PCB設(shè)備蝕刻補(bǔ)償原理及應(yīng)用

1、 蝕刻補(bǔ)償原理及應(yīng)用1、蝕刻補(bǔ)償原理什麼是“間隔噴淋蝕刻”的意思？為什麼“間隔噴淋蝕刻”能給我們一個(gè)更加均勻的蝕刻效果呢？當(dāng)蝕刻噴淋到上板面的時(shí)候，板邊緣的藥水流動(dòng)要更快於板中間，這樣導(dǎo)致了在上板面形成一種“魂凝”狀態(tài)，從而阻礙了噴淋和降低了蝕刻反映速度，導(dǎo)致在上板面形成一個(gè)“銅山”（如圖一所示），為了得到更好的蝕刻品質(zhì)，這些“銅山”應(yīng)該要除去，下面圖表會(huì)解釋這個(gè)過程。所謂的“銅山”已經(jīng)使用3D圖表顯示，同時(shí)使用等高線分開。 使用3D圖像除去“銅山”紅色區(qū)域=第一根噴管（9個(gè)噴嘴黃色區(qū)域=第二根噴管（8個(gè)噴嘴）淺藍(lán)色區(qū)域=第三根噴管（7個(gè)噴嘴）等等. 為了補(bǔ)償上板面“混凝”的影響，設(shè)計(jì)了一個(gè)特

2、殊的噴淋系統(tǒng)，這個(gè)系統(tǒng)在工作方向垂直方向上安裝了一些噴管，每一根噴管可以各自的控制其開關(guān)，而且每一根噴管安裝了不同數(shù)量的噴嘴，噴嘴的形狀安排成一個(gè)三角形。正常情況下按照以下排列：第一根噴管安裝了9個(gè)噴嘴，第二根噴嘴安裝了8個(gè)噴嘴，第三根噴管安裝了7個(gè)噴嘴，如此類推，直到最後一根噴管安裝3到4個(gè)噴嘴為止，如圖2所示。由於可以選擇每一個(gè)噴管的開、關(guān)，在板面上的“銅山”可以被一層一層的除掉。間隔噴淋缸內(nèi)噴管的噴嘴被排列為V形的形狀下面給了我們關(guān)於“間隔噴淋”程式更詳細(xì)的解釋：圖例R1 = 第一根噴管R2 = 第二根噴管等等Cu1.5 = 1.5um銅厚區(qū)域Cu3.0 = 3.0um銅厚區(qū)域感應(yīng)器 =

3、 監(jiān)控板的位置以上圖解顯示了有6根噴管的“間隔噴淋”系統(tǒng)，在板面上的橢圓形表示了板面上殘銅（銅山）的不同的厚度。當(dāng)板走進(jìn)時(shí)，有8個(gè)噴嘴的第一根噴管被開動(dòng)，目的是蝕刻掉1.5um的銅厚，意味著原來1.5um的區(qū)域被蝕刻為0um，3un的區(qū)域蝕刻為1.5um，如此類推。在第一個(gè)噴管到達(dá)板後端以前，第二根噴管已經(jīng)被開動(dòng)，實(shí)際上是在1.5um銅厚的區(qū)域剛好到達(dá)第二根噴管時(shí)開動(dòng)的。第三根噴管是在下一層銅層到達(dá)時(shí)開動(dòng)，如此類推，一直到裝有3個(gè)噴嘴的最後一根噴管噴完為止，這意味著這個(gè)系統(tǒng)可以根據(jù)實(shí)際蝕刻掉板面上最後一層銅層，而噴灌管的開、關(guān)選擇可以在PLC控制的PC上設(shè)定。2、蝕刻補(bǔ)償控制與操作（手動(dòng)機(jī)）2

4、.1控制板面之操作鍵操作鍵功能備註HELP顯示HELP內(nèi)文Help指示燈發(fā)亮?xí)r,表示有內(nèi)文訊息ENTER輸入確認(rèn)及完成輸入ACK確認(rèn)確認(rèn)錯(cuò)誤訊息ESC解除/返回/取消1. 在未按ENTER前,除消輸入.2. 返回上一頁或顯示板面3. 離開Help內(nèi)文移動(dòng)輸入/浮標(biāo)/顯示上下左右箭頭表示移動(dòng)方向 +SHIFT選擇其他輸入符號(hào)/文字如選擇蝕刻補(bǔ)償噴淋狀態(tài):on(長開), off(長關(guān)), Int(間歇噴淋)2.2概覽蝕刻補(bǔ)償各噴管狀況Over-view按 鍵進(jìn)入概覽板面(在概覽板面內(nèi),可視察噴管開關(guān)狀況) 12345678910 1234 噴管號(hào) 噴管開關(guān)狀況: 上噴管開啟 上噴管關(guān)閉 下噴管開啟

5、 下噴管關(guān)閉 2.3閱覽工作狀態(tài)信息Mes-sages按 鍵進(jìn)入信息閱覽板面(在信息板面內(nèi),可閱覽工作狀態(tài)信息) 工作信息 信息編號(hào) 故障信息 信息編號(hào)S #003Not all doors and covers are closed.B #000No messages present.Press <ENTER>. 離開工作信息板面,需按下<ENTER>鍵 與工作信息不同,故障信息會(huì)閃動(dòng),直致按下 但必須確認(rèn)或修復(fù)排除所有故障信息 <ACK>鍵確認(rèn)或修復(fù)排除故障 如有多個(gè)信息可按 閱讀其他信息 幫助排除故障內(nèi)文 H S #003Please close al

6、l doors and covers.按<HELP>鍵閱讀內(nèi)文,離開按<ESC>鍵2.4蝕刻補(bǔ)償參數(shù)輸入PIPE按 鍵進(jìn)入設(shè)定補(bǔ)償參數(shù)板面在板面首頁可輸入零點(diǎn)修正值及蝕刻補(bǔ)償類型General settings Offset: 10 cm Mode: Innerlayer >> 零點(diǎn)修正為+10厘米 蝕刻補(bǔ)償類型為內(nèi)層補(bǔ)償(Outsidelayer外層補(bǔ)償) 下頁零點(diǎn)修正范圍- +50cm-50cm蝕刻補(bǔ)償類型為內(nèi)層補(bǔ)償時(shí),只有板面內(nèi)心部分受噴淋蝕刻補(bǔ)償類型為外層補(bǔ)償時(shí),只有板面沿邊部分受噴淋如下圖示: 板後沿設(shè)定 板前沿設(shè)定 內(nèi)層補(bǔ)償 生產(chǎn)板傳動(dòng)方向 外層

7、補(bǔ)償 =噴淋區(qū)域按 (下頁)可輸入蝕刻補(bǔ)償參數(shù)Top pipe 01: int StartAfterFront: 5 cm StopBeforeEnd: 5 cm<< >><<>> 第一排上噴管 間歇噴淋 板前沿5厘米(設(shè)定) 板後沿5厘米(設(shè)定) 下頁 上頁>>>> 按Top pipe 02: int StartAfterFront: 0 cm StopBeforeEnd: 0 cm<< >><<>>2.5輸入應(yīng)用程式PROG按 鍵進(jìn)入應(yīng)用程式板面ProgramsAct.

8、: 11 New : 0 輸入新應(yīng)用程式(可鍵入1-20號(hào)程式) 11號(hào)程式應(yīng)用中 板面首頁ENTER鍵入新程式New:?後按下 鍵 現(xiàn)假設(shè)新程式為2號(hào)程式,輸入操作如下:ProgramsAct. : 11 New : 2Save Load ProgramsAct. : 11 New : 0 鍵入2 ENTER2.6載入及儲(chǔ)存程式載入程式 儲(chǔ)存程式ProgramsSave 11 to 2?Yes No << >>ProgramsAct. : 11 New : 2Save Load << >>ProgramsLoad program 2?Yes N

9、o << >>ProgramsAct. : 11 New : 2Save Load << >> 按下此鍵 按下此鍵 按下此鍵 按下此鍵 完成載入程式 完成儲(chǔ)存程式3、蝕刻補(bǔ)償操作步驟：3.1 選擇內(nèi)層/外層模式，一般情況下選擇內(nèi)層模式3.2 選擇噴淋模式為“間隔噴淋”，同時(shí)設(shè)定所有距離為0cm3.3 進(jìn)板3.4零點(diǎn)修正：觀察是否在板到時(shí)馬上噴淋如果超過噴管再噴淋，選“-”如果沒到噴管噴淋，選“+”3.5 設(shè)定噴淋主壓力3.6 設(shè)定分壓3.7 進(jìn)板3.8 測量和記錄銅厚資料3.9 根據(jù)資料調(diào)整補(bǔ)償蝕刻和分壓或總壓（如有需要）.3.10重複第79項(xiàng)直至標(biāo)準(zhǔn)偏差小於0.7(0.5OZ), 1.2(1 OZ), 1.6(2OZ)4、異常問題處理：問題原因解決措施參數(shù)設(shè)定正確，蝕刻補(bǔ)償不噴。1、 側(cè)板感應(yīng)器損壞2、 脈沖發(fā)生器損壞3、 噴淋泵壞4、 氣閥損壞或?qū)е職忾y不能工作的其他原因。1、 更換感應(yīng)器。2、 更換脈沖發(fā)生器3、 更換泵浦4、 查找氣動(dòng)閥不工作原因排除。板面發(fā)現(xiàn)有局部蝕刻不盡1、 蝕刻程式是否正確2、 各種參數(shù)是否正常3、 噴嘴是否堵塞或異常4、 Offset是否正確5、 蝕刻補(bǔ)償缸噴管排序是否正確(檢查