PCBIDF工序質(zhì)量分析ppt課件

1、IDF工序缺陷判別及質(zhì)量數(shù)據(jù)分析SYE QE 08.02.25.培訓(xùn)目的了解IDF工序現(xiàn)階段質(zhì)量監(jiān)控點(diǎn)、主要質(zhì)量問題、缺陷形狀、能夠產(chǎn)生緣由了解IDF工序主要質(zhì)量數(shù)據(jù)和目的 了解IDF工序質(zhì)量數(shù)據(jù)分析、改善及效果評(píng)價(jià).一、IDF工序主要質(zhì)量問題、缺陷形狀、能夠產(chǎn)生緣由、現(xiàn)階段質(zhì)量監(jiān)控點(diǎn)綱要：1、IDF工序現(xiàn)階段主要質(zhì)量監(jiān)控點(diǎn)及監(jiān)控參數(shù)；2、流程查核 ；.一、IDF工序主要質(zhì)量問題、缺陷形狀、能夠產(chǎn)生緣由、現(xiàn)階段質(zhì)量監(jiān)控點(diǎn)1、IDF工序現(xiàn)階段主要質(zhì)量監(jiān)控點(diǎn)： 詳細(xì)見附件 .一、IDF工序主要質(zhì)量問題、缺陷形狀、能夠產(chǎn)生緣由、現(xiàn)階段質(zhì)量監(jiān)控點(diǎn)2、主要參數(shù)及質(zhì)量監(jiān)控點(diǎn)：前處置：1、速度2.0-2.7

2、m/min 2、烘干溫度 45-55 3、微蝕量：0.8-1.6um貼膜：1、貼膜溫度/壓力11010、kg/cm2 2、預(yù)熱溫度 805 、貼膜速度：電鍍板2.0-2.m/min，其它 3.0-3.m/min 3、貼膜后靜止時(shí)間15- 1440min 曝光：1、曝光級(jí)數(shù)干膜：7-8、濕膜：6.5-7.5、MASK2:4-5 、 能量均勻性10%、真空度 25-30inHg 2、曝光時(shí)間15s 、溫濕度 201 、46-54%RH、 曝光后靜止時(shí)間15-1440min.一、IDF工序主要質(zhì)量問題、缺陷形狀、能夠產(chǎn)生緣由、現(xiàn)階段質(zhì)量監(jiān)控點(diǎn)濕油： 1、 速度2.0-3.5m/min 2、油墨粘度4

3、0-62sec 3、膜厚：9-13um 4、干凈度：涂膜室1000 grade菲林制造及運(yùn)用：1、菲林剖出至運(yùn)用最小時(shí)間：4H 2、維護(hù)膜貼膜速度：1.5-2刻度 3、存放條件：溫濕度 201 、 46-54%RH .一、IDF工序主要質(zhì)量問題、缺陷形狀、能夠產(chǎn)生緣由、現(xiàn)階段質(zhì)量監(jiān)控點(diǎn)3、工序查核1日常查核2專項(xiàng)查核.二、IDF工序主要質(zhì)量目的綱要：1、報(bào)廢率 2、PONC 3、一次合格率 4、RTV5、重點(diǎn)客戶/型號(hào).二、IDF工序主要質(zhì)量目的工序主要質(zhì)量數(shù)據(jù)：質(zhì)量控制項(xiàng)目目標(biāo)數(shù)據(jù)來(lái)源頻率主要影響缺陷一次合格率65%、77%、80%、85%ERPERP日?qǐng)?bào)、周報(bào)、月報(bào)開路缺口、曝光不良、殘銅

4、、凸起報(bào)廢率普通板4.3MRBERP日?qǐng)?bào)、周報(bào)、月報(bào)AOI開路缺口、短路、擦花HDI板4.3PONC185萬(wàn)/月QEPONC月報(bào)膜碎開路缺口、短路、擦花ET合格率內(nèi)短1.1%ETERP日?qǐng)?bào)、月報(bào)開路缺口、短路、殘銅內(nèi)開0.3大點(diǎn)0.3客戶投訴DPPM內(nèi)層開路20QSQS月報(bào)表內(nèi)層開路缺口、短路內(nèi)層短路10.二、IDF工序主要質(zhì)量目的1、普通板及HDI板報(bào)廢率：A、曝光房每周普通板報(bào)廢率趨勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05合格面積ft2 37684.56377048.3401362.3406714.9382405.7開路缺口報(bào)廢面積 ft

5、2 5223.566705.946520.665816.787362.13開路缺口報(bào)廢率 % 1.751.421.781.621.431.93曝光不良報(bào)廢面積 ft2 684.9916.85522.93341.94713.31曝光不良報(bào)廢率 % 0.150.190.240.130.080.19重合度報(bào)廢面積 ft2 66.0285.0548.77196.2475.51重合度報(bào)廢率 % 0.050.020.020.010.050.02.二、IDF工序主要質(zhì)量目的曝光房每周普通板報(bào)廢率趨勢(shì)：報(bào)廢率是工序最重要的質(zhì)量目的！.二、IDF工序主要質(zhì)量目的B、DES每周普通板報(bào)廢率趨勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01

6、-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05合格面積ft2 37684.56377048.3401362.3406714.9382405.7AOI殘銅報(bào)廢面積 ft2 294.16182.65141.14163.61180.49AOI殘銅報(bào)廢率 % 0.050.080.050.040.040.05蝕刻過度報(bào)廢面積 ft2 68.87126.8893.86209.3372.55蝕刻過度報(bào)廢率 % 0.030.020.030.020.050.02蝕刻不凈報(bào)廢面積 ft2 93.1675.1593.75195.02213.32蝕刻不凈報(bào)廢率 % 0.050.030.020.

7、020.050.06疊/卡板報(bào)廢面積 ft2 153.77204.91104.76176.51150.5疊/卡板報(bào)廢率 % 0.050.040.050.030.040.04阻值超標(biāo)報(bào)廢面積 ft2 25.224.319.167.2111.99阻值超標(biāo)報(bào)廢率 % 0.020.020.0030.010.010.01特阻抗不合格報(bào)廢面積 ft2 1.262.1511.286.126.12特性阻抗不合格報(bào)廢率 % 0.01000.010.010.01.二、IDF工序主要質(zhì)量目的DES每周普通板報(bào)廢率趨勢(shì)：報(bào)廢率是工序最重要的質(zhì)量目的！.二、IDF工序主要質(zhì)量目的C、 AOI每周普通板報(bào)廢率趨勢(shì)：缺陷目

8、標(biāo)04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05內(nèi)層余數(shù)合格面積 ft2 37684.56377048.3401362.3406714.9382405.7內(nèi)層余數(shù)報(bào)廢面積 ft2 947.11684.4893.32630.24826.98內(nèi)層余數(shù)報(bào)廢率 % 0.20.260.170.220.150.22普通板RTV合格面積 ft2109664.75118578.1106612.66111578.1991139.66內(nèi)層短路報(bào)廢面積 ft2 1151.161182.961039.431043.58845.45內(nèi)層短路報(bào)廢率 % 1.11.030.980.960.

9、920.91內(nèi)層開路報(bào)廢面積 ft2 315.58342.75259.11355.33253.01內(nèi)層開路報(bào)廢率 % 0.30.280.280.240.310.27大點(diǎn)內(nèi)短報(bào)廢面積 ft2 470.68464.88355.18351.66285.59大點(diǎn)內(nèi)短報(bào)廢率 % 0.30.420.380.330.310.31.二、IDF工序主要質(zhì)量目的AOI每周普通板報(bào)廢率趨勢(shì)：報(bào)廢率是工序最重要的質(zhì)量目的！.二、IDF工序主要質(zhì)量目的D、曝光房每周HDI報(bào)廢率趨勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05T/C合格面面ft2 23976.216460.1

10、318264.8816928.613068.4T/C開路缺口報(bào)廢面積 ft2 96.75100.552.3369.8455.65T/C開路缺口報(bào)廢率 % 0.20.40.60.280.410.42T/C曝光不良報(bào)廢面積 ft2 56.8829.0835.3814.120.85T/C曝光不良報(bào)廢率 % 0.030.240.170.190.080.16電鍍子板合格面面ft2 21183.7916371.2117937.4017177.9112757.86電鍍子開路缺口報(bào)廢面積 ft2 218.09307.01382.89527.93258.14電鍍子開路缺口報(bào)廢率 % 1.41.031.882.1

11、33.072.02電鍍子曝光不良報(bào)廢面積 ft2 13.9840.7442.5421.039.97電鍍子曝光不良報(bào)廢率 % 0.150.070.250.240.120.08電鍍子崩孔報(bào)廢面積 ft2 39.269.0952.7550.6926.6電鍍子崩孔報(bào)廢率 % 0.10.190.420.290.300.21.二、IDF工序主要質(zhì)量目的曝光房每周HDI報(bào)廢率趨勢(shì)：報(bào)廢率是工序最重要的質(zhì)量目的！.二、IDF工序主要質(zhì)量目的E、DES每周HDI板報(bào)廢率趨勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05T/C合格面積ft2 23976.216460.1

12、318264.8816928.613068.4T/CAOI殘銅報(bào)廢面積 ft2 9.76.990.221.030.96T/C AOI殘銅報(bào)廢率 % 0.030.040.0400.010.01T/C蝕刻過度報(bào)廢面積 ft2 8.712.2420.222.212.35T/C蝕刻過度報(bào)廢率 % 0.010.040.010.110.010.02T/C蝕刻不凈報(bào)廢面積 ft2 0.632.372.710.910.89T/C蝕刻不凈報(bào)廢率 % 0.0200.010.010.010.01電鍍子板合格面積ft2 21183.7916371.2117937.4017177.9112757.86電鍍子板AOI殘銅

13、報(bào)廢面積 ft2 19.0210.3815.9719.5816.45電鍍子板AOI殘銅報(bào)廢率 % 0.10.0600.030.110.13電鍍子板蝕刻過度報(bào)廢面積 ft2 12.530.615.026.570電鍍子板蝕刻過度報(bào)廢率 % 0.050.0600.030.040電鍍子板蝕刻不凈報(bào)廢面積 ft2 6.248.694.997.9223.10電鍍子板蝕刻不凈報(bào)廢率 % 0.200.030.050.030.050.18.二、IDF工序主要質(zhì)量目的DES每周HDI報(bào)廢率趨勢(shì)：報(bào)廢率是工序最重要的質(zhì)量目的！.二、IDF工序主要質(zhì)量目的F、 AOI每周HDI板報(bào)廢率趨勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01-070

14、4/08-1404/15-2104/22-2804/29-05HDI板RTV合格面積 ft2109664.75118578.1106612.66111578.1991139.66內(nèi)層短路報(bào)廢面積 ft2 1151.161182.961039.431043.58845.45內(nèi)層短路報(bào)廢率 % 1.11.030.980.960.920.91內(nèi)層開路報(bào)廢面積 ft2 315.58342.75259.11355.33253.01內(nèi)層開路報(bào)廢率 % 0.30.280.280.240.310.27大點(diǎn)內(nèi)短報(bào)廢面積 ft2 470.68464.88355.18351.66285.59大點(diǎn)內(nèi)短報(bào)廢率 % 0.

15、30.420.380.330.310.31.二、IDF工序主要質(zhì)量目的AOI每周HDI報(bào)廢率趨勢(shì)：報(bào)廢率是工序最重要的質(zhì)量目的！.4/01-074/08-4/144/15-214/22-4/284/29-5/05MRB報(bào)廢率MRB報(bào)廢率MRB報(bào)廢率MRB報(bào)廢率MRB報(bào)廢率開路缺口5223.51.426706.541.786520.661.625816.781.437362.131.93曝光不良684.90.19916.850.24522.930.13341.940.08713.310.1966.020.03885.050.0248.770.01196.240.0575.710.02重合度殘銅疊

16、卡板294.160.08182.650.05141.140.04163.610.04180.490.05153.770.04204.910.05104.760.03176.510.04150.50.04二、IDF工序主要質(zhì)量目的普通板主要缺陷柏拉圖：主要缺陷近期報(bào)廢趨勢(shì)：.二、IDF工序主要質(zhì)量目的2、PONC值： PONCPrice of Nonconformance：不符合要求的代價(jià)- 指當(dāng)質(zhì)量不符合要求時(shí)產(chǎn)生的額外的費(fèi)用。包括返工、返修、趕工、報(bào)廢、庫(kù)存過多、客戶埋怨及索賠等。 工序PONC=Internal MRB Ponc + Process Ponc 內(nèi)部報(bào)廢產(chǎn)生的PONC 返工產(chǎn)

17、生的PONC PONC是公司內(nèi)部除報(bào)廢率、一次合格率之外衡量質(zhì)量情況的另一重要質(zhì)量數(shù)據(jù)。 PS：詳細(xì)見.二、IDF工序主要質(zhì)量目的各工序PONC的詳細(xì)計(jì)算方法：各小組列出影響工序的各項(xiàng)不合格所引起的資源的浪費(fèi)包括人數(shù)、時(shí)間、返工數(shù)量、機(jī)器水流量、機(jī)器功率、單位時(shí)間平均人工、單位物料耗費(fèi)代價(jià)、水單價(jià)、電單價(jià)、單位時(shí)間機(jī)器折舊等； 根據(jù)公式計(jì)算：1人工費(fèi)用人數(shù)時(shí)間單位時(shí)間平均人工 2物料費(fèi)用實(shí)踐返工數(shù)量/面積單位數(shù)量/面積耗費(fèi)物料代價(jià) 3機(jī)器費(fèi)用時(shí)間單位時(shí)間機(jī)器折舊 4水的費(fèi)用時(shí)間機(jī)器平均水流量水單價(jià) 5電的費(fèi)用時(shí)間機(jī)器功率電單價(jià)工序PONCMRB PONCProcess PONC MRB PON

18、C工序報(bào)廢面積單位面積耗費(fèi)一切資源總和 Process PONC返工數(shù)量返工消費(fèi)單元面積耗費(fèi)的一切資源總和.二、IDF工序主要質(zhì)量目的07年各月份IDF工序PONC目的及實(shí)踐達(dá)成情況：MRBPONC07/01 實(shí)際07/02 實(shí)際07/03 實(shí)際07年5月份目標(biāo)07年4月實(shí)際07/01 實(shí)際07/02 實(shí)際07/03 實(shí)際07/04 目標(biāo)07年4月實(shí)際07年5月目標(biāo)IDFT/C3.593.162.642.502.31167.697.7152.5185142.1185RTV2.151.921.881.801.75總計(jì)5.735.074.524.304.06T/C1.141.230.570.500

19、.82子板4.553.302.362.002.69RTV1.841.191.861.801.65總計(jì)7.525.734.794.305.16.二、IDF工序主要質(zhì)量目的07年各月份IDF工序PONC目的及實(shí)踐達(dá)成情況：詳細(xì)見附件.二、IDF工序主要質(zhì)量目的3、工序一次合格率線寬3.5mil 日 期04/2204/2304/2404/2504/26一次合格率 86.2387.7391.4687.9087.59 主要缺陷缺陷率 開路缺口針孔6.737.635.777.437.63 殘銅凸起間距小6.434.582.354.135.57 短路2.051.360.691.321.2 曝光不良0.250

20、.120.200.220.37.二、IDF工序主要質(zhì)量目的4、E-Test工序內(nèi)層開短路缺陷率：闡明：E-T工序外層開短路數(shù)據(jù)的分析更適宜于型號(hào)分析、而且對(duì)數(shù)據(jù)的分析一定要基于對(duì)問題板缺陷緣由的分析判別上。 日 期05/0205/0305/0405/0505/06一次合格率 98.3698.597.9198.4398.56 主要缺陷缺陷率內(nèi)層開路0.340.250.750.310.23內(nèi)層短路1.061.081.161.070.98大點(diǎn)內(nèi)短0.240.170.180.190.23.二、IDF工序主要質(zhì)量目的：5、重點(diǎn)客戶/型號(hào)內(nèi)層AOI數(shù)據(jù)：A、內(nèi)層AOI數(shù)據(jù)包括一次合格率、報(bào)廢率、以及缺陷形

21、狀分析；B、內(nèi)層AOI數(shù)據(jù)可以在第一時(shí)間真實(shí)的反映出消費(fèi)型號(hào)的缺陷及質(zhì)量問題，從而根據(jù)這些質(zhì)量數(shù)據(jù)/信息第一時(shí)間對(duì)工序問題點(diǎn)進(jìn)展查找和改善；C、內(nèi)層常見缺陷圖片：.三、IDF工序質(zhì)量數(shù)據(jù)分析及改善工序的質(zhì)量數(shù)據(jù)分析和改善分為兩個(gè)方面： 1、工序常規(guī)缺陷質(zhì)量數(shù)據(jù)分析和改善：常規(guī)缺陷的數(shù)據(jù)分析，根據(jù)工序日常質(zhì)量數(shù)據(jù)的變化來(lái)進(jìn)展判別、分析、改善和評(píng)價(jià)；此類工程的分析多數(shù)是經(jīng)過表觀確認(rèn)、切片確認(rèn)等方法來(lái)確認(rèn)問題點(diǎn)和改善思緒。 2、工序異常/重要缺陷質(zhì)量問題的分析和改善：主要是對(duì)于工序異常批量問題和與板可靠性有關(guān)的重要工程進(jìn)展的系統(tǒng)的專項(xiàng)實(shí)驗(yàn)分析和跟進(jìn)；此類工程的分析通常要借助特殊的質(zhì)量監(jiān)控點(diǎn)和物理/可

22、靠性測(cè)試方法來(lái)對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)展確認(rèn)。 .三、IDF工序質(zhì)量數(shù)據(jù)分析及改善故 障原 因解 決 方 法貼膜壓力不夠供氣有問題;上下貼膜輪的空隙未調(diào)適當(dāng)。檢查供氣系統(tǒng);調(diào)校上下貼膜輪至適當(dāng)?shù)目障?。板進(jìn)入貼膜輪有困難氣壓太高;上下貼膜輪的空隙太窄。調(diào)校至適當(dāng)氣壓;調(diào)校上下貼膜輪至適當(dāng)空隙。貼膜時(shí)氣味濃排氣扇未啟動(dòng);排氣管堵塞;排氣管與機(jī)身連接不良。啟動(dòng)排氣扇;檢查排氣管; 重新接牢排氣管。壓膜后起皺膜過寬；上下膜不對(duì)稱。更換合適的干膜尺寸；上膜時(shí)注意上下卷位置一致。顯影后干膜面多砂孔干膜環(huán)境不清潔，塵埃多；曝光能量過低。注意保持干膜房清潔；重新調(diào)整曝光能量。 干膜跟板面附著力不夠板面粗化不足或不均勻；貼膜前預(yù)熱不足；貼膜溫度或速度不適當(dāng)；板面污染、氧化；壓膜后靜置時(shí)間不足；壓膜熱輥?zhàn)冃?。調(diào)節(jié)微蝕量；調(diào)節(jié)預(yù)熱溫度；調(diào)校至適當(dāng)?shù)臏囟群退俣龋蛔魉腰c(diǎn)實(shí)驗(yàn)檢查；靜置15min以上；更換熱輥。有殘膠貼膜溫度過高產(chǎn)生聚合作用；壓膜后或曝光后靜置時(shí)間過長(zhǎng)；靜置時(shí)接近漏光區(qū)，產(chǎn)生光硬化；顯影段噴嘴堵塞；曝光過強(qiáng)；顯影液濃度低或顯影速度太快。檢查貼膜設(shè)定溫度和實(shí)際溫度；以不超過1日為限；遠(yuǎn)離漏光區(qū)；檢查并清潔噴嘴、濾芯；調(diào)至適當(dāng)?shù)钠毓饬?；檢查