微電子制造概論-第6章-mems

1、機械機械傳感傳感執(zhí)行執(zhí)行部分部分控制部分控制部分電子學電子學MEMS微電子學微電子學?理論基礎(chǔ)：隨著理論基礎(chǔ)：隨著MEMS尺寸的縮小，有些宏觀尺寸的縮小，有些宏觀的物理特性發(fā)生了改變，很多原來的理論基礎(chǔ)的物理特性發(fā)生了改變，很多原來的理論基礎(chǔ)都會發(fā)生變化，如力的尺寸效應、微結(jié)構(gòu)的表都會發(fā)生變化，如力的尺寸效應、微結(jié)構(gòu)的表面效應、微觀摩擦機理等等，面效應、微觀摩擦機理等等，微動力學微動力學微流體力學微流體力學微熱力學微熱力學微摩擦學微摩擦學微光學微光學微結(jié)構(gòu)學微結(jié)構(gòu)學?技術(shù)基礎(chǔ)：設(shè)計、工藝加工技術(shù)基礎(chǔ)：設(shè)計、工藝加工( (高深寬比多層高深寬比多層微結(jié)構(gòu)微結(jié)構(gòu)) )、微裝配工藝、微系統(tǒng)的測量等。、

2、微裝配工藝、微系統(tǒng)的測量等。?應用研究：如何應用這些應用研究：如何應用這些MEMSMEMS系統(tǒng)也是系統(tǒng)也是一門非常重要的學問。人們不僅要開發(fā)各一門非常重要的學問。人們不僅要開發(fā)各種制造種制造MEMSMEMS的技術(shù)，更重要的是如何將的技術(shù)，更重要的是如何將MEMSMEMS器件用于實際系統(tǒng)，并從中受益。器件用于實際系統(tǒng)，并從中受益。?微傳感器：微傳感器：機械類：力學、力矩、加速度、速度、機械類：力學、力矩、加速度、速度、角速度角速度(陀螺陀螺)、位置、流量傳感器、位置、流量傳感器磁學類：磁通計、磁場計磁學類：磁通計、磁場計熱學類：溫度計熱學類：溫度計化學類：氣體成分、濕度、化學類：氣體成分、濕度、

3、PH值和離值和離子濃度傳感器子濃度傳感器生物學類：生物學類：DNA芯片芯片?微執(zhí)行器：微馬達、微齒輪、微泵、微閥門、微執(zhí)行器：微馬達、微齒輪、微泵、微閥門、微開關(guān)、微噴射器、微揚聲器、微諧振器等微開關(guān)、微噴射器、微揚聲器、微諧振器等?微型構(gòu)件：微膜、微梁、微探針、微齒輪、微微型構(gòu)件：微膜、微梁、微探針、微齒輪、微彈簧、微腔、微溝道、微錐體、微軸、微連桿彈簧、微腔、微溝道、微錐體、微軸、微連桿等等?微機械光學器件：微鏡陣列、微光掃描器、微微機械光學器件：微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關(guān)、微可光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關(guān)、微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器等變焦透

4、鏡、微外腔激光器、光編碼器等?真空微電子器件：它是微電子技術(shù)、真空微電子器件：它是微電子技術(shù)、MEMS技技術(shù)和真空電子學發(fā)展的產(chǎn)物，具有極快的開關(guān)術(shù)和真空電子學發(fā)展的產(chǎn)物，具有極快的開關(guān)速度、非常好的抗輻照能力和極佳的溫度特性。速度、非常好的抗輻照能力和極佳的溫度特性。主要包括場發(fā)射顯示器、場發(fā)射照明器件、真主要包括場發(fā)射顯示器、場發(fā)射照明器件、真空微電子毫米波器件、真空微電子傳感器等空微電子毫米波器件、真空微電子傳感器等?電力電子器件：包括利用電力電子器件：包括利用MEMS技術(shù)制作的垂技術(shù)制作的垂直導電型直導電型MOS(VMOS)器件、器件、V型槽垂直導電型槽垂直導電型型MOS(VVMOS)

5、器件等各類高壓大電流器件器件等各類高壓大電流器件微陀螺儀微陀螺儀MirrorSupportStructureSubstrate HingesTorsion Hinges1st DOF2nd DOFForce-redirecting Linkage A B C D 一般意義上的系統(tǒng)集成芯片一般意義上的系統(tǒng)集成芯片 廣義上的系統(tǒng)集成芯片廣義上的系統(tǒng)集成芯片電、光、電、光、聲、熱、聲、熱、磁力等外磁力等外界信號的界信號的采集采集各各種傳感器種傳感器執(zhí)執(zhí)行行器器、顯顯示示器器等等信息輸入信息輸入與 模與 模 / 數(shù)數(shù)傳輸傳輸信信息息處處理理信息輸出信息輸出與 數(shù)與 數(shù) / 模模轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換信息存儲信息存儲The system-on-a-chip of the future?微電子器件、納電子器件、自旋電子器件、微電子器件、納電子器件、自旋電子器件、光電子器件、光電子器件、MEMS器件器件微電子微電子納電子納電子宏電子宏電子MEMS大機器加工大機器加工小機器，小小機器，小機器加工微機器加工微機器機器微機械微機械用微電子加用微電子加工技術(shù)工技術(shù)X光鑄模光鑄模+壓壓塑技術(shù)塑技術(shù)(LIGA)從頂層向下從頂層向下從底層向上從底層向上分子和原子級加工分子和原子級加工國防、航空航天、生物醫(yī)國防、航空航天、生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)控、汽車都有學、環(huán)境監(jiān)控、汽車都有廣泛應用廣泛應用MEM