液晶顯示的制造工藝流程

1、液晶顯示的制造工藝流程班級(jí)：11115D36 姓名：李家興摘要：液晶顯示的制造工業(yè)流程可分為前段工位：ITO 玻璃的投入（grading） 玻璃清洗與干燥（CLEANING）涂光刻膠（PR COAT）前烘烤（PREBREAK）曝光（DEVELOP） 顯影（MAIN CURE）蝕刻（ETCHING）去膜（STRIP CLEAN） 圖檢（INSP）清洗干燥（CLEAN）TOP 涂布（TOP COAT）烘烤（UV CURE） 固化（MAIN CURE）清洗（CLEAN） 涂取向劑（PI PRINT）固化（MAIN CURE） 清洗（CLEAN）絲網(wǎng)印刷（SEAL/SHORT PRINTING） 烘烤

2、（CUPING FURNACE） 噴襯墊料（SPACER SPRAY） 對(duì)位壓合（ASSEMBLY） 固化（SEAL MAIN CURING）。后段工位：切割（SCRIBING） Y 軸裂片（BREAK OFF）灌注液晶（LC INJECTION） 封口（END SEALING）X 軸裂片（BREAK OFF） 磨邊次清洗（CLEAN）再定向（HEATING）光臺(tái)目檢（VISUAL INSP）電測(cè)圖形檢驗(yàn)（ELECTRICAL）二次清洗（CLEAN） 特殊制程（POLYGON）背?。˙ACK PRINTING）干墨（CURE） 貼片（POLARIZER ASSEMBLY） 熱壓（CLEAVER

3、） 成檢外觀檢判（FQC）上引線（BIT PIN） 終檢（FINAL INSP）包裝（PACKING） 入庫(kù)（IN STOCK）前言：在學(xué)習(xí)這門可的時(shí)候我只知道液晶是一種我們平常的見到的顯示屏，從來(lái)沒考慮過(guò)這種東西的制造和歷史，現(xiàn)在我知道了液晶是一種高分子材料，因?yàn)槠涮厥獾奈锢怼⒒瘜W(xué)、光學(xué)特性，20世紀(jì)中葉開始被廣泛應(yīng)用在輕薄型的顯示技術(shù)上。人們熟悉的物質(zhì)狀態(tài)（又稱相）為氣、液、固，較為生疏的是電漿和液晶。液晶相要具有特殊形狀分子組合始會(huì)產(chǎn)生，它們可以流動(dòng)，又擁有結(jié)晶的光學(xué)性質(zhì)。液晶的定義，現(xiàn)在已放寬而囊括了在某一溫度范圍可以是現(xiàn)液晶相，在較低溫度為正常結(jié)晶之物質(zhì)。而液晶的組成物質(zhì)是一種有機(jī)化

4、合物，也就是以碳為中心所構(gòu)成的化合物。 同時(shí)具有兩種物質(zhì)的液晶，是以分子間力量組合的，它們的特殊光學(xué)性質(zhì)，又對(duì)電磁場(chǎng)敏感，極有實(shí)用價(jià)值。液晶顯示器大致可分為TN-LCD;STN-LCD;TFT-LCD。TN-LCD:TN全稱為：Twisted Nematic,，“Twisted Nematic”翻譯成中文就是“扭曲排列”的意思。 TN面板價(jià)格便宜，響應(yīng)速度快 由于TN面板生產(chǎn)成本相對(duì)低廉，因此“TN”技術(shù)的液晶面板目前被廣泛運(yùn)用于中、低端液晶顯示器之中。早期的TN面板，由于技術(shù)原因最高只能顯示26萬(wàn)色。后來(lái)通過(guò)對(duì)TN面板的改良，首先通過(guò)“抖動(dòng)”技術(shù)可以使其獲得超過(guò)1600萬(wàn)種色彩的表現(xiàn)能力；其

5、次，采用了補(bǔ)償膜的方法，使得TN面板的可視角度大幅度提高。目前市場(chǎng)上的TN面板均為此類改良型面板，可視角度都可以達(dá)到160°。 在顯示的響應(yīng)速度上，TN面板由于輸出灰階級(jí)數(shù)較少，液晶分子偏轉(zhuǎn)速度快，因此很容易將響應(yīng)速度提高。通常，8ms以下響應(yīng)速度的液晶顯示器，大多都是采用了TN面板。另外，TN屬于軟屏，用手指輕劃屏幕的話，會(huì)有類似水紋的現(xiàn)象。故此采用TN面板的液晶顯示器在使用時(shí)需要更為細(xì)心的保護(hù)，避免筆或其他尖銳的物體接觸屏幕，以免造成損壞。在厚度不到1厘米的TN-LCD液晶顯示屏面板中，通常是由兩片大玻璃基板，內(nèi)夾著彩色濾光片、配向膜等制成的夾板，外面再包裹著兩片偏光板，它們可決

6、定光通量的最大值與顏色的產(chǎn)生。彩色濾光片是由紅、綠、藍(lán)三種顏色構(gòu)成的濾片，有規(guī)律地制作在一塊大玻璃基板上。每一個(gè)像素是由三種顏色的單元(或稱為子像素)所組成。假如有一塊面板的分辨率為1280×1024，則它實(shí)際擁有3840×1024個(gè)晶體管及子像素。每個(gè)子像素的左上角(灰色矩形)為不透光的薄膜晶體管，彩色濾光片能產(chǎn)生RGB三原色。每個(gè)夾層都包含電極和配向膜上形成的溝槽，上下夾層中填充了多層液晶分子(液晶空間不到5×10-6m)。在同一層內(nèi)，液晶分子的位置雖不規(guī)則，但長(zhǎng)軸取向都是平行于偏光板的。另一方面，在不同層之間，液晶分子的長(zhǎng)軸沿偏光板平行平面連續(xù)扭轉(zhuǎn)90度。其

7、中，鄰接偏光板的兩層液晶分子長(zhǎng)軸的取向，與所鄰接的偏光板的偏振光方向一致。在接近上部夾層的液晶分子按照上部溝槽的方向來(lái)排列，而下部夾層的液晶分子按照下部溝槽的方向排列。最后再封裝成一個(gè)液晶盒，并與驅(qū)動(dòng)IC、控制IC與印刷電路板相連接。 在正常情況下光線從上向下照射時(shí)，通常只有一個(gè)角度的光線能夠穿透下來(lái)，通過(guò)上偏光板導(dǎo)入上部夾層的溝槽中，再通過(guò)液晶分子扭轉(zhuǎn)排列的通路從下偏光板穿出，形成一個(gè)完整的光線穿透途徑。而液晶顯示器的夾層貼附了兩塊偏光板，這兩塊偏光板的排列和透光角度與上下夾層的溝槽排列相同。當(dāng)液晶層施加某一電壓時(shí)，由于受到外界電壓的影響，液晶會(huì)改變它的初始狀態(tài)，不再按照正常的方式排列，而變

8、成豎立的狀態(tài)。因此經(jīng)過(guò)液晶的光會(huì)被第二層偏光板吸收而整個(gè)結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)不透光的狀態(tài)，結(jié)果在顯示屏上出現(xiàn)黑色。當(dāng)液晶層不施任何電壓時(shí)，液晶是在它的初始狀態(tài)，會(huì)把入射光的方向扭轉(zhuǎn)90度，因此讓背光源的入射光能夠通過(guò)整個(gè)結(jié)構(gòu)，結(jié)果在顯示屏上出現(xiàn)白色。為了達(dá)到在面板上的每一個(gè)獨(dú)立像素都能產(chǎn)生你想要的色彩，多個(gè)冷陰極燈管必須被使用來(lái)當(dāng)作顯示器的背光源。STN-LCD:STN LCD (Super Twist Netamic LCD) 超級(jí)扭曲液晶顯示器，其中大屏幕，高驅(qū)動(dòng)路數(shù)的彩色 STN LCD 主要供工業(yè)控制機(jī)顯示之用，而小屏幕， 64 路以下低驅(qū)動(dòng)路數(shù)的黑白 STN LCD 主要供手機(jī)、話亭電話機(jī)、商務(wù)

9、通、股票機(jī)、衛(wèi)星定位儀等等之用。STN技術(shù)原理：STN型的顯示原理與TN相類似，不同的是TN扭轉(zhuǎn)式向列場(chǎng)效應(yīng)的液晶分子是將入射光旋轉(zhuǎn)90度，而STN超扭轉(zhuǎn)式向列場(chǎng)效應(yīng)是將入射光旋轉(zhuǎn)180270度。 要在這里說(shuō)明的是，單純的TN液晶顯示器本身只有明暗兩種情形（或稱黑白），并沒有辦法做到色彩的變化。但如果在傳統(tǒng)單色STN液晶顯示器加上一彩色濾光片（color filter），并將單色顯示矩陣之任一像素（pixel）分成三個(gè)子像素（sub-pixel），分別通過(guò)彩色濾光片顯示紅、綠、藍(lán)三原色，再經(jīng)由三原色比例之調(diào)和，也可以顯示出全彩模式的色彩。另外，TN型的液晶顯示器如果顯示屏幕做的越大，其屏幕對(duì)比

10、度就會(huì)顯得較差，不過(guò)藉由STN的改良技術(shù)，則可以彌補(bǔ)對(duì)比度不足的情況。它的好處是功耗小，具有省電的最大優(yōu)勢(shì)。TFT-LCD:TFT(Thin Film Transistor)LCD即薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管LCD，是有源矩陣類型液晶顯示器(AM-LCD)中的一種。 液晶平板顯示器，特別TFT-LCD，是目前唯一在亮度、對(duì)比度、功耗、壽命、體積和重量等綜合性能上全面趕上和超過(guò)CRT的顯示器件，它的性能優(yōu)良、大規(guī)模生產(chǎn)特性好，自動(dòng)化程度高，原材料成本低廉，發(fā)展空間廣闊，將迅速成為新世紀(jì)的主流產(chǎn)品，是21世紀(jì)全球經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的一個(gè)亮點(diǎn)。 和TN技術(shù)不同的是，TFT的顯示采用“背透式”照射方式假想的光源路徑不是像

11、TN液晶那樣從上至下，而是從下向上。這樣的作法是在液晶的背部設(shè)置特殊光管，光源照射時(shí)通過(guò)下偏光板向上透出。由于上下夾層的電極改成FET電極和共通電極，在FET電極導(dǎo)通時(shí)，液晶分子的表現(xiàn)也會(huì)發(fā)生改變，可以通過(guò)遮光和透光來(lái)達(dá)到顯示的目的，響應(yīng)時(shí)間大大提高到80ms左右。因其具有比TN-LCD更高的對(duì)比度和更豐富的色彩，熒屏更新頻率也更快，故TFT俗稱“真彩”。 相對(duì)于DSTN而言，TFT-LCD的主要特點(diǎn)是為每個(gè)像素配置一個(gè)半導(dǎo)體開關(guān)器件。由于每個(gè)像素都可以通過(guò)點(diǎn)脈沖直接控制。因而每個(gè)節(jié)點(diǎn)都相對(duì)獨(dú)立，并可以進(jìn)行連續(xù)控制。這樣的設(shè)計(jì)方法不僅提高了顯示屏的反應(yīng)速度，同時(shí)也可以精確控制顯示灰度，這就是T

12、FT色彩較DSTN更為逼真的原因。應(yīng)用:目前，絕大部分筆記本電腦廠商的產(chǎn)品都采用TFT-LCD。早期的TFT-LCD主要用于筆記本電腦的制造。盡管在當(dāng)時(shí)TFT相對(duì)于DSTN具有極大的優(yōu)勢(shì)，但是由于技術(shù)上的原因，TFT-LCD在響應(yīng)時(shí)間、亮度及可視角度上與傳統(tǒng)的CRT顯示器還有很大的差距。加上極低的成品率導(dǎo)致其高昂的價(jià)格，使得桌面型的TFT-LCD成為遙不可及的尤物。 不過(guò)，隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，良品率不斷提高，加上一些新技術(shù)的出現(xiàn)，使得TFT-LCD在響應(yīng)時(shí)間、對(duì)比度、亮度、可視角度方面有了很大的進(jìn)步，拉近了與傳統(tǒng)CRT顯示器的差距。如今，大多數(shù)主流LCD顯示器的響應(yīng)時(shí)間都提高到16ms以下，這

13、些都為L(zhǎng)CD走向主流鋪平了道路。主流的TFT面板:LCD的應(yīng)用市場(chǎng)應(yīng)該說(shuō)是潛力巨大。但就液晶面板生產(chǎn)能力而言，全世界的LCD主要集中在中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó)和日本三個(gè)主要生產(chǎn)基地。亞洲是LCD面板研發(fā)及生產(chǎn)制造的中心，而臺(tái)、日、韓三大產(chǎn)地的發(fā)展情況各有不同。目前主流的TFT面板有aSi(非晶硅薄膜晶體管）TFT技術(shù)和LTPS TFT（低溫多晶硅）TFT技術(shù)。 在a-Si方面，三個(gè)生產(chǎn)基地的技術(shù)各有千秋。日本廠商曾經(jīng)研制出分辨率高達(dá)2560×2048的LCD產(chǎn)品。因此，有些人認(rèn)為，aSi TFT技術(shù)完全可滿足高分辨率的產(chǎn)品需要，但是，由于技術(shù)的不成熟，它還不能滿足高速視頻影像或動(dòng)畫等的需要。L

14、TPS TFT相對(duì)可以節(jié)約成本，這對(duì)于TFT LCD的推廣有著重要意義。目前，日本廠商已經(jīng)有量產(chǎn)12.1英寸LTPS TFT LCD的能力。而中國(guó)臺(tái)灣已開發(fā)完成LTPS組件制造技術(shù)與LTPS SXGA面板技術(shù)。韓國(guó)在這方面缺少專門的設(shè)計(jì)人員和研發(fā)專家，但像三星等主要企業(yè)已經(jīng)推出了LTPS產(chǎn)品，顯示出韓國(guó)廠商的實(shí)力。不過(guò)，目前LTPS技術(shù)尚不成熟，產(chǎn)品集中在小屏幕，而且良品率低，成本優(yōu)勢(shì)尚無(wú)從談起。 與LTPS相比，a-Si無(wú)疑是目前TFT LCD的主流。日該公司的aSiTFT投資策略上幾乎都以第三代LCD產(chǎn)品為主，通過(guò)制造技術(shù)及良品率的改善來(lái)提高產(chǎn)量，降低成本。日本一直走高端路線，其技術(shù)無(wú)疑是

15、最先進(jìn)的。由于研發(fā)力量有限，臺(tái)灣的a-Si TFT技術(shù)主要來(lái)自日本廠商的轉(zhuǎn)讓，但由于臺(tái)灣企業(yè)一般屬于勞動(dòng)密集型，技術(shù)含量?jī)r(jià)低，以生產(chǎn)低端產(chǎn)品為主。韓國(guó)在a-Si方面有著強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力，比如三星公司就量產(chǎn)了全球第一臺(tái)24寸a-Si TFT LCD240T，它的響應(yīng)時(shí)間小于25ms，可以滿足一般應(yīng)用需要；而可視角度達(dá)到了160度，使得LCD在傳統(tǒng)弱項(xiàng)上不輸給CRT。三星240T標(biāo)志著大屏幕TFT LCD技術(shù)走向成熟，也向世人展示了韓國(guó)廠商的實(shí)力不容置疑。國(guó)際技術(shù)水平和現(xiàn)狀:TFT-LCD技術(shù)已經(jīng)成熟，長(zhǎng)期困擾液晶平板顯示器的三大難題：視角、色飽和度、亮度已經(jīng)獲得解決。采用多區(qū)域垂直排列模式（MVA

16、模式）和面內(nèi)切換模式（IPS模式）使液晶平板顯示的水平視角都達(dá)到了170度。MVA模式還使響應(yīng)時(shí)間縮短到20ms。 (a) TN+Field從技術(shù)角度來(lái)看，TN+Field解決方案是最簡(jiǎn)單的一種，TFT顯示器制造商將過(guò)去用于老式LCD顯示器的扭曲向列（TN:Twisted Nematic）技術(shù)，同TFT技術(shù)相結(jié)合，從而有了TN+Field技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)主要就是通過(guò)顯示屏覆蓋一層特殊的薄膜，來(lái)擴(kuò)大可視角度可以把可視角度從90度擴(kuò)大到大約140度。如圖6所示：TN+Field同標(biāo)準(zhǔn)TFT顯示器一樣都是通過(guò)排列液晶分子來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)圖象的控制，它在上表面覆蓋一層薄膜來(lái)增大可視角度。 不過(guò)TFT顯示器相對(duì)弱

17、的對(duì)比度和緩慢的反應(yīng)時(shí)間這些缺點(diǎn)仍然沒有改變。所以TN+FIELD這種方式并不是做好的解決方案，除了它的造價(jià)最便宜之外沒有任何可取之處。 (b)IPS（In-Plane Switching）IPS就是In-Plane Switching的簡(jiǎn)稱，意思就是平板開關(guān)，又稱為Super TFT。最早由Hitachi(日立)開發(fā)，現(xiàn)在NEC和Nokia也使用此項(xiàng)技術(shù)制成顯示器。這項(xiàng)技術(shù)同扭曲向列顯示器（TN-Film）的不同就在于液晶分子相對(duì)于基本排列方式不同，當(dāng)加上電壓之后液晶分子與基板平行排列。 IPS技術(shù)和傳統(tǒng)的液晶顯示器的對(duì)比采用這項(xiàng)技術(shù)的顯示器的可視角度達(dá)到了170度，已經(jīng)同陰極射線管的可視角

18、度相當(dāng)了，不過(guò)這項(xiàng)技術(shù)也有缺點(diǎn)：為了能讓液晶分子平行排列，電極不能象扭曲向列顯示器（TN-Film）一樣，在兩層基板上都有，只能放在低層的基板上這樣導(dǎo)致的直接結(jié)果就是顯示器的亮度和對(duì)比度明顯的下降，為了提高亮度和對(duì)比度，只有增強(qiáng)背光光源的亮度。這樣一來(lái)，反應(yīng)時(shí)間和對(duì)比度相對(duì)于普通TFT顯示器而言更難提高了。所以這項(xiàng)技術(shù)似乎也不是最好的解決方案。 (c)MVA(Multi-Domain Vertical Alignment)MVA多區(qū)域垂直排列技術(shù)，是由日本富士通（Fujitsu）公司開發(fā)的，單從技術(shù)的角度看，它兼顧了可視角度和反應(yīng)時(shí)間兩個(gè)方面。找到了一個(gè)折中的解決方法。MVA技術(shù)使得可視角達(dá)到

19、了160度 雖然不如IPS能達(dá)到的170度的可視角度，不過(guò)它仍然是好的，因?yàn)檫@項(xiàng)技術(shù)能夠提供更好的對(duì)比度和更短的反應(yīng)時(shí)間。 MVA中的M代指“multi-domains” 多區(qū)域的意思。圖8所示，那些紫色的突起（protrusion）構(gòu)成了所謂的區(qū)域。富士通目前生產(chǎn)的MAV顯示器中一般就有這樣4個(gè)區(qū)域。 VA是“vertical alignment”的簡(jiǎn)稱，意為垂直排列。不過(guò)單從字面上看會(huì)產(chǎn)生一些誤解，因?yàn)橐壕Х肿硬⒉皇侨鐖D所示的“突起”（protrusion）完全垂直。請(qǐng)看圖8所示黑色示意圖。當(dāng)電壓生成一個(gè)電場(chǎng)時(shí)，液晶分子如圖相互平行排列，這樣背光光源就能穿過(guò)，而且能將光線向各個(gè)方向發(fā)散，從

20、而擴(kuò)大了可視角度。 另外，MVA還提供了比IPS和TN+Film技術(shù)都快的反應(yīng)時(shí)間，這對(duì)于取得良好的視頻回收和殘視覺效果都是非常重要的。MVA液晶顯示器的對(duì)比度也有所提高，不過(guò)同樣也會(huì)隨著可視度的變換而變化。 在采用光學(xué)補(bǔ)償彎曲技術(shù)（OCB）的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的場(chǎng)序列全彩色（FSFC）LCD技術(shù)不僅取消了占成本三分之一的彩色濾光膜（CF），還可使分辨率提高3倍，透過(guò)率提高5倍，同時(shí)簡(jiǎn)化了工藝，降低了成本。彩膜技術(shù)和背光源技術(shù)的發(fā)展使TFT-LCD的彩色再現(xiàn)能力達(dá)到甚至超過(guò)了CRT。作為商品顯示器TFT-LCD的主要技術(shù)指標(biāo)綜合性能在各類顯示器件中是最優(yōu)秀的，特別是TFT-LCD產(chǎn)品的大規(guī)模生產(chǎn)技

21、術(shù)的完善，多品種、多系列的產(chǎn)品發(fā)展空間，應(yīng)用范圍無(wú)所不至。最近韓國(guó)三星電子已經(jīng)生產(chǎn)出了38英寸單一基板的TFT-LCD液晶電視和40英寸TFT-LCD顯示器，以其優(yōu)良的性能向公認(rèn)的應(yīng)為PDP霸占的大尺寸彩電市場(chǎng)進(jìn)軍。 LCD是所有顯示器中耗電最低的產(chǎn)品，以13.3英寸XGA TFT-LCD為例，其功耗1998年為4.4瓦，1999年為3.3瓦，到2001年將小于2.5瓦，特別是反射型TFT-LCD的研制成功，由于取消了背光源，其功耗比透射式TFT-LCD低了一個(gè)數(shù)量級(jí)。同時(shí)由于幾改進(jìn)，低溫激光退火多晶硅（P-Si）技術(shù)成熟，以至最近發(fā)展起來(lái)的單晶硅技術(shù)使得TFT-LCD的響應(yīng)速度更快，電路集成

22、化水平更高，鎖相環(huán)技術(shù)的應(yīng)用，一種功能更新，更全的周邊電路的采用，系統(tǒng)集成（System on glass）技術(shù)的發(fā)展，使得TFT-LCD更輕、更薄。13.3英寸TFT-LCD其厚度在1998年為7.2mm，1999年為5.5mm，2001年降到5mm以下，其重量1998年為580克，1999年為450克，到2001年降到400克以下。TFT-LCD的大生產(chǎn)技術(shù)也已成熟，已實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)生產(chǎn)，其第五代生產(chǎn)線在2002年將進(jìn)入實(shí)用生產(chǎn)階段，生產(chǎn)成本將不斷下降。TFT-LCD在技術(shù)上的成熟與進(jìn)步以及其特有的性能優(yōu)勢(shì)確定了TFT-LCD最終取代CRT的格局。TFT的技術(shù)特點(diǎn):TFT技術(shù)是二十世紀(jì)九十年代

23、發(fā)展起來(lái)的，采用新材料和新工藝的大規(guī)模半導(dǎo)體全集成電路制造技術(shù)，是液晶（LC）、無(wú)機(jī)和有機(jī)薄膜電致發(fā)光（EL和OEL）平板顯示器的基礎(chǔ)。TFT是在玻璃或塑料基板等非單晶片上（當(dāng)然也可以在晶片上）通過(guò)濺射、化學(xué)沉積工藝形成制造電路必需的各種膜，通過(guò)對(duì)膜的加工制作大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路（LSIC）。采用非單晶基板可以大幅度地降低成本，是傳統(tǒng)大規(guī)模集成電路向大面積、多功能、低成本方向的延伸。在大面積玻璃或塑料基板上制造控制像元（LC或OLED）開關(guān)性能的TFT比在硅片上制造大規(guī)模IC的技術(shù)難度更大。對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求（凈化度為100級(jí)），對(duì)原材料純度的要求（電子特氣的純度為99.999985%），對(duì)生產(chǎn)

24、設(shè)備和生產(chǎn)技術(shù)的要求都超過(guò)半導(dǎo)體大規(guī)模集成，是現(xiàn)代大生產(chǎn)的頂尖技術(shù)。其主要特點(diǎn)有： （1）大面積九十年代初第一代大面積玻璃基板（300mm×400mm）TFT-LCD生產(chǎn)線投產(chǎn)，到2000年上半年玻璃基板的面積已經(jīng)擴(kuò)大到了680mm×880mm），而預(yù)計(jì)在09年啟動(dòng)的日本SHARP在大阪投資的10代線玻璃基板尺寸達(dá)到了2880mmX3080mm,該尺寸玻璃面板可裁切15片42寸的液晶電視。 （2）高集成度用于液晶投影的1.3英寸TFT芯片的分辨率為XGA含有百萬(wàn)個(gè)象素。分辨率為SXGA（1280×1024）的16.1英寸的TFT陣列非晶體硅的膜厚只有50nm，以及

25、TAB ON GLASS和SYSTEM ON GLASS技術(shù)，其IC的集成度，對(duì)設(shè)備和供應(yīng)技術(shù)的要求，技術(shù)難度都超過(guò)傳統(tǒng)的LSI。 （3）功能強(qiáng)大TFT最早作為矩陣選址電路改善了液晶的光閥特性。對(duì)于高分辨率顯示器，通過(guò)0-6V范圍的電壓調(diào)節(jié)（其典型值0.2到4V），實(shí)現(xiàn)了對(duì)象元的精確控制，從而使LCD實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的高分辨率顯示成為可能。TFT-LCD是人類歷史上第一種在顯示質(zhì)量上超過(guò)CRT的平板顯示器。現(xiàn)在人們開始把驅(qū)動(dòng)IC集成到玻璃基板上，整個(gè)TFT的功能將更強(qiáng)大，這是傳統(tǒng)的大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路所無(wú)法比擬的。 （4）低成本玻璃基板和塑料基板從根本上解決了大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路的成本問(wèn)題，為大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路的應(yīng)用開拓了廣闊的應(yīng)用空間。 （5）工藝靈活除了采用濺射、CVD（化學(xué)氣相沉積）MCVD（分子化學(xué)氣相沉積）等傳統(tǒng)工藝成膜以外，激光退火技術(shù)也開始應(yīng)用，既可以制作非晶膜、多晶膜，也可以制造單晶膜。