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1、各種晶體管的運(yùn)作機(jī)理晶體三極管(BIT)金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)管(MOSFET)隧道場(chǎng)效應(yīng)管(TFET)晶體三極管 晶體三極管中有兩種帶有不同極性電荷的載流子參與導(dǎo)電,故稱之為雙極型晶體管(BJT).又稱為半導(dǎo)體三極管。 晶體管的結(jié)構(gòu) 根據(jù)不同的摻雜方式在同一個(gè)硅片上制造出三個(gè)摻雜區(qū)域,并形成兩個(gè)PN結(jié),就形成晶體管。晶體三極管 采用平面工藝制成的NPN型硅材料晶體管如圖所示,位于中間的P區(qū)成為基區(qū),它很薄且雜質(zhì)濃度很低;位于上層的N區(qū)是發(fā)射區(qū),摻雜濃度很高;位于下層的N區(qū)是集電區(qū),面積很大。晶體三極管EI散運(yùn)動(dòng)形成發(fā)射極電流發(fā)射結(jié)加正向電壓,擴(kuò). 1BI基極電流與空穴的復(fù)合運(yùn)動(dòng)形成擴(kuò)散到基區(qū)
2、的自由電子. 2CI移運(yùn)動(dòng)形成集電極電流集電結(jié)加反向電壓,漂. 3BCEIIIBCII /BCII /晶體三極管 場(chǎng)效應(yīng)管(FET) 場(chǎng)效應(yīng)管是利用輸入回路的電場(chǎng)效應(yīng)來(lái)控制輸出回路電流的一種半導(dǎo)體器件。 由于它僅靠半導(dǎo)體中的多數(shù)載流子導(dǎo)電,又稱為單極型晶體管金屬氧化物半導(dǎo)體(MOSFET)利用柵極電壓來(lái)控制漏極電流種類:按導(dǎo)電溝道分為P溝道和N溝道按柵極電壓幅值分為:耗盡型和增強(qiáng)型金屬氧化物半導(dǎo)體(MOSFET) N溝道增強(qiáng)型MOS管作為例子 結(jié)構(gòu)低摻雜的P型硅片為襯底,利用擴(kuò)散工藝制作兩個(gè)高摻雜的N區(qū),引出源極s和漏極d,半導(dǎo)體上制作一層二氧化硅絕緣層,再在二氧化硅上制作一層金屬鋁,引出電極
3、,作為柵極g,通常將襯底和源極接在一起使用。 柵極和襯底各相當(dāng)于一個(gè)極板,中間是絕緣層,形成電容。當(dāng)柵-源電壓變化時(shí),將改變襯底靠近絕緣層處感應(yīng)電荷的多少,從而控制漏極電流的大小金屬氧化物半導(dǎo)體(MOSFET) 工作原理 當(dāng)柵-源之間不加電壓時(shí),即使漏源之間加電壓,也不會(huì)有漏極電流。.-.-,00)()()(22GSDDSDDSDSthGSGDDSDDSDSthGSGSGSthGSGSGSDSiuiuuUuuiuusdUuuUNuSiOSiOuu幾乎僅決定于區(qū),而變化,管子進(jìn)入恒流的增大幾乎不因流的阻力。從外部看,于克服夾斷區(qū)對(duì)漏極電的增大部分幾乎全部用延長(zhǎng)。而且繼續(xù)增大,夾斷區(qū)隨之。如果現(xiàn)夾
4、斷點(diǎn),稱為預(yù)夾斷時(shí),溝道在漏極一側(cè)出增大到使所示。一旦漏方向逐漸變窄,如圖線性增大,溝道沿源的增大使較小時(shí),當(dāng)產(chǎn)生一定的漏極電流。之間加正向電壓,則將一個(gè)確定值時(shí),若在的是大于電溝道電阻愈小。當(dāng)愈大,反型層愈厚,導(dǎo)源電壓為開(kāi)啟電壓溝道剛剛形成的柵源之間的導(dǎo)電溝道。使層構(gòu)成了漏稱為反型層,這個(gè)反型型薄層一個(gè)絕緣層之間,形成由電子吸引到耗盡層和,另一方面將襯底的自時(shí),一方面耗盡層增寬增大形成耗盡層。當(dāng)不能移動(dòng)的負(fù)離子區(qū),一側(cè)的空穴,使之剩下排斥襯底靠近集正電荷,。但是柵極金屬層將聚的存在,柵極電流為零時(shí),由于且當(dāng)金屬氧化物半導(dǎo)體(MOSFET) 特征曲線與電流方程 下圖a,b分別為N溝道增強(qiáng)型MO
5、S管的轉(zhuǎn)移特性曲線和輸出特性曲線 MOS管有三個(gè)工作區(qū)域:可變電阻區(qū),恒流區(qū)及夾斷區(qū)隧道場(chǎng)效應(yīng)晶體管(TFET) 結(jié)構(gòu)示意圖圖1所示分別為典型的N型和P型TFET結(jié)構(gòu)示意圖。由圖看出,對(duì)于N型TFET來(lái)說(shuō),其源區(qū)為P型重?fù)诫s,溝道區(qū)為本征摻雜或弱N型摻雜,漏區(qū)仍為N型重?fù)诫s,而P型TFET則正好相反。隧道場(chǎng)效應(yīng)晶體管(TFET) 普通MOSFET的工作原理是利用外加?xùn)烹妷盒纬傻臇艠O電場(chǎng)引起器件溝道區(qū)由耗盡狀態(tài)逐步變?yōu)榉葱蜖顟B(tài),從而導(dǎo)致器件由關(guān)斷轉(zhuǎn)為導(dǎo)通。而TFET則是利用柵電壓控制半導(dǎo)體中載流子的帶-帶隧穿過(guò)程(Band to band tunneling)隧道場(chǎng)效應(yīng)晶體管(TFET) 以N型
6、TFET為例,當(dāng)沒(méi)有外加?xùn)烹妷簳r(shí),由于器件源區(qū)是P型重?fù)诫s,源區(qū)的費(fèi)米帶尾效應(yīng)被溝道區(qū)的禁帶切斷,其導(dǎo)帶中的電子濃度基本可以忽略。而由于源區(qū)與溝道區(qū)之間存在耗盡區(qū),溝道區(qū)費(fèi)米能級(jí)處于禁帶中間,其價(jià)帶中的電子沒(méi)有幾率隧穿到溝道區(qū),此時(shí)TFET處于關(guān)斷狀態(tài),且其關(guān)態(tài)電流遠(yuǎn)小于普通的MOS器件,當(dāng)外加?xùn)烹妷褐饾u增大時(shí),溝道區(qū)的能帶不斷下降,當(dāng)溝道區(qū)的導(dǎo)帶彎曲到源區(qū)的價(jià)帶以下時(shí),兩邊的能帶對(duì)齊,就會(huì)出現(xiàn)從源區(qū)隧穿到溝道區(qū)的凈電流,器件也在數(shù)案件由關(guān)斷狀態(tài)進(jìn)入到導(dǎo)通狀態(tài),所以在理論上說(shuō)TFET器件具有很好的亞閾值特性電流主要取決于隧穿強(qiáng)度。網(wǎng)格劃分及半導(dǎo)體結(jié)構(gòu) 如下圖1 紅色部分是P型半導(dǎo)體,綠色部分是N型半導(dǎo)體,其余部分是絕緣體。硅的相對(duì)介電常數(shù)是11.9,長(zhǎng)度單位為nm。 P型半導(dǎo)體(20,14,14)到(58,15.5,15.5) N型半導(dǎo)體部分是(0,14,14)到(20,15.5,15.5)和(58,14,14)到(78,15.5 15.5)。網(wǎng)格劃分及半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)00 y/nmx/nm圖1 電壓設(shè)置見(jiàn)下圖2:
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