3、元器件清單表 1 元器件清單編號名稱型號數(shù)量Cx1可變電容

22、 1220 u/10V 1Cx2可變電容 2220 u/10V 1C電解電容0.01 u 1R1 固定電阻 1680 1R2 固定電阻 2680 1R3 固定電阻 3680 1R4 固定電阻 4680 1Rf1 可調(diào)電阻 1200K 1Rf2 可調(diào)電阻 2200K 1六、總結(jié)隨著技術(shù)的進步,由稱重傳感器制作的電子衡器已廣泛地應(yīng)用到各行各業(yè),實現(xiàn)了對物料的快速、正確的稱量，特別是隨著微處理機的出現(xiàn)，產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)過程自動化程度化的不斷進步，稱重傳感器已成為過程控制中的一種必須的裝置，從以前不能稱重的大型罐、料斗等重量計測以及吊車秤、汽車秤等計測控制，到混合分配多種原料的配料系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝中的自動檢測和

23、粉粒體進料量控制等，都應(yīng)用了稱重傳感器，目前，稱重傳感器幾乎運用到了所有的稱重領(lǐng)域。精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)雖說電容式傳感器有些缺點，例如輸出具有非線性，寄生電容的影響往往降低傳感器的靈敏度等。但是它的優(yōu)點更為明顯：功率小、阻抗高；靜電引力小、動態(tài)特性良好；和電阻式傳感器相比，電容式傳感器本身發(fā)熱影響?。豢蛇M行非接觸測量；結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強，可以在溫度變化比較大或具有各種輻射的惡劣環(huán)境中工作，因此電容式傳感器具有很好的應(yīng)用前景。在這次設(shè)計過程中，我查閱了好多資料，解決電容式測重的設(shè)計要求，在將電容的變化量轉(zhuǎn)換為頻率變化和頻率/電壓轉(zhuǎn)換的過程中遇到了很大的困難，自己所學(xué)的知識不

24、能解決這個問題，后來通過翻閱相關(guān)知識，才解決了這些問題。雖說這個課程對自己來說有些難度，但是通過它，我提高了自己自學(xué)的能力，了解了一些原來沒有接觸過的知識，收獲還是挺大的。電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點：(1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小，輸人能量也很低。電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個 10-5 N)，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常髙，能 感受 0.001m 甚至更小的位移。(2)溫度穩(wěn)定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料， 又因本身發(fā)熱極小，對穩(wěn)定性影響甚微。(3)結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強，待測體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作。電容式傳感 器結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,可做得非常小巧，以實現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高低溫、強輻射及強 磁場等惡劣的環(huán)境中，也能對帶有磁性的工件進行測量。(4)動態(tài)響應(yīng)好。由于極板間的靜電引