TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作(1)-凈化及防靜電知識

1、1TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作（設(shè)計(jì)及制作（1） 凈化知識 防靜電知識2TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作 凈化知識 防靜電知識3TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作Clean room(凈化間、無塵間、凈房）凈化間、無塵間、凈房）Cleanroom5TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作凈化間等級凈化間等級n無塵等級數(shù)值越小，凈化等級越高。其數(shù)值代表塵埃濃度，亦稱為潔凈度，是用單位體積（每立方英尺或者每升）空氣中所含的粒徑大于等于0.5m的塵埃數(shù)量來衡量。亦有0.35m為粒經(jīng)的標(biāo)準(zhǔn)無塵室。6TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作7TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作凈化間等

2、級凈化間等級n通常無塵室對溫度要求在223（ 212） ，濕度要求在555RH% （6010RH% ）。n同時(shí)潔凈室內(nèi)的空氣壓力要比相鄰非潔凈室高25Pa，潔凈度較高的室內(nèi)壓力比潔凈度低的室內(nèi)壓力約高1015Pa。n 100級以下的無塵室一般為底回風(fēng)，1000級以上為側(cè)回風(fēng)8TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作一般凈化間一般凈化間9TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作百級凈化間百級凈化間10TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作凈化間用品凈化間用品11TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作臟污分類臟污分類12TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作典型臟污來源及舉例典型臟污來源及舉例臟污類別臟污源舉例微粒類臟污

3、人體、衣服、紙張、工裝工具、外界環(huán)境皮屑、頭發(fā)、毛線、毛絲等有機(jī)類臟污人體、外辦環(huán)境唾沫、煙塵、皮膚油等離子臟污人體、外辦環(huán)境SOX、NOX等13TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作臟污介入和產(chǎn)生的渠道臟污介入和產(chǎn)生的渠道凈化間臟污裝配物料工具設(shè)備人體移動(dòng)工藝過程殘留物14TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作臟污控制的基本原則臟污控制的基本原則15TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作16TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作17TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作18TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作臟污預(yù)防的基本措施臟污預(yù)防的基本措施19TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作20TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)

4、及制作21TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作22TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作23TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作24TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作25TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作26TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作27TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作28TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作29TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作 凈化知識 防靜電知識30TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作防靜電知識防靜電知識一、靜電，靜電的產(chǎn)生；二、電子工業(yè)中的靜電問題； 三、靜電防護(hù)操作要求四、靜電防護(hù)器材；五、靜電防護(hù)管理及常用標(biāo)識31TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作一、靜電，靜電的產(chǎn)生

5、一、靜電，靜電的產(chǎn)生n什么是靜電（static electricity）？n常見的靜電現(xiàn)象：脫衣服時(shí)聽到噼啪的聲音、碰到門把手時(shí)手指發(fā)麻、梳頭時(shí)頭發(fā)飄起來 。n靜電是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷 。32TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作 靜 電n物質(zhì)的組成： 物質(zhì)物質(zhì)分子分子原子原子原子核電子原子核電子n在自然狀態(tài)下，物質(zhì)處于電平衡的中性狀態(tài)，即不帶電。在靜電學(xué)中稱不帶電物體為電的中性體。n在某種狀態(tài)下，當(dāng)物質(zhì)原子中的電平衡狀態(tài)被打破，丟失或獲得電子，物質(zhì)即由中性狀態(tài)改變?yōu)閹щ姞顟B(tài)。33TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作物體呈現(xiàn)帶電的現(xiàn)象稱為帶電現(xiàn)象，它是一種自然現(xiàn)象。按照物體所帶電荷的存在與變化狀

6、 態(tài)可分為動(dòng)電（流電）相象和靜電現(xiàn)象。靜電現(xiàn)象靜電現(xiàn)象指相對于觀察者而言，所帶的電荷處指相對于觀察者而言，所帶的電荷處于靜止或緩慢變化的相對穩(wěn)定狀態(tài)。動(dòng)電現(xiàn)象則于靜止或緩慢變化的相對穩(wěn)定狀態(tài)。動(dòng)電現(xiàn)象則與此相反。與此相反。v在靜電情況下，由于電荷靜止不動(dòng)或其運(yùn)動(dòng)非常緩慢，故它所引起的磁場效應(yīng)較之電場效應(yīng)來說可以忽略不計(jì)。 34TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生n在日常生活中，任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離，即可產(chǎn)生靜電 。n當(dāng)兩個(gè)不同的物體相互接觸時(shí)就會(huì)使得一個(gè)物體失去一些電荷如電子轉(zhuǎn)移到另一個(gè)物體使其帶正電，而另一個(gè)體得到一些剩余電子的物體而帶負(fù)電。 n若在分離的過程

7、中電荷難以中和，電荷就會(huì)積累使物體帶上靜電。所以物體與其它物體接觸后分離就會(huì)帶上靜電。 35TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n摩擦起電:n在日常生活中，任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離，即可產(chǎn)生靜電，而產(chǎn)生靜電的最普通方法，就是摩擦生電。材料的絕緣性越好，越容易是使用摩擦生電。另外，任何兩種不同物質(zhì)的物體接觸后再分離，也能產(chǎn)生靜電。 36TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n富蘭克林 (Benjamin franklin,1706-1790)。摩擦后的玻璃棒帶摩擦后的玻璃棒帶正電正電，而樹脂帶的電，而樹脂帶的電為為負(fù)電負(fù)電。37TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n為什么流動(dòng)空氣會(huì)產(chǎn)生靜電呢？

8、 n因?yàn)闅怏w也是由分子、原子組成，當(dāng)空氣流動(dòng)時(shí)分子、原子也會(huì)發(fā)生“接觸分離”而起電。 n所以可以這么說，在人們生活的任何時(shí)間、任何地點(diǎn)都有可能產(chǎn)生靜電。要完全消除靜電幾乎不可能，但可以采取一些措施控制靜電使其不產(chǎn)生危害 。38TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作感應(yīng)起電：感應(yīng)起電：n當(dāng)帶電物體接近不帶電物體時(shí)會(huì)在不帶電的導(dǎo)體的兩端分別感應(yīng)出負(fù)電和正電 。n 針對導(dǎo)電材料而言，因電子能在它的表面自由流動(dòng)，如將其置于一電場中，由于同性相斥，異性相吸，正負(fù)電子就會(huì)轉(zhuǎn)移。39TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作 感應(yīng)靜電起電n當(dāng)帶電物體A接近不帶電物體C時(shí)n在導(dǎo)體C的a端和b端分別感應(yīng)出負(fù)電和正電A+ +

9、 + + + +Ca一 一 一+ + +b_ B40TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生摩擦起電感應(yīng)起電傳導(dǎo)起電：針對導(dǎo)電材料而言，因電子能在它的表面自由流動(dòng)，如與帶電物體接觸，將發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。 41TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作防靜電知識防靜電知識一、靜電，靜電的產(chǎn)生；二、電子工業(yè)中的靜電問題； 三、靜電防護(hù)操作要求四、靜電防護(hù)器材；五、靜電防護(hù)管理及常用標(biāo)識42TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作二十世紀(jì)中后期二十世紀(jì)中后期靜電靜電危害震驚世界震驚世界v美國從1960年到1975年由于靜電引起的火災(zāi)爆炸事故達(dá)116起v1969年底在不到一個(gè)月的時(shí)間內(nèi)荷蘭、挪威、英國三艘

10、20萬噸超級油輪洗艙時(shí)產(chǎn)生的靜電引起相繼發(fā)生爆炸以后引起了世界科學(xué)家對靜電防護(hù)的關(guān)注。v我國在石油企業(yè)發(fā)生了30多起較大的靜電事故，其中損失達(dá)百萬元以上的有數(shù)起。43TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作 工業(yè)生產(chǎn)中靜電危害的形成工業(yè)生產(chǎn)中靜電危害的形成v工業(yè)發(fā)展的高速發(fā)展以及高分子材料的迅速推廣應(yīng)用，一些電阻率很高的高分子材料如塑料，橡膠等的制品的廣泛應(yīng)用以及現(xiàn)代生產(chǎn)過程的高速化，使得靜電能積蓄到很高的程度。v另一方面，靜電敏感材料的生產(chǎn)和使用，如輕質(zhì)油品，火藥，固態(tài)電子器件等，工礦企業(yè)部門受到靜電的危害也越來越突出，靜電危害造成了相當(dāng)嚴(yán)重的后果和損失。44TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作二、

11、電子工業(yè)中的靜電問題二、電子工業(yè)中的靜電問題n集成電路元器件的線路縮小，耐壓降低，線路面積減小，使得器件耐靜電沖擊能力的減弱，靜電電場（Static Electric Field）和靜電電流（ESDcurrent）成為這些高密度元器件的致命殺手。n同時(shí)大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應(yīng)用，導(dǎo)致產(chǎn)生靜電的機(jī)會(huì)大增。日常生活中如走動(dòng)，空氣流動(dòng)，搬運(yùn)等都能產(chǎn)生靜電。人們一般認(rèn)為只有CMOS類的晶片才對靜電敏感，實(shí)際上，集成度高的元器件電路都很敏感。 45TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作靜電對電子元件的影響靜電對電子元件的影響n（1） 靜電吸附灰塵，改變線路間的阻抗，影響產(chǎn)品的功能與壽命。n（2）

12、因電場或電流破壞元件的絕緣或?qū)w，使元件不能工作（完全破壞）。n（3） 因瞬間的電場或電流產(chǎn)生的熱，元件受傷，仍能工作，壽命受損。46TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作靜電損傷的特點(diǎn)：靜電損傷的特點(diǎn)：n1. 隱蔽性隱蔽性n人體不能直接感知靜電，除非發(fā)生靜電放電，但發(fā)生靜電放電，人體不能直接感知靜電，除非發(fā)生靜電放電，但發(fā)生靜電放電，人體也不一定能有電擊的感覺。這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電人體也不一定能有電擊的感覺。這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為壓為2-3KV。n2. 潛伏性潛伏性n有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒有明顯的下降，但多次累有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒有明顯的下降，但多次累

13、加放電會(huì)給器件造成內(nèi)傷而形成隱患，而且增加了器件對靜電的加放電會(huì)給器件造成內(nèi)傷而形成隱患，而且增加了器件對靜電的敏感性。已產(chǎn)生的問題并無任何方法可治愈。敏感性。已產(chǎn)生的問題并無任何方法可治愈。n3. 隨機(jī)性隨機(jī)性n電子元件什么情況下會(huì)遭受到靜電破壞呢？可以這么說，從一個(gè)電子元件什么情況下會(huì)遭受到靜電破壞呢？可以這么說，從一個(gè)元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過程都受到靜電的威脅，而元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過程都受到靜電的威脅，而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性。由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性。由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的，及難預(yù)測和防護(hù)。發(fā)生的，及難預(yù)測和防護(hù)。4

14、7TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n4. 復(fù)雜性n靜電放電損傷分板工作，因電子產(chǎn)品的精細(xì)，微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)、費(fèi)事、費(fèi)錢，要求較復(fù)雜的技術(shù)往往需要使用掃描電鏡等精密儀器，即使如此有些靜電損傷現(xiàn)象也難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別，使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效，這是對靜電放電損害未充分認(rèn)識之前，常常歸咎于早期失效或情況不明的失效 ，從而不自覺的掩蓋了失效的真正原因。n5. 嚴(yán)重性nESD問題表面上看來只影響了制成品的用家，但實(shí)際上亦影響了各層次的制造商，如：保用費(fèi)、維修及公司的聲譽(yù)等等。48TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作 ESD是什么意思是什么意思nESD是Electro Stati

15、c Discharge“靜電放電”的縮寫。n Electro Static Damage “靜電破壞”n在20世紀(jì)中期以后，隨著工業(yè)技術(shù)的迅速發(fā)展，ESD問題越來越受到人們的重視49TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作 不同濕度下各種操作時(shí)的人體電位相對濕度 人體電位 （KV） 操作（10-20) (65-90) 在地板/合成纖維地毯上走動(dòng)351.5在聚乙稀地面上行走120.25從工作椅上站起181.5在工作臺(tái)上操作60.1從印刷電路上拉下膠帶121.5印刷電路板薄膜包裝163用橡皮清潔電路12150TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作 器件所能承受的靜電電壓器件類型 靜電破壞電壓（V）VMOS3

16、01800OP-AMP（operational amplifier 運(yùn)算放大器 ）190250051TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作器件人體靜電電壓幾百到幾千伏幾千到幾萬伏52TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作 生產(chǎn)產(chǎn)所中的靜電危害源生產(chǎn)產(chǎn)所中的靜電危害源物體或工藝加工材料或活動(dòng)人站起、行走、操作工作服椅子組裝、清洗、測試和維修區(qū)53TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作電子工業(yè)哪些過程會(huì)產(chǎn)生靜電危害電子工業(yè)哪些過程會(huì)產(chǎn)生靜電危害n元件制造過程：切割、連線、檢驗(yàn)n印刷電路版生產(chǎn)過程：儲(chǔ)存、裝配n設(shè)備使用過程：安裝、試驗(yàn)n設(shè)備維修過程：拆卸、檢驗(yàn)從元件的制造、使用到維修的任一環(huán)節(jié)，靜電已成為電子工

17、業(yè)的隱形的致命殺手。54TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作小結(jié)n任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離即可產(chǎn)生靜電。n摩擦的實(shí)質(zhì)是一種接觸分離過程。n當(dāng)帶電物體接近不帶電物體時(shí)會(huì)感應(yīng)靜電。n大部分器件的靜電破壞電壓都在幾百伏至幾千伏，而在干燥的環(huán)境中人活動(dòng)所產(chǎn)生的靜電電壓可達(dá)幾千伏到幾萬伏。靜電危害的特點(diǎn)：隱蔽性、潛在性、隨機(jī)性、復(fù)雜性。55TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作防靜電知識防靜電知識一、靜電，靜電的產(chǎn)生；二、電子工業(yè)中的靜電問題； 三、靜電防護(hù)操作要求四、靜電防護(hù)器材；五、靜電防護(hù)管理及常用標(biāo)識56TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作三、靜電防護(hù)操作要求三、靜電防護(hù)操作要求 （一）ESD

18、防護(hù)的意義1、減少損失（美國一年的損失200多億美金，其中電 子工業(yè)的損失超過100多億美金） 2、提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性 3、提高生產(chǎn)效率 4、靜電防護(hù)回報(bào)達(dá)1：95以上57TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作（二）靜電防護(hù)主要有下列幾點(diǎn)（二）靜電防護(hù)主要有下列幾點(diǎn) 1、盡量減少靜電荷的產(chǎn)生 2、對已產(chǎn)生的靜電荷盡快予以消除 3、最大限度地減少靜電危害 4、嚴(yán)格靜電防護(hù)管理，以保證各項(xiàng)措施的有效執(zhí)行58TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作靜電防護(hù)的具體措施靜電防護(hù)的具體措施n一、防止靜電的產(chǎn)生：n1、控制靜電的生成環(huán)境：n（1）、濕度控制。在不致導(dǎo)致器材或產(chǎn)品腐蝕生銹或其他危害前提下，盡量加大濕度

19、n（2）、溫度控制。在可能條件下盡量降低溫度，包括環(huán)境溫度和物體接觸溫度n（3）、塵?？刂?。防止附著（吸附）帶電的重要措施n（4）、地板、桌椅面料和工作臺(tái)墊應(yīng)由防靜電材料制成，并正確接地n（5）、靜電敏感產(chǎn)品的運(yùn)送傳遞和存儲(chǔ)及包裝與拆包裝應(yīng)采取靜電防護(hù)措施59TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n2、防止人體帶電、防止人體帶電n（1）、配戴防靜電腕帶）、配戴防靜電腕帶n（2）、穿戴防靜電服裝、衣、帽）、穿戴防靜電服裝、衣、帽n（3）、穿戴防靜電鞋襪、腳鏈）、穿戴防靜電鞋襪、腳鏈n（4）、配戴防靜電手套、指套）、配戴防靜電手套、指套n（5）、嚴(yán)格禁止與工作無關(guān)的人體和動(dòng)（例）、嚴(yán)格禁止與工作無關(guān)的

20、人體和動(dòng)（例如做操、打鬧、梳頭發(fā)、吃東西等）如做操、打鬧、梳頭發(fā)、吃東西等）n（6）、進(jìn)行離子風(fēng)?。⑦M(jìn)行離子風(fēng)浴60TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n3、材料選用要求、材料選用要求n使用靜電導(dǎo)電材料和靜電耗散材料使用靜電導(dǎo)電材料和靜電耗散材料n4、工藝控制措施、工藝控制措施n（1）、制定并實(shí)施防靜電操作程序）、制定并實(shí)施防靜電操作程序n（2）、使用防靜電周轉(zhuǎn)、運(yùn)輸盤、盒、箱及）、使用防靜電周轉(zhuǎn)、運(yùn)輸盤、盒、箱及其他容器、小車其他容器、小車n（3）、使用防靜電工具（烙鐵、吸錫器等）、使用防靜電工具（烙鐵、吸錫器等）n（4）、采用防靜電包裝）、采用防靜電包裝61TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制

21、作n二、減少和消除靜電荷二、減少和消除靜電荷 n1、接地、接地 n（1）、地板和工作桌、椅、臺(tái)面、臺(tái)墊正確接地n（2）、人體接地n（3）、工具（烙鐵、吸錫器、臺(tái)架、運(yùn)輸小車等）接地設(shè)備、儀器等接地62TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n2、中和、中和 n針對場所和帶電物體的形狀、特點(diǎn)，選用適宜類形的靜電消除器具、器材、產(chǎn)品、場所、設(shè)備和人體上的靜電 n3、參雜、參雜n1在非導(dǎo)體材料、器具的表面通過噴、涂、鍍、在非導(dǎo)體材料、器具的表面通過噴、涂、鍍、印、貼等方式附加上一層物質(zhì)以增加表面電導(dǎo)印、貼等方式附加上一層物質(zhì)以增加表面電導(dǎo)率，加速電荷的泄漏與釋放率，加速電荷的泄漏與釋放 63TFT-LCD

22、設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n三、減少靜電危害三、減少靜電危害 n1、提高產(chǎn)品自身抗靜電能力、提高產(chǎn)品自身抗靜電能力n（1）、對）、對CMOS等靜電敏感集成電路采用輸?shù)褥o電敏感集成電路采用輸入、輸出保護(hù)電路設(shè)計(jì)入、輸出保護(hù)電路設(shè)計(jì)n（2）、對敏感元器件進(jìn)行靜電防護(hù)設(shè)計(jì)）、對敏感元器件進(jìn)行靜電防護(hù)設(shè)計(jì)n（3）、對靜電敏感電子組件和電子設(shè)備，采）、對靜電敏感電子組件和電子設(shè)備，采用抗靜電防護(hù)設(shè)計(jì)用抗靜電防護(hù)設(shè)計(jì)64TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n2、確保設(shè)備、設(shè)施和作業(yè)場所的靜電安全、確保設(shè)備、設(shè)施和作業(yè)場所的靜電安全 n（1）、保護(hù)作業(yè)場所各種接地設(shè)施和系統(tǒng)正確和有效接地n（2）、嚴(yán)格靜電安全作業(yè)操

23、作規(guī)程65TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n四、嚴(yán)格防靜電管理四、嚴(yán)格防靜電管理 n1、建立健全責(zé)任制和規(guī)章制度、建立健全責(zé)任制和規(guī)章制度 n（1）、建立健全各類人員（領(lǐng)導(dǎo)者、技術(shù)和管理人員、操作人員）的靜電安全防護(hù)管理職責(zé)，并有檢查制度n（2）、編制具體詳細(xì)的防靜電操作規(guī)程n（3）、對設(shè)備、裝置、器材、器具、工具等的防靜電性能要求建立定期檢查制度66TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n2、培訓(xùn)教育、培訓(xùn)教育 n（1）、針對領(lǐng)導(dǎo)者、管理和技術(shù)人員、操作人員等不同層次和不同崗位的人員，實(shí)施有關(guān)防靜電意識、知識、技術(shù)和安全要求教育n（2）、針對不同崗位操作人員進(jìn)行操作技能培訓(xùn)及考核67TFT-L

24、CD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n3、警示裝置、標(biāo)記、及符號的使用、警示裝置、標(biāo)記、及符號的使用n（1）、應(yīng)在靜電敏感產(chǎn)品上和外包裝件上做）、應(yīng)在靜電敏感產(chǎn)品上和外包裝件上做出警示標(biāo)記或符號出警示標(biāo)記或符號n（2）、應(yīng)對裝置、設(shè)備中的靜電敏感部件、）、應(yīng)對裝置、設(shè)備中的靜電敏感部件、部位，按照標(biāo)準(zhǔn)的要求做出標(biāo)記或警示符號部位，按照標(biāo)準(zhǔn)的要求做出標(biāo)記或警示符號n（3）、應(yīng)對防靜電作業(yè)場所（工作區(qū)）做出）、應(yīng)對防靜電作業(yè)場所（工作區(qū)）做出規(guī)定的特別的標(biāo)記規(guī)定的特別的標(biāo)記68TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n4、按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定進(jìn)行檢測試驗(yàn)、按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定進(jìn)行檢測試驗(yàn) n（1）、對有防靜電性能要求的工具、器具、服裝

25、、鞋襪、地面、桌椅和工作臺(tái)墊等應(yīng)定期檢查，使之保持合格狀態(tài)n（2）、對人體和設(shè)備、裝置、系統(tǒng)的接地狀況應(yīng)按規(guī)定檢測n（3）、對產(chǎn)品的靜電敏感度（抗擾度）應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進(jìn)行試驗(yàn)，并建立質(zhì)量分析和反饋制度69TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作（三）、靜電防護(hù)工作的主要特點(diǎn)n1、安全（包刮環(huán)境、人身及設(shè)備）防護(hù)與產(chǎn)品防護(hù)有時(shí)是并存的，特別是電子產(chǎn)品。n2、加工制造過程中對半成品的防護(hù)與使用、維護(hù)、包裝、檢測、拆包裝、裝配、調(diào)試過程中對產(chǎn)成品的防護(hù)并重。n3、防止靜電的發(fā)生與消除已產(chǎn)生的靜電荷。n4、靜電防護(hù)工作中，技術(shù)措施與管理措施均不可缺少，他們是相輔相成的。70TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作

26、（四）、靜電防護(hù)工作的主要目的n1、靜電防護(hù)工作大體分為兩個(gè)方面，其主要目的有3個(gè) （1）兩個(gè)方面是：安全防護(hù)與產(chǎn)品防護(hù)。 （2）3個(gè)目的是：保證人員和生產(chǎn)場所的安全，防止火災(zāi)與爆炸，提高工藝成品率，確保產(chǎn)成品的工作可靠性。71TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作防靜電知識防靜電知識一、靜電，靜電的產(chǎn)生；二、電子工業(yè)中的靜電問題； 三、靜電防護(hù)操作要求四、靜電防護(hù)器材；五、靜電防護(hù)管理及常用標(biāo)識72TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作防靜電器具、器材術(shù)語防靜電器具、器材術(shù)語1、防靜電服 為了防止人體和衣物的靜電積聚，用防靜電織物為衣料而縫制的工作服2、防靜電腕帶 由外絕緣金屬線或?qū)щ娝芰辖M成的軟扣

27、帶。該腕帶一端戴在操作者手腕上，另一端接在防靜電地線上，以便泄放人體積聚的靜電荷3、防靜電鞋 鞋底用電阻變化小的防靜電材料制作，不僅具有防止人體靜電積聚的性能，而且還能避免因偶然觸及工頻電（220V以下）而導(dǎo)致人體遭受電擊的鞋類73TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作5、防靜電真空吸錫器、防靜電真空吸錫器 由小型真空泵和專用吸錫烙鐵組成的裝置。該裝置由小型真空泵和專用吸錫烙鐵組成的裝置。該裝置能快速拆卸元器件，而不損壞元器件和印制板組裝件能快速拆卸元器件，而不損壞元器件和印制板組裝件6、靜電消除器 一種能產(chǎn)生消除帶電體上的電荷所必要的正負(fù)離子的設(shè)備或裝置7、離子化靜電消除器 凡利用空氣電離以產(chǎn)生

28、為中和帶電體上的表面異性電荷所必須的正負(fù)離子的各種形式靜電消除裝置的統(tǒng)稱74TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作8、防靜電工作臺(tái)墊、防靜電工作臺(tái)墊 敷設(shè)在防靜電安全工作臺(tái)上的墊子。該墊子用于泄敷設(shè)在防靜電安全工作臺(tái)上的墊子。該墊子用于泄放人體或?qū)w上積聚的靜電電荷，提供一個(gè)無靜電電放人體或?qū)w上積聚的靜電電荷，提供一個(gè)無靜電電荷的工作面荷的工作面9、導(dǎo)靜電地板 一種地板，它具有足夠低的電阻以便當(dāng)接地或連接到任何較低電位點(diǎn)時(shí)快速地泄放電荷。導(dǎo)靜電地板以電阻低于1X106歐姆來表征75TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作n靜電材料：靜電材料：指摩擦生電產(chǎn)生超過指摩擦生電產(chǎn)生超過100V電壓，并且將電壓

29、，并且將產(chǎn)生的電壓保持產(chǎn)生的電壓保持10秒以上的材料。秒以上的材料。n防靜電材料：防靜電材料：包括靜電導(dǎo)電材料（表面電阻值小于包括靜電導(dǎo)電材料（表面電阻值小于105）。）。n靜電耗散材料：靜電耗散材料：表面電阻值大于或等于表面電阻值大于或等于105但小于但小于1012）。）。n絕緣材料：絕緣材料：表面電阻值在表面電阻值在1012以上的材料。以上的材料。 76TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作防靜電材料電阻值 （一）（一）靜電地線與線體地線、防雷地線、工頻電源中線、地靜電地線與線體地線、防雷地線、工頻電源中線、地線要分開拉設(shè)，其接地電阻值線要分開拉設(shè)，其接地電阻值4。靜電保護(hù)區(qū)內(nèi)的線體、儀器、設(shè)

30、備、工具應(yīng)接地，其靜電保護(hù)區(qū)內(nèi)的線體、儀器、設(shè)備、工具應(yīng)接地，其接地電阻值接地電阻值4。靜電手環(huán)、防靜電臺(tái)墊、防靜電地墊限流電阻值為靜電手環(huán)、防靜電臺(tái)墊、防靜電地墊限流電阻值為1M10M。4. 鐵頭、電鎖桿的的漏電壓值鐵頭、電鎖桿的的漏電壓值0.2VAC靜電膠墊的表面電阻值為靜電膠墊的表面電阻值為106109。靜電元件盒和防靜電周轉(zhuǎn)箱的表面電阻值為靜電元件盒和防靜電周轉(zhuǎn)箱的表面電阻值為1051011。集成電路包裝管的表面電阻值為集成電路包裝管的表面電阻值為1041010。 77TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作防靜電材料電阻值 （二）（二）防靜電海綿的表面電阻值為防靜電海綿的表面電阻值為105

31、1011。防靜電鞋的表面電阻值為防靜電鞋的表面電阻值為105108。防靜電手指套表面電阻。防靜電手指套表面電阻1051011；。防靜電手套表面電阻。防靜電手套表面電阻1051011。防靜電地板的表面電阻值為。防靜電地板的表面電阻值為1051010。防靜電袋的表面電阻值為。防靜電袋的表面電阻值為1051011。防靜電服的表面電阻值為。防靜電服的表面電阻值為 1051010。 78TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作ESD防護(hù)工作區(qū) ESD防護(hù)工作區(qū)是由各種防護(hù)工作區(qū)是由各種ESD設(shè)施、器材設(shè)施、器材及有明確定義的區(qū)域界限形成的工作場地。能及有明確定義的區(qū)域界限形成的工作場地。能抑制靜電荷的積累和靜

32、電壓的產(chǎn)生，并能安全、抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生，并能安全、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，原則上要迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，原則上要求區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的靜電壓小于求區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的靜電壓小于100V。79TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作4-1 ESD控制原理控制原理-接地接地靜電導(dǎo)體接地靜電導(dǎo)體接地n人員的接地（腕帶:（0.81.2)109 、 防靜電/導(dǎo)電膠底鞋對地電阻:0.5 10 5 1.0 10 9 ）n設(shè)備和工具接地: 4.0 (GB50174-93)n環(huán)境：地面、貨架、活動(dòng)設(shè)備對地電阻： 1 10 5 1 10 9 n雷電保護(hù)接地： 4.0 （最好在1 以下）80TFT-LCD

33、設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作4-2 ESD控制原理控制原理 靜電非導(dǎo)體靜電非導(dǎo)體n離子消電器n放射消電器81TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作4-3 人體人體ESD控制原理控制原理n人體是最普遍存在的靜電危害源人體是最普遍存在的靜電危害源n對于靜電來說，人體是導(dǎo)體。對于靜電來說，人體是導(dǎo)體。n對人體采取接地的措施可以控制人體靜電。對人體采取接地的措施可以控制人體靜電。82TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作4-4使靜電從腳導(dǎo)到大地n使用靜電地面（防靜電地墊、地毯等）n防靜電鞋n防靜電襪n防靜電膠墊n地面對地電阻注意：鞋、地面、襪、鞋墊等必須全是防靜電的，才能保證靜電從腳導(dǎo)向大地。 105 鞋、地面對地電

34、阻 10983TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作4-5 使靜電從手導(dǎo)致大地使靜電從手導(dǎo)致大地n配戴防靜電手環(huán)并接地n用手觸摸接地金屬體（如：球）能暫時(shí)釋放人體靜電，但手離開接地金屬后又會(huì)產(chǎn)生靜電n靜電手環(huán)腕帶對地電阻： 7.5 10 5 110 8n無線腕帶不能起到防靜電作用84TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作4-6 防靜電鞋與腕帶使用中人防靜電鞋與腕帶使用中人 體安全問題體安全問題n從防靜電的角度考慮時(shí)，人體總的對地電阻越小越好h安全要求：鞋的最小值不應(yīng)小于安全要求：鞋的最小值不應(yīng)小于1 1 10 105 5n 人體必須具有一定的對地電阻，限制意外 流過人體上的電流。85TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作4-7 防靜電鞋與腕帶的使用問題防靜電鞋與腕帶的使用問題1、使用腕帶操作時(shí)不允許斷開，否則會(huì)失去接地作用2、在穿用防靜電鞋時(shí)應(yīng)有防靜電襪/鞋墊，鞋與地面必須都防靜電。否則靜電不能從人體導(dǎo)向大地。h夾在衣服等不導(dǎo)電物體上的接地裝置，不能 釋放人體靜電。86TFT-LCD設(shè)計(jì)及制作設(shè)計(jì)及制作4-8 防靜電包裝袋防靜電包裝袋/容器材料容器材料n由基材、金屬鍍膜層和熱封層多層復(fù)合而成，