各種真空泵簡介

1、真空泵簡介設(shè)計(jì)三室真空泵v真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。v可定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)等方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速可從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。v真空泵廣泛用于機(jī)械、化工、低溫設(shè)備、電子行業(yè)、冶金、石油、礦山等領(lǐng)域。真空泵的性能指標(biāo)v抽速 單位時(shí)間內(nèi)，真空泵吸入口在吸入狀態(tài)下的氣體體積量（吸入壓力和溫度下的體積流量），單位是m/h、 m/min。 抽速與吸入壓力有關(guān)，吸入壓力愈低，抽氣速率愈小，直至極限真空時(shí)，抽氣速率為零。真空泵的性能指標(biāo)v極限壓力 （單位：Pa） 泵裝有標(biāo)準(zhǔn)

2、試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓力。即真空泵的入口端經(jīng)過充分抽氣后所能達(dá)到的最低的穩(wěn)定的壓力。 真空泵分類v按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。 粗真空： 76010托； 低真空： 1010-3托； 高真空： 10-310-8托； 超高真空：10-810-12托， 極高真空：10-12托以下 （1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760托，1托=133Pa）真空泵分類按其工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型。v氣體輸送泵氣體輸送泵 使氣體不斷的吸入和排出，以達(dá)到抽氣目的。v氣體捕集泵氣體捕集泵 使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目

3、，達(dá)到抽氣目的。氣體捕集泵1、吸附泵、吸附泵主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣。2、吸氣劑泵、吸氣劑泵利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。氣體捕集泵有以下幾種型式：氣體捕集泵3、吸氣劑離子泵、吸氣劑離子泵使被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式：(1)蒸發(fā)離子泵：吸氣材料以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁，吸附泵內(nèi)被電離的氣體，以實(shí)現(xiàn)抽氣。(2)濺射離子泵：吸氣材料由陰極連續(xù)濺射散出來，吸附泵內(nèi)被電離的氣體，以實(shí)現(xiàn)抽氣。4、低溫泵、低溫泵利用低溫表面捕集

4、氣體的真空泵。 氣體輸送泵 1、旋片式真空泵旋片式真空泵 3、往復(fù)式真空泵 5、滑閥式真空泵 7、干式真空泵 9、分子真空泵11、復(fù)合式真空泵13、氣體噴射泵 15、擴(kuò)散泵等。 2、水環(huán)式真空泵水環(huán)式真空泵 4、定片式真空泵 6、余擺線真空泵 8、羅茨真空泵10、牽引分子泵12、水噴射真空泵14、蒸汽噴射泵真空泵油真空泵油v極低的蒸氣壓極低的蒸氣壓 這是真空泵油的最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對(duì)于擴(kuò)散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。 v合適的粘度和良好的粘溫特性合適的粘度和良好的粘溫特性 真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合

5、適的粘度和粘溫特性。 真空泵油作為獲得真空的介質(zhì)，還對(duì)機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤滑、冷卻和密封作用。對(duì)于真空泵油，有如下要求： 真空泵油真空泵油v良好的熱氧化安定性良好的熱氧化安定性 真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。v較高的閃點(diǎn)較高的閃點(diǎn) 主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。 真空泵油真空泵油v良好的抗腐蝕性和抗乳化性良好的抗腐蝕性和抗乳化性 真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會(huì)與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕

6、，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。 v較低的極限壓力較低的極限壓力 極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在最低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。真空泵選型v1、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。 v2、針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)考慮在泵的進(jìn)氣管路安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。 v3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 選擇真空泵時(shí)的注意事項(xiàng)：真空泵選型v4、正確地組合真空泵。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要

7、前級(jí)泵，因此需要把泵組合起來使用。v5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)選各種無油泵。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施。真空泵選型v7、真空泵排出的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。 v8、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。 v9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。謝 謝！旋片式真空泵v旋片泵是一種油封式機(jī)械真空泵，是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。工作壓強(qiáng)范圍為1013251.3310-2Pa，屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用

8、，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。v旋片泵多為中小型泵，有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度。v已廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。單級(jí)旋片泵 轉(zhuǎn)子偏心地裝在定子腔內(nèi)，外圓與定子的內(nèi)表面相切； 兩塊旋片借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內(nèi)壁，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)； 當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，始終沿定子的內(nèi)壁滑動(dòng)。旋片泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。單級(jí)旋片泵 當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A容積增大，壓強(qiáng)不斷降低，當(dāng)A內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng)，氣體不斷被吸入，處于吸氣過程。 B腔的

9、容積逐漸減小，壓力不斷地增大，處于壓縮過程。 與排氣口相通的空間C容積減小，壓強(qiáng)升高，當(dāng)氣體的壓強(qiáng)大于排氣壓強(qiáng)時(shí)，氣體推開排氣閥，穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。泵連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，不斷地進(jìn)行著吸氣、壓縮、排氣過程，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個(gè)部分。單級(jí)旋片泵 旋片泵的排氣閥浸在油里，以防止大氣流入泵中，油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進(jìn)入泵腔，使泵腔內(nèi)所有運(yùn)動(dòng)的表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封，同時(shí)油還充滿了一切有害空間，以消除它們對(duì)極限真空的影響。單級(jí)旋片泵v (1)泵的結(jié)構(gòu)上存在有害空間，該空間中的氣體是無法排除的。當(dāng)旋片轉(zhuǎn)過排氣

10、口后，這一部分氣體又被壓縮，經(jīng)過轉(zhuǎn)子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間，所以每次總有些氣體排不盡。 單級(jí)旋片泵一般極限壓力只能達(dá)到1.3Pa(個(gè)別可達(dá)0.1Pa)，其極限壓力不能再降低，主要由于：單級(jí)旋片泵v (2)由于在泵工作時(shí)，泵腔的吸氣空間與排氣空間存在著一定的壓力差。當(dāng)排氣空間的氣體被壓縮得很小時(shí)，它的壓力很高，會(huì)通過各種可能的途徑突破到吸氣空間去，使泵真空度下降。v (3)泵油在泵體內(nèi)循環(huán)流動(dòng)過程中會(huì)溶解進(jìn)大量氣體和蒸氣。在吸氣側(cè)，因?yàn)閴毫^低，溶解的氣體又會(huì)跑出來，使泵的真空度不易提高。 為了提高泵的極限真空度，除了提高泵體、轉(zhuǎn)子、旋片的加工精度，盡量減少裝配間隙和有害空間以外，最有效的

11、辦法是將兩只單級(jí)泵串接起來，組成雙級(jí)泵。雙級(jí)旋片泵 氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入室，當(dāng)進(jìn)入的氣體壓力較高時(shí)，氣體經(jīng)室壓縮，壓強(qiáng)急速增大，部分從高級(jí)排氣閥排出，部分經(jīng)過通道進(jìn)入室，在室被壓縮，從低級(jí)排氣閥排出； 當(dāng)進(jìn)入室的氣體壓力較低時(shí)，雖經(jīng)室壓縮，也推不開高級(jí)排氣閥，氣體全部經(jīng)通道進(jìn)入室，經(jīng)室的繼續(xù)壓縮，由低級(jí)排氣閥排出。雙級(jí)旋片泵由兩個(gè)工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，室是低真空級(jí)，室是高真空級(jí)。雙級(jí)旋片泵v 泵工作一段時(shí)間后，由于高真空級(jí)進(jìn)氣時(shí)壓力大大降低，其出口壓力也很小，這樣室進(jìn)出氣口的壓力差也較小，被壓縮氣體返回的數(shù)量也相應(yīng)減少；v同時(shí)，室中易蒸發(fā)的油分子不斷被前級(jí)室抽走，油蒸氣的分壓減少

12、了，因而雙級(jí)泵的油污染比單級(jí)小，極限真空度將大大提高。國內(nèi)雙級(jí)旋片泵的極限壓力可10-2pa，國外有的泵可達(dá)到10-3Pa。旋片式真空泵v旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.3310-1Pa下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。v旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的、對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。 旋片泵-氣鎮(zhèn)閥v大氣中都含有一定量的水蒸氣，泵工作時(shí)所抽除的氣體多是某些可凝性氣體和永久性氣體的混合物。v在壓縮過程中，如果可凝性

13、氣體的分壓力超過了泵溫下的飽和蒸氣壓，它們就會(huì)凝結(jié)并與泵油混合，隨油一起循環(huán)。當(dāng)它們返回到高真空端時(shí)又重新蒸發(fā)變成蒸汽。v隨著泵的運(yùn)轉(zhuǎn)，凝結(jié)物不斷增加，使泵的極限真空和抽速降低。當(dāng)抽除的氣體中濕度較大時(shí)，泵油的污染更加嚴(yán)重，使泵的密封、潤滑和冷卻性能變差，以至于經(jīng)常更換新油。旋片泵-氣鎮(zhèn)閥v氣鎮(zhèn)法是防止蒸汽凝結(jié)從而避免油污染的有效方法。為了從真空系統(tǒng)或真空容器中抽除可凝性氣體，油封式機(jī)械泵普遍設(shè)有氣鎮(zhèn)裝置。v這種方法是將室溫干燥的空氣經(jīng)氣鎮(zhèn)孔進(jìn)入泵的壓縮腔中與被抽氣體相混合。當(dāng)把這種混合氣體壓縮到排氣壓力時(shí)，由于摻氣作用使得其中的蒸汽分壓能保持在泵溫狀態(tài)的飽和蒸氣壓以下，因而蒸汽不會(huì)凝結(jié)而與其

14、它氣體一起被排至泵外。被抽氣體中蒸汽的含量越多，摻入的干燥氣體量就需越多。旋片泵-氣鎮(zhèn)閥v 采取氣鎮(zhèn)方法，雖然達(dá)到了排除蒸氣的目的，但由于摻氣增加了大氣突破漏入到吸氣端的可能性，因此對(duì)泵的抽速與極限真空都有影響。泵在摻氣過程中，其極限真空要比不摻氣時(shí)下降12個(gè)數(shù)量級(jí)。v一般在使用時(shí)，先使用氣鎮(zhèn)閥摻氣排除可凝性氣體。等到蒸氣基本抽除后，即可關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，繼續(xù)抽氣，經(jīng)過一定時(shí)間后，就可達(dá)到不摻氣時(shí)泵的極限真空了。旋片泵-氣鎮(zhèn)閥v氣鎮(zhèn)法主要是防止泵在壓縮過程中蒸氣的凝結(jié)，所以對(duì)那些從氣相狀態(tài)就能溶解在泵油中的蒸氣的抽除效果就比較差。v加裝了氣鎮(zhèn)裝置的機(jī)械真空泵，還有自凈化泵油的作用：當(dāng)泵油被少量凝結(jié)液

15、污染后，只要將泵入口封死，然后打開氣鎮(zhèn)閥，經(jīng)一定時(shí)間抽氣運(yùn)轉(zhuǎn)，泵油便能恢復(fù)原來的性能。水環(huán)式真空泵v泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)，由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。v水環(huán)泵是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為20004000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270670Pa。水環(huán)泵水環(huán)泵-工作原理工作原理v泵體中裝有適量水作為工作液。葉輪順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被拋向四周，形成一個(gè)近似等厚度的封閉圓環(huán)，水環(huán)的下部分內(nèi)表面與葉輪輪轂相切，上部內(nèi)表面與葉片頂端接觸。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉片分成若干個(gè)小腔。v如以葉輪下部0為起點(diǎn)，葉輪在旋轉(zhuǎn)前

16、180時(shí)小腔容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，吸氣終了小腔與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮，當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。 水環(huán)泵水環(huán)泵-實(shí)際工作過程實(shí)際工作過程u 葉輪2和泵殼1形成水環(huán)3和工作腔5；u 工作腔容積由小變大，由大變小，構(gòu)成壓縮過程；u 被抽氣體由入口4和進(jìn)氣管8進(jìn)入；u 氣體由排氣口6和排氣管7排出u 氣體和水經(jīng)7進(jìn)入水箱10，水被回收；u 氣體經(jīng)管道9排入大氣。水環(huán)泵水環(huán)泵-能量傳輸過程能量傳輸過程u液體被葉輪帶動(dòng)后，獲得動(dòng)能并形成緊貼于泵腔的液環(huán)；u液體在泵腔內(nèi)回轉(zhuǎn)，在吸氣側(cè)不斷被加速，并吸入氣體；u在向排氣側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)的

17、過程中，液體經(jīng)歷了加速減速的過程， 動(dòng)能經(jīng)歷了增加降低，勢(shì)能則降低增加；u在排氣側(cè)，氣體被壓縮，而液體增加的勢(shì)能則被傳遞給氣 體，以抵抗氣體膨脹壓力；u壓縮的氣體在排氣側(cè)排出；u液環(huán)剩余的能量將會(huì)推動(dòng)葉輪旋轉(zhuǎn)。水環(huán)泵水環(huán)泵-基本類型基本類型v單級(jí)泵：只有一個(gè)葉輪，為液環(huán)泵最常見的形式；v兩級(jí)泵：利用心軸將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)而成（非泵管道的串聯(lián)）；按照葉輪個(gè)數(shù)分類：兩級(jí)泵的極限真空度高，在較低壓力下仍具有較大抽速，所以兩級(jí)泵更適合較高真空條件下的需要。水環(huán)泵水環(huán)泵-基本類型基本類型v液環(huán)真空泵：進(jìn)口為真空狀態(tài)，出口為大氣壓力，主要用于粗低真空獲得，化工行業(yè)的脫酸、脫氣等。v液環(huán)壓縮機(jī)：進(jìn)口為大氣壓力

18、，出口高于大氣壓力，主要用于化工行業(yè)介質(zhì)的輸送。v介于真空泵和壓縮機(jī)之間的液環(huán)泵：進(jìn)口為真空狀態(tài)，出口為壓縮狀態(tài)，用于煤礦瓦斯氣體抽除和火爐煤氣的抽送。按照吸、排氣狀態(tài)分類：水環(huán)泵水環(huán)泵-基本類型基本類型v單作用：葉輪與泵體呈單偏心結(jié)構(gòu)，葉輪旋轉(zhuǎn)一次進(jìn)行一次吸、排氣。v雙作用：葉輪與泵體呈雙偏心結(jié)構(gòu)，葉輪旋轉(zhuǎn)一次進(jìn)行兩次吸、排氣。按照作用方式分類：單作用雙作用水環(huán)泵水環(huán)泵-優(yōu)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)u結(jié)構(gòu)簡單，容易加工。操作簡單，維修方便。u結(jié)構(gòu)緊湊，泵一般與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，轉(zhuǎn)數(shù)較高。用較小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得較大的排氣量。u泵腔內(nèi)無金屬摩擦表面，無須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤滑。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間密封可直接由水封來完成。u泵腔

19、內(nèi)壓縮氣體過程溫度變化很小，可認(rèn)為是等溫壓縮，故可以抽除易燃、易爆的氣體。u由于無排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體及氣水混合物。水環(huán)泵水環(huán)泵-缺點(diǎn)缺點(diǎn) (1)效率低，一般在30左右，較好的可達(dá)50。 (2)真空度低。這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。水環(huán)泵水環(huán)泵-大氣噴射機(jī)組大氣噴射機(jī)組v對(duì)于水環(huán)泵，即使采用雙級(jí)泵，極限真空度的提高也只是在一定范圍之內(nèi)，這是因?yàn)槭艿剿娘柡驼羝麎旱南拗?。水環(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓，如果考慮氣體返流等因素的影響，實(shí)際上水環(huán)泵的極限壓力顯著比該水溫上的飽和蒸汽壓高。v為了提高前級(jí)泵的極限真空度，可以將

20、水環(huán)泵與大氣泵組合使用。水環(huán)-大氣噴射機(jī)組可以有效的減低水環(huán)泵的極限壓力，而且壓力較低條件下抽速明顯增加。水環(huán)泵水環(huán)泵-工作參數(shù)工作參數(shù)l單級(jí)泵：極限壓力2103Pa 8103Pa；l雙級(jí)泵：極限壓力2103Pa 4103Pa；l大氣噴射-水環(huán)泵：極限壓力0.27103Pa 1103Pa；l抽速：0.25m/min 500m/min；l工作溫度：被抽氣體20 40為宜。水環(huán)泵水環(huán)泵-選型選型v盡量在高效區(qū)工作，避免在臨界真空度或排氣壓力區(qū)域工作；v作為真空泵，盡量選擇單作用泵；v可考慮連接大氣噴射泵來擴(kuò)大液環(huán)泵使用范圍；v作為壓縮機(jī)，選擇雙作用泵較合適。3、往復(fù)式真空泵 往復(fù)式真空泵(又稱活塞

21、式真空泵)屬于低真空獲得設(shè)備,靠活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣。 工作時(shí)，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵抽氣量較大，抽氣速率范圍為每小時(shí)4520000立方米，單級(jí)泵極限壓力約為4102103Pa，雙級(jí)泵可達(dá)1Pa。3、往復(fù)式真空泵 往復(fù)泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結(jié)晶、真空過濾等方面抽除氣體。在泵的吸氣口處若安裝冷凝器，可抽除含水蒸汽的氣體；若安裝過濾器，則可抽除含塵氣體。4、定片式真空泵 在圓柱泵腔內(nèi)有旋轉(zhuǎn)的偏心轉(zhuǎn)子，在泵缸體上裝有可以上下滑動(dòng)的定片，借助于彈簧的作用壓向轉(zhuǎn)子，將泵腔分隔成A、B兩個(gè)空間。隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)角度不同，兩個(gè)空

22、間體積交替增大或縮小，從而完成吸氣和排氣作用。4、定片式真空泵 定片式真空泵抽速較小，有單級(jí)、雙級(jí)之分，雙級(jí)泵的極限真空可達(dá)10-1Pa。泵的結(jié)構(gòu)簡單、使用壽命較長和檢修容易，但由于其工作性能不如旋片泵，所以目前已經(jīng)很少生產(chǎn)和應(yīng)用。5、滑閥式真空泵 泵體中裝有滑閥環(huán)(4)，滑閥環(huán)內(nèi)裝有偏心輪(3)，偏心輪固定在軸(2)上，軸與泵體中心線相重合。在滑閥環(huán)上裝有長方形的滑閥桿(5)，它能在半圓形滑閥導(dǎo)軌(7)中上下滑動(dòng)及左右擺動(dòng)，因此泵腔被滑閥環(huán)和滑閥桿分隔成A、B兩室。 泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，由于A、B兩室容積周期性地改變，使被抽氣體不斷進(jìn)入逐漸增大容積的吸氣腔；同時(shí)，在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體

23、受壓縮，并通過排氣閥排出泵外。NoImage 滑閥泵主要由泵體及在其內(nèi)部作偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的滑閥、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成。5、滑閥式真空泵v滑閥泵亦分單級(jí)泵和雙級(jí)泵，有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)形式。雙級(jí)泵是由兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來的，它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個(gè)整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。v單級(jí)泵的極限壓力為0.41.3Pa；雙級(jí)泵的極限壓力為610-2 10-1Pa。一般抽速超過150L/s的大泵都采用單級(jí)形式。這種泵可單獨(dú)使用，也可作其它泵的前級(jí)泵用。6、余擺線真空泵 當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，偏心輪即帶動(dòng)內(nèi)齒輪(即轉(zhuǎn)子)繞小齒輪作行星運(yùn)動(dòng)，泵體點(diǎn)永遠(yuǎn)與轉(zhuǎn)子表面接觸，將

24、泵腔分隔成A和B兩室。轉(zhuǎn)子逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)， A室內(nèi)壓力逐漸降低,氣體從吸氣口不斷被吸進(jìn)，同時(shí)B室內(nèi)的氣體逐漸被壓縮，通過排氣閥排出泵外。 余擺線型轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作行星運(yùn)動(dòng)，使工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣。在泵腔內(nèi)各運(yùn)動(dòng)件表面間用油膜密封，所以這種泵是一種油封式機(jī)械真空泵。它主要由泵體和轉(zhuǎn)子構(gòu)成。轉(zhuǎn)子的型線為余擺線，泵腔型線為轉(zhuǎn)子型線的外包絡(luò)線。轉(zhuǎn)子上的內(nèi)齒輪與固定在泵蓋上的小齒輪嚙合。6、余擺線真空泵v1) 運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、振動(dòng)小，尺寸小、抽速大。 v2) 在低壓范圍內(nèi) (1 l00Pa) 其抽速特性曲線優(yōu)于滑閥泵。 v3) 對(duì)被抽氣體中含有一定量的粉塵及小顆粒等不太敏感。 v4) 適應(yīng)較高溫度的工作環(huán)境，可通過溫控裝置使泵腔保持較高溫度 ( 即成為余擺線熱泵 ) ，以抽除大量的可凝性水蒸汽。 從結(jié)構(gòu)原理和使用性能來看，余擺線泵與同類型泵相比有很多優(yōu)點(diǎn)： 由于余擺線泵在 1 l0Pa 壓力范圍內(nèi)仍具有很大的抽速，因此該泵適用于真空行業(yè)中的 大排氣量裝置。目